JPS5973761A - エネルギ分散型ｘ線分析装置 - Google Patents
エネルギ分散型ｘ線分析装置Info
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- JPS5973761A JPS5973761A JP57184329A JP18432982A JPS5973761A JP S5973761 A JPS5973761 A JP S5973761A JP 57184329 A JP57184329 A JP 57184329A JP 18432982 A JP18432982 A JP 18432982A JP S5973761 A JPS5973761 A JP S5973761A
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- ray
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- energy dispersive
- rays
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/2209—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using wavelength dispersive spectroscopy [WDS]
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は較正機構を設けた］−ネルギ分散’４Ｘ線分析
装置に開°りる。
装置に開°りる。
近年、試料表面に電子線を照射し・、その部分がら放口
・ｊされる特性Ｘ線をエネルギ分散型の半導体検出器に
よって検出してそのＸ線のエネルギと強度を測定し、試
料組成元素の定性及び定量分析を行うエネルギ分散型Ｘ
線装置が開発されている。
・ｊされる特性Ｘ線をエネルギ分散型の半導体検出器に
よって検出してそのＸ線のエネルギと強度を測定し、試
料組成元素の定性及び定量分析を行うエネルギ分散型Ｘ
線装置が開発されている。
第１図はこのエネルギ分散型Ｘ線装置の装置構成の概略
を示したもので、図中１は本図では図示しない電子源よ
り放射されきわめて細く絞った電子線束であり、該電子
線束は試料２の表面に照射される。この電子線束１が試
料２の表面に照射されると、その部分からは入射電子に
Ｊ、り試オ′ジ２中の電子転移に伴う特性Ｘ線３が放射
される。４はシリコン半導体からなるＸ線検出器であり
、該Ｘ線検出器４からの電気信号は増幅器５にＪ：つく
“増幅される。６は多チャンネルの波高分析計であり、
該′ａ、高分析計６は増幅器５で増幅されたＸ線検出器
４よりの出力パルス信号の波高を弁別づるためのもので
あり、７は演算制御器、 Ｅ３は表示装置である。以上
の様に構成されたエネルギ分散型Ｘ線分析装置の特にＸ
線検出器４．増幅器５．波高分析訓６等で構成される測
定系Ｍが正確に調整されていないと、元素分析の精度に
直接影響を及は覆例えば測定系Ｍの調整が十分でなく、
測定誤鐙が生じ−Ｃいる場合は、元素の種類を決定する
定性分析や、元素の重量濃度を知る定量分析を精度良く
行うことができない。そのため、これらの分析装置を使
用する場合には頻繁に測定系Ｍの測定誤差を極力少くす
るための構成にすることが必要となる。ところで、これ
ら測定系Ｍの較正はその較正値の決定及び較正に要Ｊる
作業や安定状態に）ヱするまでに比較的時間がかかる。
を示したもので、図中１は本図では図示しない電子源よ
り放射されきわめて細く絞った電子線束であり、該電子
線束は試料２の表面に照射される。この電子線束１が試
料２の表面に照射されると、その部分からは入射電子に
Ｊ、り試オ′ジ２中の電子転移に伴う特性Ｘ線３が放射
される。４はシリコン半導体からなるＸ線検出器であり
、該Ｘ線検出器４からの電気信号は増幅器５にＪ：つく
“増幅される。６は多チャンネルの波高分析計であり、
