JPS60190834A - 微粒子検出器用ノズル - Google Patents
微粒子検出器用ノズルInfo
- Publication number
- JPS60190834A JPS60190834A JP3267985A JP3267985A JPS60190834A JP S60190834 A JPS60190834 A JP S60190834A JP 3267985 A JP3267985 A JP 3267985A JP 3267985 A JP3267985 A JP 3267985A JP S60190834 A JPS60190834 A JP S60190834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- aerosol
- velocity
- screen
- particle detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
- G01N2001/222—Other features
- G01N2001/2223—Other features aerosol sampling devices
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
この発明は微粒子・を含む気体（エアロゾル）を噴流さ
せて光学的に微粒子の粒径等を？ｌ１１１定する微粒子
検出器に使用する微粒子検出器用ノズルの改良に関する
ものである。
せて光学的に微粒子の粒径等を？ｌ１１１定する微粒子
検出器に使用する微粒子検出器用ノズルの改良に関する
ものである。
光学式による微粒子検出器により微粒子を検出する方法
は、検出セルと称する容器内で微粒子を含有するエアロ
ゾルがノズルより噴射され、この噴流にレーザビームを
照射し、微粒子による散乱光を受光器で受光するもので
ある。（特開昭５０−１１７４８９号）その場合、噴流
の一定領域を限定し、その領域内に生じた散乱光のみを
受光する方法がとられており、この領域を検出領域とい
う。噴射された上記エアロゾルは該ノズルと対向する位
置に設けられている排気孔より排出されるが、この場合
、エアロゾルは検出領域内で層流であることは勿論、排
気に際しても乱流を生ぜず、整然と排出されることが望
ましい。もし、乱流を生ずるときは、微粒子は検出セル
内を漂流循環して、再び検出領域に廻り込み、誤計測の
原因となる。
は、検出セルと称する容器内で微粒子を含有するエアロ
ゾルがノズルより噴射され、この噴流にレーザビームを
照射し、微粒子による散乱光を受光器で受光するもので
ある。（特開昭５０−１１７４８９号）その場合、噴流
の一定領域を限定し、その領域内に生じた散乱光のみを
受光する方法がとられており、この領域を検出領域とい
う。噴射された上記エアロゾルは該ノズルと対向する位
置に設けられている排気孔より排出されるが、この場合
、エアロゾルは検出領域内で層流であることは勿論、排
気に際しても乱流を生ぜず、整然と排出されることが望
ましい。もし、乱流を生ずるときは、微粒子は検出セル
内を漂流循環して、再び検出領域に廻り込み、誤計測の
原因となる。
また、微粒子が検出セル内を浮遊、漂流するときは壁面
に沈着するなど検出セルの汚染の原因となるので排除す
ることが必要である。
に沈着するなど検出セルの汚染の原因となるので排除す
ることが必要である。
以上述べた点に関して、従来の微粒子検出器に用いられ
ているノズルの構造について第１図（ａ）。
ているノズルの構造について第１図（ａ）。
（ｂ）、 （ｃ）により説明する。
第１図（ａ）において検出セル１には微粒子を含有する
被測定エアロゾル３を導入するためのバイブ２があり、
バイブ２の先端は検出セル１内でノズル６の一部を構成
する。一方、被測定エアロゾル３を安定な層流とするた
めにバイブ４よりグリーンエア５を導入して、ノズル６
において前記エアロゾル３の外周を包囲し、かつ、これ
と同一方向に流れるエアスクリーンを形成するものであ
る。
被測定エアロゾル３を導入するためのバイブ２があり、
バイブ２の先端は検出セル１内でノズル６の一部を構成
する。一方、被測定エアロゾル３を安定な層流とするた
めにバイブ４よりグリーンエア５を導入して、ノズル６
において前記エアロゾル３の外周を包囲し、かつ、これ
と同一方向に流れるエアスクリーンを形成するものであ
る。
このようにして層流とされたエアロゾル３の噴流は検出
領域７を通過し、ここで微粒子の検出が行なわれた後、
クリーンエア５とともに餌：出口８より排気９として七
ト出される。
領域７を通過し、ここで微粒子の検出が行なわれた後、
クリーンエア５とともに餌：出口８より排気９として七
ト出される。
以上において、エアロゾル３の層流状態を維持するには
エアロゾル３およびクリーンエア５の各速度ならびに両
