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JPS60138410A - 直線寸法の検出ヘツド - Google Patents

直線寸法の検出ヘツド

Info

Publication number
JPS60138410A
JPS60138410A JP59246953A JP24695384A JPS60138410A JP S60138410 A JPS60138410 A JP S60138410A JP 59246953 A JP59246953 A JP 59246953A JP 24695384 A JP24695384 A JP 24695384A JP S60138410 A JPS60138410 A JP S60138410A
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JP
Japan
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members
detection head
arm
fulcrum
movable arm
Prior art date
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Granted
Application number
JP59246953A
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English (en)
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JPH0548401B2 (ja
Inventor
カルロ、ダラーリヨ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Finike Italiana Marposs SpA
Original Assignee
Finike Italiana Marposs SpA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=11110826&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPS60138410(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Finike Italiana Marposs SpA filed Critical Finike Italiana Marposs SpA
Publication of JPS60138410A publication Critical patent/JPS60138410A/ja
Publication of JPH0548401B2 publication Critical patent/JPH0548401B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/002Constructional details of contacts for gauges actuating one or more contacts

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野1 本発明は、サポート、サポートに関して可動で長手軸心
を規定しているアーム、可動アームの一端に配置された
探子、アームをサポートに接続する接続装置であって、
長手軸心に対し、て垂直に伸び、その1つがサポートに
接続され、別のカアームに接続されている複数の部材と
、これらの部材の相対変位を可能にする支点とを有し、
その変位が長手軸心に関して横切る少なくとも1つの軸
心を中心とした主に単なる相対回転から成っている接続
装置、可動アームの休止状態を規定するスラスト装置、
および可動アームの休止状態からの変位に関する検出装
置から構成されたワークの寸法のような直線寸法の検出
ヘッドに関する。
〔従来技術と問題点〕
機械加工されたワークあるいは機械加工すべきワークお
よび工具の直線寸法を検出するヘッドをターニング機械
および加工センターに備える傾向が高くなっていること
が知られている。これらの ′検出ヘッドは普通、ワー
クおよび工具と接触するために用いられる探子を支持す
