JPS59232607A - シヤドウマスク用金属板の製造法 - Google Patents
シヤドウマスク用金属板の製造法Info
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- JPS59232607A JPS59232607A JP10888383A JP10888383A JPS59232607A JP S59232607 A JPS59232607 A JP S59232607A JP 10888383 A JP10888383 A JP 10888383A JP 10888383 A JP10888383 A JP 10888383A JP S59232607 A JPS59232607 A JP S59232607A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/14—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
- H01J9/142—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes of shadow-masks for colour television tubes
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Heat Treatment Of Sheet Steel (AREA)
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Metal Rolling (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はシャドウマスク用金属板の製造法に関し、より
詳しくは表面粗度が比較的あらく、かつ粗度の緻密度が
高い高品位シャドウマスク用金属板の製造法に関する。
詳しくは表面粗度が比較的あらく、かつ粗度の緻密度が
高い高品位シャドウマスク用金属板の製造法に関する。
従来、シャドウマスク用金属板は低炭素熱延鋼帯もしく
はアンバー等の高合金鋼帯を一次冷延した後、箱型焼鈍
（オープンコイル焼鈍を含む）法もしくは連続焼鈍法に
よって歪取り３ｊｌ鈍を行い、しかる後二次冷延するか
或いは更に二次冷延後調質圧延してスリットコ咎賓する
という工程を是本工程として製造されている。従って製
品であるシャドウマスク用金属板の表面仕上げは、仕上
げ圧延である二次冷延乃至調質圧延工程て調製され、そ
の表面状態が最終製品であるカラーブラウン管の性能に
影響する。そしてより具体的には上記仕上げ圧延に用い
られるワークロールの表面仕上げ自体が該金属板に相当
の忠実度を以て転写されるので、ワークロールの表面仕
上げが最も重要な要件となる。。
はアンバー等の高合金鋼帯を一次冷延した後、箱型焼鈍
（オープンコイル焼鈍を含む）法もしくは連続焼鈍法に
よって歪取り３ｊｌ鈍を行い、しかる後二次冷延するか
或いは更に二次冷延後調質圧延してスリットコ咎賓する
という工程を是本工程として製造されている。従って製
品であるシャドウマスク用金属板の表面仕上げは、仕上
げ圧延である二次冷延乃至調質圧延工程て調製され、そ
の表面状態が最終製品であるカラーブラウン管の性能に
影響する。そしてより具体的には上記仕上げ圧延に用い
られるワークロールの表面仕上げ自体が該金属板に相当
の忠実度を以て転写されるので、ワークロールの表面仕
上げが最も重要な要件となる。。
次にシャドウマスク用金属板を素材とするシャドウマス
クの製造について述べる。以下ンヤドゥマスク用金属板
を単に素材と呼ぶことがある。
クの製造について述べる。以下ンヤドゥマスク用金属板
を単に素材と呼ぶことがある。
第１図はシャドウマスクの製造工程図である。
第１図において先づ累月を脱脂等の前処理した後、素材
両面にフォトレジストを塗布し、ついでその上に原版を
密着させるための真空引きを行い原版が素材表面に完全
密着した後、両面より同時露光して原版パターンを素材
に焼付ける。ついで現像工程でフォトレジストの非露光
部を除去し、バーニング工程で、フォトレジスト２に光
ｍ ヲｕｂ 付硬化させ、耐酸性の被膜とする。そして
エツチング工程において塩化第二鉄溶液を用いて素材露
出部を穿孔し、素材は剪断、検査工程へ送られる。
両面にフォトレジストを塗布し、ついでその上に原版を
