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JPS605133A - 振動モ−ドを改良した超音波変換器 - Google Patents

振動モ−ドを改良した超音波変換器

Info

Publication number
JPS605133A
JPS605133A JP10736284A JP10736284A JPS605133A JP S605133 A JPS605133 A JP S605133A JP 10736284 A JP10736284 A JP 10736284A JP 10736284 A JP10736284 A JP 10736284A JP S605133 A JPS605133 A JP S605133A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transducer
piezoelectric body
metal
ultrasonic transducer
sub
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10736284A
Other languages
English (en)
Inventor
ジヨ−ジ・ダヴリユ−・ケイルマン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advanced Technology Laboratories Inc
Original Assignee
Advanced Technology Laboratories Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advanced Technology Laboratories Inc filed Critical Advanced Technology Laboratories Inc
Publication of JPS605133A publication Critical patent/JPS605133A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は振動モードを改良した超音波変換器に関する。
特に本発明は、医療物音波映閤に使用するための縦波を
発生および受容するタイプの超音波変換器に関する。
従来技術と解決すべき問題点 超音波変換器技術において、各種振捜ノモードの圧電体
(ピエゾ電気材料)かよく知られており、これらは縦波
を発生するのに有用である。かかるモードとしては、“
プレート”モード(該モードにおいて、比較的フラット
な圧電体のプレートか振動し、上下のプレート面に接続
する電極に電圧を印加すると、プレート表面に対し垂直
方向に超音波を伝送するようになっている)、および6
バー”モード(該モードにおいて、細長いバーの圧電体
はその両端に接続した電極を有し、バーの縦軸に沿って
波伝送を起すように振動する)が包含される。また1ビ
ーム”モードも知られており、該モードでは、細長いバ
ーの圧電体はその両側面に伸長電極を有し、バーの縦軸
に対し垂直な波伝送を起すように振動し、これには例え
ば位相アレイまたは直線変換器が挙げられる。更に、6
プレート”モード、。バー”モードまたは“ビーム”モ
ードと横振動モードとの“混合”モードも知られている
。これらの横モードは圧電体内に許容しえない程度まで
発生し、この場合、圧電体の高さと+lJの比(1]/
W)は、半分波長共振モードを用いる変1ψ器の場合で
約0.5〜2の範囲にあり、また四分の一波長共振モー
ドを用いる変換器の場合で約0.25〜1の範囲にある
。当業者にとって理解されるように、いかなる圧電体に
おいても構モードみ振動がある程度に起るか、これは変
換器を構成する各エレメントの幾何学形状およ0ef定
圧電体の性質に基づく。半分波長変換器においてH/W
か約0.5〜2のとき、および四分の一波長変換器にお
いてH/ Wが約025〜1の場合には、それは大きな
問題となる。
本発明か解決しようとするこの特定の問題を、環状アレ
イに用いられるタイプのピストン型環状変換器を例にと
って説明する。これまで、電気的可変焦点調整能力を付
与するため、各種のピストン型環状アレイ変換器が使用
されている。かかる環状アレイ変換器において、扉状ア
レイの外部環は典型的に、内部環または中心ピストンよ
りもすっと細い。このことは、超音波の浸透深さに実質
的均一な信号を付与するため、各種変換器エレメントの
面積か実質的に等しくなるように保持する要求に起因す
る。この事象は当該分野で周知であり、また環状アレイ
において、実質的に相互に等しく、且つ中心ピストンの
面積に等しい面積を持つ環状エレメントを設けることは
普通に行われている。