るアーム、サボート、アームをサポートに接続し一軸心
あるいは数軸心に沿う探子の変位を可能にする接続装置
、および検出装置から構成されている。検出装置は、測
定信号(普通は比較形式)を発生する位置変換器、ある
いは探子とワーク(あるいは工具)との機械的な接触が
生じた際に開く電気接点を有する。
後者の場合電気接点の開放は、検出ヘッドおよびないし
ワークおよびないし工具が配置されているa椋工具スラ
イダと連動して変換器で発生された測定18号の読み取
りを制御する論理信号を発生するO 上述の用途に対して採用される検出ヘッドに対しては健
全性および反復性が基本的に要求される。
更に検出ヘッドの寸法はしばしば、特別な接続装置の形
式にすべき空間および、特に工具の交換のため自動@置
を備えたラッチに関して概榊工具の中に収容するための
都合から小さくなけれはならない。
これらの検出−・ラドに対する別の重要な要求は、(測
定ヘッドに関する限り)大きな値の測定範囲を得るため
およびないし安全の理由のために可動アームの変位が幾
分の大きな振幅であることにある。勿論検出ヘッドの全
寸法が非常に小さければ、検出ヘッドの健全性および反
復性を同時に保証した状態で可動アームの長い変位を得
ることは難しくなろう 周知の検出ヘッドはこれらの矛盾する要求を満足に妥協
させていない。
実際反復性が過度の遊びおよび電気構成要素の中の望ま
しくない動きによって損なわれるか、あるいは変位の振
幅が検出ヘッド自体の寸法により制限されろう 1981年11月20日付は出願のイタリア特許出願第
3578171(1号明細書には、アームをサポートに
接続する装置が、可動アームがそこを中心として回転変
位できる支点を規定する薄肉部を持った一体部材によっ
て形成されているような測定ヘッドが記載されている。
しかしその構造形式のためにそれらの支点は小さな振幅
の角運動を可能にし、大きな値の測定範囲を得るために
は、一体部材および従って検出ヘッドに対しかなりの寸
法にする必豊かあろう 〔発明の目的〕 本発明の目的は、可動アームの大きな振幅の変位を可能
とする一方で高い反復性および精度を保証し、小さな寸
法に構成できる検出ヘッドを提供することにある。
〔発明の概要] 本発明によればこの目的は冒頭に述べた形式の検出ヘッ
ドにおいて、部材が個々の部材によって形成され、支点
が長手軸心に関しずらされている回転軸心を規定するた
めに部材間に配置された要素から成り、スラスト装置が
相対回転の際だけ前記部材の相対変位の発生を保証する
ような力を支点の要素および部材に与えるスラスト讐累
から成っていることによって達成される。
[実施例] 以下図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明す
る。
第1図および第2図に示した検出ヘッドのアームセット
は覆いを兼ねるサポートlに取り付けられ、サポート1
および検出ベッドの長手軸心と休止状態において一致す
る長手軸心を待った可動アーム2を有している。このア
ー′J−2の一端には探子3が固定され、との探子3は
接近する対象物4と検出ヘッドとの相対変位の結果対象
物4に接触する。
アーム2は接続装置によってサポートlに接続され、こ
の接続装置は3つの部分、即ち(休止位置において)は
ぼ上下に配置され検出ヘッドの長手軸心に対しほぼ垂直
方向に伸びている別個の3つの部材あるいは板5.6.
7から成っている。
部材5と7はそれぞれアーム2およびサポート1に(図
示してない方法で〕直接固定され、−力部材6は中間位
置に配置されている。
部材6と7はアーム2が通る貫通孔8.9を有し、アー
ム2はこれらの貫通孔8.9の中で所定の振幅で横方向
変位ができる十分な遊びを持って貫通している。
接続装置はまた支点を有し、この支点は部材6と7に関
して中間に配置された個−々02つの要素あるいは球I
Oと11を有し、特にこれらの球1O111は部材6の
表面12に固定(例えば貼着)され、それぞれ部材7の
表面13に設けられた円錐座14と15の表面と協働す
る。
表面12と13との間に配置された2つの復帰ばね16
と17を有するスラスト装置は球10と11と円錐座1
4と15との接触を常に惺ち、従って休止状態および作
動状態の両方において部材6と7を互いに接続した状態
にする。
検出ヘッドはそれぞれ表面12と表面13に固定された
2つの電気接点18と19を持った検出装置を有し、こ
れらの電気接点1B、19は休止状態において互いに閉
