JPS594215A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS594215A JPS594215A JP57111888A JP11188882A JPS594215A JP S594215 A JPS594215 A JP S594215A JP 57111888 A JP57111888 A JP 57111888A JP 11188882 A JP11188882 A JP 11188882A JP S594215 A JPS594215 A JP S594215A
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims description 17
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 11
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 11
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 240000007124 Brassica oleracea Species 0.000 description 1
- 235000003899 Brassica oleracea var acephala Nutrition 0.000 description 1
- 235000011301 Brassica oleracea var capitata Nutrition 0.000 description 1
- 235000001169 Brassica oleracea var oleracea Nutrition 0.000 description 1
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
- H03H9/02771—Reflector banks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/643—Means for obtaining a particular transfer characteristic the transfer characteristic being determined by reflective or coupling array characteristics
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は、入出カドランスジューサ間に伝搬トラックを
変える電気機械結合パターンを設けた弾性表面波装置に
関する。
変える電気機械結合パターンを設けた弾性表面波装置に
関する。
技術の背景
弾性表面波デバイスは第1図に示すようにニオブ酸リチ
ウム(LiNbO3)などの圧電素子10の表面に電極
12.14を取付け、これらの電極に電圧を加えて圧電
素子表面を伸縮させ(振動させ)、弾性表面波を発生さ
せてこれを伝播させ、同様な素子18で該弾性表面波を
検出しく伸縮により生じる電圧を表面の電極で取出す)
、信号遅延などを行なうものである。電m12.14な
どは金属一般にはアルミニウムの蒸着で作り、16が入
力側または発信側、18は出力側または受信側番インク
デジタルトランスジューサである。
ウム(LiNbO3)などの圧電素子10の表面に電極
12.14を取付け、これらの電極に電圧を加えて圧電
素子表面を伸縮させ(振動させ)、弾性表面波を発生さ
せてこれを伝播させ、同様な素子18で該弾性表面波を
検出しく伸縮により生じる電圧を表面の電極で取出す)
、信号遅延などを行なうものである。電m12.14な
どは金属一般にはアルミニウムの蒸着で作り、16が入
力側または発信側、18は出力側または受信側番インク
デジタルトランスジューサである。
従来技術と問題点
電極12.14に電圧を加えて弾性波を発生させると表
面波だけでなくバルク波なども発生し、特性を悪くする
。そこで表面波だけ受信しバルク波は除去することが考
えられており、電気機械結合パターン(マルチストリッ
プカプラーとも呼ばれる)20がその機能を果す。これ
は圧電素子の表面に多数の平行な金属ストリップ(カブ
ラフィンガパターンともいう)22を被着したもので、
発信部16で発生した弾性表面波を入力されるとその表
面波の山、谷に応じて電圧が誘起され、これを金属スト
リップ22の一端で受けると金属ストリップは導体であ
るから該電圧は直ちに他端へ伝播され、該他端の下部圧
電子を発信部と同様に励振し、該他端で弾性表面波を発
生させる。本例の受信部18はこれを受信し、結果とし
て弾性表面波の伝搬軌跡は斜線を付して示すように折曲
したことになる。このような操作をすると受信部18へ
は表面波のみ伝わり、バルク波を除くことができる。こ
の電気機械結合パターン20は従ってトラックチェンジ
カブラフ(T CC)とも称すべきものである。
面波だけでなくバルク波なども発生し、特性を悪くする
。そこで表面波だけ受信しバルク波は除去することが考
えられており、電気機械結合パターン(マルチストリッ
プカプラーとも呼ばれる)20がその機能を果す。これ
は圧電素子の表面に多数の平行な金属ストリップ(カブ
ラフィンガパターンともいう)22を被着したもので、
発信部16で発生した弾性表面波を入力されるとその表
面波の山、谷に応じて電圧が誘起され、これを金属スト
リップ22の一端で受けると金属ストリップは導体であ
るから該電圧は直ちに他端へ伝播され、該他端の下部圧
電子を発信部と同様に励振し、該他端で弾性表面波を発
生させる。本例の受信部18はこれを受信し、結果とし
て弾性表面波の伝搬軌跡は斜線を付して示すように折曲
したことになる。このような操作をすると受信部18へ
は表面波のみ伝わり、バルク波を除くことができる。こ
の電気機械結合パターン20は従ってトラックチェンジ
カブラフ(T CC)とも称すべきものである。
発明の目的
本発明はか\るTCCを改善し、簡単な手段でこれに所
望のフィルタ機能を与えようとするものである。
