JPS5973606A - 圧力媒質で作動されるサ−ボモ−タ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、特許請求の範囲第１項の前文に記述する所の
、シリンダ内を摺動するピストンが該シリンダ内に該ピ
ストンと隣接する２つの室を画成し、これらピストン室
はそれぞれに、第１のそれぞれのラインによって圧力媒
質供給源と接続し、第２のそれぞれのラインによって圧
力媒質排出部と接続し、それぞれの該ピストン室の２つ
の該）が続ラインの一方に制御弁が設けられ、第２の接
続ラインに絞りが設けられ、２つの該制御弁の少なくと
も第１のものが外部制御ラインと接続される如き構成の
圧力媒質で作動されるサーボモータ装置に関する。

上記のような種類のサーざモータ装置は、制御ステーシ
ョンからの２つのラインによって２つの制御弁が操作さ
れるような蒸気遮断弁を作動するために作られたもので
ある。このサーボモータ装置の欠点は、サーボモータ装
置のピストンを動かすため制御ステーションからサーボ
モータに通される信号ラインが単一であるのが好適なの
であるが、２つ必要とすることである。

単一のラインで信号を送ることの他の利点は回路の信頼
性が高くなることである。本発明の目的は、単一のライ
ンで操作できるが、従来の２つの信号ラインのそれぞれ
に掛かる以上の負荷を掛けることがないようなサーボモ
ータを提供することである。この問題は特許請求の範囲
第１項に記述のような特徴によって解決される。第２制
御弁が第１制御弁の作動によって作動されるので、比較
的高価であり且つ比較的故障し易いソレノイド弁が不要
になる。また信頼性が容易に得られる。第２制御弁は安
価に製作でき、そして故障が少ないから、余剰回路を構
成するのがｆｍ単である。

特許請求の範囲第２項によるサーボモータ装置は、ピス
トンが、通常位置として選択でき且つ両方の制御弁が閉
じられる一方の端位置にあるとき、圧力媒質供給源から
第１絞りピストン間隙及び第２絞りを通して排出部へと
漏れる圧力媒質の損失が僅かでしかないという長所を有
する。

特許請求の範囲第３項のサーボモータ装置は、それと関
連した他の長所として、制御弁が閉じられると後座シー
ルがピストン周りの流れを防ぐので、ピストンが一方の
位置にある場合圧力媒質は全く消費されない。

を辱許請求の範囲第４項による特徴は、第１制御弁が破
損した場合サーボモータが；ｍ常位置から安全位置へと
動くということで、信頼性を著しく高くする。

特許請求の範囲第５項によれば、第１制御弁が完全に破
壊された場合でもサーボモータが安全位置へ動き、圧力
媒質が弁開口部を通って外気へ流れるので、＠頼性は一
層高くなる。

特許請求の範囲第６項によるサーボモータ装置は、第２
制御弁が外力によって破損されるのを防ぐ。

特許請求の範囲第７項は、本発明によるサーボモータ装
置の特に有利な用途に関するものである。

特許請求の範囲第８項によるサーボモータ装置が使用さ
れる場合、普通、特別な圧力媒質供給源が不要になる。

特許請求の範囲第９項は、構造が非常に簡単で１つ信山
性の高い特に優れた第２制御弁に関する。

杢蛇明は、添付図面に示される実施例を参照に更に詳Ａ
、ｌｆｌに説明されよう。

以下の８個の実施例の説明において「上」、「下」、「
左」、「右」のような方向は図面におけるものである。

このサーぜモータ装置はこれが組込まれる設置１ｍの任
意の所要な方向に設定できる。

シリンダ１の中にぎストン２が摺動自在に備えられる。

図示のピストン２は通常位置、即ちＷν備が通常操作を
行うときに該ピストンが採る位１ａにある。ぎストン２
はシリンダ１の内部を２つのピストン室４．６に分割す
る。各室４．６はそれぞれに第１の各個のライン８，９
によって圧力媒質供給源１３に、そして第２の各個のラ
イン１ｏ。

１１によって圧力媒質排出部１４に連通ずる。

各ピストン室のそれぞれのライン８−１１の一方に第１
制狗１弁１６または第２制側１弁１８が備えられ、そし
て他方の２本のラインにそれぞれ絞り２０．２２が備え
られる。第１制御弁１６は外部制御ライン２４に接続さ
れる。

