JPS6044096B2 - 移動台装置 - Google Patents
移動台装置Info
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- JPS6044096B2 JPS6044096B2 JP7420580A JP7420580A JPS6044096B2 JP S6044096 B2 JPS6044096 B2 JP S6044096B2 JP 7420580 A JP7420580 A JP 7420580A JP 7420580 A JP7420580 A JP 7420580A JP S6044096 B2 JPS6044096 B2 JP S6044096B2
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- moving table
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/40—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid
- F16J15/43—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid kept in sealing position by magnetic force
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/0032—Arrangements for preventing or isolating vibrations in parts of the machine
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/404—Screw bearings therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
- F16H2025/2445—Supports or other means for compensating misalignment or offset between screw and nut
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、案内手段に案内され一方向に移動可能な
る移動台を有する移動台装置に関する。
る移動台を有する移動台装置に関する。
送りねじ等の駆動手段により駆動され基台に設けた案
内手段に案内され一方向に移動可能とされた移動台を有
する移動台装置は、工作機械、測定器に多く用いられて
いる。 このような移動台装置の案内手段としては、す
ベリ案内またはころがり案内が一般に用いられているが
、従来のすベリ案内を用いた移動台装置は、移動台の移
動に対する案内面の相対精度および潤滑状態が均一とな
らず、一方ころがり案内を用いた移動台装置は、移動台
の移動に対する案内面の相対精度および使用する転動体
の寸法精度に変動が存在するため、いずれも移動台に正
確な作動特性を得ることは困難であつた。
内手段に案内され一方向に移動可能とされた移動台を有
する移動台装置は、工作機械、測定器に多く用いられて
いる。 このような移動台装置の案内手段としては、す
ベリ案内またはころがり案内が一般に用いられているが
、従来のすベリ案内を用いた移動台装置は、移動台の移
動に対する案内面の相対精度および潤滑状態が均一とな
らず、一方ころがり案内を用いた移動台装置は、移動台
の移動に対する案内面の相対精度および使用する転動体
の寸法精度に変動が存在するため、いずれも移動台に正
確な作動特性を得ることは困難であつた。
移動台の作業特性を特に考慮した案内手段としては、
相対運動する案内面の間に圧力を有する流体を供給しこ
の流体の静圧力により移動台を支承案内する静圧案内手
段も用いられている。
相対運動する案内面の間に圧力を有する流体を供給しこ
の流体の静圧力により移動台を支承案内する静圧案内手
段も用いられている。
この静圧案内手段は、移動台を或る面積を持つた案内
面に対する静圧力で支承するものであるので、案内面の
精度に関して平均効果が得られ、且つ、移動台の移動に