該′ａ、高分析計６は増幅器５で増幅されたＸ線検出器
４よりの出力パルス信号の波高を弁別づるためのもので
あり、７は演算制御器、 Ｅ３は表示装置である。以上
の様に構成されたエネルギ分散型Ｘ線分析装置の特にＸ
線検出器４．増幅器５．波高分析訓６等で構成される測
定系Ｍが正確に調整されていないと、元素分析の精度に
直接影響を及は覆例えば測定系Ｍの調整が十分でなく、
測定誤鐙が生じ−Ｃいる場合は、元素の種類を決定する
定性分析や、元素の重量濃度を知る定量分析を精度良く
行うことができない。そのため、これらの分析装置を使
用する場合には頻繁に測定系Ｍの測定誤差を極力少くす
るための構成にすることが必要となる。ところで、これ
ら測定系Ｍの較正はその較正値の決定及び較正に要Ｊる
作業や安定状態に）ヱするまでに比較的時間がかかる。
又、これらの較正の必要性は各種の構成部品の交換時に
生ずるだ（）でなく、分析途中に測定誤差が発見された
場合にも生ずる。そのため、これらの較正を簡単に短時
間で、しかも精度良く行うことができれば、元素の定性
、定量分析の精度を高めることができ、分析時間の短縮
を図ることができる。
生ずるだ（）でなく、分析途中に測定誤差が発見された
場合にも生ずる。そのため、これらの較正を簡単に短時
間で、しかも精度良く行うことができれば、元素の定性
、定量分析の精度を高めることができ、分析時間の短縮
を図ることができる。
本発明は以上の点に鑑みなされたもの【′、Ｘ線を検出
するエネルギ分散型Ｘ線検出器から得られる電気信号を
波高分析するようにしたＸ線分析装、 置において、該
Ｘ線検出器の近傍に較正用Ｘ線源を配置し、該Ｘ線検出
器と前記較正用Ｘ線源との間の光路上に該較正用Ｘ線源
からのＸ線に対して透過、遮蔽及び減衰作用をを選択的
に行うための選択機構を設けたことを特徴としている。
するエネルギ分散型Ｘ線検出器から得られる電気信号を
波高分析するようにしたＸ線分析装、 置において、該
Ｘ線検出器の近傍に較正用Ｘ線源を配置し、該Ｘ線検出
器と前記較正用Ｘ線源との間の光路上に該較正用Ｘ線源
からのＸ線に対して透過、遮蔽及び減衰作用をを選択的
に行うための選択機構を設けたことを特徴としている。
以下本発明を図面を用いて詳細に説明りる。第２図は本
発明の７実施例装買にお（）るＸ線検出器の近傍を示ず
断面図であり、第３図は第２図に示した一実施例装置の
ｘ−ｘ’断面図である。図において１０は半導体Ｘ線検
出器で、該×１！ｉｌ検出器１０は本図では図示しない
液体窒素ににって冷７１１される冷し１２ｇ管１１に当
１Ｂシて配置されている９゜１２はＸ線検出器１０及び
冷）Ｊｌ導管１１を保護づる内筒であり、該内筒１２の
一端にはＸ線入射窓１３が形成されている。該Ｘ線入射
窓１３１Ｊ、低エネルキーのＸ線の減貞を少くりるため
にベリリュム膜が用いられており、内筒１２の内部を真
空シールする役目を兼ねている。１４は内筒１２の一端
の外周に嵌合された円筒状の機構である。該機構１４に
は２つの窓、１４Ａ、１４Ｂが穿つ−Ｃあり、窓１４Ａ
、Ｂ以外の円筒部はＸＩ！に対して遮蔽効果の高い例え
ば鉛によって構成されており、窓１４ＡにはＸ線に対し
て既知の減衰率を右づる例えばアルミ材が嵌め込まれて
いるのに対しＣ１窓１４ＢにはＸ線を何等の減衰もなく
透過させるだめに何も嵌め込まれていない。該機構１４
の外側には較正用Ｘ線源１５１例えば ｔ−ｅ ／！−
ぞ−の内面に有する円筒部材１６が配置され１部月１６
はＸ線に対し遮蔽効果の高い物質で構成されている。
発明の７実施例装買にお（）るＸ線検出器の近傍を示ず
断面図であり、第３図は第２図に示した一実施例装置の
ｘ−ｘ’断面図である。図において１０は半導体Ｘ線検
出器で、該×１！ｉｌ検出器１０は本図では図示しない
液体窒素ににって冷７１１される冷し１２ｇ管１１に当
１Ｂシて配置されている９゜１２はＸ線検出器１０及び
冷）Ｊｌ導管１１を保護づる内筒であり、該内筒１２の
一端にはＸ線入射窓１３が形成されている。該Ｘ線入射