者の相対速度を適切にとることが必要であり、したがっ
て、導入バイブ２および４の実効口径、エアロゾル３、
クリーンエア５の流量などを合理的に設計しなければな
らない。また、ノズル６の断面形状も重要である。
エアロゾル３およびクリーンエア５の各速度ならびに両
者の相対速度を適切にとることが必要であり、したがっ
て、導入バイブ２および４の実効口径、エアロゾル３、
クリーンエア５の流量などを合理的に設計しなければな
らない。また、ノズル６の断面形状も重要である。
流体力学によれば、流れが層流であるか、乱流定義され
ている。直径りなる水平管内を比重量γ、粘性係数μな
る流体が速度Ｖで流りるときのレイノズル数ＲはＲ＝Ｖ
Ｄγ／μ塾表わされる。この式が示すように、レイノズ
ル数Ｒは速度Ｖに比例しており、速度Ｖの増加によりレ
イノズル数Ｒが一定値を超えるときは、流れは乱流とな
るものとされている。
ている。直径りなる水平管内を比重量γ、粘性係数μな
る流体が速度Ｖで流りるときのレイノズル数ＲはＲ＝Ｖ
Ｄγ／μ塾表わされる。この式が示すように、レイノズ
ル数Ｒは速度Ｖに比例しており、速度Ｖの増加によりレ
イノズル数Ｒが一定値を超えるときは、流れは乱流とな
るものとされている。
上述した、エアロゾル３の外周にクリーンエア５のスク
リーンがある場合に、上式のレイノズル数Ｒを当てはめ
るとき、速度Ｖとしてはエアロゾル３とクリーンエア５
の相対速度をとることが妥当であろう。噴流を安定な層
流とするために、古くから行なわれているダイナミック
フォーカシングと称される噴射方式においては、上記し
た２重構造のノズルを用い、中心気体と外周のスクリー
ン気体との相対速度を小さくとるものであり、上記の所
論を裏書きしている。
リーンがある場合に、上式のレイノズル数Ｒを当てはめ
るとき、速度Ｖとしてはエアロゾル３とクリーンエア５
の相対速度をとることが妥当であろう。噴流を安定な層
流とするために、古くから行なわれているダイナミック
フォーカシングと称される噴射方式においては、上記し
た２重構造のノズルを用い、中心気体と外周のスクリー
ン気体との相対速度を小さくとるものであり、上記の所
論を裏書きしている。
さて、最近における気体（空気）中の微粒子の検出技術
に対する要請はますます高度化し、粒径においてはサブ
ミクロンもしくはそれ以下の乾田の検出を必要とする。
に対する要請はますます高度化し、粒径においてはサブ
ミクロンもしくはそれ以下の乾田の検出を必要とする。
また、微粒子の濃度に関しては、半導体製造工場におけ
るクリーンルームＣ質の向上に対応して、極めて低ｅＪ
度の状態を測梵可能とする必要がある。このような低濃
度におし゛て、測定データの信頼性を確保するには、可
及酌に多量のエアロゾル３を検出領域７内に導入すζこ
とが望ましい。すなわち、検出領域７の体積カ一定であ
るとすれば、エアロゾル３の速度を高ｌることが必要と
なる。しかしながら、前述した彷来の方式では乱流を生
ずるため無闇に速度を上Ｃツられない。こノシを第１図
（ｂ）、 （ｃ）により説明すこ第１図（ｂ）はエアロ
ゾル３とクリーンエア５とがノズル６より噴射されてい
る状態を示す。上述Ｃように、エアロゾル３とクリーン
エア５との相部：速度Ｖはかなり小さく保たれているの
で、その町りにおいてはエアロゾル３は層流を維持でき
る４件下にあるが、しかし、クリーンエア５自体の退度
を増加するときは１周囲の気体（検出セル１１の静１１
・■値））−の相対法度の増加となり、クリー： ンエ
ア５のレイノズル数Ｒが増加して逐には乱流となる。こ
の乱流はスクリーンの役を果さず、ひいてはエアロゾル
３を乱流とする原因となる。第１図（ｂ）におけるクリ
ーンエア５′、エアロゾル３′はそれぞれ乱流を模した
ものである。
るクリーンルームＣ質の向上に対応して、極めて低ｅＪ
度の状態を測梵可能とする必要がある。このような低濃
度におし゛て、測定データの信頼性を確保するには、可
及酌に多量のエアロゾル３を検出領域７内に導入すζこ
とが望ましい。すなわち、検出領域７の体積カ一定であ
るとすれば、エアロゾル３の速度を高ｌることが必要と
なる。しかしながら、前述した彷来の方式では乱流を生
ずるため無闇に速度を上Ｃツられない。こノシを第１図
（ｂ）、 （ｃ）により説明すこ第１図（ｂ）はエアロ
ゾル３とクリーンエア５とがノズル６より噴射されてい
る状態を示す。上述Ｃように、エアロゾル３とクリーン
エア５との相部：速度Ｖはかなり小さく保たれているの
で、その町りにおいてはエアロゾル３は層流を維持でき
る４件下にあるが、しかし、クリーンエア５自体の退度
を増加するときは１周囲の気体（検出セル１１の静１１
・■値））−の相対法度の増加となり、クリー： ンエ
ア５のレイノズル数Ｒが増加して逐には乱流となる。こ
の乱流はスクリーンの役を果さず、ひいてはエアロゾル
３を乱流とする原因となる。第１図（ｂ）におけるクリ