対する抵抗が流体の摩擦抵抗のみであるため移動台の摺
動低抗が小さく、また、その変動もほとんどないため、
正確な作動特性を必要とする移動台の案内手段としてす
ぐれた長所を有する。
面に対する静圧力で支承するものであるので、案内面の
精度に関して平均効果が得られ、且つ、移動台の移動に
対する抵抗が流体の摩擦抵抗のみであるため移動台の摺
動低抗が小さく、また、その変動もほとんどないため、
正確な作動特性を必要とする移動台の案内手段としてす
ぐれた長所を有する。
さらに、静圧案内手段は、相対移動する案内面の間に供
給する流体の圧力または流量を制御することにより、移
動台の支持剛性を所望の値にコントロールすることがで
きるという長所を有する。静圧案内手段に用いる流体と
しては、液体または気体が用いられ、一般に液体として
は油が、気体としては空気が用いられている。
給する流体の圧力または流量を制御することにより、移
動台の支持剛性を所望の値にコントロールすることがで
きるという長所を有する。静圧案内手段に用いる流体と
しては、液体または気体が用いられ、一般に液体として
は油が、気体としては空気が用いられている。
流体として油を用いた静圧案内手段は、通常、移動台装
置の近くに設けた油圧装置から加圧した油の供給を受け
るようにされており、油圧装置によつて加圧された油は
、一般に油温の温度上昇があり移動台装置の温度に変化
を与えるのて移動台装置に熱変位が生ずるという欠点が
ある。
置の近くに設けた油圧装置から加圧した油の供給を受け
るようにされており、油圧装置によつて加圧された油は
、一般に油温の温度上昇があり移動台装置の温度に変化
を与えるのて移動台装置に熱変位が生ずるという欠点が
ある。
このような移動台装置の熱変位を防ぐには、供給する油
の温度と移動台装置の温度に差がないことが必要である
が、供給する油の温度と移動台装置の温度を同一にする
ためには高価の冷却装置をもつた油温調整装置を必要と
するという欠点がある。また、油を加圧する油圧装置自
体が発熱源であるため、室温に対する影響も有り、移動
台の温度を均一とすることは困難である。一方、流体と
して空気を用いた静圧案内手段は、油を用いた静圧案内
手段の場合と異り、圧縮空気発生源を離れた場所に設け
た集中供給方式が一般に採用されており、常温の加圧空
気を得ることが容易であるため、使用流体である空気に
よつて移動台が熱変位するという問題はほとんどなく、
また、空気は油にくらべて粘度がきわめて小さいため移
動台の移動に対する抵抗や移動台の移動による粘性摩擦
からの熱の発生も無視し得る程小さいという利点を有す
るが、一般に移動台の支持剛性、負荷容量が小さく、空
気が圧縮性流体であるための応答遅れによるといわれて
いる自励振動が発生し易いという欠点がある。
の温度と移動台装置の温度に差がないことが必要である
が、供給する油の温度と移動台装置の温度を同一にする
ためには高価の冷却装置をもつた油温調整装置を必要と
するという欠点がある。また、油を加圧する油圧装置自
体が発熱源であるため、室温に対する影響も有り、移動
台の温度を均一とすることは困難である。一方、流体と
して空気を用いた静圧案内手段は、油を用いた静圧案内
手段の場合と異り、圧縮空気発生源を離れた場所に設け
た集中供給方式が一般に採用されており、常温の加圧空
気を得ることが容易であるため、使用流体である空気に
よつて移動台が熱変位するという問題はほとんどなく、
また、空気は油にくらべて粘度がきわめて小さいため移
動台の移動に対する抵抗や移動台の移動による粘性摩擦
からの熱の発生も無視し得る程小さいという利点を有す
るが、一般に移動台の支持剛性、負荷容量が小さく、空
気が圧縮性流体であるための応答遅れによるといわれて
いる自励振動が発生し易いという欠点がある。
空気を用いた静圧案内手段の負荷容量を向上させる目的
や剛性を向上させる目的で案内手段の案内面にポケット
を設けたり供給気体を制御する制御絞りを用いることも
提案されているが、静圧案内手段の案内面にポケットを
設けた静圧気体案内軸受および制御絞りを用いた静圧気
体案内軸受では、特に自励振動が発生し易いという欠点
があり、負荷容量、剛性の大きな静圧気体軸受の実用化