環状アレイを標準方法で製造することに起因する問題は
、ダ状アレイの外部環において、個々のエレメントの高
さくその基体から測定した圧電体の高さ)と巾(半径方
向に測定)の比が1に近づくことである。残念なことに
上述の如く、変換器の高さ/11】比が約0.5〜2の
範囲にあると、横モードの振動が医療4B音波ピストン
変換器において許容しえないレベルで起る。外部変換器
環の横振動モードを減少するため、これまで各種の試み
かなされている。かかる方法は、外部坪量の区域および
該層を取巻く区域に制動材を入れることを包含する。こ
れらの方法は全般に、肯だ的な結果をほとんど示さなか
った。
このため、外部環の横モード振動の問題を受ける必要も
なく広範囲にわたり電気的に焦点調整しうる環状アレイ
変換器を製造する方法が望まれるようになった。一般に
、任意の斐挾器タイプ(例えば環状アレイ)を選択する
ことができ、これによってたとえ偽振動モード(例えば
横モード)が外部環に起ったとしてもこれを受容するよ
う強制されないことが望まれる。また、いずれの任意の
幾何学形状を持つ変換器の全エレメント(例えは環状ア
レイの中心ピストンおよび外部環)においても、同じ振
動モード(例えばプレートまたは)く−モード)を有す
ることが望まれる。
X発明の構成と効果 本発明によれば、バー振動モードをいずれの変換器設計
にも組合せることかできるか、これは圧′重体が多数の
サブエレメントにのこひきされ、該サブエレメントのそ
れぞれがその物理形状および寸法に基づきバーモードて
振動rるためである。
そしてこれらのサブエレメントは、いずれかの所望エレ
メント幾何学形状を有するように、′電気的に接続され
る。従って、全てのエレメントにおいて同じ振動モード
を有する任意形状の変換器を設計することができる。
以下、添付図面に基づき本発明について詳しく説明する
。かかる図面において、 % 1171は本発明を利用する変換器の一例の上面図
、 第2図は本発明を利用する変換器の側面図、第3図は環
状アレイの電極パターンを示す、第1図の変換器の底面
図、および 弗4図は本発明の第二の例を利用する変換器の側面図で
ある。
本発明によれば、環状アレイの外部環の横モードの振動
を実質的に削除することが望まれる。かかる結果を達成
するため、第1図に示す円形片の圧電体10を例えば半
導体ダイスのこぎりで、幾つかのサブエレメント12に
のこひきする。本発明の好ましい具体例において、サブ
エレメント12は実質上IE方形で、圧電体1oの高さ
くH)より実質的に短かい辺長さくW)を有する。実施
例として、J) Z T (鉛−ジルコネート−チタネ
ート)圧電体のPZ’r4組成を用いるとき、3MHz
医療超音波変換器に対しHは約20ミル(0,5mm)
およびWは約8ミル(0,2mm)であってよい。第2
図に示す如く、のこひき目(saw kerf )14
は[モ亀、体10の上面16から実質的に下の底面18
へ研ひている。しかしながら、本発明の好ましい具体例
において、のこひき目14は圧型2体10の底面18ま
て完全には延ひておらす、これによって圧電体10と電
極パターンの情造保や性を維持する。しかしながら、後
記で説明するように、以下に記載する好ましい方法に適
当な変化を加えて、のこひき目14を底面18まて延ひ
るようにすることは可能である。
のこひき目14をL面16を介して形成した徒、上面1
6のサブエレメント12を電気的に接続しなけれはなら
ない。この接続をなしうる方法は幾つかあるか、好まし
い方法ではのこひき目14に低粘度の非導電性エポキシ
を充填する。次に、好ましい具体例において、エポキシ
の表面上に二金属系をスパッタして上部箪、極20を形
成し、該除権はこれをアースに電気接続すると、RFシ
ールドとしても機能する。三金蟻系は当該分野で周知の
如く、−F地相に十分密着する第1金1萬、弔1金川と
第3金属間の結合を付与する弔2金属、および酸化に対
し比較的に抵抗性を有し、容易に)1ンダ付けしつる第
3金匡を備えている。本発明の好ましい具体例において
、第1金属はクロム、第2金属はニッケル、および!$
3全3金屈である。次に、例えば非導電4性充填エポキ
シの四分の一波もしくはそれ以」二の音響整合層22を
上g1≦′電極20の表面上に公知の方法および理由で
適用する。
底面18に所望の形状の電極24を形成する。
本発明の好ましい具体例において、電極24は第3図に
示すような環状アレイパターンの形状にある。本発明の
好ましい具体例において、導電性材料(例えば銅)の層
を圧電体10の底に適用する。
次に、レジスト材料の層を底電極のパターンの形状で棉
電性層にプリントし、次いで導電性1四の露出部をエツ
チングして、不要部を圧電体10に至るまで除去する。
音響裂地I疹26を底部、極パターン24に適用するか
