JPS6020065B2 - 物品保持治具 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、被膜の葵着、塗装等の際に、被処理物品を
保持する物品保持拾臭に関するものである。

一般に、照明器具や光学器具に用いられる材料、例えば
反射板等には高品質な被膜を設けることが要求される。

そのため、これまでは、それ自身自転しながら所定の軌
道上を公転する軸を備えた治具を用い、その袷具の上誌
軸の下端に反射板用材料等の材料（被処理物品）を吊る
し、その軸を自公転させながら真空蒸着等によって被処
理物品に高品質な被膜を形成させることが行われていた
。この場合、上記治具は、真空燕着時における蒸発源と
被処理物品との位置関係が、上記目公転により一義的に
定まる関係以外にとりようがなかった。そのため、被処
理物品の形状、寸法が異なるごとに葵着状態が異なるよ
うになるという欠点を有している。したがって、形状、
寸法等が異なる多種類の被処理物品に対応することがで
きなかった。しかしながら、一合の治具で多種類の被処
理物品に対応できれば治具の交換等の手間が省け操業時
間の短縮化を実現しうる。この発明は、このような事情
に鑑みなされたもので、それ自身自転しながら定められ
た軌道上を公転する駆動軸の下端に物品保持部を設け、
その物品保持部に物品を保持させる物品保持治具であっ
て、上記駆動軸が上下に分割されており、上部駆動軸と
下部駆動軸の間に、動力の伝達方向を変える薮手部とそ
の懐手部による動力伝達方向の変更状態を保持する保持
部とが設けられていることを特徴とする物品保持拾具を
第１の要旨とし、それ自身自転しながら定められた軌道
上を公転する駆動軸に、その駆動軸を中心に駆動軸と直
角な平面上を揺動し所定の位置まで揺動したときにその
状態を保持しうる保持手段付きの支持板が取付けられ、
この支持板に、下端に物品保持部を備えた回転軸が設け
られ、この回転軸と上記駆動軸との間にその駆動軸から
回転軸に動力を伝達する動力伝達手段が設けられている
ことを特徴とする物品保持治具を第２の要旨とするもの
である。

すなわち、物品保持治具を上記のように構成することに
より、真空蒸着の際等に被処理物品と蒸発源との距離等
を被処理物品の形状、寸法等に合わせて変えられるよう
になる。

したがって、一合の治具で多種類の彼処理物品に対応で
きるようになり、操業時間の短縮化を実現できるように
なるのである。つぎに、実施例にもとづきこの発明を詳
しく説明する。

第１図はこの発明の一実施例の斜視図、第２図はその要
部断面図である。これらの図において、１は支柱、２は
その支柱１の下端に取付けられた固定歯車、３はその固
定歯車２の下側に回転自在に設けられている回転円板、
４はその回転円板３の下側に設けられているリング状の
公転歯車である。この公転歯車４は、ピン５により回転
円板３に一体的に固定されており、中間歯車６を介して
モータ７の回転軸８に取付けられた歯車９と噛合してい
る。１川ま、回転円板３に、上部を突出させた状態で垂
直に取付けられている駆動軸である。

この駆動軸１川ま、抜手部１１を狭んで上下２つに分割
されており、上部駆動軸１２の、回転円板３から突出し
ている部分に公転歯車２と噛合している自転歯車１３を
備え、下部駆動軸１４の下端には物品保持部１５を備え
ている。１６は物品保持部１５に保持された被処理物品
である。

抜手部１１は、駆動軸１２の動力伝達方向を変更するも
のでありつぎのように構成されている。すなわち、上部
駆動軸１２の下部に、上部に軸穴１７を有する断面下向
きコ字状の支持体１８を、その軸穴１７を上部駆動軸１
２の軸に遊鉄して装着し、その下側にベアリング軸受１
９を装着し、さらにその下側に第１のかご歯車２０を装
着している。この断面下向きコ字状の支持体１８のコ字
状の一側部２１には、第３のかさ歯車２２が軸２３によ
り第１のかさ歯車２０と噛合した状態で設けられている
。また、断面下向きコ字状の支持体１８のコ字状の開□
部には、その支持体１８よりも寸法の小さい断面上向き
コ字状の可動支持体２４が軸２５により揺動自在に設け
られている。この可動支持体２４の断面上向コ字状の底
面部には、下部駆動軸１４が取付けられ、その下部駆動
軸１４に第２のかさ歯車２６が第３のかさ歯車２２と噛
合した状態で設けられている。このようにして鞍手部１
１が構成されている。この構成により、下部駆動軸１４
は、断面下向きコ字状の支持体１８のコ字状の一側面２
１と平行な面（垂直面）に沿って揺動（角度を変えた状
態）できるようになる。そして、その状態で回転できる
ようになる。なお、２７は下部駆動軸１４を角度を変え
た状態で保持するため、可動支持体２４に設けられてい
るセットピンで、その頭部が支持体１８に設けられたガ
イド穴から突出している。また、２８はベアリング軸受
である。この物品保持拾具は、モーター７の回転により
、公転歯車４を駆動して公転させ、かっこの公転により
、固定歯車２と噛合している自転歯車１３を回転駆動し
、それによって上部駆動軸１２を回転させ、その回転力
を第１、第３、第２のかご歯車２０，２２，２６を介し
て下部駆動軸１４に伝達し、下部駆動軸１４を回動させ
るようになつている。