第２制御弁１８はダイアフラム３０からロッド３２を介
して作動される。ダイアフラム３０は圧力室を、弁１８
に近い室３４と、弁１８から離れている方の室３６とに
分割する。室３６内で圧縮ばね３８がダイアフラム３０
に対して作用する。

第１図ａ）、　ｃ）、　ｅ）及びｇ）の実施例において
、室３６が内部制御ライン４０によって、第１制御井１
６が連通ずるピストン室４または６に接続する。

第１図ｂＬ　ａＬ　ｉ’）及びｈ）の実施例において、
室３４が内部制御ライン４１によって、第１制御井１６
が連通ずるピストン室に接続す名。

第１図ａ）、　ｃ）、　ｅ）及びｇ）の最初の実施例に
おいて、室３４はライン４２によって圧力媒質供給源１
３と連通ずる。第１図ｂ）、　ｄ）ｔ　ｆ）及びｈ）の
第２グルーゾの実施例において、室３６がライン４３に
よって圧力媒質排出部１４と連通ずる。

ピストン２はピストンロッド（第１図に示されず）を介
して可動部品（同じく図示せず）を作動する。そのピス
トンロッドはシリンダ１の上下いずれの端部、あるいは
その両方の端部から突出できる。

第１図ａ）のサーボモータ装置は下記のように操作する
。

デジタル正信号が制御ライン２４から第１制御弁１６へ
送られ、そしてその制御ラインの矢印で示されるように
して弁１６を閉じ状態に維持する。

圧力媒質が絞り２０を通して送給されるので、弁１６が
閉じられた結果、圧力媒質供給源１３の圧力と等しい圧
力が室６内に蓄積される。第２制御井１８０室３４．３
６内の圧力は等しいから、ばねが弁１８を閉じる。絞り
２２を通る圧力均等化によって室４内の圧力は排出部１
４と等しくなる。

供給源１３の圧力は排出部１４のそれよりずっと高いか
ら、ピストン２は大きな力でストローク上端位置へ押さ
れる。

ライン２４のデジタル正信号が例えば安全装置によって
遮断されると、弁１６は開く。この結果室６内の圧力は
、絞り２００寸法とライン１１の流れ断面積に応じて、
排出部１４の圧力に近い値まで低下する。この圧力低下
は内部制御ライン４０を通して室３６内へ伝えられ、そ
こで弁１８を開く。この結果室４内の圧力は圧力媒質供
給源１３の圧力に近い値まで上昇する。そこでピストン
２は急速にス）ｏ−り下端位置へと動く。別の正信号が
ライン２４へ送られて弁１６を閉じるまで、ぎストン２
はその位置に維持される。弁１６が閉じられると室６内
の圧力は再び上昇して供給源１３と等しくなる。室３４
と３６内の圧力も均等化され、そこでばね３Ｂが弁１８
を閉じる。従って室４内の圧力は排出部の田力値に戻り
、ピストン２は図示の通常位置へ返る。

本発明の１つの特徴は、圧力媒質供給源と排出部との間
に２つの行路があり、そのそれぞれの行路内に制御弁と
絞りが直列に配置されることである。開いた制御弁はそ
れぞれ圧力媒質供給源から排出部へとその媒質の流れを
作るがこの流れは絞りの断面によって制限され、従って
損失が生じる。

第１図ａ）から第１図ｄ）に示される実施例において、
両方の制御弁１６．１８が閉じた場合でも、２つの絞り
２０．２２及びピストン２とこれを取巻くシリンダ１の
壁との間の間隙を通って延びるルートにおいて、同様な
、しかしずっと小さい圧力媒質の損失が生じる。その漏
洩の量はピストンシールの構造によって異なる。例えば
第１図ｂ）に示されるように、シリンダ１の適当な面と
共同する外部後座４８をピストン２上に設けることによ
って、漏洩は完全に無くすことができる。

第１図ｂ）の装置は下記のように操作する。通常条件に
おいて弁１６はライン２４の正信号によって閉じ状態に
維持され、そして弁１８も閉じ状態にされている。ライ
ン２４の信号が消えると弁１６は開き、室４内の圧力が
上がり、そしてこの圧力はライン４１を通して弁１８０
室３４へ伝わる。この結果生じるダイアフラム３０両側
の圧力差ははね３８の力に打克ち、従って弁１８は開く
。