を困難なものとしていた。
や剛性を向上させる目的で案内手段の案内面にポケット
を設けたり供給気体を制御する制御絞りを用いることも
提案されているが、静圧案内手段の案内面にポケットを
設けた静圧気体案内軸受および制御絞りを用いた静圧気
体案内軸受では、特に自励振動が発生し易いという欠点
があり、負荷容量、剛性の大きな静圧気体軸受の実用化
を困難なものとしていた。
上記の説明は、静圧案内手段に用いる流体が液体の場合
には油を例にとり、気体の場合には空気を例にとつて説
明したが、他の液体または気体を用いても同様なことが
いえよう。
には油を例にとり、気体の場合には空気を例にとつて説
明したが、他の液体または気体を用いても同様なことが
いえよう。
この発明は、前記従来の移動台装置の欠点を解消すべく
なされたもので、その目的とするところは、移動台の自
励振動を抑止することによつて、剛性および負荷容量が
大きくとれ、正確な作動が可能な移動台を有する移動台
装置であつて、位置関係精度に悪影響を及ぼす熱変位の
ほとんどない移動台装置を提供するにある。
なされたもので、その目的とするところは、移動台の自
励振動を抑止することによつて、剛性および負荷容量が
大きくとれ、正確な作動が可能な移動台を有する移動台
装置であつて、位置関係精度に悪影響を及ぼす熱変位の
ほとんどない移動台装置を提供するにある。
この目的を達成するために、この発明は、移動台を静圧
案内手段により基台に支承すると共に、基台に所定の粘
度を有する液体を満たした凹所を設け、基台の凹所に遊
嵌する突部を移動台に設けて移動台と基台の間に液体の
薄膜を介在させ、この液体の薄膜のスクイズニダンピン
グ効果により移動台の自励振動を抑止することによつて
負荷容量、剛性が大きく作動特性の良い移動台装置を得
ることを可能としたものである。
案内手段により基台に支承すると共に、基台に所定の粘
度を有する液体を満たした凹所を設け、基台の凹所に遊
嵌する突部を移動台に設けて移動台と基台の間に液体の
薄膜を介在させ、この液体の薄膜のスクイズニダンピン
グ効果により移動台の自励振動を抑止することによつて
負荷容量、剛性が大きく作動特性の良い移動台装置を得
ることを可能としたものである。
次に、この発明の移動台装置の実施例を図面を参照して
説明する。
説明する。
基台１は、上部に開口を有し、縦断面、横断面ともコの
字状の断面とされている。
字状の断面とされている。
この基台１の長手方向の側壁２の内側面には、この内側
面と平行な案内面３を底面とし、案内面３と直交し互い
に平行な案内面４，５を側面とする角形の凹溝６が長手
方向に形成され、側壁２と対向する側壁７の内側面には
、凹溝６の案内面３と平行な案内面８を底面とし、凹溝
６の案内面４，５と平行な案内面９，１０を側面とする
角形の凹溝１１が長手方向に形成されている。案内面３
，４，５，８，９，１０の夫々には、凹部として形成さ
れたポケット１２，１３，１４，１５，１６，１７が所
定の位置に所要数設けられており、このポケット１２，
１３，１４，１５，１６，１７の夫々に基台１に穿設さ
れた気体通路１８，１９，２０，２１，２２，２３が開
口している。
面と平行な案内面３を底面とし、案内面３と直交し互い
に平行な案内面４，５を側面とする角形の凹溝６が長手
方向に形成され、側壁２と対向する側壁７の内側面には
、凹溝６の案内面３と平行な案内面８を底面とし、凹溝
６の案内面４，５と平行な案内面９，１０を側面とする
角形の凹溝１１が長手方向に形成されている。案内面３
，４，５，８，９，１０の夫々には、凹部として形成さ
れたポケット１２，１３，１４，１５，１６，１７が所
定の位置に所要数設けられており、このポケット１２，
１３，１４，１５，１６，１７の夫々に基台１に穿設さ
れた気体通路１８，１９，２０，２１，２２，２３が開
口している。
基台の凹溝６，１１の下方には、案内面３，８と平行な
側壁２，７の内側面と、案内面４，５，９，１０と平行
な軸方向に延びる底面２４と、基台１の長手方向端部の
壁２５，２６とによつて凹所２７が形成されている。
側壁２，７の内側面と、案内面４，５，９，１０と平行
な軸方向に延びる底面２４と、基台１の長手方向端部の
壁２５，２６とによつて凹所２７が形成されている。
