JPS60217361A - 光反射式コ−ド板 - Google Patents
光反射式コ−ド板Info
- Publication number
- JPS60217361A JPS60217361A JP59073069A JP7306984A JPS60217361A JP S60217361 A JPS60217361 A JP S60217361A JP 59073069 A JP59073069 A JP 59073069A JP 7306984 A JP7306984 A JP 7306984A JP S60217361 A JPS60217361 A JP S60217361A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dye
- layer
- code plate
- oxide film
- impregnated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、例えば光学式ロータリエンコーダなどに用い
られる光反射式コード板に係り、特にコード板のパ□タ
ーン構成に関する。
られる光反射式コード板に係り、特にコード板のパ□タ
ーン構成に関する。
光学式ロータリーエンコーダは、基板表面にそれの周方
向に沿ってスリット状の反射部と無反射部とを交互に多
数形成したコード板と、そのコード板の表面に対向して
配置された発光素子と受光素子とを有するセンサヘッド
とから構成されている。
向に沿ってスリット状の反射部と無反射部とを交互に多
数形成したコード板と、そのコード板の表面に対向して
配置された発光素子と受光素子とを有するセンサヘッド
とから構成されている。
第１図はこのロータリエンコーダを備えたモータの側面
図、第２図はロータリエンコーダに用いるコード板の平
面図である。
図、第２図はロータリエンコーダに用いるコード板の平
面図である。
モータ１の回転軸２にはコード板３が取り付けられ、コ
ード板３は回転軸２と一体回転するようになっている。
ード板３は回転軸２と一体回転するようになっている。
コード板３は第２図に示すようにそれの外周部付近に、
周方向に沿ってスリット状の白色反射部４と黒色の無反
射部５とが規則正しく交互に多数形成されている。この
反射部４．無反射部５が形成された表面と対向する位置
ニ、第１図に示す如くセンサヘッド６が配置されている
。
周方向に沿ってスリット状の白色反射部４と黒色の無反
射部５とが規則正しく交互に多数形成されている。この
反射部４．無反射部５が形成された表面と対向する位置
ニ、第１図に示す如くセンサヘッド６が配置されている
。
このセンサヘッド６は少なくとも１つのＬＥＤなどの発
光素子７と、フォトトランジスタなどの受光素子８とを
備えている。発光素子７から照射された光は反射部４で
反射され、その反射光が受光素子８で受光されるが、無
反射部５に照射されたときには受光素子８への入党はな
い。従って受光素子８の受光回数をカウントすることに
より、モータ１の回転角制御や回転速度の検出などを行
なうことができる。
光素子７と、フォトトランジスタなどの受光素子８とを
備えている。発光素子７から照射された光は反射部４で
反射され、その反射光が受光素子８で受光されるが、無
反射部５に照射されたときには受光素子８への入党はな
い。従って受光素子８の受光回数をカウントすることに
より、モータ１の回転角制御や回転速度の検出などを行
なうことができる。
このロータリエンコーダの検出感度を高めるには、コー
ド板３上で高効率、高精密に元の反射と吸収を行なうパ
ターンを形成する必要がある。特にコード板３が小径に
なったり、反射部４と無反射部５の数の増大にともなっ
てそれらの幅が狭くなると、光の反射と吸収とを高効率
、高精密に行なうことが難しくなる。
ド板３上で高効率、高精密に元の反射と吸収を行なうパ
ターンを形成する必要がある。特にコード板３が小径に
なったり、反射部４と無反射部５の数の増大にともなっ
てそれらの幅が狭くなると、光の反射と吸収とを高効率
、高精密に行なうことが難しくなる。
本発明の目的は、高効率、高精密に光の反射と吸収を行
なうことのできる光反射式コード板を提供するにある。
なうことのできる光反射式コード板を提供するにある。
〔発明の概要〕
この目的を達成するため、本発明は、基板表面に反射部
と無反射部とを交互に多数形成してなる光反射式コード
板において、前記基板が高純度アルミニウムなどのアル
ミニウムからなり、その表面に陽極酸化などによって無
色透明で多孔質の酸化アルミニウム膜を形成する。そし
てその酸化膜の前記無反射部が形成されるべき所定位置
に、その酸化膜の微孔の底部にニッケル、スズ、銅、鉄
。
と無反射部とを交互に多数形成してなる光反射式コード
板において、前記基板が高純度アルミニウムなどのアル
ミニウムからなり、その表面に陽極酸化などによって無
色透明で多孔質の酸化アルミニウム膜を形成する。そし
てその酸化膜の前記無反射部が形成されるべき所定位置
に、その酸化膜の微孔の底部にニッケル、スズ、銅、鉄
。
コバルト、銀、マンガン、セレンなどの金異な電着など
によって析出せしめて金属析出層を形成する。また前記
微孔の開口部近傍に、黒の含金錯塩染料やニグロシン系
染料などの染料を付着・含浸して染料含浸層を形成する
。前記金属析出層と染料含浸層は上下に重ね合わせるよ
うにして設けられ、これらによって無反射部が形成され
