JPS60241700A - 加速管およびその製造方法 - Google Patents
加速管およびその製造方法Info
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- JPS60241700A JPS60241700A JP9715684A JP9715684A JPS60241700A JP S60241700 A JPS60241700 A JP S60241700A JP 9715684 A JP9715684 A JP 9715684A JP 9715684 A JP9715684 A JP 9715684A JP S60241700 A JPS60241700 A JP S60241700A
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- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の分野)
この発明は、荷電粒子の加速もしくは減速に使用される
加速管およびその製造方法に関する。
加速管およびその製造方法に関する。
(先行技術の説明)
第1図は従来の加速管の一例の構成説明図であり、第2
図は第1図の線■−■に沿う断面図である。従来の加速
管1は、金属製取付リング2を挾/υでセラミック製の
あるいはエポキシ樹脂製の絶縁リング3を多数連結し、
かつ両端部にフランジ4を設けて外管5を構成し、その
外管5の内周部より内側に突出した取付リング2に加速
電極6を取付け、また外管5の外周部より外側に突出し
た取付リング2間にターミナル7を用いて分圧抵抗器8
をそれぞれ接続し、さらに各取付リング2にコロナリン
グ9を取付けて構成されている。
図は第1図の線■−■に沿う断面図である。従来の加速
管1は、金属製取付リング2を挾/υでセラミック製の
あるいはエポキシ樹脂製の絶縁リング3を多数連結し、
かつ両端部にフランジ4を設けて外管5を構成し、その
外管5の内周部より内側に突出した取付リング2に加速
電極6を取付け、また外管5の外周部より外側に突出し
た取付リング2間にターミナル7を用いて分圧抵抗器8
をそれぞれ接続し、さらに各取付リング2にコロナリン
グ9を取付けて構成されている。
しかし、このような加速管1は、取付リング2と絶縁リ
ング3とを交互に1段ずつロウイ・」けもしくは接着し
て外管5を構成する構造のために、製造性が悪くコスト
がかかること、および高電位となる取付リング2が大気
中に露出しているために、コロナリング9を設けて放電
を防止する必要があり、構造が複雑になること等の問題
点を有している。更に、管内部分は高真空状態(例えば
、約5X 10 ’Torr)に保つ必要があるが、ロ
ウ付けや接♀7の箇所が多いのでそこが真空漏れの原因
になるという問題点をも有している。
ング3とを交互に1段ずつロウイ・」けもしくは接着し
て外管5を構成する構造のために、製造性が悪くコスト
がかかること、および高電位となる取付リング2が大気
中に露出しているために、コロナリング9を設けて放電
を防止する必要があり、構造が複雑になること等の問題
点を有している。更に、管内部分は高真空状態(例えば
、約5X 10 ’Torr)に保つ必要があるが、ロ
ウ付けや接♀7の箇所が多いのでそこが真空漏れの原因
になるという問題点をも有している。
(発明の目的)
この発明は、製造性が良く、構造が簡単であり、かつ真
空性能の良い加速管およびその製造方法を提供すること
を目的とする。
空性能の良い加速管およびその製造方法を提供すること
を目的とする。
〈実施例の説明)
この発明は、両端部にフランジを有し、外周部に複数の
ひだを有し、複数の金属製リングが各々の内周面を内周
部に露出して埋設され、かつモールド成形す能な絶縁材
料で一体的に成形された絶縁外管と、前記金属製リング
にそれぞれ取付1ブられることにより前記絶縁外管の内
部空間に並設された複数の電極と、前記電極間に順次接
続された複数の分圧抵抗器とを備えることを特徴とづる
加速管およびその製造方法である。以下、この発明を実
施例に基づいて説明する。
ひだを有し、複数の金属製リングが各々の内周面を内周
部に露出して埋設され、かつモールド成形す能な絶縁材
料で一体的に成形された絶縁外管と、前記金属製リング
にそれぞれ取付1ブられることにより前記絶縁外管の内
部空間に並設された複数の電極と、前記電極間に順次接
続された複数の分圧抵抗器とを備えることを特徴とづる
加速管およびその製造方法である。以下、この発明を実
施例に基づいて説明する。
まず加速管について説明する。第3図はこの発明に係る
加速管の一実施例の構成説明図であり、第4図は第3図
のリング15付近の拡大部分断面図であり、第5図は第
3図の線V−V 1.:沿う断面図である。加速管11
は、絶縁外管12.加速型If116および分圧抵抗器
18から基本的に構成されている。
加速管の一実施例の構成説明図であり、第4図は第3図
のリング15付近の拡大部分断面図であり、第5図は第