望のフィルタ機能を与えようとするものである。
発明の構成
即ち本発明は入カドランスジューサと出カドランスジュ
ーサとの間に入カドランスジューサが発生する弾性表面
波の伝搬方向を変えて出カドランスジューサには表面波
のみ入ってバルク波は入らないようにする電気機械結合
パターンを設けた弾性表面波装置において、該電気機械
結合パターンを構成する多数の導電性フィンガパターン
の一部を相互に短絡して該電気機械結合パターンに帯域
除去フィルタ特性を与えたことを特徴とするものである
が、次に実施例を参照−しながらこれを詳細に説明する
。
ーサとの間に入カドランスジューサが発生する弾性表面
波の伝搬方向を変えて出カドランスジューサには表面波
のみ入ってバルク波は入らないようにする電気機械結合
パターンを設けた弾性表面波装置において、該電気機械
結合パターンを構成する多数の導電性フィンガパターン
の一部を相互に短絡して該電気機械結合パターンに帯域
除去フィルタ特性を与えたことを特徴とするものである
が、次に実施例を参照−しながらこれを詳細に説明する
。
発明の実施例
第2図および第3図は本発明の実施例を示し、前者では
一端の共通ストリップ24によりTCCのフィンガパタ
ーン22を適宜短絡する。即ち(alでは一本おきに短
絡し、Tb)では2本短絡、2本非短絡を繰り返す。短
絡したフィンガパターンは、非短絡フィンガパターンと
同様にフローティングでもよいが、接地してもよい。ま
た第3図ではTCCのフィンガパターン22の中間に設
けたストリップ26により、該フィンガパターン22を
適宜短絡する。即ち(a)では一端から1番目と2番目
、3番目と4番目・・・・・・を短絡して、短絡された
各2本が弾性表面波伝播方向に配列されるようにし、f
b)では同様ストリップ26により一端から1番、目と
2番目、5番目と6番・・・・・・と3つ飛ばしで2本
ずつ短絡する。
一端の共通ストリップ24によりTCCのフィンガパタ
ーン22を適宜短絡する。即ち(alでは一本おきに短
絡し、Tb)では2本短絡、2本非短絡を繰り返す。短
絡したフィンガパターンは、非短絡フィンガパターンと
同様にフローティングでもよいが、接地してもよい。ま
た第3図ではTCCのフィンガパターン22の中間に設
けたストリップ26により、該フィンガパターン22を
適宜短絡する。即ち(a)では一端から1番目と2番目
、3番目と4番目・・・・・・を短絡して、短絡された
各2本が弾性表面波伝播方向に配列されるようにし、f
b)では同様ストリップ26により一端から1番、目と
2番目、5番目と6番・・・・・・と3つ飛ばしで2本
ずつ短絡する。
フィンガパターン22を短絡すると、短絡されたフィン
ガパターンは同電位であるから、伝搬してきた弾性表面
波により圧電素子基板に誘起した電圧は短絡され、フィ
ンガパターン22の他端から該振動成分が発信されるこ
とはなく、従ってその振動成分は除去(帯域除去)され
たことになる。
ガパターンは同電位であるから、伝搬してきた弾性表面
波により圧電素子基板に誘起した電圧は短絡され、フィ
ンガパターン22の他端から該振動成分が発信されるこ
とはなく、従ってその振動成分は除去(帯域除去)され
たことになる。
第4図、第5図、及び第6図はTCCのフィンガパター
ン22を非短絡、第2図1a)の如く短絡、及び第2図
(blの如く短絡、の場合の特性を示す。
ン22を非短絡、第2図1a)の如く短絡、及び第2図
(blの如く短絡、の場合の特性を示す。
横軸は周波数(MH2)、縦軸は振幅(d B)を示す
。圧電素子は128°回転Yカット、X伝搬、LiNb
03基板、TCC1入力および出カドランスジューサの
パターンピッチは24μm、入力および出カドランスジ
ューサのパターン(電極)の対数は1対である。これら
の図でm−25,m−50は従来のmscで25本、5
0本を、またe−25、e−50は第2図のような構成
で25本。
。圧電素子は128°回転Yカット、X伝搬、LiNb
03基板、TCC1入力および出カドランスジューサの
パターンピッチは24μm、入力および出カドランスジ
ューサのパターン(電極)の対数は1対である。これら
の図でm−25,m−50は従来のmscで25本、5
0本を、またe−25、e−50は第2図のような構成
で25本。
50本を意味する。第7図および第8図はTCCのフィ
ンガパターンの本数(MPSC本数)と挿入損失を示し
、第7図は第2図(alの場合(A−eで示す)、第8
図は第2図(b)の場合(B、−eという)である。い
ずれも50Ω系で、41.5MH2における値である。
ンガパターンの本数(MPSC本数)と挿入損失を示し
、第7図は第2図(alの場合(A−eで示す)、第8
図は第2図(b)の場合(B、−eという)である。い
ずれも50Ω系で、41.5MH2における値である。
第9図゛および第10図はMPSC本数と6dB帯域幅
の関係を示し、前者はA−e、後者はB−eの場合であ
る。この場合も50Ω系である。これらより、A−e、
B−eとも150本程度でほぼ従来のマルチストリップ
カップラーと同程度の特性が得られることが分る。また
第4図に示されるように従来方式のものでは帯域内に大
きなトラップがあられれる場合があるが、第2図(al
、 (blのものはこれが現われず、代って、従来のも
のにはないストップバンド(第5図、第6図にSBで示
す)が現われるから、これを要求されるトラップ周波数
に合せればトラップレベルを深くする、等の処理ができ
る。
の関係を示し、前者はA−e、後者はB−eの場合であ
る。この場合も50Ω系である。これらより、A−e、
B−eとも150本程度でほぼ従来のマルチストリップ
カップラーと同程度の特性が得られることが分る。また
第4図に示されるように従来方式のものでは帯域内に大
きなトラップがあられれる場合があるが、第2図(al
、 (blのものはこれが現われず、代って、従来のも
のにはないストップバンド(第5図、第6図にSBで示
す)が現われるから、これを要求されるトラップ周波数
に合せればトラップレベルを深くする、等の処理ができ
る。