る。そして金属析出層ならびに染料含浸層が設けられて
いない部分が反射部となることを特徴とするものである
。
によって析出せしめて金属析出層を形成する。また前記
微孔の開口部近傍に、黒の含金錯塩染料やニグロシン系
染料などの染料を付着・含浸して染料含浸層を形成する
。前記金属析出層と染料含浸層は上下に重ね合わせるよ
うにして設けられ、これらによって無反射部が形成され
る。そして金属析出層ならびに染料含浸層が設けられて
いない部分が反射部となることを特徴とするものである
。
次に本発明の実施例を図とともに説明する。第３図はコ
ード板の一部拡大断面図、第４図はそのコード板におけ
る無反射部付近の模式図、第５図はコード板の製造工程
を示すフローチャートである。
ード板の一部拡大断面図、第４図はそのコード板におけ
る無反射部付近の模式図、第５図はコード板の製造工程
を示すフローチャートである。
基板には高純度アルミニウム板が用いられ、第５図に示
すようにステップ（以下Ｓと略記する）１で陽極酸化が
行なわれる。この陽極酸化法は、光沢のあるアルミニウ
ム表面の反射率を低下させずに、また後工程での着色処
理において十分に金属による黒着色ができるように考厘
されたもので、硫酸、リン酸、スルファミン酸、カセイ
ソーダなどを含む電解浴中で直流や変形交流を用いて電
解が行なわれる。このようにして基板９の表面に、無色
透明で多孔質の酸化アルミニウム膜（酸化膜）１０が一
様に形成される。
すようにステップ（以下Ｓと略記する）１で陽極酸化が
行なわれる。この陽極酸化法は、光沢のあるアルミニウ
ム表面の反射率を低下させずに、また後工程での着色処
理において十分に金属による黒着色ができるように考厘
されたもので、硫酸、リン酸、スルファミン酸、カセイ
ソーダなどを含む電解浴中で直流や変形交流を用いて電
解が行なわれる。このようにして基板９の表面に、無色
透明で多孔質の酸化アルミニウム膜（酸化膜）１０が一
様に形成される。
次の８２では、後工程での電解着色や染色処理を行なう
のに、できるだけ−エツチングや再陽極酸化を必要とし
ないようにプリント用感光剤が塗布され、乾燥により均
一な厚うを有する感光剤被膜が形成される。
のに、できるだけ−エツチングや再陽極酸化を必要とし
ないようにプリント用感光剤が塗布され、乾燥により均
一な厚うを有する感光剤被膜が形成される。
次ＫＳ３ 、Ｓ４ではコードパターンを有するマスクを
感光剤被膜上に載置して露光、現像により感光していな
い感光剤被膜部分を除去し、酸化膜１０上に精密なパタ
ーンの感光被膜１１（第４図参照）を残す。
感光剤被膜上に載置して露光、現像により感光していな
い感光剤被膜部分を除去し、酸化膜１０上に精密なパタ
ーンの感光被膜１１（第４図参照）を残す。
Ｓ５で感光被膜１１が形成されていない部分における酸
化膜１０の微孔工２の底部に、電解着色法で金属１３を
析出せしめる。このとき用いられる電解浴はニッケル、
スズ、銅、鉄、コバ／ｌ／ ） 、 Ｔ。
化膜１０の微孔工２の底部に、電解着色法で金属１３を
析出せしめる。このとき用いられる電解浴はニッケル、
スズ、銅、鉄、コバ／ｌ／ ） 、 Ｔ。
銀、マンガン、セレンなどの１種または２種以上の金属
塩を含有しており、電解は対極に炭素を用い、５０〜６
０Ｈｚの正弦波交流などで行なわれる。この電解で微孔
１２の底部に析出した金属１３は、数百１オーダーの大
きさの孔１２にそれぞれ分散して存在するため、ちょう
ど金属１３がコロイド状に分散した状態となり、光を散
乱して黒色に見え、これらによって金属析出層１４が形
成される。
塩を含有しており、電解は対極に炭素を用い、５０〜６
０Ｈｚの正弦波交流などで行なわれる。この電解で微孔
１２の底部に析出した金属１３は、数百１オーダーの大
きさの孔１２にそれぞれ分散して存在するため、ちょう
ど金属１３がコロイド状に分散した状態となり、光を散
乱して黒色に見え、これらによって金属析出層１４が形
成される。
しかるのち、８６で赤外線などに対しても吸収する黒の
含金錯塩染料やニグロシン系染料などの染料を含んだイ
ンクか溶液を基板９０表面と接触させ、感光被膜１１が
形成されていない部分の微７ 孔１２内に前記染料を吸着せしめる。この黒色の染料１
５は第４図で模式的に示すように主に微孔１２の開口近
傍に付着・含浸されて、これらによって染料含浸層１６
が形成される。
含金錯塩染料やニグロシン系染料などの染料を含んだイ
ンクか溶液を基板９０表面と接触させ、感光被膜１１が
形成されていない部分の微７ 孔１２内に前記染料を吸着せしめる。この黒色の染料１
５は第４図で模式的に示すように主に微孔１２の開口近
傍に付着・含浸されて、これらによって染料含浸層１６
が形成される。
Ｓ７では酸化膜１０上に形成されている感光被膜１１を
カルシウム塩溶液などを用いて剥離し、Ｓ８で熱湯など
で煮沸し、酸化膜１０の表面部にアルミニウム水和物を
形成して微孔１２の封孔な行なう。
カルシウム塩溶液などを用いて剥離し、Ｓ８で熱湯など
で煮沸し、酸化膜１０の表面部にアルミニウム水和物を
形成して微孔１２の封孔な行なう。
なお、各工程毎に必要に応じて水洗、乾燥を行なう。
前述のようにして金属析出層１４と染料含浸層１６を重
ねるようにして設けて、その部分が無反射部５となり、
金属析出層１４ならびに染料含浸層１６が形成されてい
ない部分が反射部４となる。
ねるようにして設けて、その部分が無反射部５となり、
