JPS6039510A - 液面検出素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、導電性もしくは絶縁性液体の液面を幅広い使
用温度範囲で検出応答性がよく、長寿命の液面検出素子
に関するものである。

従来から、液体中と気体中の放熱係数の違いにより生ず
る温度差を利用して液面を検出する液面検出素子は広く
知られており、例えばサーミスタに直接通電して発熱さ
せ、そのサーミスタを直接液体に接触させて、空気中と
液体中の放熱係数の差による電気抵抗の変化を検出する
ものが知らｉｔでいる。しかしながら、サーミスタを直
接液体に接触させる従来の素子は、サーミスタの腐食、
不純物付着、摩耗等による経時変化が大きく、しかも導
電性液体の液面検出には利用できなし）ものであった。

本発明は、これらの欠点を解決するためになされたもの
で、幅広い使用温度範囲で導電性、絶縁性を問わず、液
体の液面を応答性よく、長時間にわたって安定に検出す
ることを目的とするものである。

本発明の第２の目的は、連続的もしくは段階的な液面検
出をｌｌｊｌ便に行うことにある。

すなわち、本発明の第１の発明は、電気絶縁性セラミッ
ク体と、該電気絶縁性セラミック体に密接して設けられ
るヒータと、該ヒータＧこ隣接して設けられる測温素子
と、該ヒータと該測温素子とに接続される導体路と、該
導体路の所定部分とヒータと測温素子とを被覆し且つ電
気絶縁性ゼラミツク体の少なくとも一部に密着されてい
るセラミック被覆層とを備えている液面検出素子であり
、第２の発明は、電気絶縁性セラミック体と、互いに類
似する温度特性を有する測温素子および温度補償用素子
の少なくとも一対と、該素子のそれぞれに接続された導
体路と、少なくとも該測温素子の全体と該導体路の一部
分とを被覆し且つ該電気絶縁性セラミック体の少なくと
も一部に密着されているセラミック被覆層とを備えてい
る液ｍ１検出素子である。

本発明の詳細を以下に説明する。

まず、第１の発明は、液体中と気体中の放熱係数の違い
によりヒータで加熱される測温素子に生ずる温度差を電
圧もしくは電流の差として出力し液面を検出することを
原理とするものである。

従って、本発明においては、電気絶縁性セラミック体、
セラミック被覆層等の液面検出素子の各構成材料は耐熱
衝撃性を有することが好ましく、また電気絶縁性が保証
される程度においてヒータと測温素子とはできる限り門
ｉ接されていることが好ましい。すなわち、測温素子は
、ヒータが設けられる電気絶縁性セラミンク体上に該ヒ
ータに近接して設けられてもよく、ヒータの上に電気絶
縁材を介在して設けられてもよい。また、電気絶縁性セ
ラミック体に設けられるヒータは測温素子を加熱するも
のであるので、該電気絶縁性セラミック体は熱伝導がよ
い材質で、しかも熱抵抗が小さい構成とすることが好ま
しいっすなわち、ヒータは電気絶縁性セラミック体の表
面に密着して設けられたり、あるいは電気絶縁性セラミ
ック体中に設けられてもよい。

測温素子と、ヒータと、導体路の所定部分とを被覆する
セラミック被覆層は、導電性もしくは絶縁性のいずれの
検出液体に対しても少なくとも測温素子と検出液体とを
電気絶縁すると共に、耐蝕性を有する材質から構成され
る。また、このセラミック被覆層は前記の電気絶縁性セ
ラミック体と同様に熱伝導に優れしかも熱抵抗が小さい
構成とすることが好ましい。セラミック被覆層は、測温
素子とヒータとを検出液体と接触させないために設けら
れるので、電気絶縁性セラミック体の少なくとも一部に
封着されている必要がある。熱抵抗が小さく且つ小型化
するためには、セラミ２ツク被覆層が、電気絶縁性セラ
ミック体上に設けられた測温素子、ヒータとそれらに接
続されている導体路の一部とを密着して被覆することが
好ましい。測温素子は、サーミスタ、半導体等の感温素
子が用いられ、印刷法、スパッタリング蒸着等によって
形成されたものあるいは個別部品を用いてもよい。また
、液面の各レベルを段階的に検出するには、測温素子が
複数個用いられるが、この場合には複数個の測温素子を
直線状に設けることが好ましいうまた、測温素子は液面
検出素子の先端、すなわち、セラミック被覆層で覆われ
た電気絶縁性セラミック体の検出される液面側の端部か
ら５−以上離間して設けることが好ましい。この理由は
、液面検出素子の先端が液面から気中に曝されたとき、
液面検出素子の先端に液滴が残存すると測温素子の温度
上昇を妨害して応答時間に遅延をきたすためである。