移動台２８は長手方向の寸法が基台の壁２５，２６の間
隔より小さいと寸法され、基台の凹溝６，１１に対応す
る長手方向の全長に及ぶ突起２９，３０と、基台の凹所
２７に対応する長手方向の全長に及ぶ突部３１とを有し
、基台１に遊嵌されている。
隔より小さいと寸法され、基台の凹溝６，１１に対応す
る長手方向の全長に及ぶ突起２９，３０と、基台の凹所
２７に対応する長手方向の全長に及ぶ突部３１とを有し
、基台１に遊嵌されている。
移動台の突起２９は、基台の案内面３，４，５と平行で
この案内面から僅かに離間した受面３２，３３，３４を
夫々有する角部の突起で、受面３２，３３，３４と、こ
れと対向する基台の案内面３，４，５夫々の間には狭い
隙間が形成されている。
この案内面から僅かに離間した受面３２，３３，３４を
夫々有する角部の突起で、受面３２，３３，３４と、こ
れと対向する基台の案内面３，４，５夫々の間には狭い
隙間が形成されている。
移動台２８のもう一方の突起３０ついても同様で、突起
３０は、基台の案内面８，９，１０と平行でこの案内面
から僅か離間した受面３５，３６，３７を夫々角する角
形の突起で、受面３５，３６，３７と、これと対向する
基台の案内面８，９，１０夫々の間には狭い隙間が形成
されている。移動台の突起３１は、基台の底面２４と平
行で僅か離間した対向面３８と、基台の側壁２，７の内
側面と平行て僅か離間した対向面３９，４０を夫々有す
る突出部で、対向面３８と、これと対向する基台の底面
２４との間および移動台の対向面３９，４０と、これと
対向する基台の側壁２，７夫々の間には狭い隙間が形成
されている。
３０は、基台の案内面８，９，１０と平行でこの案内面
から僅か離間した受面３５，３６，３７を夫々角する角
形の突起で、受面３５，３６，３７と、これと対向する
基台の案内面８，９，１０夫々の間には狭い隙間が形成
されている。移動台の突起３１は、基台の底面２４と平
行で僅か離間した対向面３８と、基台の側壁２，７の内
側面と平行て僅か離間した対向面３９，４０を夫々有す
る突出部で、対向面３８と、これと対向する基台の底面
２４との間および移動台の対向面３９，４０と、これと
対向する基台の側壁２，７夫々の間には狭い隙間が形成
されている。
また、基台１には、基台の案内面３，４，５，８，９，
１０と軸線を平行とされた送りねじ４１が軸受４２，４
３により回転自在に支承されており、この送りねじ４１
には移動台２８に固定され奢゛；罎４４ごエニ―受，３
０間．。配された軸受間座、４７は、軸受４２，４３の
外輪を固定する外蓋、４８は、軸受４２，４３の内輪を
固定する軸受ナットである。
１０と軸線を平行とされた送りねじ４１が軸受４２，４
３により回転自在に支承されており、この送りねじ４１
には移動台２８に固定され奢゛；罎４４ごエニ―受，３
０間．。配された軸受間座、４７は、軸受４２，４３の
外輪を固定する外蓋、４８は、軸受４２，４３の内輪を
固定する軸受ナットである。
制御絞り４９，５０，５１は、夫々弁体である制御薄膜
５２，５３または５４により位切られ、導管５５により
圧縮空気源５６と接続された２つの減圧室５７，５８ま
たは５９，６０もしくは６１，６２を有し、この減圧室
５７，５８，５９，６０，６１，６２には、制御薄膜５
２，５３または５４と狭い隙間を介して対向する排出口
６３，６４，６５，６６，６７、または６８を有する。
５２，５３または５４により位切られ、導管５５により
圧縮空気源５６と接続された２つの減圧室５７，５８ま
たは５９，６０もしくは６１，６２を有し、この減圧室
５７，５８，５９，６０，６１，６２には、制御薄膜５
２，５３または５４と狭い隙間を介して対向する排出口
６３，６４，６５，６６，６７、または６８を有する。
制御絞り４９の排出口６３は、導管６９により基台の気
体通路１９に接続され、制御絞り４９の排出口６４は、
導管７０により基台の気体通路２０に接続されている。
制御絞り５０，５１についても同様であつて、制御絞り
５０の排出口６５は基台の気体通路１８に、制御絞り５
０の排出口６６は基台の気体通路２１に、制御絞り５１
の排出口６７は基台の気体通路２３に、制御絞り５１の
排出口６８は基台の気体通路２２に、夫々接続されてい