ーンエア５′、エアロゾル３′はそれぞれ乱流を模した
ものである。
さらに上記において、ノズル６から噴射された後の微粒
子の挙動をみると、第１図（Ｃ）のように微粒子の粒径
（重量）によって異なる分布特性をもつことが知られて
いる。すなわち、エアロゾル３は、ノズル６の先端で噴
射された際、外周のクリーンエアロの噴流の方向が中心
方向に指向しているため、これに押された形で、エアロ
ゾル３の噴流の直径は曲線３″で示すように縮小し、こ
のとき、微粒子のうち粒径の大きいものほど中心に近く
集中し、かつ、その保有する運動量が大きいので直進性
が大きい。
子の挙動をみると、第１図（Ｃ）のように微粒子の粒径
（重量）によって異なる分布特性をもつことが知られて
いる。すなわち、エアロゾル３は、ノズル６の先端で噴
射された際、外周のクリーンエアロの噴流の方向が中心
方向に指向しているため、これに押された形で、エアロ
ゾル３の噴流の直径は曲線３″で示すように縮小し、こ
のとき、微粒子のうち粒径の大きいものほど中心に近く
集中し、かつ、その保有する運動量が大きいので直進性
が大きい。
これに対して１粒径の小さい微粒子は中心に集中するこ
とが比較的少なく、運動量が小さいこと］ と相俟って
、クリーンエア５の乱流に巻き込まれて飛散する度合い
が大きいとされる。図中、黒点は微粒子で、直径は粒径
を表わしている。このような状態が検出領域７に生ずる
ときは、粒径の小さい微粒子はど測定結果の信頼性の低
下を招くなど、低濃度でかつ極微粒子の測定の要請に対
して厚い壁をなして進歩を阻んでいる。
とが比較的少なく、運動量が小さいこと］ と相俟って
、クリーンエア５の乱流に巻き込まれて飛散する度合い
が大きいとされる。図中、黒点は微粒子で、直径は粒径
を表わしている。このような状態が検出領域７に生ずる
ときは、粒径の小さい微粒子はど測定結果の信頼性の低
下を招くなど、低濃度でかつ極微粒子の測定の要請に対
して厚い壁をなして進歩を阻んでいる。
したが゛って、この発明は上述した従来の光学式微粒子
検出器に用いられているノズルの欠点什除いて、より高
速で安定なエアロゾルのＪＷ流を構成できる微粒子検出
器用ノズルを提供することを目的とする。
検出器に用いられているノズルの欠点什除いて、より高
速で安定なエアロゾルのＪＷ流を構成できる微粒子検出
器用ノズルを提供することを目的とする。
この発明の要点は、エアロゾルの外周のスクリーンを速
度の異なる２層もしくはそれ以上の多層となるようにノ
ズルを構成したことにある。スクリーンを２層とした場
合、中心のエアロゾルに接する第１層のスクリーンの速
度は従来技術と同様にエアロゾルの速度と略同等、すな
わち不１１対速度を零に近くするか、第１層のスクリー
ンの外周に設ける第２層のスクリーンの速度は第１層の
それより低くとる。これらにより、第２層のスクリーン
と検出セル内の静止気体との相対速度、および、第２層
のスクリーンと第１Ｎのスクリーンとの相対速度はとも
に小さく押えられるので、各層のスクリーンの乱流化、
ひいては中心層のエアロゾルの乱流化が防止できる。換
言すれば、中心層のエアロゾルの速度を増加することが
可能となるものであ−る。
度の異なる２層もしくはそれ以上の多層となるようにノ
ズルを構成したことにある。スクリーンを２層とした場
合、中心のエアロゾルに接する第１層のスクリーンの速
度は従来技術と同様にエアロゾルの速度と略同等、すな
わち不１１対速度を零に近くするか、第１層のスクリー
ンの外周に設ける第２層のスクリーンの速度は第１層の
それより低くとる。これらにより、第２層のスクリーン
と検出セル内の静止気体との相対速度、および、第２層
のスクリーンと第１Ｎのスクリーンとの相対速度はとも
に小さく押えられるので、各層のスクリーンの乱流化、
ひいては中心層のエアロゾルの乱流化が防止できる。換
言すれば、中心層のエアロゾルの速度を増加することが
可能となるものであ−る。
外周のスクリーンは上記の２層方式に限らず、３層以上
の多層も考えられる。多層のスクリーンの場合において
は、より外層のスクリーンはど速度を低くとり、各層ス
クリーン間の相対速度を可及的に小さくとることにより
、中心層のエアロゾルを安定な層流とすることに効果が
あることは、」二連の所論から容易に推察できるもので
ある。
の多層も考えられる。多層のスクリーンの場合において
は、より外層のスクリーンはど速度を低くとり、各層ス
クリーン間の相対速度を可及的に小さくとることにより
、中心層のエアロゾルを安定な層流とすることに効果が
あることは、」二連の所論から容易に推察できるもので
ある。
第２図（ａ）、 （ｂ）はこの発明による微粒子検出器
用ノズルの実施例における構造および気体の流れを示す
断面図で、２層のスクリーンよりなるものである。第２
図（ａ）において、従来のパイプ４の外側に、さらに、
軸方向にスライド可能なパイプ１０を設け、これに第２