また、検出液滴が検出素子面に残存しないようにするた
め、あるいは検出液体中の不純物等が検出素子表面に付
着することを防止するために、本発明の液面検出素子の
表面に釉薬、ガラス、プラスチック等をコーテングして
もよい。

本発明の液面検出素子を広い温度範囲の液体に適用する
には、湿度補償用素子をヒータの熱影響がない部分の電
気絶縁性セラミック体あるいはセラミック被覆層に設け
ることが好ましい。なお、抵抗、電位差もしくは起電力
等に関するこの温度補償用素子の温度特性は、測温素子
の温度特性と類似していることが好ましい。

次に本発明の第２の発明について説明すると、第１の発
明と異なる点は、第１の発明のヒータの機能を、測温素
子の自己発熱によって達成している点が異なるものであ
って、その他の構成および目的はほぼ第１の発明と同じ
であるので詳細は省略する。

本発明の実施例を第１図から第１８図を用いて説明する
。

第１図Ｃａ）に示すように電気絶縁性セラミックス体と
して用いるアルミナ磁器板１上に、スクリーン印刷法に
より銀−パラジウム導体ペーストで電極２，２′、導体
路８、電源電圧端子４、信号電圧端子５および接地端子
６を印刷し、乾燥後大気中、８５０°Ｃで焼成した。同
様に酸化ルテニウム抵抗体ペーストでヒータ７を印刷し
、乾燥後大気中８５０°Ｃで焼成した。次に測温素子と
してサーミスタチップ８を電極２，２／に銀ロウ付けし
、セラミックス被Ｍ層として、アルミナ磁器板１′にＢ
ａＯ−ＰｂＯ−Ｓｉｎ、　−ＺｒＯ２系ガラス粉末とア
クリル系樹脂粉末とテルピネオールとを２０−１：１０
の重量比で混合したペーストを塗布し、８０°Ｃで１０
分間乾燥したものを積層し大気中８５０°Ｃで焼成した
。この液面検出素子ではサーミスタチップの端面は検出
素子先端よりＱｍｔｑｇして設けである。

この液面検出素子のヒータと測温素子との電気的接続法
を第１図（ｂ）に示す。第１図（ｂｌに記載したヒータ
７の抵抗は８０Ω、サーミスタ１１の抵抗は２５°Ｃで
８１０にΩであり、サーミスタ定数は４５００にであっ
た。

本発明の電気絶縁性セラミック体としては、第１図１ａ
ｌのアルミナ磁器板に限定されるものではなく、ジルコ
ニア、シリコンナイトライド、シリカ、ムライト、ベリ
リア、コージェライト、結晶化ガ、ラス等の熱伝導率の
高い電気絶縁性セラミック材料が好ましく、これらのセ
ラミック材料の焼成体もしくはグリーンシートを使用す
ることができ、さらには、これらの焼成体、グリーンシ
ート上に電気絶縁性セラミック材料をスクリーン印刷し
たもの、もしくは蒸着法、スパッタリング法、イオンブ
レーティング法またはＣＶＤ法等によって電気絶縁性セ
ラミック材料の薄膜を形成したものなどを使用すること
ができる。

本発明のヒータ材料としては、第１図１ａｌの酸イツト
リウムに限定されるものではなく、タングステン、モリ
ブデン、白金、銀−パラジウム、ニッケル、ランタンポ
ライド、イツトリウムポライド、カルシウムポライド、
ポライド、稀土類硼素化物、ニクロム、タングステンカ
ーバイド等の金属もしくは全科化合物が好ましく、例え
ば、これらの金属もしくは化合物をペースト状にして、
あるいはこれらの金属もしくは化合物の粉末と該電気絶
縁性セラミック材料の粉末との混合物をペースト状にし
てスクリーン印刷する厚膜形成法、もしくは真空蒸着法
＼、イオンプレーテング法またはスパッタリング法、Ｃ
ＶＤ法等の薄膜形成法で本発明のヒータを形成する。ヒ
ータの容量としては１０　ｍＷ〜ＩＯＷが好ましい。

