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JPS60155091A - 流体用微小流量調節器 - Google Patents

流体用微小流量調節器

Info

Publication number
JPS60155091A
JPS60155091A JP59010311A JP1031184A JPS60155091A JP S60155091 A JPS60155091 A JP S60155091A JP 59010311 A JP59010311 A JP 59010311A JP 1031184 A JP1031184 A JP 1031184A JP S60155091 A JPS60155091 A JP S60155091A
Authority
JP
Japan
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filter
flow rate
fluid
minute flow
rate regulator
Prior art date
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Granted
Application number
JP59010311A
Other languages
English (en)
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JPH0327799B2 (ja
Inventor
徹 柚木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Priority to JP59010311A priority Critical patent/JPS60155091A/ja
Priority to US06/694,065 priority patent/US4670138A/en
Publication of JPS60155091A publication Critical patent/JPS60155091A/ja
Publication of JPH0327799B2 publication Critical patent/JPH0327799B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
    • G05D7/0641—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means
    • G05D7/0652—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means using a plurality of throttling means the plurality of throttling means being arranged in parallel
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/42—Auxiliary equipment or operation thereof
    • B01D46/44—Auxiliary equipment or operation thereof controlling filtration
    • B01D46/46—Auxiliary equipment or operation thereof controlling filtration automatic
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/26—Conditioning of the fluid carrier; Flow patterns
    • G01N30/28—Control of physical parameters of the fluid carrier
    • G01N30/32—Control of physical parameters of the fluid carrier of pressure or speed
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、微情の流体（例えばガス）の流量調節を行々
う微小流量調節器に関するものである。
一般に知られているように例えばガスの微小流１件の流
量１Ｍ整は手動バルブでは困難であり、従来でに自動調
節弁を用いて自動調節により制御されていた。しかしこ
のような自動調節弁は高価でしかもかさばるため調節器
自体が大きくしかも高価のものとなる欠点があった。
そこで、本発明の目的は従来用いられてきた自動調節弁
の代りに濾過量（すなわち透過量）の設定できるフィル
タを用いて簡単で安価な流体用微小流量調節器を提供す
ることにある。
この目的を達成するために、本発明による調節器は、流
体の流路に予定の濾過量に設定できる少なくとも一つの
フィルタを設け、フィルタへの流体供給を制御すること
によって微小流量を調節できるようにしたことを特徴と
している。
また本発明においては、各フィルタは異なるＰ消量をも
ち、これらフィルタは７４１体の流路に互いに並列に配
置されて並列分岐流路を形成し、各分岐蒲路を個々に開
閉できるように構成できる。
この明細書において用語”フィルタへの流体供給の制御
”はフィルタへの流体の流入およびしゃ断と共にフィル
タへ流入する流体圧の調整も意味するものとする。
以下、本発明の実施例を添附図面を参照して説明する。
第１図には本発明の一実施例を示し、１はガスの流路、
２は減圧弁、３はフィルタであり、減圧弁２で流入ガス
の圧力を調整することによりフィルタ３を介して出口へ
の流量を変えるように構成される。フィルタ３は減圧弁
２で容易に調節できる圧力範囲内で縮重のＭＹ　ｆｔｔ
が流れるようＶｒｃ構成妊れる。すなわち使用するフィ
ルタはガスのｆ過に対しである程度の抵抗のあるものが
望ましく、ガスの流量によって濾過孔径および面積を選
択することができる。好ましくは適用フィルタの孔径ば
０．０５〜０．５μ、流歇虻囲け０〜１ｔ／ｍｉｎ　に
設定され得る。
例えば孔径〔１，１μのフィルタを使用した場合のガス
圧力と濾過量との関係を表１にまたフィルタ［１１ｉ　
Ｎ　トｉＦ”　過ｆｔとの関係（圧力０．１Ｋｇ／ｃｒ
ｎ２）を表２に示す。
衣　１ 表　２ 上記二つの表から明らかのように圧力と濾過量（単位１
ｎｉｋ当りの）および面積と濾過量はそれぞれほぼ比例
して変化する。
第２図には本発明の別の実施例を示し、この実施例では
多数のフィルタ３Ａ、　５Ｂ、　３Ｃ，３Ｄ、　−−−
−−が８ν列に配置されており、各フィルタの入力側に
それぞれ電磁弁４Ａ、　４１３．４Ｃ，４Ｄ、　−−一
が設けられている。各フィルタはそれぞれ異なる濾過量
（透過量）、例えば第１フイルタ３Ａを１．第２フイル
タ３Ｂを号、第３フイルタ６Ｃを′／４．第４．ィルタ
３Ｄ？号のような比率に構成される。このような比率は
フィルタの面檀筐たけ孔径を変えるか或いは枚数を重ね
ることによって任意に設定され得る。各フィルタの前に
挿置された電磁弁４Ａ。
４Ｂ、　４Ｃ，４Ｄ、　−−一を図示してない制御装置
によって作動させることにより、任意の流量に調整する
ことができ、自動制御が可能となる。また減圧弁２はこ
の場合には圧力を一定に保つようにされる。
すなわち全ての電磁弁４Ａ〜４Ｄが開のとき最大流量と
なり、一方全部閉のとき流量はゼロとなる。
従って開いている電磁弁の組合せによってゼロから最大
流量の間で流量を決めることができる。またその分解能
は使用するフィルタの数で決まる。
例えばフィルタを４つ使用すれば、１６段階の制御を行
なうことができる。すなわち、開いている電磁弁を１．
閉じている電磁弁を０とすれば、０から１５までの２進
数として表わすことができる。
また電磁弁４八〜４Ｄの開閉は直接デジタル信号で制御
することができる。なお必要ならば一過量の等しいフィ
ルタを多数用いて各分岐流路中のフィルタの数を変える
ことによって同様な作用を得ることができる。
以上説明してきたように、本発明によれば、従来のよう
に高価な自動調節弁を使用しなくてもガスの微小流量の
調節ができ、また流量はフィルタを適当に選ぶことによ
って広い範囲で調節が可能となり、さらにコンピュータ
制御を用いれば［接離量制御も可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す軌路線図、第２図は別
の実施例を示す軌路線図である。 図中、１：流体の流路、　２二減圧弁、　６：フィルタ
。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、　流体の流路に予定のｉｆ’　：ｉｆＭ匍に設定で
    きる少なくとも一つのフィルタを設け、フィルタへの流
    体供給を制御することによって微小流蓋を調節できるよ
    うにしたことを特徴とする流体用微小流量調節器。 ２、　各フィルタが異なるｆ４過量をもち、これらフィ
    ルタを流体のｉＡｆ路に互いに並列に配置し、各フィル
    タを通るそれぞれの分岐流路を開閉できるようにした特
    許請求の範囲第１項に記載の調節器。
JP59010311A 1984-01-25 1984-01-25 流体用微小流量調節器 Granted JPS60155091A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59010311A JPS60155091A (ja) 1984-01-25 1984-01-25 流体用微小流量調節器
US06/694,065 US4670138A (en) 1984-01-25 1985-01-23 Apparatus for controlling an infinitesimal flow rate of fluid

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59010311A JPS60155091A (ja) 1984-01-25 1984-01-25 流体用微小流量調節器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60155091A true JPS60155091A (ja) 1985-08-14
JPH0327799B2 JPH0327799B2 (ja) 1991-04-17

Family

ID=11746694

Family Applications (1)

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JP59010311A Granted JPS60155091A (ja) 1984-01-25 1984-01-25 流体用微小流量調節器

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US (1) US4670138A (ja)
JP (1) JPS60155091A (ja)

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US4670138A (en) 1987-06-02

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