る。圧縮空気源５６から供給された圧縮空気は、導管５
５を通つて制御絞りの減圧室５７，５８，５９，６０，
６１，６２に入り、夫々、減圧室の弁体である制御薄膜
５２，５３または５４と、これと対向する排出口６３，
６４，６５，６６，６７または６８との隙間を通つて減
圧され、導管６９，７０，７１，７２，７３，７４を経
てポケット１２，１３，１４，１５，１６，１７に入り
、案内面３，４，５，６，７，８と、これと対向する受
面３２，３３，３４，３５，３６，３７の間を通つて排
出される。
体通路１９に接続され、制御絞り４９の排出口６４は、
導管７０により基台の気体通路２０に接続されている。
制御絞り５０，５１についても同様であつて、制御絞り
５０の排出口６５は基台の気体通路１８に、制御絞り５
０の排出口６６は基台の気体通路２１に、制御絞り５１
の排出口６７は基台の気体通路２３に、制御絞り５１の
排出口６８は基台の気体通路２２に、夫々接続されてい
る。圧縮空気源５６から供給された圧縮空気は、導管５
５を通つて制御絞りの減圧室５７，５８，５９，６０，
６１，６２に入り、夫々、減圧室の弁体である制御薄膜
５２，５３または５４と、これと対向する排出口６３，
６４，６５，６６，６７または６８との隙間を通つて減
圧され、導管６９，７０，７１，７２，７３，７４を経
てポケット１２，１３，１４，１５，１６，１７に入り
、案内面３，４，５，６，７，８と、これと対向する受
面３２，３３，３４，３５，３６，３７の間を通つて排
出される。
基台の案内面３，４，５，６，７，８と、これと対向す
る移動台の受面３２，３３，３４，３５，３６，３７の
間に圧縮空気を供給することにより静圧気体案内軸受が
構成され、移動台２８は、基台１に静圧的に支承される
。
る移動台の受面３２，３３，３４，３５，３６，３７の
間に圧縮空気を供給することにより静圧気体案内軸受が
構成され、移動台２８は、基台１に静圧的に支承される
。
この静圧気体案内軸受は、制御絞り４９，５０または５
１よりの供給空気が基台の互いに対向する案内面４，５
または３，８もしくは９，１０に供給されており、移動
面２８に外力等が作用して移動台２８が変位し静圧軸受
の軸受隙間が変化すると、その変化に対応して対向する
静圧軸受に圧力差が生じ、制御絞りの弁体である制御薄
膜５２，５３または５４は、静圧軸受の圧力差に対応し
て変位し、基台の互いに対向する案内面４，５または３
，８もしくは９，１０に供給する空気量を移動台２８の
変位を妨げるように変化させるので、移動台２８は、高
い剛性で基台１に支承可能となる。
１よりの供給空気が基台の互いに対向する案内面４，５
または３，８もしくは９，１０に供給されており、移動
面２８に外力等が作用して移動台２８が変位し静圧軸受
の軸受隙間が変化すると、その変化に対応して対向する
静圧軸受に圧力差が生じ、制御絞りの弁体である制御薄
膜５２，５３または５４は、静圧軸受の圧力差に対応し
て変位し、基台の互いに対向する案内面４，５または３
，８もしくは９，１０に供給する空気量を移動台２８の
変位を妨げるように変化させるので、移動台２８は、高
い剛性で基台１に支承可能となる。
基台１に設けた凹所２７には、液体７５としてタービン
油が所定量満たされており、基台の側壁２，７と、これ
と対向する移動台の対１；Ｊ面３９，４０および、基台
の底面２４と、これと対向する対向面３８夫々の間には
、液体７５の薄膜が形成されている。
油が所定量満たされており、基台の側壁２，７と、これ
と対向する移動台の対１；Ｊ面３９，４０および、基台
の底面２４と、これと対向する対向面３８夫々の間には
、液体７５の薄膜が形成されている。
この液体７５の薄膜は、移動台２８の自励振動に対し、
その速度に比例した抑止力が得られるスクイズ・ダンピ
ング効果を有するような膜厚を有している。移動台の突
部３１には、移動台２８の長手方向の全長に亘つて溝７
６が設けられている。
その速度に比例した抑止力が得られるスクイズ・ダンピ
ング効果を有するような膜厚を有している。移動台の突
部３１には、移動台２８の長手方向の全長に亘つて溝７
６が設けられている。
この溝７６は、移動台２８の移動による液体７５の移動
を容易とするもので、この溝７５により移動台２８が高