のクリーンエア］１を導入し、第２層のスクリーンを構
成する。この場合、第２図（ｂ）に矢印で示すエアロゾ
ル３′、第１層スクリーン５′および第２層スクリーン
１１′のそれぞれの速度Ｖ １． Ｖ ２およびｖ３は
各流体の流入量、各流体のパイプ２，４．１０の実効断
面積ならびにノズル１２の形状などにより決まるもので
あるが、エアロゾル３′を安定な層流とするためには、
速度■、とＶ２とはほぼ等しく、また、速度■３は、速
度■２と速度零との中間の適切な値をとることが必要で
ある。この場合、速度■１は従来よりも大きくとること
ができることは勿論で、これにより、流速を大きくする
目的が達せられる。なお、速度■３は実験的に決めるこ
とが必要で、この発明では、パイプ１０にスライド機構
１３．１４を設け、パイプ１０を軸方向に移動すること
により、ノズル１２の先端１２’、１２”の間隔を変化
させることにより、速度ｖ３を微細に調整し、最適な層
流を実現するように工夫されているものである。
用ノズルの実施例における構造および気体の流れを示す
断面図で、２層のスクリーンよりなるものである。第２
図（ａ）において、従来のパイプ４の外側に、さらに、
軸方向にスライド可能なパイプ１０を設け、これに第２
のクリーンエア］１を導入し、第２層のスクリーンを構
成する。この場合、第２図（ｂ）に矢印で示すエアロゾ
ル３′、第１層スクリーン５′および第２層スクリーン
１１′のそれぞれの速度Ｖ １． Ｖ ２およびｖ３は
各流体の流入量、各流体のパイプ２，４．１０の実効断
面積ならびにノズル１２の形状などにより決まるもので
あるが、エアロゾル３′を安定な層流とするためには、
速度■、とＶ２とはほぼ等しく、また、速度■３は、速
度■２と速度零との中間の適切な値をとることが必要で
ある。この場合、速度■１は従来よりも大きくとること
ができることは勿論で、これにより、流速を大きくする
目的が達せられる。なお、速度■３は実験的に決めるこ
とが必要で、この発明では、パイプ１０にスライド機構
１３．１４を設け、パイプ１０を軸方向に移動すること
により、ノズル１２の先端１２’、１２”の間隔を変化
させることにより、速度ｖ３を微細に調整し、最適な層
流を実現するように工夫されているものである。
以上の説明により明らかなように、この発明による微粒
子検出器用ノズルにあっては、従来のノズルの外周をさ
らにクリーンエアによるスクリーンを設けるものでり、
すなわち、スクリーンの層を２層もしくはそれ以上とし
、外層のスクリーンより、内層のスクリーンに及ぶに従
い、流体の速度を段階的にあげるもので、したがって、
各層スクリーン間の相対速度を小さく、即ち、各層の流
体のレイノズル数Ｒを小さくすることにより乱流の発生
を防止するものである。このような特徴を有するこの発
明のノズルを微粒子検出器に使用すれば、従来よりも高
速度で安定なエアロゾルの層流を構成できるので、低濃
度で、かつ極めて微細な微粒子の検出の信頼性の向上に
大きく貢献するものである。
子検出器用ノズルにあっては、従来のノズルの外周をさ
らにクリーンエアによるスクリーンを設けるものでり、
すなわち、スクリーンの層を２層もしくはそれ以上とし
、外層のスクリーンより、内層のスクリーンに及ぶに従
い、流体の速度を段階的にあげるもので、したがって、
各層スクリーン間の相対速度を小さく、即ち、各層の流
体のレイノズル数Ｒを小さくすることにより乱流の発生
を防止するものである。このような特徴を有するこの発
明のノズルを微粒子検出器に使用すれば、従来よりも高
速度で安定なエアロゾルの層流を構成できるので、低濃
度で、かつ極めて微細な微粒子の検出の信頼性の向上に
大きく貢献するものである。
第１図（ａ）、 （ｂ）および（Ｃ）は従来の微粒子検
出器に使用されているノズルの構造と流体、微粒子の流
れを示す断面図、第２図（ａ）、 （ｂ）はこの発明に
よる微粒子検出器用ノズルの構造と流体の流れを示す断
面図である。 コ、・・・検出セル、２，４．１０・・・パイプ、３，
３′・・・エアロゾル、３″・・・エアロゾルの縮ホ曲
線、５゜５’、１１．１１’・・・クリーンエア、６，
１２・・・ノズル、１２’、１２”・・・ノズルの先端
、７・・・検出領域、８・・・排出口、９・・・排気。 眼代理人 弁理士 小 川 勝 男設 とθノ ２ 旧 （６）
出器に使用されているノズルの構造と流体、微粒子の流
れを示す断面図、第２図（ａ）、 （ｂ）はこの発明に
よる微粒子検出器用ノズルの構造と流体の流れを示す断
面図である。 コ、・・・検出セル、２，４．１０・・・パイプ、３，
３′・・・エアロゾル、３″・・・エアロゾルの縮ホ曲
線、５゜５’、１１．１１’・・・クリーンエア、６，
１２・・・ノズル、１２’、１２”・・・ノズルの先端
、７・・・検出領域、８・・・排出口、９・・・排気。 眼代理人 弁理士 小 川 勝 男設 とθノ ２ 旧 （６）
Claims (1)