そこで室６内の圧力は低下し、ピストン２はストローク
下端位置へ動く。

第１図Ｃ）のサーボモータ装置では第１図ｇ）と第１図
））の装置とは対照的に、通常位置においてライン２４
の矢印で示されるように弁１６と１８は両方共開かれて
いる。外部制御信号がやむと弁１６は閉じ、室４内の圧
力が上昇するので弁１８も閉じ、そこで室６内の圧力が
下がり、ピストン２はストローク下端位置へ動かされる
。

第１図ｄ〕　の実施例では第１図Ｃ）の場合と同様に通
常位置において両制御弁が開かれており、従って室６内
の圧力は室４のそれより高い。ライン２４０制御信号が
止まり弁１６が閉じると室６と室３４内の圧力は低下し
、そこで弁１８ははね３８によって閉じられる。この結
果室４内の圧力が冒くなりピストン２を下端位置へ動か
す。

第１図ｅ〕　において、弁１６はライン２４の制御信号
がやむと開き、そして通常は閉じ状態にある。先の第１
図ｇ）から第１図ｇ）の実施例とは対照的に弁１６と１
８は対向位置にあり、即ち弁１６が閉じられると弁１８
が開かれ、またこの逆が行われる。弁１６がこれの通常
位置から開かれると室４と室３６内の圧力が上昇する。

そこでダイアフラム３０の両側の圧力が均等になるから
げね３８が弁１８を閉じる。この結果圧力媒質は絞り２
２を通って流出し、ピストン２はストローク下端位置へ
動く。

第１図ｇ）と同じく第１図ｆ）でも両制御弁は対向位置
に置かれている。ライン２４の信号が止まると弁１６は
開く。弁１６が開くと室６及び室３４内の圧力は低下す
る。そこで弁１８は閉じ、従って室４が高圧になり、ピ
ストン２は下端位階へ動かされる。

第１図ｇ）と第１図ｈ）の実施例において弁１６は通常
開かれている。外部制御信号が停止すると弁１６は閉じ
る。この結果として、これまでの説明から弁１８が開き
、そしてピストン２が下端位置へ動くことは理解されよ
う。

第２図の実施例において、サーボモータ装置は通常開き
弁を備える。弁ケーシング５０は入口接続部５１と出口
接続部５２を有し、カバー５４と共同してサーボモータ
装置のシリンダ１を形成し、このシリンダ内でピストン
２が軸方向に摺動する。

この第２図のピストン２にはこれの下端面にピストンロ
ッド５６が同心的に備えられ、室６及びこれに隣接のシ
リンダ端部５８を貫通して弁室５３内へ延び、その端部
に蓋６０を有する。この蓋６０の周縁の緘封面６２は弁
室５３内の弁座６４と共同する。

ピストン２のｐラド５６の反対側の周縁に後座４Ｂが設
けられ、これに合わさるカバー５４の面４９と共同する
。カバー５４は、弁ケーシング５０の７ランジ上面６６
にねじ（図示せず）によって気密に同定される。

第２図のサーボモータ装置内の回路は第１図ｇ）の実施
例に直接比定できるものである。第２図に示される中断
されたがアの形の接続ライン１１は室６からケーシング
外壁まで延び、そこが開口端部となる。ライン１１は外
部から半径方向にがアの形に穿たれて弁座な形成する。

この弁座の周りにタッグ付きの盲孔が設けられ、このタ
ップ孔に、第１制御弁１６に相当するソ１−ノイド弁７
０の接続部６８がねじ込まれる。弁７０は直流コイル７
２内を軸方向に可動な部品７３を備える。この可動部品
７３は弁スピンドル７４、カラー７５、及びアーマチュ
ア７６を備える。タッグ孔の底部に圧縮ばね７８が支承
され、カラー７５に対して作用する。

コイル７２は通常的に制御ライン２４を通して付勢され
ている。従ってアーマチュア７６が作動されてスぎンド
ル７４を弁座に対し押付け、ライン１１を遮断している
。

コイル７２の電流が切られるとばね７８が可動部品７３
を左方向へ押し、従ってライン１１は開くＯ 第２図の右側のハウジング５ｏの壁部分内でライン９が
Ｕ字形を成して弁室５３の上部区域から室６の下部区域
へと延在する。弁室５３は圧力媒質供給源を形成する。