本発明の測温素子としては、第１１ｍ（ａ＋のサーミス
タチップの他に例えばＩｎ　、　Ｃｏ　、　Ｎｉ　、　
Ｆｅなどの遷移金属の酸化物またはＳｉＯｒ　Ｔｉ０Ｂ
などの焼結体よりなるサーミスタもしくはＢａＴｉ０．
または（Ｂａ　、　Ｓｒ　）　Ｔｉｅ、または（Ｂａ　
＋　ｐｂ　）　Ｔ１０８などの焼結体よりなる正特性サ
ーミスタもしくは酸化バナジウム系の焼結体よりなるＯ
ＴＲ等の温度抵抗変化の大きい感温半導体、もしくはＳ
ｉ、　Ｇｅ　、　ＧａＡＳ　ｌＣｄ５　、　ＺｎＯなど
に多量の不純物を加えないで用いる真性半導体、もしく
はｓｉ、　、　ＧａＡｓなどの半導体を用いたダイオー
ドまたはトランジスタなどの接合素子もしくは銅−コン
スタンクン、鉄−コンスタンタン、クロメル−アルメル
、クロメル−コンスタンタンなどの熱電対が好ましいも
のである。

これらの測温素子材料をチップ状あるいはペースト状に
し、スクリーン印刷法あるいは真空蒸着法、スパッタリ
ング法、イオンプレーテング法、ＣＶＤ法などにより形
成することができる。

また本発明の導体路としては第１図（ａ）の銀ノぐラジ
ウムの他に銅、タングステン、モリブデン、白金、金、
ニッケルなどをペースト状にしてスクリーン印刷したも
の・、もしくは真空前着またはスパッタリング、イオン
プレーテング法、ＣＶＤ法により形成したものが好まし
いものである。

本発明のセラミックス被覆層は、第１図（川のアルミナ
磁器板の他に、セラミックス板で、前記電気絶縁性セラ
ミックス体との接触面にペースト状のガラスを塗布した
もの、もしくはセラミックス材料をスクリーン印刷した
印刷膜、もしくはそのセラミックスグリーンシート、も
しくは蒸着法、イオンプレーテング法、スパッタリング
法またはＣＶＤ法によって形成されたセラミックスの薄
膜などが好ましい。そしてセラミックス被覆層の厚さは
１μ〜１ｍ力りが好ましい。

また本発明において、ヒータと測温素子との電気的接続
法は、第１開山）に示すような１端子共通、２電圧端子
法の他に第２図に示すような並列法あるいは第８図に示
すような完全独立配線法あるい、は第４図に示すような
ヒータで半導体素子を分圧する方法などが好ましく、選
択して使用することができる。

第１図ｆａｌの液面検出素子を用いて印加電圧１２Ｖ１
分圧抵・抗１００　ＫＱとし、２５°Ｃで水面検出を行
ったときの測定回路を第５図（ａ）に、応答性の結果を
第５図（ｂ）に示ずつ液体検出電圧を８．７ｖ、気体検
出電圧を８．７■と設定したとき、第５図＋ｂ）の結果
では、測温素子が気体中にあり出力電圧が０．８ｖで一
定な状態から測温素子が液体中に導入されると直ちに出
力電圧が上昇し８．７■になるまでの時間が液体検出応
答時間に相当する。

次に、測温素子が液体中にあり出力電圧が６．６■で飽
和した状態から、測温素子が気体中に導入されると直ち
に出力電圧が下がり３．７ｖになるまでの時間が気体検
出応答時間に相当する。したがって、液体検出応答時間
は約０．７秒、気体検出応答時間は約５秒になり応答性
が優れ、特に気体検出応答時間が従来の液面検出素子に
比べ極めて短かく、測温素子にヒータを瞬接させた本発
明の特長が明らかになった。

さらに、極めて短い応答時間で検出するためには検出素
子に耐熱衝撃性が要求されるので、第５図（ｂｌの結果
よ、り本発明の液面検出素子が耐熱衝撃性に優れたもの
であることも明らかになった。

