JPS60173764U - ゴツグル弁 - Google Patents
ゴツグル弁Info
- Publication number
- JPS60173764U JPS60173764U JP6070784U JP6070784U JPS60173764U JP S60173764 U JPS60173764 U JP S60173764U JP 6070784 U JP6070784 U JP 6070784U JP 6070784 U JP6070784 U JP 6070784U JP S60173764 U JPS60173764 U JP S60173764U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve body
- movable
- cylinder
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の実施の一例を示すもので第１図は一部を
省略して示す縦断面図、第２図は部分縦断正面図、第３
図は部分拡大断面図である。 １・・・・・・弁箱、２，３・・・・・・流路筒、４・
・曲固定弁座、５・・・・・・移動筒、６・・・・・・
可動弁座、７・・・・・・フランジ、８・・・・・・ベ
ローズ、１１・・・・・・弁体支持フレーム、′１２・
・・・・・閉鎖用弁体、１３・・・・・・開放用弁体、
２０ ａ９ ２０ ｂ”・”シールリング、２１ａ、２
１ｂ・・・・・・ガスパージ孔、２２・・・・・・空洞
部。
省略して示す縦断面図、第２図は部分縦断正面図、第３
図は部分拡大断面図である。 １・・・・・・弁箱、２，３・・・・・・流路筒、４・
・曲固定弁座、５・・・・・・移動筒、６・・・・・・
可動弁座、７・・・・・・フランジ、８・・・・・・ベ
ローズ、１１・・・・・・弁体支持フレーム、′１２・
・・・・・閉鎖用弁体、１３・・・・・・開放用弁体、
２０ ａ９ ２０ ｂ”・”シールリング、２１ａ、２
１ｂ・・・・・・ガスパージ孔、２２・・・・・・空洞
部。
Claims (1)
- 弁箱内にあって同軸心配置に先端を対向させた一対の流
路筒を有し、その一方の流路筒に固定弁座を取り付けす
るとともに他方の流路筒に対し、摺動自在に移動筒を嵌
め合せ、該移動筒の尖端に可動弁座を備え、前記弁箱内
に開放弁体と閉鎖弁体とを有する弁体支持フレームをス
ライド自在に吊持支時させ、該弁体支持フレームを前記
両弁座間にスライド自在となし、前記可動弁座を移動さ
せて両弁座間に前記開放弁体もしくは閉鎖弁体を挟持さ
せるようにしてなるボッグル弁において前記弁箱を前記
流路筒に通じる部分を除いて気密性を保持させ、該弁体
内に前記流路筒より高圧の不活性ガス供給路を連通させ
たことを特徴としてなるボッグル弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6070784U JPS60173764U (ja) | 1984-04-26 | 1984-04-26 | ゴツグル弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6070784U JPS60173764U (ja) | 1984-04-26 | 1984-04-26 | ゴツグル弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60173764U true JPS60173764U (ja) | 1985-11-18 |
Family
ID=30588305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6070784U Pending JPS60173764U (ja) | 1984-04-26 | 1984-04-26 | ゴツグル弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60173764U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155005A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Ulvac Japan Ltd | 真空用ゲ−トバルブ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5318587U (ja) * | 1976-07-28 | 1978-02-17 |
-
1984
- 1984-04-26 JP JP6070784U patent/JPS60173764U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5318587U (ja) * | 1976-07-28 | 1978-02-17 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155005A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Ulvac Japan Ltd | 真空用ゲ−トバルブ |
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