絞り２０はライン９内へ牛径方向に延びるねじ２１で構
成され、そのねじを回ゎすことによってｍ節できる。第
２図は部分的に概略示されている。

図面の平面内に示されるボアは実際には部分的に三次元
の方向に延在する。従ってねじ２１は外部から調節でき
る。

ライン９はこれの上部が内部制御ライン４０につながる
。この内部制御ライン４０は３段のボア部分８０，８７
．８６のシステムへと延びる。同じがア部分のシステム
が第６図の右側により大きい尺度で示される。ピストン
８２がボア部分８０の中に摺動自在に設けられ、そして
円錐形中間部材８３と円筒形ネック８４とを介して、支
持ピストン８５に対して突当る０ピストン８５は部分８
０より直径がずつど小さい第６ボア部分８６内で摺動す
る。第１ボア部分８０と第３ボア部分８６との間の環状
室８８が第２部分８７の形にされて、弁座となる短かい
円錐Ｆ′Ｊ１（分８９をグ「して第６部分８６につなが
る。

室８８は、第１図ａ）の弁　１Ｂ　　の入口室と室３４
とに対応する。従ってライン４２はライン８の一部にな
る。ライン４２はライン９の一部分と共に室５３に接続
する。

ライン８に相当する中断されたボアが部分８６の中央部
から分岐しく第２１Ｎ）、７ランク面６６とカバー５４
とを通って室４へと延びる。

部分８６の自由上端部からペントボア９０が外気へ延び
る。

最後に、カバー５４はタツゾ付き盲孔９２を備え、この
タッグ孔９２のペースはライン８の一部とライン１０に
相当する短かいがアとを介して室４に接続される。

タップ孔９２内に中空のねじ９３が取付けられ、孔９２
と共同して絞り２２を形成する。孔９２０ベースは円錐
形にされ、そしてねじ９３の下端部も円錐形にされる。

ねじ９３内の中心ボアはこれの下端部が二叉にされ、そ
こで２つの開口がねじ９３の円錐部分内に延在する。盲
孔９２の円錐部分とねじ９３０円錐部分との間の流れ断
面積を変えるため、ねじ９３は孔９２の様々な深さにね
じ込まれる。こうして絞り２２の調節が行われる。

第２図のサーがモータ装置は以下のように操作する。弁
蓋６０が通常位置にあるとき、この実施例の場合には弁
は開かれている。圧力媒質が比較的高い圧力で入口５１
と出口５２を通って流れる。

従って弁室５３は加圧された状態にある。ライン２４に
正信号が送られており、従って電流が直流コイル７２に
流れア・−マチュアＴ６を右方向に引付けている。弁ス
ぎンドル７４はばね７８の力に抗してその弁座に着座し
、ライン１１を閉じている。室６はライン９と絞り２０
を通して弁室５３につながっているので、室６の圧力は
弁室５３と同じである。

弁室５３内の圧力はまた、ぎストン８２の下の部分８０
の室と環状室８８との中にあるそのピストン８２に対し
て作用する。このピストン８２に掛かる圧力は、部分８
６の直径と部分８０の直径とを有する仮想の環状面によ
って釣合う。しがし、ぎストン８５の自由上端部には大
気圧が掛かり、そしてピストン８２の自由端面には室５
３内の圧力と等しい室６内の圧力が掛がっているから、
部分８６の直径を有する仮想円形面には上向きの圧力差
が掛かる。従って円錐中間部材８３は弁座８９に係合し
、ライン８を閉じる。そこで、絞り２２を通して外気と
接続している室４は大気圧になる。こうしてぎストン２
の両側の圧力差により、このピストンは上方に押され、
そこで座４８が面４９に対して緘封状態に押付けられる
。

この通常位置において、弁７０の座、ぎストン２の後座
４８、及び弁１８の座８９において緘封されている圧力
媒質の損失は無い。ぎストンロッド５６がシリンダ端部
５８を貫通する個所の間隙はサーがモータ装置の緘封性
を損なうものではない。