また本発明の液面検出素子において、電気紬縁性セラミ
ックス体に密接し且つ実質的にヒータの影響を受けない
位置に該測温素子に類似した温度特性を有する温度補償
用素子を設け、より広い使用温度範囲で応答性よく液面
検出を行った実施例を次に説明する。すなわち第６Ｅ２
４に示すように、厚さ８００ミクロンのアルミナグリー
ンシー　ト１８上にスクリーン印刷法によりタングステ
ン粉末５０重量％、アルミナ粉末２０重量％、エチルセ
ルロース３．５重量％、テトラリン２６．５重量％より
なる抵抗体ペーストでヒータ７を、そしてタングステン
粉末６７．５重量％、アルミナ：シリカ：カルシアの重
鍛比４５　：　ａ　：　２よりなる混合粉末７．５重量
％、エチルセルロース３．５重量％、テトラリン２１．
５重量％よりなる導体ペーストで導体路３、電源電圧端
子４、信号電圧端子５および接地端子６を印刷する。８
０℃で１０分間乾燥後、ピアホール１４　、１４’を残
すように、アルミナペースト層１５をスクリーン印刷し
て、乾燥し、もう一度スクリーン印刷し、乾燥シて厚さ
２０ミクロンの層を得た。

次に前述の導体ペーストで電極２　、２’、　２’、　
２″を印刷し、さらに導体ペーストでピアホールを充た
した。乾燥後、水素雰囲気中１４００℃で焼成し、電気
絶縁性セラミック体としての焼成体１６を得た。次に焼
成体１６の上に測温素子としてＳｉＣよりなるサーミス
タ＃膜１７と温度補償用素子としてＳｉＯよりなるサー
ミスタ薄枠１７’をスパッタリングで形成し、セラミッ
ク被覆層としてアルミナペースト層１５と同一組成のア
ルミナペースト層１５’を厚さ２０　ミクロンに印刷し
、再度水素雰朋気中１４ｏＯ°Ｃで焼成し、液面検出素
子を得た。ただし、第６図に示すようにサーミスタ薄膜
１７は液面検出素子先端より５１１１＃Ｉ　離して形成
しである。この液面検出素子を用い、印加電圧１２Ｖで
水面検出を行ったときの測定回路を′ｆＡ７図１ａｌに
示し、２５°Ｃにおける応答性の結果を第７図ｆｂ）の
実線で、１００″Ｃにおける応答性の結果を第７図Ｉ′
ｂ）の破線で示す。第７図ｔａ）に示した測温素子のサ
ーミスタの抵抗は２５°Ｃで４７０　ＫＱ、サーミスタ
定数は８０００に、温度補償用素子のサーミスタの抵抗
は２５°Ｃで１００にΩ、サーミスタ定数は８０００　
Ｋであった。第７図（ｂ）に示すように、液体検出電圧
を４．ＯＶ。

気体検出電圧を４．Ｏｖとすると、測温素子が気体中か
ら・液体に接触したときの液体検出応答時間は２５°Ｃ
で約０．１秒、１００°Ｃで約０．１秒で、出力電圧が
飽和して更に気体に接触したときの気体検出応答時間は
２５℃で約０．４秒、１００°Ｃで約０．６秒となり、
応答性が優れ、しかも温度が大きく異なる条件下におい
ても同一検出電圧の検出を行うことができた。またこの
検出素子先端を１２０’Ｃの水中に１０００時間浸時間
後も何等劣化を認めなかった。

なお本発明の温度補イＨ用素子の材料としては、測温素
子の材料と同様のものを使用することができ、本発明の
ヒータと測温素子は例えば第１１ｙＪに示すように両方
全量じ電気絶縁性セラミックス体表面に並置するかある
いは第６図に示すようにヒータと測温素子の内一方を電
気絶縁性セラミック体表面に密接し、他方を該電気絶縁
性セラミック体内に設置ｒｔする構造等をとることによ
って好ましく使用することができろう 更に本発明の？１Ｉ１１湛素子と温度補償用素子の電気
的接続法は第８図に示すような直列接続あるいは第９図
に示すような並列接続あるいは第１０．図に示すように
これらをブリッジ回路の一部とする方法、あるいは第１
１図に示すように２つの独立配線とする方法を選択して
使用することができるっ次に本発明の他の具体例を第１
２図（ａ）　、　（ｂｌに示、す。