、その目的は当該分野でよく知られている。自明の如く
、電極パターンの環状環の間に一定間隔で位置する最小
の電極間を選択して、2つの電極が同じサブエレメント
12に電圧を印加できないように保証する。これはWX
/Tより大きい間隔の?Ji I=間を用いることによ
り遂行することができる(辺長Wの正方形サブエレメン
トの場合)。
第4図において、本発明の他の具体例28か横断面で示
されている。この特殊な具体例において、圧電体30を
タイザーにかけてサブエレメント32を形成し、このと
きのこひき目34は四分の一彼長不整合層36まで完老
に達している。圧電体30そのものは、二分の一彼長厚
よりもむしろ約四分の一波長厚である。また同様に、四
分の一波長厚もしくはそれり、上の整合層38を圧電体
30の面40の′畝極39に適用する。不整合一36に
用いる特ボ材料としてZLの晋要インピーダンスを有す
るものを選択し、これに対し裏地1に)37(不整合l
tM36J二の)にあってはZBの音響インピーダンス
を有するものを選択し、これによって圧電体30から明
らかなように、不整合1−36への入力インピーダンス
がもたらされ、これは1ilii36か約四分の一波長
厚である場合の振動数に近い(ZL)2/ZBである。
圧電体30を介してサブエレメント32を不整合@36
まで完全にダイサーをかける場合、不整合@36は導電
性であることか好ましく、この結果不整合層36に後部
電極パターン41を形成しうる。ある特定の場合に、当
業者によって理解されるように、特定変換器設計の最適
化には、不整合@36が四分の一波長厚以外であること
が要求される。
ZLがZHに対し比較的大きくなるように選択すれば、
不整合@36へのインピーダンスは比較的大きくなる。
即ち、実質上老での音響エネルギーは不整合一36へよ
りはむしろ圧電体30の面40を介して伝送され、圧電
体は当業者にとって自明の如く、後部境43の反射係数
のサイン変化(s i gn cllange )に基
づき、四分の一波長共振モードで振動する。この具体例
に従って変換器10を峙造する有利な点は、圧箱、体3
0か一定朔ソの間に薄くなるので、個々のサブエレメン
ト32がもろくならないことである。
この特定具体例は、約半分波長厚の一片の圧電体30よ
りもむしろ約四分の一波長厚の一片の圧電体30を包含
するので、望ましくない混合振動モードを実質的に削除
するのに必要な1雷さ/[Ij比(H/’W)は、半分
波長尾片のIf電体30よりも異なる規則によって管理
される。従って、高さ/1J比か実16上約0.25〜
1の範囲に入らなければ、この特定具体例において混合
モートの操作は経験されない。即ち、個々のサブエレメ
ント32は約1.25の高さ/中圧を有することかでき
、これは第2図について説明した具体例よりも構造上伸
固なものにする。
特に弔2図に関し、その高さ/中圧(H/W)は実質上
2より大となるように選択される。特に、2.5の比率
か許容しうろことかわかった。
本発明は特に環状アレイ型装置での使用に退会するが、
直線または位相アレイ型、Ij f&にも使用すること
ができ、この場合、該工程で適用される小極パターンは
異なる。環状アレイ小極パターンか使用されているが、
これは本発明を説明するためのものである。当業者であ
れは、適当な位置に本発明を利用して、通常のビームモ
ードよりはむしろ“バーモードでエレメントが作動する
直線アレイを提供しうろことが理解されるだろう。特に
有効に使用しつる点は、バーモードHaが電気エネルギ
ーと音響エネルギーの間により大なる結合を受けること
であり、これは直線アレイまたは位相アレイに利点を付
与することができる。
本発明によれは、十分に整合して種々の深さで実質的に
等しい強度信号を付与することができ、且つ各エレメン
ト間に優れた振動数整合を有する、個々の環状エレメン
トを持つ環状アレイ句音波変伽器か偶成される。これに
よって、環状アレイ変換器に関しこれまで受けた問題点
は、実質的に削除される。加えて、本発明を採用すれば
、変換器の全てのエレメントに対し均一振動モードを持
つ医療超音波変換器をいずれの所望変換器幾何学形状(
例えば本明細書に記載の環状アレイ)にでも製造するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
弔1肉は本発明変換器の一例における圧電体の上面図、
第2図は第1図の変換器の側面図、第3図は第1図の変
換器における圧電体の底面図、および第4図は本発明変
換器の他の例の側面図であって、 10.30・・・IIm、体、12 、32・・・サブ
エレメント、14.34・・・のこひき目、20 、2
4 。 39.41・・・電極。 特許出願人 アドバンスト・テクノロジー・ラボラトリ
ーズ・インコーポレイテッド代理人弁理士 前出 葆 
外1名