じられている。電気接点18と19は球10と11が配
置されている検出ヘッドの長手軸心の側(第1図および
第2図における左側)と反対の側(第1図および第2図
における右側)に配置されている。
検出ヘッドの長手軸心に対し垂直の横軸心にその中心が
並んでいる2つの球lOと11は一組の電気接点】8と
19と一緒に、部材6と7の相対位置を決定する支持台
として作用し、円錐座14と15の中における球lOと
11の運動は球の中心によって規定された上述の横軸心
を中心とした部材6と7の相対回転を可能にする。
別の支点は一組の球20(第1図では1個しか見えず)
から成り、これらの球20は検出ヘッドの長手軸心に関
して右側に部材5と6に関し中間に配置されている。
特にこれらの球20は部材6の表面21に固定(例えば
貼着)され、部材50表面22に設けられた対応した円
錐凹所23(第1図では1つしか見えず)の中に収容さ
れている。
第1図および第2図では見えない別の組の復帰ばねは復
帰ばね16と17と同じ作用を有し、球20を常に部材
5と接触させている。
2つの電気接点24と25はそれぞれ検出ヘッドの長手
軸心に関し左側において表面21と表面22に取り付け
られ、休止状態において互いに閉じられている。
この組の球20の中心は、アーム2の長手軸心に対し垂
直で球lOと11の中心によって規定された横軸心に対
して平行な横軸心に並べられている。電気接点24と2
5は検出ヘッドの長手軸心に関して球20によって規定
された横軸心の反対側に配置されている。
休止状態において前記の2つの横軸心および各組の電気
接点18.19と24.25は、アーム2の長手軸心即
ち検出ヘッドの長手軸心から逆向きに同じ間隔を隔てら
れている◇ 第2組の球200作用はat組の球10と11と全く同
じであり、宵、気接点24.25と一緒に、部材5と6
の相対位置を決定し、球面、円錐座およびばねの協働に
より前述した横軸心を中心と[、た部材5.6の間の相
対回転を可能にしている。
圧aばね26からなるスラスト装置は、サポート1に設
けられた円形座27およびアーム2に設けられた円形肩
部z8と協働して、可動アーム2の休止位置を規定し、
探子3と対象物4との接触力の値を決定し、即ち部材5
.6.7の間における相対変位、特に相対回転を生ずる
ために必要な力を決定する。
制限装置はほぼ円筒状の2つのストッパ29と30から
成り、これらのストッパ29,30はサポート1の内側
面31に固定され、部材5およびそれに固定されたブー
420回転運動を制限するためにストッパあるいは部材
50基準面35と協働するために用いられる。
部材5に設けられた2つの円筒状座33と34は、探子
3に対し軸方向に押すために部材5が球加、l0111
によって規定された支点を中心とした部材5.6と6.
7の間の逆の相対回転から生ずる軸方向の変位を行う際
、ストッパ29と30を収容するために用いられる。
検出ヘッドは次のように作用する。
検出ヘッドが対象物4に接近され、探子3が対象物に接
触した後、相対変位が継続するため、探子3は図面に矢
印−Xで示した方向に向いた力を受ける。
この力はアーム2を介して検出ヘッドのアームセットに
伝えられ、もしそれがはね26によって与えられる対抗
力を打ち負かせるならば、アーム2に固定された部拐5
は第2組の球201よって規定された横軸心を中心とし
て回転する。
ばね16と17は実際ばね26によって与えられるより
も大きな対抗力を供給するように作られ、このようにし
て部材6は部材7と一体のままにでき、相互に付勢され
る電気接点I8.19を操作するためにサポート1とも
一体のままにできる。
部材5と6の相対回転は電気接点囚と部を開かせ、探子
3の−X方向における変位の発生を示す論理信号を発生
する。探子3が+X方向に付勢される場合(例えば対象
物4に関しアーム2の軸心を中心として対称に配置され
た対象物4に接触するため)、もしその力かばね26を
圧縮するに十分であるならば、表面21と22の間に配
置された第2組の復帰ばねと電気接点あと25の接合の
複合作用は部材5と6の静止相対位置を保ち、アーム2
と一体に球10と11の中心によって規定された横軸心
を中心としたこれらの部材の回転を生じさせる。
この回転は電気接点18と19を開き、探子3の+X方
向の変位を検出する論理信号を発生する。
回転の代わりに直線方向の探子3の変位についても考慮
しなければたらないが、この変位は非常に小さな振幅で