金属析出層１４ならびに染料含浸層１６が形成されてい
ない部分が反射部４となる。
本発明は前述のような構成になっており１反射部ではア
ルミニウムの特性により入射光を高効率に反射すること
ができる。一方、無反射部に照射された光の大部分は染
料含浸層によって吸収され、それに吸収されなかった微
量の光は金属析出層で吸収される。さらに僅かに反射し
た光があっても再び染料含浸層で吸収されるよう、三重
にわたって光を吸収することができるから、光の吸収効
率が非常に高い。以上のように本発明により、高効率、
高精密に光の反射と吸収を行なうことのできる光反射式
コード板を提供することができる。
ルミニウムの特性により入射光を高効率に反射すること
ができる。一方、無反射部に照射された光の大部分は染
料含浸層によって吸収され、それに吸収されなかった微
量の光は金属析出層で吸収される。さらに僅かに反射し
た光があっても再び染料含浸層で吸収されるよう、三重
にわたって光を吸収することができるから、光の吸収効
率が非常に高い。以上のように本発明により、高効率、
高精密に光の反射と吸収を行なうことのできる光反射式
コード板を提供することができる。
さらに染色含浸層は実質的には酸化アルミニウム膜の孔
内に形成されるから摩耗に対して強く。
内に形成されるから摩耗に対して強く。
しかも金属析出層を内部に有するため耐熱性、耐候性に
も優れている。
も優れている。
前記実施例で説明したコード板の製造方法はエツチング
処理をともなわない写真印刷法によるものであるから、
コードパターンを高精度に形成することができる。
処理をともなわない写真印刷法によるものであるから、
コードパターンを高精度に形成することができる。
前記実施例はロータリエンコーダに適用した場合につい
て説明したが１本発明はこれに限定されるものではなく
、例えば直線状に延びた固定式のエンコーダにも使用可
能である。
て説明したが１本発明はこれに限定されるものではなく
、例えば直線状に延びた固定式のエンコーダにも使用可
能である。
第１図はロータリエンコーダを備えたモータの側面図、
第２図はロータリエンコーダに用いるコード板の平面図
、第３図は本発明の実施例に係るコード板の一部拡大断
面図、第４図はそのコード板における無反射部付近の模
式図、第５図はそのコード板の製造工程を示すフローチ
ャートである。 ９・・・・・・基板、１０・・・・・・酸化アルミニウ
ム膜（酸化膜）、１２・・・・・・微孔、１３・・・用
金属、１４・旧・・金属析出層、１５・・・・・・染料
、１６・・曲・染料含浸層。 第１図 第２図 第３図 ／４ 第４図 第５図
第２図はロータリエンコーダに用いるコード板の平面図
、第３図は本発明の実施例に係るコード板の一部拡大断
面図、第４図はそのコード板における無反射部付近の模
式図、第５図はそのコード板の製造工程を示すフローチ
ャートである。 ９・・・・・・基板、１０・・・・・・酸化アルミニウ
ム膜（酸化膜）、１２・・・・・・微孔、１３・・・用
金属、１４・旧・・金属析出層、１５・・・・・・染料
、１６・・曲・染料含浸層。 第１図 第２図 第３図 ／４ 第４図 第５図
Claims (1)
- 基板表面に反射部と無反射部とを交互に多数形成してな
る光反射式コード板において、前記基板がアルミニウム
からなり、その基板表面に形成された無色透明な多孔質
の酸化アルミニウム膜の所定位ｆＫ、その酸化膜の微孔
の底部に金属を析出せしめた金属析出層と、前記孔の開
口部近傍に染料を含浸せしめた染料含浸層とを重ね合わ
せるように設けて前記無反射部とし、金属析出層ならび
に染料含浸層が設けられていない部分を前記反射部とす
ることを特徴とする光反射コード板。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59073069A JPS60217361A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | 光反射式コ−ド板 |
| US06/723,049 US4661697A (en) | 1984-04-13 | 1985-04-15 | Optically reflecting code plate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59073069A JPS60217361A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | 光反射式コ−ド板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60217361A true JPS60217361A (ja) | 1985-10-30 |
| JPH0349046B2 JPH0349046B2 (ja) | 1991-07-26 |
Family
ID=13507675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59073069A Granted JPS60217361A (ja) | 1984-04-13 | 1984-04-13 | 光反射式コ−ド板 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4661697A (ja) |