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 山−片の圧電体から成り、該圧電体は付属する電極より
    小さいサブエレメントに細分化されており、これにより
    電極の形状または寸法よりはむしろサブエレメントの物
    理形状および寸法によってサブエレメントの振動モード
    を決定するようにしてなる改良超音波変換器。 (2)該変換器が環状アレイ変換器であり、サブエレメ
    ントか圧電体内に実質的に延びるが完全には延O・てい
    ないのこひき目によって区隔されている前記第1項記載
    の改良超音波変換器。 (3)のこひき目が非導電性杓料で充填され、圧電体と
    充填+A料の表面が導電性電極でカバーされている前記
    第2項記載の改良超音波変換器。 14)4市性電極か、圧電体表面上の第1金媚、該第1
    金属表面上の第2金属および該第2金属表面」二の第3
    金■からなる二金属系でj冑成される前記第3項記載の
    改良超音波変換器。 (5)第1金属かクロム、第2金1萬かニツケノペおよ
    び第3金属か銅である11X記弔4項記載の改良超音波
    変換器。 (6)該変換器か環状アレイ変換器であり、サブエレメ
    ントか圧電体内に完全に延びるのこひき目によって区隔
    されている前記弔1項記載の改良超音波変換器。
JP10736284A 1983-05-26 1984-05-25 振動モ−ドを改良した超音波変換器 Pending JPS605133A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US49836483A 1983-05-26 1983-05-26
US498364 1983-05-26