すなわち、電気絶縁性セラミックス体としてのアルミナ
・シリカ系セラミックグリーンシート２゜上に、スクリ
ーン印刷法により酸化ルテニウムの抵抗体ペーストでヒ
ータ７を、銀パラジウム導体ペーストで電極２、導体路
８、端子４，５．６を印刷した。次に８０″Ｃで乾燥後
、マンガン・コバルト・ニッケル系、サーミスタペース
ト２１　、２１’を印刷した。乾燥後、セラミックグリ
ーンシート２０　、２０’を熱圧着して積層し、さらに
金属棒に巻いて円管状のグリーンシート積層体２２とし
、大気中９００℃で焼成した。このように、本発明の液
面検出素子の形状としては板状、棒状もしくは管状のも
のが好ましく使用することができる。

また本発明の液面検出素子においては、ヒータに随接し
た複数の測温素子をほぼ直線上に配列することにより段
階的な液面検出が可能となり、より好ましく使用するこ
とができる。その具体例を第１８図Ｃａ）に示す。第１
３図（ａｌの液面検出素子における複数の測温素子の電
気的接続法を第１８図Ｃａ）に示すが、複数の測温素子
の電気的接続法としては第１８図（′ｂ）に示すような
直列接続の他に、第１４図に示すような直列接続の任意
の素子端子を取り出す方法または第１５図に示すような
全素子の一端を共通として、多端を全て取り出す方法ま
たはこれらの組み合わせなどを用いることができる。

更に液面の推移に応じて連続的に液面検出ができるよう
に測温素子を所定の長さに設定した具体例を第１６図に
示す。すなわち、第１６図に記載した本発明の液面検出
素子は第６図のＳｉＣよりなるサーミスタ薄膜１７　、
１７’の代りに、所定の長さのサーミスタペースト２１
　、２１’をスクリーン印刷し、乾燥後、大気中８５０
℃にて焼成し、焼成体１６とアルミナ磁器板ｌを第１図
に示す実施例と同様にしてガラス封着したものである。

また、第１７図は測温素子にヒータを隣接させずに自己
発熱型の測温素子を用いた具体例である。

すなわち、第１７図に記載した本発明の液面検出、クリ
ーン印刷法により銀−パラジウム；導体ペーストで電極
２、導体路８、端子４，５．６を印刷し、乾燥後マンガ
ン・コバルト・ニッケル系サーミスタペースト２１　、
２１’を印刷し、さらに乾燥後厚さ８０μｍの前記結晶
化ガラスのペース）Ｎ２４を印刷し、乾燥後大気中８５
０　’Ｃで焼成したものである。

次に、液面検出素子先端とｊｌ温素子との距廟が応答性
に及ぼす影響について説明する。すなわち、第１図１ω
に示す液面検出素子のす１°ｌ造で、検出素子先端から
サーミスタチップまでのｖ＋ｖａのみを２閂から６・戸
に変更した液面検出素子を用い、第１図υの測定回路で
、印可電圧１２ｖ１分圧抵抗１００にΩとして２５°Ｃ
の水面検出を行ったときの応答性の結果を第１８図に示
す。この結果がら、液体検出電圧をＬ７Ｖ、気体検出電
圧を３．７■と設定したとき、液体検出応答時間は約０
．７秒、気体検出応答時間は約３秒となり、気体検出応
答時間において第１図中）に示す素子より大幅に改善さ
れて以上の説明から明らかなように、本発明の液面検出
素子は、電気絶縁性セラミックス体を用い、セラミック
ス被覆層によりヒータと、該ヒータに隣接して設けた測
温素子と、これらに接続された導体路の所定部分とを被
覆し、前記の電気絶縁性セラミックス体とセラミックス
被覆層とを密着したことによって、検出液体が導電性も
しくは絶縁性であることを問わずに、幅広い使用温度範
囲で応答性良く、液面検出を行うことができ、特にボイ
ラーの水面位置や、各種装置の冷却液の液面または洗濯
機等の水面等を検出することに有用であり、本発明は産
業上極めて有利な液面検出素子であるー