あるので、この変位は実際はば直線であると考えること
ができる。
検出ヘッド構造は探子3が矢印十Y方向に変位すること
を可能にしている。探子3がこの方向に付勢されること
によって球10.11と20の組によって規定された2
つの横軸心を中心とした逆向きの回転運動の組合せから
生ずる探子3およびアーム2の変位が生ずる。
この動きは二組の電気接点18、】9と24.25によ
って構成されたスイッチを開く。電気接点J8.19と
冴、25が論理ユニットに接続された内列回路に配置さ
れているので、いずれかの電気接点の開放が探子3の変
位を検出する。前記直列回路および論理ユニットは既に
良く知られているので図面に゛は示されてない。
上述した制限装置の特殊な構造は大きな利点を生ずる。
まずアーム2の横方向変位の制限が孔9の表面にアーム
2が接触することによって行われるならば、この接触は
球10.11.2oによって規定された支点の完全性お
よび正確さに対する危険をもたらす。部材5とストッパ
29,30との接触が、少なくとも探子3に与えられる
カの標準値に対してこの危険をなくす。
更に探子3の矢印十Y方向の変位が同じ振幅の部材5の
軸方向変位を生ずる間、探子3の+X(あるいは−X)
方向の変位が(第1図の要素に比例した寸法の要素から
成る検出ヘッドに対し)部材5の表面320点の小さな
振幅の軸方向変位の分力を生ずることを考慮しなければ
ならない。これはもし円筒状態33.34が設けられて
いなければ、ストツバ29.30と表面32との間の距
離によって決められた探子30ストロークの振幅が矢印
十X(あるいは−X)方向におけるよりも矢印+Y方向
の方が小さいことを意味している。
従ってそれを防止するために座33.34が設けられて
いる。このようにして軸方向の変位が心配される限り探
子3の移動は表面32とサポート1の内側表面31との
接触によって制限される。
本発明に基づく検出ヘッドは、異なった数の第1図の部
材5.6.7と同じ部材あるいは僅かに異なった形状お
よびないし輪郭をした部材を用いることによって作れる
特にたった2つの部材(および即ち部材間に配置された
たった1組の球)を持った検出ヘッドを作ることができ
、これはだだ1/2軸心に沿った探子の変位を生ずる。
第4図および第5図に概略的に示したアームセットを持
った検出ヘッドのような5つの部材を持った検出ヘッド
を作ることもでき、この構造によって可動アーム51に
固定された探子5oは2 +1/2細心に沿って、特に
図面において矢印十X、−X。
十Z、−Z、 +Yの方向に変位できる。
第1図の部材5.6.7と同じである5つの部材あるい
は板52.53.54.55.56 (52はアーム5
1に固定され、56はサポート57に固定されている)
は、(休止状態において)はぼ平行な状態で相互に配置
され、数組の球58.59.60.61’は中間に配置
され部材に貼着され、隣の部材に設けられた円錐座の中
で自由に回転し、直列回路に接続された数組の電気接点
62.63.64.65は同じ部材の間で(休止状態に
おいて)閉じられている。得帰ばね(図示せず)は球5
8−61をそれらの両側に位置する2つの部材に接触さ
せている。
数組の球58と59は、士X方向に対し平行な軸心な中
心とした部材52.53と53.54の相対回転のため
の検出ヘッド長手軸心から同じ距離だけ隔てられた2つ
の支点を形成するため用いられる支点を形成する。同様
に数組の球60と61は、±2方向に対し平行な細心を
中心とした部材54.55と55.56の相対回転のた
めの検出ヘッド長手軸心から同じ距離だけ隔てられた2
つの支点を形成している。
更に第3図および第4図の検出ヘッドは第1図および第
2図に示したと同じか相応した要素を有し、即ちばね2
6に対応したばね、ストッパ29と駒、座33と34お
よび表面31に対応したストッパおよび座(環状ストッ
パあるいはケーシング57に固定された複数のストッパ
、部材52に設けられた環状溝およびケーシング57の
ストッパ面)を有している。
作用は第1図の検出ヘッドの作用と全く同じである。よ
り明らかにするために、十x方向および十Y方向に沿う
探子50の変位に関して説明する。
探子50が第3図に示したように対象物66に接触する
と、探子50は+X方向−力を受ける。部材の間に配置
された数組の球58.59.60と数組の電気接点62
.63.64を相対接触させるため、4つの部材52.