3図の線V−V 1.:沿う断面図である。加速管11
は、絶縁外管12.加速型If116および分圧抵抗器
18から基本的に構成されている。
絶縁外管12は、両端部にフランジ138.13bを有
し、外周部に多数のひだ14を有し、多数の金属製リン
グ15が各々の内周面を内周部に露出して埋設され、か
つモールド成形[U能な絶縁材料で一体的に成形された
モールド品である。この場合の絶縁材料は、例えば、ポ
リウレタン、エポキシ樹脂等である。リング15は、後
述する加速電極16を等間隔で取付けるため、互いに等
間隔で埋設されている。
し、外周部に多数のひだ14を有し、多数の金属製リン
グ15が各々の内周面を内周部に露出して埋設され、か
つモールド成形[U能な絶縁材料で一体的に成形された
モールド品である。この場合の絶縁材料は、例えば、ポ
リウレタン、エポキシ樹脂等である。リング15は、後
述する加速電極16を等間隔で取付けるため、互いに等
間隔で埋設されている。
加速′I!極16は、それ自体は従来のものと同様の構
造であるが、前記リング15に金具17で取付けられる
ことにより、絶縁外管12の内部空間に多数並べて設け
られている。リング15への金具17の取付けは、例え
ば、第4図に示すように、リング15に設けられた劃ね
じと金具17に設けられた雄ねじとを用いて行なう。
造であるが、前記リング15に金具17で取付けられる
ことにより、絶縁外管12の内部空間に多数並べて設け
られている。リング15への金具17の取付けは、例え
ば、第4図に示すように、リング15に設けられた劃ね
じと金具17に設けられた雄ねじとを用いて行なう。
分圧抵抗器18は、四つの抵抗素子18a〜18dを直
列接続して各々が構成されており、その各々が各加速電
極16に対応づるリング15間に接続されている。この
接続は、絶縁外管12をモールドづる前にリング15に
対しで行われ、従ってモールド後は各分圧抵抗器18は
絶縁外管12中に埋設されることとなり、これにより機
械的強度に優れたものとなり、かつ放電も起りにくいも
のとなる。
列接続して各々が構成されており、その各々が各加速電
極16に対応づるリング15間に接続されている。この
接続は、絶縁外管12をモールドづる前にリング15に
対しで行われ、従ってモールド後は各分圧抵抗器18は
絶縁外管12中に埋設されることとなり、これにより機
械的強度に優れたものとなり、かつ放電も起りにくいも
のとなる。
第6図は、分圧抵抗器18による分圧回路を示?l模式
図であり、端子Ta、−rb間に高電圧を印加すると、
各加速電極16に所定の加速電圧が配分される。
図であり、端子Ta、−rb間に高電圧を印加すると、
各加速電極16に所定の加速電圧が配分される。
一ヒ述した加速管では絶縁外管が一体的に成形されたも
のであるから、従来のものに比べて格段に製造性に優れ
ており、また絶縁外管の外周面に高電位となる分圧抵抗
器が露出していなくで放″慝が起りにくい構造であるか
ら、コロナリングを設ける必要もなく構造が筒中である
。更に、真空漏れの原因となるロウ付けや接着の箇所が
無いので真空性能も良い。
のであるから、従来のものに比べて格段に製造性に優れ
ており、また絶縁外管の外周面に高電位となる分圧抵抗
器が露出していなくで放″慝が起りにくい構造であるか
ら、コロナリングを設ける必要もなく構造が筒中である
。更に、真空漏れの原因となるロウ付けや接着の箇所が
無いので真空性能も良い。
尚、加速電極16の支持のためには、前述した金属製リ
ング15を用いずに、ナツト状の金属製ターミナルを金
具17の数に対応した数だ(づ絶縁外管12に埋設し、
これに金具17を介して加速電極16を取付けることも
考えられる。しかし、リング15はシールドの働きをし
て絶縁外管12の電界分布を改善する効果があり、また
ターミナルよりもリング15の方が組立作業が楽でもあ
り、それ故リング15を用いる方が優れている。
ング15を用いずに、ナツト状の金属製ターミナルを金
具17の数に対応した数だ(づ絶縁外管12に埋設し、
これに金具17を介して加速電極16を取付けることも
考えられる。しかし、リング15はシールドの働きをし
て絶縁外管12の電界分布を改善する効果があり、また
ターミナルよりもリング15の方が組立作業が楽でもあ
り、それ故リング15を用いる方が優れている。
次に、以上説明した加速管、特にその絶縁外管の製造方
法について説明する。第7図は、成形用型に絶縁材料を
流し込んだ状態を示す断面図である。
法について説明する。第7図は、成形用型に絶縁材料を
流し込んだ状態を示す断面図である。
前述したフランジ13a、13bおよび多数のひだ14
に対応する内面形状を有する筒状の金属製外型20と、
外周部に多数の金属製のつば221が例えば一体内に形
成された筒状の金属製内型22とを用いて、まず、外型
20と内型22との間にモールド成形可能な絶縁材料2
4を流し込んでモールド成形する。絶縁材料24の材質
は、先に例示したものと同様である。内型22および外
型20の材質は、絶縁材料24となじみの良いものが良