即ちテレビなどのフィルタでは第11図(a)に示す如
くように通過帯域の両端に深い(3〜4dB)トラップ
レベルTLを持つことが要求されるが、この特性は出し
にくい。そこで同図(b)の如く送受信トランスジュー
サ側で特性CIを出し、TCCで特性C2を出せば、同
図(8)の所望の特性に近いものにすることができる。
くように通過帯域の両端に深い(3〜4dB)トラップ
レベルTLを持つことが要求されるが、この特性は出し
にくい。そこで同図(b)の如く送受信トランスジュー
サ側で特性CIを出し、TCCで特性C2を出せば、同
図(8)の所望の特性に近いものにすることができる。
このようなトラップを作るためのTCCフィンガパター
ンのピッチは音速をV、所望のトラップ周波数P# v
−で表わft される。
ンのピッチは音速をV、所望のトラップ周波数P# v
−で表わft される。
第3図の場合の周波数−振幅特性を第12図と第13図
に示す。前者は第3図(8)の場合(A−Pで示す)、
後者は第3図(blの場合(B−Pで示す)であり、第
5図、第6図に対応する。第7図〜第10図に対応する
図面は、これらの図にA−P。
に示す。前者は第3図(8)の場合(A−Pで示す)、
後者は第3図(blの場合(B−Pで示す)であり、第
5図、第6図に対応する。第7図〜第10図に対応する
図面は、これらの図にA−P。
−B−P曲線として併記しである。A−P、B−Pとも
150本程度でほぼ従来のマルチストリップカプラーと
同程度の特性が得られ、中心周波数(fo=v/λ)附
近にはマルチストリップカプラーには表われないストッ
プバンドが存在し、このストップバンドを要求されるト
ラップ周波数に合せればトラップレベルを深くすること
ができる。
150本程度でほぼ従来のマルチストリップカプラーと
同程度の特性が得られ、中心周波数(fo=v/λ)附
近にはマルチストリップカプラーには表われないストッ
プバンドが存在し、このストップバンドを要求されるト
ラップ周波数に合せればトラップレベルを深くすること
ができる。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば、トラックチェンジカ
プラーにバルク波を除いて表面波を通す機能と所望周波
数帯を除去するフィルタ機能を与えることができ、しか
もか\る機能付与をカプラーのフィンガーストリップを
適宜短絡するという簡単な手段で実行でき、甚だ有効で
ある。
プラーにバルク波を除いて表面波を通す機能と所望周波
数帯を除去するフィルタ機能を与えることができ、しか
もか\る機能付与をカプラーのフィンガーストリップを
適宜短絡するという簡単な手段で実行でき、甚だ有効で
ある。
第1図はトラックチェンジカプラーを持つ弾性表面波デ
バイスの説明図、第2図および第3図は本発明の実施例
を示す図、第4図〜第13図は各種特性図である。 図面で14は入カドランスジューサ、18は出カドラン
スジューサ、20は電気機械結合パターン、24.26
は短絡用の導体パターンである。 出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 青 柳 稔
バイスの説明図、第2図および第3図は本発明の実施例
を示す図、第4図〜第13図は各種特性図である。 図面で14は入カドランスジューサ、18は出カドラン
スジューサ、20は電気機械結合パターン、24.26
は短絡用の導体パターンである。 出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 青 柳 稔
Claims (1)
- 入カドランスジューサと化カドランスジューサとの間に
入カドランスジューサが発生する弾性表面波の伝搬方向
を変えて出力トランスジヱーサには表面波のみ入ってバ
ルク波は入らないようにする電気機械結合パターンを設
けた弾性表面波装置において、該電気機械結合パターン
を構成する多数の導電性フィンガパターンの一部を相互
に短絡して該電気機械結合パターンに帯域除去フィルタ
特性を与えたことを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57111888A JPS594215A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | 弾性表面波装置 |
DE8383303644T DE3379624D1 (en) | 1982-06-29 | 1983-06-24 | Surface acoustic device |
EP83303644A EP0098116B1 (en) | 1982-06-29 | 1983-06-24 | Surface acoustic device |
US06/508,546 US4551695A (en) | 1982-06-29 | 1983-06-28 | Surface acoustic device having multistrip coupler comprised of alternate coupled and uncoupled strips |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57111888A JPS594215A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS594215A true JPS594215A (ja) | 1984-01-11 |
JPH0145772B2 JPH0145772B2 (ja) | 1989-10-04 |
Family
ID=14572655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57111888A Granted JPS594215A (ja) | 1982-06-29 | 1982-06-29 | 弾性表面波装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4551695A (ja) |
EP (1) | EP0098116B1 (ja) |