53.54.55およびアーム51は、部材56に関し
一組の球61によって規定された横軸心を中心として一
体に回転し、部材55と56の間に配置された一組の電
気接点65が開き、この開放は+X方向の探子50の変
位を検出する論理信号を発生する。
探子50が+Y方向に移動すると、部材52はアーム5
1と一体に、部材52と53の球58を中心とした相対
回転、部材53と54の球59を中心とした相対回転、
部材54と55の球60を中心とした相対回転および部
材55と56の球61を中心とした相対回転の組合せの
結果から変位を生する。
この変位は種々の組の電気接点を開放させ、これらの電
気接点が論理ユニット(図示せず)に接続された直列回
路に配置されているので、どれか−組の電気接点の開放
は+Y方向の探子5oの動きを検出する。
部材め数はどうであっても部材の間の球の位置は製造工
程中において円錐座の位置決めによって、即ち連結され
る2つの部材の一方だけに実施される加工作業によって
決定され、実際他方の部材への貼着は、種々の部材が積
み重ねられ対応する座の中に球が挿入された後、組立工
程において実施される。これは種々の部材の位置の困難
な一致を行わせる必要をなくすることによって容易にで
きる。
更に部材の間に配置された数組の球に関し、これらの数
組の球はただストッパおよび支点として機械的な作用を
持っているだけであり、一方電気的な検出は別の要素(
特に第1図における実施例の場合数組の電気接点18.
19と24.25)Kよって行われる。従ってこれらの
球はその電気的な特性に無関係に機械的に適した材料(
%に摩擦係数が小さく耐摩耗性の材料)を用いて製造さ
れる。
上述したすべての検出ヘッドは接触検出形であるが、電
気接点の代わりに位置変換器の対応した要素を使用する
ことができ、そのようにして測定ヘッドを製造できる。
また別の方式で、例えば隣の部材に固定された2つのリ
ングおよび遊びをなくすために軸受に予圧をかけるため
の装置を持ったローラ軸受あるいは球軸受を使用して支
点を得ることもできる。
支点の別の実施形態に基づいて、各組の球は部材に溶接
され、座がそれぞれ円錐座および7字形座のように形成
される。
なお上述した検出ヘッドは本発明の技術思想を逸脱する
ことなしに作用あるいは構造について変更できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に基づく接触検出形の検出ヘッドの休止
状態における縦rIfT面図、第2図は第1図のn−n
紛に沿うアームセットの断面図、第3シ1は第1図の検
出ヘッドのアームに比べて多くの自由度で動けるアーム
を持った異なった接触検出形の検出ヘッドの主要構成少
素の縦断面図、#、4図は第3図におけるIV −IV
線に沿う断m+図である。 1・・・サポート、2・・・アーム、3・・・探子、4
・・・対象物、5.6.7・・・部材、8.9・・・貫
通孔、1O111・・・球、12.13・・・表面、1
4.15・・・円錐座、18.19・・・電気接点、2
0・・・球、22・・・表面、23・・・円錐凹所、U
、25・・・電気接点、2G・・・ばね、29.30・
・・ストッパ、33.34・・・円筒状塵、50・・・
探子、51・・・アーム、52〜56・・・部材、57
・・・サポート、58〜61・・・球、62〜65・・
・電気接点、66・・・対象物。 出願人代理人 猪 股 清 FIGJ!

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、サボー) (1)、サポート(1)に関して可動の
    アーム(2)、可動アーム(2)の一端に配置された探
    子(3)、アーム(2)をサボー)(1)に接続する接
    続装置であって、長手軸心に沿って上下に配置され前記
    長手軸心に対して垂直に伸び、その1つ(7)がサボ−
    ) (i)に接続され、別の(5)がアーム(2)に接
    続されている複数の部材(5,6,7)と、これらの部
    材(5,6,7)の相対変位を可能にする支点とを持っ
    た接続装置、可動アーム(2)の休止状態を規定するス
    ラスト装置、および可動アーム(2)の休止状態からの
    変位に関する検出装置から構成され、前記支点が長手軸
    心を横切りずらされている少なくとも1つの回転軸心を
    規定するために部材間に配置された要素(lOlll、
    20)から成り、前記スラスト装置が相対回転の際だけ
    前記部材(5,6,7)の相対変位の発生を保証するよ
    うな力を支点の要素(10,11,20)および部材(
    5,6,7)に与えるスラスト要素(16,17)から
    成っている仁とを特徴とするワークの寸法のような直線
    寸法の検出ヘッド。 2、検出装置が前記部材の1つと連動された少なくとも
    2つの個々の要X(18,19,24,25)から成っ
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の
    検出ヘッド。 3、スラスト要素が、休止状態および変位中の両方にお
    いて支点の要素(10,11,20)と部材との接触を
    保つ弾性要素から成っていることを特徴とする特許請求
    の範囲第1項に記載の検出ヘッド。 4、支点の要素(10,11,20)がほぼ球形をして