く、例えば鉄、しんちゅう、アルミニュウム等である。
に対応する内面形状を有する筒状の金属製外型20と、
外周部に多数の金属製のつば221が例えば一体内に形
成された筒状の金属製内型22とを用いて、まず、外型
20と内型22との間にモールド成形可能な絶縁材料2
4を流し込んでモールド成形する。絶縁材料24の材質
は、先に例示したものと同様である。内型22および外
型20の材質は、絶縁材料24となじみの良いものが良
く、例えば鉄、しんちゅう、アルミニュウム等である。
絶縁材料24が固化したら外型20を取外す。更に、絶
縁材料24をつば221と共に円筒状に切削することに
より内型22を除去すると共に、絶縁材料24中につば
221の一部分を前述した金属製リング15として残存
させる。
縁材料24をつば221と共に円筒状に切削することに
より内型22を除去すると共に、絶縁材料24中につば
221の一部分を前述した金属製リング15として残存
させる。
これにより前述した絶縁外管12が得られる。この場合
の切削加工位置は、図中に1点鎖線で示すように、つば
221の根元にくるようにする方がつば221の有効利
用の点から好ましい。また、切削加工の直径を、絶縁外
管12の内径と同じDφとすれば、即座に所望の内径が
得られる。
の切削加工位置は、図中に1点鎖線で示すように、つば
221の根元にくるようにする方がつば221の有効利
用の点から好ましい。また、切削加工の直径を、絶縁外
管12の内径と同じDφとすれば、即座に所望の内径が
得られる。
リング15に金具17取付用のねじを切る方法には色々
あるが、例えば、つば221の外側からねじを切った後
に半田付け、ロウイ」1)、F8接等で上部を埋め、そ
の後にモールドする方法がある。
あるが、例えば、つば221の外側からねじを切った後
に半田付け、ロウイ」1)、F8接等で上部を埋め、そ
の後にモールドする方法がある。
また、つば221間に前述した複数の分圧抵抗器18を
順次接続した後にモールド成形を行えば、分圧抵抗器1
8は絶縁外管12中に埋設されることとなる。
順次接続した後にモールド成形を行えば、分圧抵抗器1
8は絶縁外管12中に埋設されることとなる。
上述した製造方法によれば、各リング15の内径が同一
となり、加速電極16の取付は位置を簡単に高精度のも
のにすることができると共に高精度の管内寸法を得るこ
とができる。
となり、加速電極16の取付は位置を簡単に高精度のも
のにすることができると共に高精度の管内寸法を得るこ
とができる。
尚、前述した絶縁外管12のモールド成形のためには、
第8図に示づように、内型26にリング15をねじ28
で止めておき、モールド成形した後にねじ28を取外し
て内型2Gを矢印の方向に引き抜く方法が一般的に考え
られる。しかし、そのためには抜き勾配θ(例えば、約
3°)が必要であり、その結果各リング15の内径を同
一とすることはできない。そのため、金具17の寸法を
それぞれ調整しなGプれば加速型ti16の取付は位置
を高精度のものにづることができないという不便がある
。また、均一な管内寸法を得ることもできない。更に、
モールドするときに絶縁材料がねじ28の部分に入り込
み、ねじ28が外れなくなるという問題もある。それ故
1.L述したように絶縁材料24をつば221と共に切
削加工する方法が優れている。
第8図に示づように、内型26にリング15をねじ28
で止めておき、モールド成形した後にねじ28を取外し
て内型2Gを矢印の方向に引き抜く方法が一般的に考え
られる。しかし、そのためには抜き勾配θ(例えば、約
3°)が必要であり、その結果各リング15の内径を同
一とすることはできない。そのため、金具17の寸法を
それぞれ調整しなGプれば加速型ti16の取付は位置
を高精度のものにづることができないという不便がある
。また、均一な管内寸法を得ることもできない。更に、
モールドするときに絶縁材料がねじ28の部分に入り込
み、ねじ28が外れなくなるという問題もある。それ故
1.L述したように絶縁材料24をつば221と共に切
削加工する方法が優れている。
(発明の効果)
以上説明したように、この発明に係る加速管は、従来の
ものに比べて格段に製造性が優れており、また構造が簡
単であり、更に真空性能も良い。一方、この発明に係る
!llll法によれば、iS精度の加速管を筒中に製造
することができる。
ものに比べて格段に製造性が優れており、また構造が簡
単であり、更に真空性能も良い。一方、この発明に係る
!llll法によれば、iS精度の加速管を筒中に製造
することができる。
第1図は、従来の加速管の一例の構成説明図である。第
2図は、第1図の線■−■に沿う断面図である。第3図
は、この発明に係る加速管の一実施例の構成説明図であ
る。第4図は、第3図のリング付近の拡大部分断面図で
ある。第5図は、第3図の線v−■に沿う断面図で−あ
る。第6図は、分圧抵抗器による分圧回路を示す役弐図
である。 第7図は、成形用型に絶縁材料を流し込んだ状態を示す
断面図である。第8図は、一般的な内型を示づ断面図で