これにより、駆動軸１０は自転しつつ回転円板３による
公転軌道上を公転する。そして、この間に駆動軸１０の
下端の被処理物品１６に真空黍着等の処理がなされる。
つぎに、第１図の被処理物品１６に代えて、他の種類の
被処理物品を処理する場合において、蒸発源等からの角
度（距離）を変える必要があるときは、セットピン２７
を操作して下部駆動軸１４を例えば第３図に示すような
角度に保持させ、その状態でモーター７をスイッチオン
すると下部駆動軸１４が第３図の状態を保って自転する
ようになる。

公転は第１図と同様、回転円板３による公転軌道上を公
転する。なお、下部駆動軸１４は第３図の矢印Ａの範囲
で揺動角度の調節が可能である。このように、この実施
例によれば、被処理物品に応じセットピン２７を操作し
て下部駆動軸１４の角度を調節し、蒸発源からの距離を
変えることができるため、形状、寸法が異なる多種類の
彼処理物品に対応できるようになる。

また、下部駆動軸１４の角度の調節により、彼処理物品
の被蒸着面を蒸発源に最適な角度で向けることができる
ようになるため、曲面形状、多面形状被処理物品に対し
て均一な被膜を形成できるようになり、干渉縞等が生じ
なくなる。さらに、被膜組織が被処理面に対して直角に
成長するようになるため、蒸着時に被膜のいわゆるにご
りが発生しなくなる。なお、上記の実施例は、垂直面（
角度を変えるための案内面）内で角度を変えるようにし
ているが、上記の援手１１に代えて、自在鞍手を用いれ
ば、垂直面だけでなく、斜面（角度を変えるための案内
面）に沿って角度を変えることもできる。また、この斜
面自体の傾斜角度を変えることができるようにしておけ
ばなお一層自由に取付角度ならびに距離の変更ができる
ようになるのである。第４図はこの発明の他の実施例の
斜視図、第５図はその要部断面図である。この実施例は
、駆動軸３川こ、その駆動軸３０と直角な平面上を駆動
軸３０を中心に揺動する支持板３１を設け、その支持板
３１にセットピン３２を楯設してその頭部を、第１の回
転円板３と一体的に設けられている第２の回転円板３３
のガイド穴３２ａから突出させている。そして、支持板
３１の下面に、相互に噛合している第２、第３の駆動歯
車３４，３５を設けて駆動軸３０の下端に設けられた第
１の駆動歯車３６と噛合させ第３の歯車３５の物品保持
部（第３の歯車３５の軸の下面に形成されている）に被
処理物品３６を保持させるようになっている。３７は軸
受、３８は蒸発源、３９は電源である。

それ以外の部分は前記の実施例と同じであり、同一部分
に同一符号を付している。このように構成したため、セ
ットピン３２を第２の回転円板３３のガィ・ド穴３２ａ
に沿わせて移動させると、それによって支持板３１が駆
動軸３０を中心に揺動するため、第３の歯車３５と蒸発
源３８との距離が調節できるようになる。

これを第５図のけ−の断面図である第６図に示す。すな
わち、支持板３１は、第２の回転円板３３に、駆動軸３
０を中心にして円弧状に形成されているガイド穴３２ａ
の円弧の長さ分だけ、駆動軸３０を中心に揺動する。し
たがって、支持板３１の揺動範囲は点線の位置から２点
鎖線の位置までとなる。この揺動範囲内における第３の
歯車３５の軸の移動軌跡をＡで示す。そして、蒸発源３
８から点線の位置における第３の歯車３５の軸までの距
離（最大距離）をＢとし、蒸発源から２点鎖線の位置に
おける第３の歯車３５までの距離（最小距離）をＣとす
ると、Ｂ−ＣすなわちＤが距離調節範囲となる。したが
って、セットピン３２を操作し支持板３１を駆動軸３０
を中心に揺動させることにより、Ｄの範囲内で蒸発源３
８から被処理物品３６（第３の歯車３５の軸の下面に保
持されている）までの距離を調節できるようになるので
ある。そして、セットピン３２をセットしモーター７の
スイッチをオンすると、被処理物品３６は、その距離調
節された位置で、駆動軸３０の回転力を駆動歯車３６，
３４，３５を経て受け回転する。このように、この実施
例によれば、セットピン３２を操作して支持部３１を駆
動軸３０を中心に揺動させることにより蒸発源３８から
の被処理物品３６の距離を変えることができるため、形
状、寸法が異なる多種類の被処理物品に対応できるよう
になる。