- １、光学式微粒子検出器の検出セルで被検出微粒子を含
む気体からなる被測定媒体を噴射するノズルが軸中心に
該被測定媒体を噴射する中心層噴射孔と、該中心層噴射
孔からの被測定媒体の外周を包囲し、かつ、相互の相対
速度が段階的に異なる複数の気体スクリーン噴射できる
複数個の同心円噴射孔とから構成されていることを特徴
とする微粒子検出器用ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3267985A JPS60190834A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 微粒子検出器用ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3267985A JPS60190834A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 微粒子検出器用ノズル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60190834A true JPS60190834A (ja) | 1985-09-28 |
| JPH0368335B2 JPH0368335B2 (ja) | 1991-10-28 |
Family
ID=12365556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3267985A Granted JPS60190834A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 微粒子検出器用ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60190834A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002061172A1 (en) * | 2001-01-30 | 2002-08-08 | Msp Corporation | Scanning deposition head for depositing particles on a wafer |
| JP2012145338A (ja) * | 2011-01-06 | 2012-08-02 | Ono Sokki Co Ltd | ダイバータ評価装置 |
| JP2022535160A (ja) * | 2019-08-13 | 2022-08-04 | ティーエスアイ インコーポレイテッド | 光学チャンバのカーテンフロー設計 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS548312A (en) * | 1977-06-22 | 1979-01-22 | Tokyu Kensetsu Kk | Method of changeeover construction of road* track* etc* to underground line |
| JPS5476292A (en) * | 1977-11-11 | 1979-06-18 | Max Planck Gesellschaft | Device for measuring specific property of particles of suspension |
-
1985
- 1985-02-22 JP JP3267985A patent/JPS60190834A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS548312A (en) * | 1977-06-22 | 1979-01-22 | Tokyu Kensetsu Kk | Method of changeeover construction of road* track* etc* to underground line |
| JPS5476292A (en) * | 1977-11-11 | 1979-06-18 | Max Planck Gesellschaft | Device for measuring specific property of particles of suspension |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002061172A1 (en) * | 2001-01-30 | 2002-08-08 | Msp Corporation | Scanning deposition head for depositing particles on a wafer |