ソレノイド弁７０が例えば制御ステーションからの指令
あるいは安全信号による自動制御によって遮断されると
、ばね７８がスピンドル７４をこれの座から引離し、そ
こで室６内の圧力媒質はライン１１を通って外気へ流れ
る。絞り２０を通って流れることのできる圧力媒質は不
充分であるから、室６とピストン８２の下の空所との中
の圧力は低下する。しかし環状室８８内にはなお弁を通
って流れる媒質の全圧力が存在するのでピストン８２は
下がり、従って座８９の弁断面は開かれる。

そこで圧力媒質はライン８を通って室４内に流入し、こ
の室内の圧力は室５３と同じになる。この結果生じるピ
ストン２の両側の圧力差がそのピストン２を下方向へ動
かし、従って蓋６０は弁座６６４に係合してこの弁を閉
じる。

この状態で、圧力媒質は室５３からライン４２、開き弁
１８、ライン８、及び絞り２２を通って外気へ逃がされ
、そしてまたライン９と絞り２０及びこれと平行してシ
リンダ端部５Ｂにおけるぎストンロッド５６の案内を通
ってピストン室６内へ、そしてここから更にライン１１
を通って外気へ逃がされる。また環状室８８からピスト
ン８５に沿って外気へ逃げる僅少な漏洩もある。室４か
らピストン２に沿って室６に入る漏洩は実際上無視して
よい。それら漏洩の欠点は材料を摩耗させることである
。従ってこのサーボモータ装置はそのダクト及び要素内
の流体の流通を良好にするように設計され、また適当な
耐摩耗性の材料が使用される。サーがモータ装置が下方
位置状態に置かれている時間は短かいものでしかないか
ら、上記流れ条件によって生じる材料の摩耗は大した問
題にならない。

多くの場合、第２図に示されるサーボモータ装置の内側
と外側の両方にあるライン１１．ライン１０または絞り
２２、そしてがア９０の外気への出口は１つの共通ダク
トにまとめ、別個の例えばコンデンサのような圧力媒質
排出部へ接続するのが好適である。

このことは、圧力媒質が何等かの不純物を含むとき、あ
るいは不純物を完全に排除できない場合には特に重要で
ある。このような場合好適には排出部にフィルタが設け
られる。

第２図の制御弁１８は第１図ａ）、　ｃ）、　ｅ）及び
ｇ）の実施例における第２制御弁１Ｂと同じ働きをする
ものであるが、外気と接し従ってグランドのような摺動
シールを必要とするロッド３２が無いので、より簡単な
構造になる。第１図ａ）の弁１８のように圧力媒質供給
源１３の近くにある第２図の弁１８と同様に、第１図’
ｂ）＋　ａ）＋　ｆ）及びｈ）の実施例の排出部１４の
近くにある制御弁１８も後述するように外気と接するロ
ッド３２が無く、その構造を簡単にすることができる。

制御弁１８が圧力媒質供給源の近くにある場合のその弁
の別の重要な変化形１８′が第６図の左側に示される。

第３図においてピストン８２′はネック８４または支持
ピストン８５を備えず、その代りに軸方向盲孔９５と、
第１ボア部分８０′のベースで支承されるばね９６とを
有する。この第２制御弁１８′の実施例の長所は構造が
より簡単で、ベントボア９０、ピストン８５、及び第３
案内４ぐア部分が省略されることである。ピストン８５
と第６案内ボア部分はピストン８２またはボア部分８０
と同心に延在するものであるから、加工を非常に精密に
行わなければならない。

サーボモータ装置の信頼性を高めるため装置に余剰性を
もたせるのが好適である。そこで第２図あるいは例えば
第１図ａ）＋　ｂＬθ）、ｆ）の実施例において、第２
制御弁１８は２つの平行な接続ラインＢ内に複式にして
備えることができる。多くの場合第１制御弁１６も複式
にされ、この場合弁１６は２個平行に設置されよう。

第６図は、第２図の実施例に対応する２つの制御弁１８
　、１８’の余剰回路を示す。流入矢印９８で示される
ライン８の端部は９９の個所で二叉にされ、それぞれ環
状室８８．８８’につづく。