速で移動しても液体７５の液面は一定に保たれる。この
溝７６は、移動台２８によつて仕切ら・れた移動台２８
の移動方向の前後の液体７５を互いに移動可能に連通し
ておけばよいので基台１の側に設けることもできる。
を容易とするもので、この溝７５により移動台２８が高
速で移動しても液体７５の液面は一定に保たれる。この
溝７６は、移動台２８によつて仕切ら・れた移動台２８
の移動方向の前後の液体７５を互いに移動可能に連通し
ておけばよいので基台１の側に設けることもできる。
なお、移動台２８の移動速度が遅い場合にはこの溝７６
は特に設けなくても良い。この実施例では、基台１に案
内面３，４，５および８，９，１０を有する角形の凹溝
６，１１を設け、移動台２８に受面３２，３３，３４お
よび３５，３６，３７を有する突起２９，３０を設けた
ものを示したが、基台１の側に角形の突起を設け、移動
台２８の側にこれと対応する角形の凹溝を設けた構成と
しても良いことはもちろんである。
は特に設けなくても良い。この実施例では、基台１に案
内面３，４，５および８，９，１０を有する角形の凹溝
６，１１を設け、移動台２８に受面３２，３３，３４お
よび３５，３６，３７を有する突起２９，３０を設けた
ものを示したが、基台１の側に角形の突起を設け、移動
台２８の側にこれと対応する角形の凹溝を設けた構成と
しても良いことはもちろんである。
また、この実施例では、圧縮空気を基台１の側より供給
したものを示したが、移動台２８の側から圧縮空気を供
給するようにしても良い。
したものを示したが、移動台２８の側から圧縮空気を供
給するようにしても良い。
この場合は、移動台２８の受面にポケットを設け、この
ポケットに圧縮空気を供給する気体通路を開口させて設
け、制御絞りよりの導管をこの気体通路の接続すればよ
い。この実施例の移動台装置の寸法は、軸方向の長さが
４１０Ｗｒｆｎ１受面３２，３５の幅は５−、受面３３
，３４，３６，３７の幅は３５Ｔ！Ｒｌｎｌ対向面３８
の幅は１４−、対向面３９，４０の垂直方向の長さは６
０７０Ｆ７！となつている。
ポケットに圧縮空気を供給する気体通路を開口させて設
け、制御絞りよりの導管をこの気体通路の接続すればよ
い。この実施例の移動台装置の寸法は、軸方向の長さが
４１０Ｗｒｆｎ１受面３２，３５の幅は５−、受面３３
，３４，３６，３７の幅は３５Ｔ！Ｒｌｎｌ対向面３８
の幅は１４−、対向面３９，４０の垂直方向の長さは６
０７０Ｆ７！となつている。
そして静圧空気軸受の隙間は０．０１５ｗｒＩｎとなつ
ており、液体を介在させる部分の隙間は０．０３０ｍ１
となつている。
ており、液体を介在させる部分の隙間は０．０３０ｍ１
となつている。
基台の凹所２７に満す油はタービン油（３２タービン油
）で、粘性係数がｐ＝７．２×１０−７ｋ９Ｓ′ｄのも
のを使用した。
）で、粘性係数がｐ＝７．２×１０−７ｋ９Ｓ′ｄのも
のを使用した。
（これは空気の粘性係数の３９００倍である。）以上の
ように構成したこの発明の移動台装置は、移動台を静圧
気体案内手段により基台に支承したので、移動台の案内
精度に平均効果が得られ精密な案内が可能となり、また
、移動台が気体を介して基台に支承されるため移動台の
摺動抵抗がきわめて小さく、摺動抵抗の変動および移動
台の移動による熱の発生も無視し得るものであり、静圧
気体案内に供給する気体に常温のものが得易いので移動
台に熱変位のほとんど生じない移動台装置を得ることが
可能となり、また、移動台の移動方向と平行な面を有す
るの基台の凹所に液体を所定量満たすことによつて移動
台の移動方向と平行な基台の凹所の面と、この面と対向
する移動台の対向面との間に液体の薄膜を形成し、この
薄膜のスクイズ・ダンピング効果により移動台の自励振
動を抑止したので、正確な作動が可能で、熱変位による
関係位置の変化することのない精密な移動台装置が得ら
れるという効果を有する。
ように構成したこの発明の移動台装置は、移動台を静圧
気体案内手段により基台に支承したので、移動台の案内
精度に平均効果が得られ精密な案内が可能となり、また
、移動台が気体を介して基台に支承されるため移動台の
摺動抵抗がきわめて小さく、摺動抵抗の変動および移動