なお、以上の実施例の物品保持拾具は、真空葵着に用い
ているが、真空黍着以外に静電、粉体塗装やそれ以外の
場合にも用いうるのである。

以上のように、この発明にかかる第一の物品保持指具は
、それ自身自転しながら定められた軌道上を公転する駆
動軸の下端に物品保持部を設け、その物品保持部に物品
を保持させる物品保持俗臭であって、上記駆動軸が上下
に分割されており、上部駆動軸と下部駆動軸の間に、動
力の伝達方向を変える接手部とその鞍手部による動力伝
達方向の変更状態を保持する保持部とが設けられている
ため、接手部および保持部を操作して、保持物品と蒸発
源等との角度（距離）を変えることができる。そのため
、多種類の被処理物品に対応できるようになる。また、
保持物品の被処理面を蒸発源等に最適な角度で向けるこ
とができるようになるため、曲面形状や多面形状をもつ
物品に対して、例えば均一な被膜が形成できるようにな
り干渉縞が生じなくなる。そのうえ、被膜ににごり等も
生じなくなる。またこの発明にかかる第二の物品保持治
具は、それ自身自転しながら定められた軌道上を公転す
る駆動軸に、その駆動軸を中心に駆動軸と直角な平面上
を移動し所定の位置まで揺動したと封こその状態を保持
しうる保持手段付きの支持板が取付けられ、この支持板
に、下端に物品保持部を備えた回転軸が設けられ、この
回転軸と上記駆動軸との間にその駆動軸から回転軸に動
力を伝達する動力伝達手段が設けられているため、支持
板を揺動させることにより、保持物品と蒸発源等の距離
を変えることができる。そのため、多種類の被処理物品
に対応できるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の斜視図、第２図はその要
部断面図、第３図はその動作説明図、第４図は他の実施
例の斜視図、第５図はその要部断面図、第６図はその動
作説明図である。 １・・・・・・支柱、２・・…・固定歯車、３・・・・
・・回転円板、４・・・…公転歯車、５・・・・・・ピ
ン、６，９・・・・・・歯車、７・・・・・・モーター
、１０・・・・・・駆動軸、１１・・…・援手部、１２
・・・・・・上部駆動軸、１３・・・・・・自転歯車、
１４・・・・・・下部駆動軸、１５・・・・・・物品保
持部、１６・・・・・・被処理物品、１８・・・・・・
支持体、１９・・・・・・ベアリング軸受、２０，２２
，２６・・・・・・かさ歯車、２４・・・・・・可動支
持体、２５・・・・・・軸。 第１図第２図 第３図 第ム図 第５図 第６図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ それ自身自転しながら定められた軌道上を公転する
   駆動軸の下端に物品保持部を設け、その物品保持部に物
   品を保持させる物品保持治具であつて、上記駆動軸が上
   下に分割されており、上部駆動軸と下部駆動軸の間に、
   動力の伝達方向を変える接手部とその接手部による動力
   伝達方向の変更状態を保持する保持部とが設けられてい
   ることを特徴とする物品保持治具。 ２ 動力の伝達方向を変える接手部が、下部駆動軸が垂
   直面に沿つて揺動しかつその垂直面を上部駆動軸の軸線
   を中心に任意の角度で回転しうるように下部駆動軸を上
   部駆動軸に取付ける取付け部材と、上部駆動軸の下端に
   説けられた第１のかさ歯車と、下部駆動軸の上端に設け
   られた第２のかさ歯車と、第１のかさ歯車の回転力を第
   ２のかさ歯車に伝達する第３のかさ歯車からなるもので
   ある特許請求の範囲第１項記載の物品保持治具。 ３ 動力の伝達方向の変更状態を保持する保持部が、取
   付け部材に装着されていて下部駆動軸の任意の位置まで
   の揺動をその状態で保持するセツトピンである特許請求
   の範囲第２項記載の物品保持治具。 ４ 動力の伝達方向を変える接手部が、自在継手である
   特許請求の範囲第１項記載の物品保持治具。 ５ 物品保持治具が、真空蒸着用の物品保持治具である
   特許請求の範囲第１項ないし第４項にいずれかに記載の
   物品保持治具。 ６ それ自身自転しながら定められた軌道上を公転する
   駆動軸に、その駆動軸を中心に駆動軸と直角な平面上を
   揺動し所定の位置まで揺動したときにその状態を保持し
   うる保持手段付きの支持板が取付けられ、この支持板に
   、下端に物品保持部を備えた回転軸が設けられ、この回
   転軸と上記駆動軸との間にその駆動軸から回転軸に動力
   を伝達する動力伝達手段が設けられていることを特徴と
   する物品保持治具。 ７ 動力伝達機構が歯車列である特許請求の範囲第６項
   記載の物品保持治具。 ８ 物品保持治具が真空蒸着用の物品保持治具である特
   許請求の範囲第６項または第７項記載の物品保持治具。