窓１３１Ｊ、低エネルキーのＸ線の減貞を少くりるため
にベリリュム膜が用いられており、内筒１２の内部を真
空シールする役目を兼ねている。１４は内筒１２の一端
の外周に嵌合された円筒状の機構である。該機構１４に
は２つの窓、１４Ａ、１４Ｂが穿つ−Ｃあり、窓１４Ａ
、Ｂ以外の円筒部はＸＩ！に対して遮蔽効果の高い例え
ば鉛によって構成されており、窓１４ＡにはＸ線に対し
て既知の減衰率を右づる例えばアルミ材が嵌め込まれて
いるのに対しＣ１窓１４ＢにはＸ線を何等の減衰もなく
透過させるだめに何も嵌め込まれていない。該機構１４
の外側には較正用Ｘ線源１５１例えば ｔ−ｅ ／！−
ぞ−の内面に有する円筒部材１６が配置され１部月１６
はＸ線に対し遮蔽効果の高い物質で構成されている。
、該部材１６は該機構１４の外側に於て同心円状に回転
できる機構９例えば歯車１６ａが設けられでいる。該歯
車１６ａと噛み合う歯車１７を軸１８にて回転さ「るこ
とにより、円筒６＋＋ ＋／１１６′はその中心軸のま
わりを回転づるように構成されている。従・ノて、回転
用φＩｌｌ １８を回転させることにより、較正用Ｘ線
源１５とＸ線検出ｊＡｉ１０との間の光路上には窓１４
Δ、１４Ｂのいずれかを位置させることができる。
できる機構９例えば歯車１６ａが設けられでいる。該歯
車１６ａと噛み合う歯車１７を軸１８にて回転さ「るこ
とにより、円筒６＋＋ ＋／１１６′はその中心軸のま
わりを回転づるように構成されている。従・ノて、回転
用φＩｌｌ １８を回転させることにより、較正用Ｘ線
源１５とＸ線検出ｊＡｉ１０との間の光路上には窓１４
Δ、１４Ｂのいずれかを位置させることができる。
以、トの様に構成された装置におい−Ｃ先ず測定系Ｍの
エネルギ軸［の較正を行う場合には、ｈ℃料よりのＸ線
発生を止めＸ線源１５ど検出器１ｏの間に窓１４Ｂを配
置し、較正用Ｘ線源１５よりのＸ線を窓１４［３を介し
てＸ線検出器１ｏで検出する。
エネルギ軸［の較正を行う場合には、ｈ℃料よりのＸ線
発生を止めＸ線源１５ど検出器１ｏの間に窓１４Ｂを配
置し、較正用Ｘ線源１５よりのＸ線を窓１４［３を介し
てＸ線検出器１ｏで検出する。
イしてＸ線検出器１ ’Ｏよりの電気信号を増幅器５を
介して波高分析計６に入力しエネルギ（電気（ｇＦ３
）を電圧値に変換−４−る。この結果は演算制御器７に
よって演算され、例えばＣＲＴから成る表示装置８に表
示りる。ここで、較正用Ｘ線源である例えば ［−ｅの
Ｘ線のエネルギ（電圧値）は理論的には既知であり、表
示装置８に表示されでいる実測値と理論値とを比較する
ことによりコニネルギの較正値△［を知ることができる
１２次に強度Ｉの較正（Ｊ、先ず、窓１４１３を光路に
配置しく、較正ｆｌｌ Ｘ線源１５Ｊ、りのＸ線を減衰
率なしでＸ線検出器１０へ入射さゼた時の実測したＸ線
強辰を１８とし、次にＸ線検出器１ｏと較正用Ｘ Ｉ！
ｉｌ源１５の間の光路上に窓１４Ｂに代えて窓１４．Ａ
を位置さＵｌぞの時の検出Ｘ線の強度■Ｂを測定ザる。
介して波高分析計６に入力しエネルギ（電気（ｇＦ３
）を電圧値に変換−４−る。この結果は演算制御器７に
よって演算され、例えばＣＲＴから成る表示装置８に表
示りる。ここで、較正用Ｘ線源である例えば ［−ｅの
Ｘ線のエネルギ（電圧値）は理論的には既知であり、表
示装置８に表示されでいる実測値と理論値とを比較する
ことによりコニネルギの較正値△［を知ることができる
１２次に強度Ｉの較正（Ｊ、先ず、窓１４１３を光路に
配置しく、較正ｆｌｌ Ｘ線源１５Ｊ、りのＸ線を減衰
率なしでＸ線検出器１０へ入射さゼた時の実測したＸ線
強辰を１８とし、次にＸ線検出器１ｏと較正用Ｘ Ｉ！
ｉｌ源１５の間の光路上に窓１４Ｂに代えて窓１４．Ａ
を位置さＵｌぞの時の検出Ｘ線の強度■Ｂを測定ザる。
ここで、 「ｅのＸ線に対重る窓１４［３による減衰率
Ｆ ＩＪ予め求められており、での結果理想的な検′出
強１１ｕｌＦは次式によって求められる。
Ｆ ＩＪ予め求められており、での結果理想的な検′出