JP (1) | JPS594215A (ja) |
DE (1) | DE3379624D1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08307198A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-22 | Nec Corp | 弾性表面波フィルタ |
Families Citing this family (4)
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---|---|---|---|---|
DE3784200D1 (de) * | 1986-08-29 | 1993-03-25 | Siemens Ag | Oberflaechenwellen-resonatorstruktur mit in teilstuecke unterbrochenen metallisierungsstreifen von reflektorfingern. |
US4801836A (en) * | 1987-08-24 | 1989-01-31 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | SAW dispersive delay device |
DE4431612C2 (de) * | 1993-09-06 | 1998-07-16 | Sanyo Electric Co | Akustisches Oberflächenwellenfilter |
DE102004005129B4 (de) * | 2004-02-02 | 2018-09-27 | Snaptrack, Inc. | Bauelement mit empfindlichen Bauelementstrukturen und Verfahren zur Herstellung |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5172257A (ja) * | 1974-12-20 | 1976-06-22 | Toko Inc | Danseihyomenhafuiruta |
JPS5518141A (en) * | 1978-07-24 | 1980-02-08 | Murata Mfg Co Ltd | Elastic surface wave device |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1389023A (en) * | 1971-08-05 | 1975-04-03 | Standard Telephones Cables Ltd | Acoustic wave coupler devices |
US3988703A (en) * | 1975-12-31 | 1976-10-26 | Zenith Radio Corporation | Acoustic surface wave device having split-isolated or split-connected multistrip coupler |
US3987379A (en) * | 1976-01-02 | 1976-10-19 | Zenith Radio Corporation | Acoustic surface wave filter having combined split-isolated and split-connected coupler |
SU945951A1 (ru) * | 1979-03-21 | 1982-07-23 | Ордена Трудового Красного Знамени Институт Радиотехники И Электроники Ан Ссср | Фильтр на поверхностных акустических волнах |
-
1982
- 1982-06-29 JP JP57111888A patent/JPS594215A/ja active Granted
-
1983
- 1983-06-24 DE DE8383303644T patent/DE3379624D1/de not_active Expired
- 1983-06-24 EP EP83303644A patent/EP0098116B1/en not_active Expired
- 1983-06-28 US US06/508,546 patent/US4551695A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5172257A (ja) * | 1974-12-20 | 1976-06-22 | Toko Inc | Danseihyomenhafuiruta |
JPS5518141A (en) * | 1978-07-24 | 1980-02-08 | Murata Mfg Co Ltd | Elastic surface wave device |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08307198A (ja) * | 1995-04-28 | 1996-11-22 | Nec Corp | 弾性表面波フィルタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0145772B2 (ja) | 1989-10-04 |
EP0098116B1 (en) | 1989-04-12 |
US4551695A (en) | 1985-11-05 |
EP0098116A3 (en) | 1985-10-09 |
DE3379624D1 (en) | 1989-05-18 |
EP0098116A2 (en) | 1984-01-11 |
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