これら室は弁座となる円錐部分８９．８９’を形成し、
この後２つの平行なブランチは一緒に合わさり、流出矢
印１００で示されるボア部分にライン８を形成する。

内部制御ライン４０は１０１０個所で二叉に分かれ、こ
こから第１４ぐア部分８０と８０′の下端部へ延びる。

第６図の余剰装置Ｒは次のように操作する。

第２図で既に説明したように、第１制御弁１６が閉じら
れ、従って圧力媒質供給源１３の圧力がライン４０に供
給されているときピストン８２は弁座８９に当たってい
る。同時に、ばね９６がピストン８２／において実質的
に釣合った圧力に打克つため、ピストン８２′は弁座８
９′に係合している。従ってライン８の２つの平行な行
路は閉じられている。

第１弁１６が開かれてライン４０内の圧力が下がると、
ピストン８２．８２’　とピストン８５との直径及びは
ね９６の強さに応じて、２つの平行な弁１８．１８’の
第１のものが開かれ、次いで第２のものが開かれる。第
１ピストンと第２ピストンの開く時間差は実質的に無視
してよい。

２つの第２制御弁を異なったものにした場合その製作費
用は高くなるが、操作が２つの異なる原理で行われるの
で余剰性は大ぎいものになる。

第１図Ｃ）ｅ　ｄ）＝　ｇ）及びｈ〕に示される場合の
ように制御弁１８が通常位置で開いているとき、１対の
弁１８を平行にではなく直列に接続することによって余
剰性が与えられる。第１制御井１６についても同様であ
る。

第２図のサーざモータ装置の特別な長所として、そのサ
ーボモータ装置が外部の影響を受けた場合、例えばライ
ン２４または弁７０が損傷したり、あるいは更に弁７０
の損傷によってスピンドル７４が藺かなくなった場合、
サーボモータ、従つ−Ｃ該弁が安全位置へと動く。

操作条件によって、１つ以上の圧力媒質供給源を、そし
て必要であれば１つ以上の排出部を備えるのが好ましい
。いずれの場合も、最高圧力の圧力媒質供給源と最低圧
力の排出部が使われるようにセレクタ回路を選ぶことが
できる。例えばそれ自体の媒質で制御される弁の場合、
圧力媒質供給源は変化形として、弁座と、例えば蒸気発
生器のような副供給源との両方または一方の下の場所に
することができよう。

第２制御弁の特にすっきりした解決法が第４図に示され
る。この変化形実施例において第２制御弁１８′は完全
にピストン２またはピストンロッド５６の中に設置され
る。この変化形の場合ライン９を７ランク面６６に貫通
させなくてもよい。

いうまでもなく、余剰性を与えるため、第４図の弁１８
′を第２図の弁１８と組合せることができる。

第１図ｂ）の実施例に使用される上記簡ｍ化された第２
制御弁は例えば下記のように構成される。

円錐形値が短かいネックを介して、蓋のより薄い方の端
部に近い円筒形ぎストンの下端面に固定される。蓋は圧
縮ばねを介して、ピストン室６に接続する出口室のベー
スに対して当たる。出口室はこれの端部が蛤の円錐面上
の座の所になる。座の外（ｔｉ１１部は、圧力媒質排出
部と連通ずる環状室に隣接する。圧力室は、上部が閉じ
られ且つ室４とライン４０によって連通ずるピストンの
案内ボア内に接続する。

既に述べたように本発明によるサーボモータ装置はピス
トンを上端位置または下端位置へ動かしてその位置に保
持する。必要であればピストンを中間位置に動かして保
持することもできる。このために位ｆ？ｔ　ｅツクアッ
ノがピストン上に設けられ、そして、制御ステーション
により伝えられるセット値信号が引引かれる位置信号を
伝達する。その結果の偏差が好適には工要素を介して第
１制御弁１６へ伝えられる。このような種類のサーボモ
ータ装置では、ピストンは所要の中間近辺を非常に迅速
に探し出す。

