JPS60186066U - 薬液散布装置 - Google Patents
薬液散布装置Info
- Publication number
- JPS60186066U JPS60186066U JP7553184U JP7553184U JPS60186066U JP S60186066 U JPS60186066 U JP S60186066U JP 7553184 U JP7553184 U JP 7553184U JP 7553184 U JP7553184 U JP 7553184U JP S60186066 U JPS60186066 U JP S60186066U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- passage
- chemical liquid
- spraying device
- air
- chemical spraying
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000005507 spraying Methods 0.000 title claims description 5
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Landscapes
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Catching Or Destruction (AREA)
- Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はこの考案の薬液散布装置の一実施例を示す正面
図、第２図ないし第４図は同上の散布管各側を示す拡大
断面図である。 ３・・・・・・薬液散布管、６・・・・・・空気通路、
７・・・・・・薬液通路、８・・・・・送風路、１１・
・・・・・ポンプ、１２・・・・・・薬液タンク、１５
・・・・・・噴気孔。
図、第２図ないし第４図は同上の散布管各側を示す拡大
断面図である。 ３・・・・・・薬液散布管、６・・・・・・空気通路、
７・・・・・・薬液通路、８・・・・・送風路、１１・
・・・・・ポンプ、１２・・・・・・薬液タンク、１５
・・・・・・噴気孔。
Claims (1)
- 薬液タンクからポンプにより圧送されてくる薬液を下方
へ噴霧する多数のノズルを下側に配列し路と薬液通路と
送風路を一体に設け、空気通路内に前記薬液通路を設け
て、両逆路を仕切壁で遮断し、送風路の下側には下方へ
向けてエアカーテンを形成するための多数の噴気孔を配
列した薬液散布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7553184U JPS60186066U (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 薬液散布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7553184U JPS60186066U (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 薬液散布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60186066U true JPS60186066U (ja) | 1985-12-10 |
Family
ID=30616836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7553184U Pending JPS60186066U (ja) | 1984-05-21 | 1984-05-21 | 薬液散布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60186066U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6964890B1 (en) | 1992-03-17 | 2005-11-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for forming the same |
-
1984
- 1984-05-21 JP JP7553184U patent/JPS60186066U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6964890B1 (en) | 1992-03-17 | 2005-11-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for forming the same |
| US7564057B1 (en) | 1992-03-17 | 2009-07-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having an aluminum nitride film |
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