ある。 11・・・加速管、12・・・絶縁外管、13a、13
b・・・フランジ、14・・・ひだ、15・・・金属製
リング、16・・・加速電極、18・・・分圧抵抗器、
20・・・外型、22・・・内型、221・・・金属製
っば、24・・・絶縁材料 代理人 弁理士 山本忠二 弁理士 古田茂明 弁理士 有田貴弘 L■
2図は、第1図の線■−■に沿う断面図である。第3図
は、この発明に係る加速管の一実施例の構成説明図であ
る。第4図は、第3図のリング付近の拡大部分断面図で
ある。第5図は、第3図の線v−■に沿う断面図で−あ
る。第6図は、分圧抵抗器による分圧回路を示す役弐図
である。 第7図は、成形用型に絶縁材料を流し込んだ状態を示す
断面図である。第8図は、一般的な内型を示づ断面図で
ある。 11・・・加速管、12・・・絶縁外管、13a、13
b・・・フランジ、14・・・ひだ、15・・・金属製
リング、16・・・加速電極、18・・・分圧抵抗器、
20・・・外型、22・・・内型、221・・・金属製
っば、24・・・絶縁材料 代理人 弁理士 山本忠二 弁理士 古田茂明 弁理士 有田貴弘 L■
Claims (4)
- (1) 両端部にフランジを有し、外周部に複数のひだ
を有し、複数の金属製リングが各々の内周面を内周部に
露出して埋設され、かつモールド成形可能な絶縁材料で
一体内に成形された絶縁外管と、 前記金属製リングにそれぞれ取付けられることにより前
記絶縁外管の内部空間に並設された複数の電極と、 前記電極間に順次接続された複数の分圧抵抗器とを備え
る、加速管。 - (2) 前記分圧抵抗器は、前記絶縁外管に埋設されて
いる、特許請求の範囲第1項記載の加速管。 - (3) 両端部にフランジを有し、外周部に複数のひだ
を有し、かつ複数の金属製リングが各々の内周面を内周
部に露出して埋設された絶縁外管を備える加速管の製造
方法であって、 前記フランジJ3よび複数のひだに対応する内面形状を
有する筒状の外型と、外周部に複数の金属製のつばを有
する筒状の内型とを用い、前記外型と内型との間にモー
ルド成形可能な絶縁材料を流し込んでモールド成形し、 その後に前記絶縁材料を前記内型のつばと共に円筒状に
切削することにより、内型を除去すると共に絶縁材料中
につばの一部分を前記金属製リングとして残存させる、
加速管の製造方法。 - (4) 前記つば間に複数の分圧抵抗器を順次接続した
後に前記モールド成形を行う、特許請求の範囲第3項記
載の加速管の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9715684A JPS60241700A (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | 加速管およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9715684A JPS60241700A (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | 加速管およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60241700A true JPS60241700A (ja) | 1985-11-30 |
Family
ID=14184703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9715684A Pending JPS60241700A (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | 加速管およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60241700A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04141998A (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-15 | Shimadzu Corp | 加速管 |
JP2023087504A (ja) * | 2021-12-13 | 2023-06-23 | 株式会社Nhvコーポレーション | 電子線照射装置 |
-
1984
- 1984-05-15 JP JP9715684A patent/JPS60241700A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04141998A (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-15 | Shimadzu Corp | 加速管 |
JP2023087504A (ja) * | 2021-12-13 | 2023-06-23 | 株式会社Nhvコーポレーション | 電子線照射装置 |
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