台の移動による熱の発生も無視し得るものであり、静圧
気体案内に供給する気体に常温のものが得易いので移動
台に熱変位のほとんど生じない移動台装置を得ることが
可能となり、また、移動台の移動方向と平行な面を有す
るの基台の凹所に液体を所定量満たすことによつて移動
台の移動方向と平行な基台の凹所の面と、この面と対向
する移動台の対向面との間に液体の薄膜を形成し、この
薄膜のスクイズ・ダンピング効果により移動台の自励振
動を抑止したので、正確な作動が可能で、熱変位による
関係位置の変化することのない精密な移動台装置が得ら
れるという効果を有する。
また、移動台の移動方向と平行な基台の凹所の面と、こ
の面と対向する移動台の対向面との間に液体の薄膜を形
成することにより、移動台の自励振動が有効に抑止され
るので、従来は自励振動の発生のため静圧気体案内の案
内面にポケットを設けたり供給気体を制御する制御絞り
を用いることが出来なかつたが、この発明の移動台装置
では、静圧気体案内の案内面にポケットを設けたり供給
気体を制御する制御絞りを用いることがてき、負荷容量
、剛性が大きな移動台装置を得ることができ、案内面に
ポケットを設けこのポケットに供給する気体を制御絞り
により制御したものにあつては負荷容量、剛性がきわめ
て大きい移動台装置を得ることができるという効果を有
する。
の面と対向する移動台の対向面との間に液体の薄膜を形
成することにより、移動台の自励振動が有効に抑止され
るので、従来は自励振動の発生のため静圧気体案内の案
内面にポケットを設けたり供給気体を制御する制御絞り
を用いることが出来なかつたが、この発明の移動台装置
では、静圧気体案内の案内面にポケットを設けたり供給
気体を制御する制御絞りを用いることがてき、負荷容量
、剛性が大きな移動台装置を得ることができ、案内面に
ポケットを設けこのポケットに供給する気体を制御絞り
により制御したものにあつては負荷容量、剛性がきわめ
て大きい移動台装置を得ることができるという効果を有
する。
さらに、この移動台装置は、基台に設けた凹所に液体を
所定量満たすのみで基台と移動台との間に液体の薄膜が
形成されるものであるので、装置が簡単であり、取扱い
および保守も容易であるという効果も有する。
所定量満たすのみで基台と移動台との間に液体の薄膜が
形成されるものであるので、装置が簡単であり、取扱い
および保守も容易であるという効果も有する。
第１図は、この発明の移動台装置の一実施例を示す縦断
面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ線断面図に説明のため
流体配管の系統図を付加した図である。 １・・・・・・基台、３，４，５，８，９，１０・・・
・・・案内面、６，１１・・・・・・凹溝、１２，１３
，１４，１５，１６，１７・・・・・ポケット、１８，
１９，２０，２１，２２，２３・ ・・気体通路、２７
・・・・・凹所、２８・・・・・移動台、２９，３０・
・・・・・突起、３１・・・・突部、３２，３３，３４
，３５，３６，３７・・受面、３８，３９，４０・・・
・・対向面、４９，５０，５１・・・・・制御絞り、５
６・・・・・・圧縮空気源、７５・ ・・液体。
面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ線断面図に説明のため
流体配管の系統図を付加した図である。 １・・・・・・基台、３，４，５，８，９，１０・・・
・・・案内面、６，１１・・・・・・凹溝、１２，１３
，１４，１５，１６，１７・・・・・ポケット、１８，
１９，２０，２１，２２，２３・ ・・気体通路、２７
・・・・・凹所、２８・・・・・移動台、２９，３０・
・・・・・突起、３１・・・・突部、３２，３３，３４
，３５，３６，３７・・受面、３８，３９，４０・・・
・・対向面、４９，５０，５１・・・・・制御絞り、５
６・・・・・・圧縮空気源、７５・ ・・液体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 特定の一つの軸線に沿つて相対的移動可能な移動台
を具えた移動台装置において、前記軸線と夫々平行で且
互いに平行な対をなす案内面を形成する軸方向の凹溝ま
たは突起を互いに対向する測壁の内側面に形成し該凹溝