    いることを特徴とする特許請求の範囲第3項に記載の検
    出ヘッド。 5、前記部材の少なくこも1つ(5,7)が、支点の要
    素(lo、 11.2o )と協働するほぼ円筒状をし
    た少なくとも1つの座(14,15)を形成しているこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第4項に記載の検出ヘッ
    ド。 6、支点の要素(10,11,20)が、これらがその
    間に配電されている部材の一方(6)に固定されている
    ことを特徴とする特許請求の範囲第5項に記載の検出ヘ
    ッド。 7、スラスト装置がアーム(2)とサポート(1)と協
    働し変位を可能にする弾性装置(16,17)から成っ
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の
    検出ヘッド。 8、検出装置が休止状態において閉じている宵、気接点
    (lべ19.24.25)を持った少なくとも1つのス
    イッチから成っていることを特徴とする特許請求の範囲
    第2項に記載の検出ヘッド09.2つの部材(6,7)
    の間に配置された支点の要素(Ha、11)が長手軸心
    に関して片側に位置され、2つの電気接点(tS、19
    )が前記2つの部材(6,7)に連結され、長手軸心に
    関して反対側に配置されていることを特徴とする特許請
    求の範囲第8項に記載の検出ヘッド。 10、制限装置が、アーム(2)のサポート(1)に関
    する変位を制限するための、サポート(1)およびアー
    ム(2)に固定された部材(5)と協働されるストッパ
    (29,3Cりを有していることを特徴とする特許請求
    の範囲第1項に記載の検出ヘッド。 11.3ツの部材(5,6,7)を有し、支点(to、
    !1.20)が可動アーム(2)の休止状態におhて互
    いに平行な2つの横軸心を中心とした柏崎回転を可能に
    し、前記長手軸心から同じ間隔を隔てられ、検出装置が
    、可動アーム(2)の軸方向変位および可動アーム(2
    )の2つの横方向変位を検出するため、前記部材の1つ
    と2つづつ協働する4つの個々の要素(18,19,2
    4,25)から成っていることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項に記載の検出へブドウ 】2゜部材の2つ(6,7)が可動アーム(2)が通過
    する開口(8,9)を有していることを特徴とする特許
    請求の範囲第11項に記載の検出ヘッド。・13、制限
    装置が、それぞれ軸方向変位および横方向変位を制限す
    るために、サポート(1)および可動アーム(2)に固
    定された部材(5)に連結され選択的ニ互いに協働する
    複数のストッパ面(29,30゜3334)を有してい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第11項に記載の検
    出ヘッド。 14、支点(58〜61)が可動アーム(51)の休止
    状態において長手軸心から同じ間隔を隔てられ、2つづ
    つ平行で、2つづつ互いに直角を成す4つの横軸心を中
    心とした相対回転を可能にし、検出装置が、可動アーム
    (51)の軸方向変位および横方向変位を検出するため
    、前記部材の1つと2つづつで協働する8つの個々の要
    素(62〜65)から成っていることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項に記載の検出ヘッド。 15、前記部材の少なくとも4つ(53〜56)が可動
    アーム(5りが通過する貫通孔を有していることを特徴
    とする特許請求の範囲第14項に記載の検出ヘッド。
JP59246953A 1983-11-21 1984-11-21 直線寸法の検出ヘツド Granted JPS60138410A (ja)

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IT3625A/83 1983-11-21
IT03625/83A IT1168698B (it) 1983-11-21 1983-11-21 Testa per il controllo di dimensioni lineari

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JPS60138410A true JPS60138410A (ja) 1985-07-23
JPH0548401B2 JPH0548401B2 (ja) 1993-07-21

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EP (1) EP0146697B1 (ja)
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DE (1) DE3470803D1 (ja)
IT (1) IT1168698B (ja)

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