強１１ｕｌＦは次式によって求められる。
Ｉ Ｂ Ｘ ｒ” ＝ Ｉ Ｆ
従って強度の較正値Δ■は次式によって求めることがで
きる。
きる。
ΔＩ＝ＩＦ−ＩＡ＝ＩＢ・Ｆ−ＩＡ
この様に１ネルギの較正値ΔＦ９強度の較正値ΔＩが求
められたところで、これらの較正（「ＩＪ、り測定系Ｍ
の各１７４成１代器の調整ツマミ等を用いて較正すれば
測定系Ｍの較正を正確にしかも容易に行うことができる
。又、これらの較正が終了し試料を分析する場合は、窓
１４Ａ、［３以外の所を選択し較正用Ｘ線源１５Ｊ、り
のＸ線をＸ線検出器１０に入射しない様に遮蔽りれば、
該較正用Ｘ線源１５が試料分析に影響を及ぼりことはな
い。
められたところで、これらの較正（「ＩＪ、り測定系Ｍ
の各１７４成１代器の調整ツマミ等を用いて較正すれば
測定系Ｍの較正を正確にしかも容易に行うことができる
。又、これらの較正が終了し試料を分析する場合は、窓
１４Ａ、［３以外の所を選択し較正用Ｘ線源１５Ｊ、り
のＸ線をＸ線検出器１０に入射しない様に遮蔽りれば、
該較正用Ｘ線源１５が試料分析に影響を及ぼりことはな
い。
尚、本発明は以上の実施例装置に限定されるものではな
く、例えば−に記実施例にＪ３ける較正用Ｘ線源をＸ線
検出器のまわりに回転さゼる代わりに、較正用Ｘ線源を
固定し、機構１４を円筒１２から離して円筒１２の中心
軸のまわりに回転させるようにしてもよい。
く、例えば−に記実施例にＪ３ける較正用Ｘ線源をＸ線
検出器のまわりに回転さゼる代わりに、較正用Ｘ線源を
固定し、機構１４を円筒１２から離して円筒１２の中心
軸のまわりに回転させるようにしてもよい。
又、機構１４に穿つ窓部を増してフィルタ部材を単一で
なく複数の異ったＸ線減衰率を右する部材が使用できる
ようにしてもよい。更に、本実施例の較正は測定系Ｍの
各構成機器の調整ツマミ等で較正するようにしたが、演
界制御器７のメモリ上で行っても良い。
なく複数の異ったＸ線減衰率を右する部材が使用できる
ようにしてもよい。更に、本実施例の較正は測定系Ｍの
各構成機器の調整ツマミ等で較正するようにしたが、演
界制御器７のメモリ上で行っても良い。
以上の様に本発明はエネルギ分散型Ｘ線分析装置のＸ線
検出器、増幅器、波高分析計等Ｃ′構成される測定系の
較正を正確、迅速に行うことができ、分析精度の高いエ
ネルギ分散型Ｘ線分析装置を提供ヅる。
検出器、増幅器、波高分析計等Ｃ′構成される測定系の
較正を正確、迅速に行うことができ、分析精度の高いエ
ネルギ分散型Ｘ線分析装置を提供ヅる。
第１図はＩネルギ分散型Ｘ線装置の（−１１成略図、第
２図は本発明の一実施例を示１断面図、第３図は第２図
に示した一実施例装置のｘ−ｘ’断面図である。 １：電工わ；１束、２：試料、３：特性Ｘ線、４：Ｘ線
検出器、５：増幅器、６：波高分析計、７：演算制御器
、８：表示装冒、ｉｏ：Ｘ線検出器、１１：冷却導管、
１２：内筒、１３：Ｘ線入射窓、１４：円筒状機構、１
５：較正用Ｘ線源、１６：外筒、１７：歯車、１８：回
転用軸。
２図は本発明の一実施例を示１断面図、第３図は第２図
に示した一実施例装置のｘ−ｘ’断面図である。 １：電工わ；１束、２：試料、３：特性Ｘ線、４：Ｘ線
検出器、５：増幅器、６：波高分析計、７：演算制御器
、８：表示装冒、ｉｏ：Ｘ線検出器、１１：冷却導管、
１２：内筒、１３：Ｘ線入射窓、１４：円筒状機構、１
５：較正用Ｘ線源、１６：外筒、１７：歯車、１８：回
転用軸。
Claims (1)
- 試料からのＸ線を検出するエネルギ分散型Ｘ線検出器か
ら得られる電気信号を波高分析りるようにしたＸ線分析
装置において、該Ｘ線検出器の近傍に較正用Ｘ線源を配
置し、該Ｘ線検出器と前記較正用Ｘ線源どの間の光路上
に該較正用Ｘ線源からのＸ線に対して透過、遮蔽及び減
衰作用を選択的に行うための選択機構を設けたことを特