探し出す型式の弁１６．１８を無くシ、オンーオフ弁の
代りに、弁を入力信号に応じて中間位置をとるような構
造のものにすることもできる。

調整可能な絞り２０と２２の代りに固定の絞りにしても
よい。好適に、それら絞りが詰まるのを防ぐため、絞り
の前に例えば４つの開口を備えた粗いフィルタを設置す
ることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ）からｈ）までは本発明による８つの異なる実
施例の概略図、 第２図は簡単な形の実際のサーボモータ装置の軸方向断
面図、 第６図は第２制御弁の余剰型変化形実施例の軸方向断面
図、 第４図は制御弁を備えたピストン及びロッドの部分図で
ある。 １・・・シリンダ、２・・・ピストン、４，６・・・ピ
ストン室、８．９・・・第１ライン、１０．１１・・・
第２ライン、１３・・・圧力媒質供給源、１４・・・圧
力媒質排出部、１６・・・第１制御弁、１８・・・第２
制御弁、２０．２２・・・絞り、２４・・・第１制御弁
外部制御ライン、４０・・・第２制御弁内部制御ライン
、４９・・・緘封後座、５０・・・弁ケーシング、５３
・・・弁室、５４・・・ケーシングカバー、５６・・・
ピストンロッド、６０・・・蓋、６４・・・弁座、７０
・・・第１制御弁のソレノイド弁、８２・・・第２制御
弁のピストン。 代理人　浅　村　　　　皓

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　　シリンダ内を摺動するピストンが該シリンダ
   内に該ピストンと隣接する２つの室を画成し、これらピ
   ストン室はそれぞれに、第１のそれぞれのラインによつ
   −Ｃ圧力媒質供給源と接続し、第２のそれぞれのライン
   によって圧力媒質排出部と接続し、それぞれの該ピスト
   ン室の２つの該接続ラインの一方に制御弁が設けられ、
   第２の接続ラインに絞りが設けられ、２つの該制御弁の
   少なくとも第１のものが外部制御ラインと接続される如
   き構成の圧力媒質で作動されるサーボモータ装置におい
   て、第２の制御弁が圧力媒質によって作動され、。 そして、内部制御ラインによって、該外部制御ラインと
   連通した制御弁が接続する方のピストン室と連通ずるこ
   とを特徴とするサーボモータ装置。 （２、特許請求の範囲第１項のサーボモータ装置におい
   て、一方の該ピストン室が制御弁を通して該■力媒質供
   給源と連通し、他方の該ピストン室が制御弁を通して該
   圧力媒質排出部と連通ずることを特徴とするサーボモー
   タ装置。 （３）特許請求の範囲第２項のサーボモータ装置におい
   て、少なくとも該ピストンが通常位置において突当る方
   の側部に後座シールが備えられることを特徴とするサー
   がモータ装置。 （４）特許請求の範囲第１項から第６項までの任意１項
   のサーボモータ装置において、サーざモータが通常位置
   のとき、外部信号によって作動される制御弁が閉じ状態
   にあることを特徴とするサーボモータ装置。 （５）特許請求の範囲第１項から第４項までの任意１項
   のサーボモータにおいて、該第１制御弁が、該圧力媒質
   排出部と接続するライン内に設置されることを特徴とす
   るサーボモータ装置。 （６）特許請求の範囲第１項から第５項までの任意１項
   のサーボモータ装置において、少なくとも該第２制御弁
   がサーボモータ装置の輪郭の中に組込まれることを特徴
   とするサーボモータ装置。 （７）特許請求の範囲第１項から第６項までの任意１項
   のサーぜモータ装ｆ）？ｔにおいて、該シリンダが弁ケ
   ーシング−と連通し、そして該ピストンがロンドにより
   、該弁ケーシング内に設けられる蓋と結合されることを
   ｇ徴とするサーボモータ装置。 （８）特許請求の範囲第７項のサーボモータ装置におい
   て、該弁ケーシングに通じる少なくとも１つの送給ライ
   ンが圧力供給源として該ピストン室に連通ずることを特
   徴とするサーボモータ装置。 （９）特許請求の範囲第１項から第８項までの任意１項
   のサーボモータ装置において、該第２制御弁が、座と共
   同する蓋を有し、この蓋は、蓋閉じ方向に操作し且つ該
   第１制御弁に接続するピストン室と連通ずる圧力面を有
   するピストンに結合し、該ピストンの該蓋の側の該圧力
   面は該圧力媒質供給源と接続し、且つ、該ピストンから
   見て該座断面の向うにあり、他方のピストン室と接続す
   る接続場所と接続し、そして該第２制御弁の蓋を閉じ方
   向に偏倚する装置が備えられることを特徴とするサーが
   モータ装置。