または突起の下方に前記軸線と平行且軸方向に延びる底
面を形成する凹所を設けた基台と、前記基台の凹溝また
は突起の案内面の夫々に僅かに離間して対向し該案内面
との間に加圧気体を供給することによつて静圧気体軸受
を形成する受面を設けた突起または凹溝を有し更に前記
基台の凹所の底面および側壁の内側面の夫々に僅かに離
間して対向し該底面および側壁の内側面との間に液体を
介在させることにより液体の薄膜を形成する対向面を設
けた突部を有する移動台とを具え、前記基台または移動
台は前記基台の案内面と前記移動台の受面のいずれかの
面に開口する気体通路を一方の端部に有し、該気体通路
の他の一方の端部は加圧気体供給源に接続され、前記基
台の凹所には液体が満たされてなり、前記基台の凹所と
前記移動台の突部との間に形成された液体の薄膜のスク
イズダンピング効果によつて静圧気体軸受の自励振動を
抑止したことを特徴とする移動台装置。 ２ 前記基台の案内面または前記移動台の受面は前記気
体通路の開口部に凹所として形成されたポケットを有し
ている、前記特許請求の範囲第１項記載の移動台装置。 ３ 前記基台の案内面と、これと対向する前記移動台の
受面との間に供給される加圧気体は互いに対向する一対
の静圧軸受の両軸受間隔の差による背圧によつて変化す
る弁体により各対向する静圧軸受面の流体供給量を調整
する制御絞りにより制御された加圧気体である、前記特
許請求の範囲第１項または第２項記載の移動台装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7420580A JPS6044096B2 (ja) | 1980-06-04 | 1980-06-04 | 移動台装置 |
| US06/268,289 US4517852A (en) | 1980-06-04 | 1981-05-29 | Carriage apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7420580A JPS6044096B2 (ja) | 1980-06-04 | 1980-06-04 | 移動台装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS571636A JPS571636A (en) | 1982-01-06 |
| JPS6044096B2 true JPS6044096B2 (ja) | 1985-10-01 |
Family
ID=13540443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7420580A Expired JPS6044096B2 (ja) | 1980-06-04 | 1980-06-04 | 移動台装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6044096B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4799998A (en) * | 1983-08-01 | 1989-01-24 | Albany International Corp. | Papermachine clothing |
| GB0505798D0 (en) * | 2005-03-22 | 2005-04-27 | Wardle Frank P | Squeeze film damper for aerostatic slides and rotary tables |
| JP2008128401A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Fanuc Ltd | 防水・防塵構造 |
-
1980
- 1980-06-04 JP JP7420580A patent/JPS6044096B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS571636A (en) | 1982-01-06 |
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