【図面の簡単な説明】

第１図（ａｌは本発明の液面検出素子の一具体側の展開
構造を示す説明図、第１図Ｉ′ｂ）、第２図ないし第４
図はそれぞれ本発明のヒータと測温素子との電気的接続
を示す説明図、第５図（ａ）、第５図ｆｂｌは本発明の
液面検出素子の一実施例の測定回路と液面検出における
応答性測定結果を示す説明図、第６図は本発明の液面検
出素子の一興・体側の展開構造を示す説明図、第７図（
顧、第７図（′ｂ）は本発明の液面検出素子の一実施例
の測定回路と液面検出における応答性測定結果を示す説
明図、第８図ないし第１１図はそれぞれ本発明の測温素
子と温度補償素子との電気接続法を示す説明図、第１２
図（ａ）は本発明の液面検出素子の一興体側の展開構造
を示す説明図、第１２図（′ｂ）は本発明の液面検出素
子の他の一具体側の断面を示す説明図、第１３図（ａ）
は本発明の液面検出素子の他の一興体側の展開構造を示
す説明図、第１８図（ｂ）、第１４図、第１５図はそれ
ぞれ本発明の複数の測温素子の電気的接続を示す説明図
、第１６図、第１７図はそれぞれ本発明の液面検出素子
の一興体側の展開構造を示す説明図、第１８ＦＡは本発
明の液面検出素子の一実施例の測定回路と液面検出にお
ける応答性測定結果を示す説明図である。 １．１′・・・アルミナ磁器板、２　、２’、　２’、
　２”・・電極、８・・・導体路、４・・・電源電圧端
子、５　、５’、　５’、　５”・・・信号電圧端子、
６・・・接地端子、７，７′・・・ヒータ１．８　、８
’・・・サーミスタチップ、９．・・直流！源、１’０
　、１０’・・・分圧抵抗、１１，１１′、１１′、１
１１・・・測温素子、１２．１２’・・・基準端子、１
８・・・アルミナグリーンシ・−ト、１４．１４’・・
・ピアホール、１５　、１５’・・・アルミナペースト
層、１６・・・焼成体、１７．１７’・・・サーミスタ
薄膜、１８・・・温度補償用素子、１９・・・分圧端子
、２０．２０’・・・アルミナ・シリカ系セラミックグ
リーンシー）、２１．２１’・・・マンガン・コバルト
・ニッケル系サーミスタペースト、２２・・・グリーン
シート積層体、２８・・・結晶化ガラス板、２４・・結
晶化ガラスペースト層。 特許出願人　日本碍子株式会社 第１図 （ｂｏ） （ａ） 第６図 一１４′ 第７図 （ｂ） ａｑ間げ幻 第８図 第１Ｏ図 第１１図 第１２図 （ｂ） （ｂ） 第１７図 第１８図 時間（ｅ） 手続補正書 昭和５９年８月２８日 、事件の表示 昭和５８年特許　願第１４７１ｉ６Ｂ号５゜ ６゜ ７゜ １、明細書第２頁第１５行〜第１６行中「液面を幅広い
使用温度範囲で」を「液面を検出する液面検出素子に閃
するものであり、更に計しくは幅広い使用温度範囲で」
と訂正する。 ２、同第１２頁第１行中「ヒータで半導体素子を」を［
ヒーターで屯源屯圧を」と訂正する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　電気絶縁性セラミック体と、該電気絶縁性セラミッ
   ク体に密接して設けられるヒータと、該ヒータに瞬接し
   て設けられる測温素子と、該ヒータと該測温素子とに接
   続される導体路と、該導体路の所定部分とヒータと測温
   素子とを被覆し且つ該電気絶縁性セラミック体の少なく
   とも一部に密着されているセラミック被覆層とを備えて
   いることを特徴とする液面検出素子− ２ヒータの影響を受けない位置に、測温素子に類似する
   温度特性を有する湿度補償用素子が設けられている特許
   請求の範囲第１項記載の液面検出素子。 ＆　直線状に複数個の測温素子が配列されている特許請
   求の範囲第１項または第２項に記載の液面検出素子。 ４　電気絶縁性セラミック体と、互いに類似する温度特
   性を有する測温素子および温度補償用素子の少なくとも
   一対と、該素子のそれぞれに接続された導体路と、少な
   くとも該測温素子の全体と該導体路の一部分とを被覆し
   且つ該電気絶縁性セラミック体の少なくとも一部に密着
   されているセラミック被ｍ／１とを備えていることを特
   徴とする液面検出素子。 ６　直線状に複数個の測温素子が配列されている特許請
   求の範ｖＪＪ第４項に記載の液面検出素子。 ａ　液面検出素子の先端と測温素子との距離が５　ｒｎ
   ＋・・以上である特許請求の範囲第１項、第２項または
   第４項に記載の液面検出素子。