| JP (1) | JPS60217361A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001296146A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-10-26 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 反射測定目盛およびこの測定目盛の製造方法 |
| WO2009031608A1 (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-12 | Nikon Corporation | 光学式エンコーダ用反射板およびその製造方法、ならびに光学式エンコーダ |
| JP2017058239A (ja) * | 2015-09-16 | 2017-03-23 | ハイデンハイン株式会社 | 光学式ロータリーエンコーダ |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5178063A (en) * | 1986-12-16 | 1993-01-12 | L & C Family Partnership | Method and apparatus for automatic numbering of forms on a rotary printing press |
| GB2299403B (en) * | 1994-08-25 | 1999-04-07 | Braun Paul W | Timing scale or timing disc |
| JP2720012B2 (ja) * | 1993-09-27 | 1998-02-25 | ブラウン ポール−ビルヘルム | エンコーダ |
| DE4332808A1 (de) * | 1993-09-27 | 1994-02-24 | Braun Paul W | Taktlineal und Taktscheibe reflektierend, basierend auf Standardfilm einseitig metallisch beschichtet |
| DE29504883U1 (de) * | 1995-03-27 | 1995-07-13 | Braun, Paul-Wilhelm, 53842 Troisdorf | Taktlineal oder Taktscheibe |
| ES2110897B1 (es) * | 1995-03-30 | 1998-10-01 | Braun Paul W | Regla o disco de sincronizacion. |
| DE19955618A1 (de) * | 1999-11-19 | 2001-05-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Maßverkörperung und Positionsmeßeinrichtung mit einer derartigen Maßverkörperung |
| JP5846686B2 (ja) * | 2011-11-22 | 2016-01-20 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダのスケールの製造方法 |
| US9683305B2 (en) * | 2011-12-20 | 2017-06-20 | Apple Inc. | Metal surface and process for treating a metal surface |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4074798A (en) * | 1976-09-01 | 1978-02-21 | Xerox Corporation | Encoded print wheel system |
| NL7809159A (nl) * | 1977-09-29 | 1979-04-02 | Philips Nv | Informatieregistratie element met kleurstof bevattende hulplaag. |
| US4141780A (en) * | 1977-12-19 | 1979-02-27 | Rca Corporation | Optically monitoring the thickness of a depositing layer |
| US4286871A (en) * | 1980-08-11 | 1981-09-01 | Keuffel & Esser Company | Photogrammetric measuring system |
| JPS5818369A (ja) * | 1981-07-24 | 1983-02-02 | Sumitomo Chem Co Ltd | ビストリアゾリルケトン系化合物の製造法 |
-
1984
- 1984-04-13 JP JP59073069A patent/JPS60217361A/ja active Granted
-
1985