Publications (1)

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JPS605133A true JPS605133A (ja) 1985-01-11

Family

ID=23980778

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JP (1) JPS605133A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61170199A (ja) * 1985-01-21 1986-07-31 シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト 超音波変換器および超音波変換器システム
JP2021023395A (ja) * 2019-07-31 2021-02-22 キヤノンメディカルシステムズ株式会社 超音波プローブ及び超音波診断装置

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3807568A1 (de) * 1988-03-08 1989-09-21 Storz Karl Gmbh & Co Piezoelektrischer schallsender fuer therapeutische anwendungen
WO1991015090A1 (fr) * 1990-03-20 1991-10-03 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Sonde ultrasonique
US5297553A (en) * 1992-09-23 1994-03-29 Acuson Corporation Ultrasound transducer with improved rigid backing
US6685647B2 (en) * 2001-06-28 2004-02-03 Koninklijke Philips Electronics N.V. Acoustic imaging systems adaptable for use with low drive voltages
US8535228B2 (en) 2004-10-06 2013-09-17 Guided Therapy Systems, Llc Method and system for noninvasive face lifts and deep tissue tightening
US8444562B2 (en) 2004-10-06 2013-05-21 Guided Therapy Systems, Llc System and method for treating muscle, tendon, ligament and cartilage tissue
US10864385B2 (en) 2004-09-24 2020-12-15 Guided Therapy Systems, Llc Rejuvenating skin by heating tissue for cosmetic treatment of the face and body
US11883688B2 (en) 2004-10-06 2024-01-30 Guided Therapy Systems, Llc Energy based fat reduction
US20060111744A1 (en) 2004-10-13 2006-05-25 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for treatment of sweat glands
DE202005022028U1 (de) 2004-10-06 2012-07-09 Guided Therapy Systems, Llc System zur Ultraschallgewebebehandlung
JP2008522642A (ja) 2004-10-06 2008-07-03 ガイデッド セラピー システムズ, エル.エル.シー. 美容強化のための方法およびシステム
US9694212B2 (en) 2004-10-06 2017-07-04 Guided Therapy Systems, Llc Method and system for ultrasound treatment of skin
US8133180B2 (en) 2004-10-06 2012-03-13 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for treating cellulite
US9827449B2 (en) 2004-10-06 2017-11-28 Guided Therapy Systems, L.L.C. Systems for treating skin laxity
US8690779B2 (en) 2004-10-06 2014-04-08 Guided Therapy Systems, Llc Noninvasive aesthetic treatment for tightening tissue
US11235179B2 (en) 2004-10-06 2022-02-01 Guided Therapy Systems, Llc Energy based skin gland treatment
US11724133B2 (en) 2004-10-07 2023-08-15 Guided Therapy Systems, Llc Ultrasound probe for treatment of skin
US11207548B2 (en) 2004-10-07 2021-12-28 Guided Therapy Systems, L.L.C. Ultrasound probe for treating skin laxity
ES2571680T3 (es) 2008-06-06 2016-05-26 Ulthera Inc Sistema para tratamiento cosmético y formación de imágenes
US12102473B2 (en) 2008-06-06 2024-10-01 Ulthera, Inc. Systems for ultrasound treatment
JP2012513837A (ja) 2008-12-24 2012-06-21 ガイデッド セラピー システムズ, エルエルシー 脂肪減少および/またはセルライト処置のための方法およびシステム
US9510802B2 (en) 2012-09-21 2016-12-06 Guided Therapy Systems, Llc Reflective ultrasound technology for dermatological treatments
CN113648551B (zh) 2013-03-08 2025-03-25 奥赛拉公司 用于多焦点超声治疗的装置和方法
CA2944707C (en) 2014-04-18 2023-01-24 Ulthera, Inc. Band transducer ultrasound therapy
EP3338113B1 (en) 2015-11-24 2021-08-25 Halliburton Energy Services, Inc. Ultrasonic transducer with suppressed lateral mode
RU2720661C2 (ru) 2016-01-18 2020-05-12 Ультера, Инк. Компактное ультразвуковое устройство, содержащее кольцеобразную ультразвуковую матрицу, электрически соединенную по периферии с гибкой печатной платой, и способ сборки такого устройства
KR20230149878A (ko) 2016-08-16 2023-10-27 얼테라, 인크 이미징 오정렬을 감소시키도록 구성된 초음파 이미징 시스템, 초음파 이미징 모듈 및 이미징 오정렬을 감소시키는 방법
TW202327520A (zh) 2018-01-26 2023-07-16 美商奧賽拉公司 用於多個維度中的同時多聚焦超音治療的系統和方法
US11944849B2 (en) 2018-02-20 2024-04-02 Ulthera, Inc. Systems and methods for combined cosmetic treatment of cellulite with ultrasound

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4122725A (en) * 1976-06-16 1978-10-31 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Length mode piezoelectric ultrasonic transducer for inspection of solid objects
DE2829570C2 (de) * 1978-07-05 1979-12-20 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Ultraschallkopf
DE2929541A1 (de) * 1979-07-20 1981-02-05 Siemens Ag Ultraschallwandleranordnung
FR2485858B1 (fr) * 1980-06-25 1986-04-11 Commissariat Energie Atomique Procede de fabrication de transducteurs ultrasonores de formes complexes et application a l'obtention de transducteurs annulaires
US4434384A (en) * 1980-12-08 1984-02-28 Raytheon Company Ultrasonic transducer and its method of manufacture
FR2544577B1 (fr) * 1983-04-15 1987-11-20 Centre Nat Rech Scient Sonde ultrasonore a reseau de traducteurs et procede de fabrication d'une telle sonde

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61170199A (ja) * 1985-01-21 1986-07-31 シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト 超音波変換器および超音波変換器システム
JPH0553360B2 (ja) * 1985-01-21 1993-08-09 Siemens Ag
JP2021023395A (ja) * 2019-07-31 2021-02-22 キヤノンメディカルシステムズ株式会社 超音波プローブ及び超音波診断装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0142215A3 (en) 1987-03-11
EP0142215A2 (en) 1985-05-22

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