徴と１−るエネルギ分散型Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57184329A JPS5973761A (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | エネルギ分散型ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57184329A JPS5973761A (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | エネルギ分散型ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5973761A true JPS5973761A (ja) | 1984-04-26 |
| JPH046902B2 JPH046902B2 (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=16151408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57184329A Granted JPS5973761A (ja) | 1982-10-20 | 1982-10-20 | エネルギ分散型ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5973761A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4675527A (en) * | 1984-05-17 | 1987-06-23 | United Kingdom Atomic Energy Authority | Corrosion monitoring probe |
| JP2007040945A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Chiyoda Technol Corp | 放射線などの線量測定装置の校正装置 |
| JP2013186014A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Hitachi Ltd | 放射線検出器の校正方法および放射線監視装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5794847U (ja) * | 1972-12-21 | 1982-06-11 |
-
1982
- 1982-10-20 JP JP57184329A patent/JPS5973761A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5794847U (ja) * | 1972-12-21 | 1982-06-11 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4675527A (en) * | 1984-05-17 | 1987-06-23 | United Kingdom Atomic Energy Authority | Corrosion monitoring probe |
| JP2007040945A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Chiyoda Technol Corp | 放射線などの線量測定装置の校正装置 |
| JP2013186014A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Hitachi Ltd | 放射線検出器の校正方法および放射線監視装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH046902B2 (ja) | 1992-02-07 |
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