- 1985-04-15 US US06/723,049 patent/US4661697A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001296146A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-10-26 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 反射測定目盛およびこの測定目盛の製造方法 |
| WO2009031608A1 (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-12 | Nikon Corporation | 光学式エンコーダ用反射板およびその製造方法、ならびに光学式エンコーダ |
| US8368004B2 (en) | 2007-09-05 | 2013-02-05 | Nikon Corporation | Reflection plate for optical encoder and manufacturing method thereof, and optical encoder |
| JP5240198B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2013-07-17 | 株式会社ニコン | 光学式エンコーダ用反射板およびその製造方法、ならびに光学式エンコーダ |
| JP2017058239A (ja) * | 2015-09-16 | 2017-03-23 | ハイデンハイン株式会社 | 光学式ロータリーエンコーダ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0349046B2 (ja) | 1991-07-26 |
| US4661697A (en) | 1987-04-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60217361A (ja) | 光反射式コ−ド板 | |
| TWI454665B (zh) | Reflective plate for optical encoder and manufacturing method thereof, and optical encoder | |
| US3765994A (en) | Indicia bearing, anodized laminated articles | |
| CN107102783B (zh) | 导电膜和透明加热元件 | |
| US4400252A (en) | Method of manufacturing metal decorative panel having colored depressions | |
| US3953625A (en) | Process for making indicia bearing anodized article | |
| BRPI0215181B1 (pt) | método para a produção de um elemento de segurança | |
| KR20040002357A (ko) | 물체의 양극 처리된 표면 상에 패턴을 형성하는 방법 및이 방법에 의해 생산된 휴대용 전자장치 커버 | |
| US5277982A (en) | Process for producing anodic films exhibiting colored patterns and structures incorporating such films | |
| US3732792A (en) | Image plane plate | |
| JP4148108B2 (ja) | 電磁波シールド性光透過窓材及びその製造方法 | |
| USRE28506E (en) | Indicia bearing anodized aluminum articles | |
| JPH07243086A (ja) | 装飾板及びその製造方法 | |
| US5399374A (en) | Color filter and the manufacturing method therefor | |
| JP4134327B2 (ja) | メタルマスク及びその製造方法 | |
| JP2012063200A (ja) | 光学式エンコーダ用反射板、エンコーダ及び光学式エンコーダ用反射板の製造方法 | |
| JP2012063201A (ja) | 光学式エンコーダ用反射板、エンコーダ及び光学式エンコーダ用反射板の製造方法 | |
| JPH1074627A (ja) | チップ部品 | |
| US3057788A (en) | Photoconductography employing cobaltous or nickelous hydroxide | |
| JP3575284B2 (ja) | 酸化チタン薄膜、光透過性の画像形成用基板、及びカラーフィルターの製造方法、並びにカラーフィルター製造装置 | |
| JP2668911B2 (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| CN1198782A (zh) | 用于生产感应操作计数系统的方法 | |
| JPH08502319A (ja) | 色付き模様を示す陽極酸化膜の製造法 | |
| JPH01308687A (ja) | スクリーン印刷用メッシユ | |
| JPH03288424A (ja) | 回路作製用レジスト層 |