| US6746539B2 (en) | 2001-01-30 | 2004-06-08 | Msp Corporation | Scanning deposition head for depositing particles on a wafer |
| JP2012145338A (ja) * | 2011-01-06 | 2012-08-02 | Ono Sokki Co Ltd | ダイバータ評価装置 |
| JP2022535160A (ja) * | 2019-08-13 | 2022-08-04 | ティーエスアイ インコーポレイテッド | 光学チャンバのカーテンフロー設計 |
| US11604122B2 (en) | 2019-08-13 | 2023-03-14 | Tsi Incorporated | Curtain flow design for optical chambers |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0368335B2 (ja) | 1991-10-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Kaftori et al. | Particle behavior in the turbulent boundary layer. I. Motion, deposition, and entrainment | |
| Modarress et al. | Two-component LDA measurement in a two-phase turbulent jet | |
| Ruck et al. | Particle dispersion in a single-sided backward-facing step flow | |
| US5086650A (en) | Low noise fluid flow sensor mounting | |
| JPH01500060A (ja) | 微粒子カウンター空気吸入アセンブリ | |
| Anderson et al. | Particle motion in the stagnation zone of an impinging air jet | |
| Huang et al. | Flow and mixing characteristics of an elevated pulsating transverse jet | |
| Dahneke et al. | An aerosol beam spectrometer | |
| Börzsönyi et al. | Two scenarios for avalanche dynamics in inclined granular layers | |
| US20070221550A1 (en) | Particle sorting by fluidic vectoring | |
| JPS60190834A (ja) | 微粒子検出器用ノズル | |
| Groen et al. | On the application of LDA to bubbly flow in the wobbling regime | |
| JPH0445100B2 (ja) | ||
| Gustavsson | A tutorial review of the basic theory for and practical aspects of aerosol chambers | |
| JP7214038B2 (ja) | 光学チャンバのカーテンフロー設計 | |
| JP2008523588A (ja) | フローカーテンを形成する、近接センサのノズルシュラウド | |
| JP2944021B2 (ja) | 微粒子検出器 | |
| Kinney et al. | Particle Behavior in Vacuum Systems: Implications for In-Situ Particle Monitoring in Semiconductor Processing Equipment. | |
| JPH0226176B2 (ja) | ||
| Fujita et al. | Effect of Thermophoretic force on soot agglomeration process in diffusion flames under microgravity | |
| JPS5826285A (ja) | 減圧装置 | |
| KR100366898B1 (ko) | 매연 측정을 위한 희석터널장치의 고효율 희석 챔버 | |
| JP2880520B2 (ja) | 水柱ノズル | |
| JP3263496B2 (ja) | 微粒子検出器のオリフィス付き噴射ノズル | |
| JPH04265838A (ja) | 細胞判別装置および粒子の検出方法 |