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JPS6054805U - 減圧移送装置 - Google Patents

減圧移送装置

Info

Publication number
JPS6054805U
JPS6054805U JP14648883U JP14648883U JPS6054805U JP S6054805 U JPS6054805 U JP S6054805U JP 14648883 U JP14648883 U JP 14648883U JP 14648883 U JP14648883 U JP 14648883U JP S6054805 U JPS6054805 U JP S6054805U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transfer device
reduced pressure
decompression transfer
piston
moves
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14648883U
Other languages
English (en)
Inventor
潔 奥田
Original Assignee
株式会社精工舎
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社精工舎 filed Critical 株式会社精工舎
Priority to JP14648883U priority Critical patent/JPS6054805U/ja
Publication of JPS6054805U publication Critical patent/JPS6054805U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Fluid-Pressure Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示し、第１図は装置全体の概
略図、第２図は減圧エアシリンダの断面図、第３Ａ図は
ソレノイドバルブの無通電状態の断面図、第３Ｂ図は通
電状態の断面図である。 １・・・・・・モータ、２・・・・・・真空ポンプ、３
・・・・・・チューブ、４，５・・・・・・ツレ／イド
バルブ、６・・・・・・減圧エアシリンダ、１０・・・
・・・ピストン、１１・・・・・・ピストンロンド。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 減圧手段と、この減圧手段の負圧により移動するピスト
    ンを有する減圧エアシリンダと、上記ピストンに連動し
    被移送物を移送する移送部材とを設けた減圧移送装置。
JP14648883U 1983-09-21 1983-09-21 減圧移送装置 Pending JPS6054805U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14648883U JPS6054805U (ja) 1983-09-21 1983-09-21 減圧移送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14648883U JPS6054805U (ja) 1983-09-21 1983-09-21 減圧移送装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6054805U true JPS6054805U (ja) 1985-04-17

Family

ID=30326051

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14648883U Pending JPS6054805U (ja) 1983-09-21 1983-09-21 減圧移送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6054805U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240076719A (ko) 2022-11-22 2024-05-30 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 세정 장치, 기판 처리 장치, 세정 부재를 세정하는 장치 및 세정 부재를 세정하는 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5119174A (ja) * 1974-08-01 1976-02-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Dendokakuhanki

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5119174A (ja) * 1974-08-01 1976-02-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Dendokakuhanki

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240076719A (ko) 2022-11-22 2024-05-30 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 세정 장치, 기판 처리 장치, 세정 부재를 세정하는 장치 및 세정 부재를 세정하는 방법

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