密着させるための真空引きを行い原版が素材表面に完全
密着した後、両面より同時露光して原版パターンを素材
に焼付ける。ついで現像工程でフォトレジストの非露光
部を除去し、バーニング工程で、フォトレジスト２に光
ｍ ヲｕｂ 付硬化させ、耐酸性の被膜とする。そして
エツチング工程において塩化第二鉄溶液を用いて素材露
出部を穿孔し、素材は剪断、検査工程へ送られる。
この様にしてフラットマスクが出来上がる。
次にこのフラットマスクに加工性を与えるため、ドライ
またはウェット雰囲気中でマスク焼鈍を行い、ついで形
状修正及びリューダースライン予防のために数回レベラ
を通しくレベリング工程）、プレス成形して球面状に加
工する。次に工程中の防錆及び電子ビームの散乱防止等
のために水蒸気及び／もしくはガス中で黒化処理を施し
、シャドウマスクが完成する。
またはウェット雰囲気中でマスク焼鈍を行い、ついで形
状修正及びリューダースライン予防のために数回レベラ
を通しくレベリング工程）、プレス成形して球面状に加
工する。次に工程中の防錆及び電子ビームの散乱防止等
のために水蒸気及び／もしくはガス中で黒化処理を施し
、シャドウマスクが完成する。
なお、上記マスク焼鈍及びレベリングは施さないことも
ある。この場合はシャドウマスク用金属板の製造工程で
仕上げ圧延後予め焼鈍され、調質、 圧延もしくはレ
ベリングされる。
ある。この場合はシャドウマスク用金属板の製造工程で
仕上げ圧延後予め焼鈍され、調質、 圧延もしくはレ
ベリングされる。
以上がシャドウマスク用金属板（累月）からシャドウマ
スクを製造する工程であるが、次に本発明に拘わる真空
引き露光工程について更に詳細に説明する。
スクを製造する工程であるが、次に本発明に拘わる真空
引き露光工程について更に詳細に説明する。
第２図はフォト−ジスｌ−２！布後の金属板工を真空引
きして原版３を密着させる状態を示す斜視図である。第
２図中、真空ポンプに結ばれた脱気管４は気密に保たれ
た領域内のフォトレジスト２と原版３の表面との間の空
間に残存した空気を吸引排気する。
きして原版３を密着させる状態を示す斜視図である。第
２図中、真空ポンプに結ばれた脱気管４は気密に保たれ
た領域内のフォトレジスト２と原版３の表面との間の空
間に残存した空気を吸引排気する。
第３図は片面（こおけるフォトレジストと原版間残存空
気の脱気状態を示す真空引き中の断面し）である。
気の脱気状態を示す真空引き中の断面し）である。
第３図において、フォトレジスト２は金属板１に密着し
ているが原版３との間には部分的に空間があって内部番
こ空気が残存している。これを矢印■の方向に真空引き
すると残存空気が脱気され、大気圧によって原版３は矢
印Ａの方向に加圧され、フォトレジストと密着する。こ
の現象が全面に亘って一様１こ起こることが望ましいが
、現実には被脱気面積に比して脱気管を一様に多数配置
することが出来ないため（真空脱気管は周縁の一部にし
か配置出来ない。）、脱気の経路閉塞が生じて脱気に長
時間を要する傾向があり、また短時間で脱気しようとす
るとどうしても完全な脱気は困難であり、脱気管開口部
の周辺以外の部分に空隙（非密着部）が残ってしまう傾
向が避けられなかった。
ているが原版３との間には部分的に空間があって内部番
こ空気が残存している。これを矢印■の方向に真空引き
すると残存空気が脱気され、大気圧によって原版３は矢
印Ａの方向に加圧され、フォトレジストと密着する。こ
の現象が全面に亘って一様１こ起こることが望ましいが
、現実には被脱気面積に比して脱気管を一様に多数配置
することが出来ないため（真空脱気管は周縁の一部にし
か配置出来ない。）、脱気の経路閉塞が生じて脱気に長
時間を要する傾向があり、また短時間で脱気しようとす
るとどうしても完全な脱気は困難であり、脱気管開口部
の周辺以外の部分に空隙（非密着部）が残ってしまう傾
向が避けられなかった。
すなわち少ない脱気管で短時間に充分な脱気を行い、効
率的な真空引きをなす事は、従来の素材粗度では極めて
困難であった。
率的な真空引きをなす事は、従来の素材粗度では極めて
困難であった。
そこで、本発明者等は緻密でかつミクロ的断面Ｉこおい
て山谷標高差の大きい粗度を有するシャドウマスク用金
属板を製造する必要に迫られ、種々の試験研究の結果、
仕上げ圧延ワークロールとして液体ホーニング加工ロー
ルを用いる事により、上記問題点を解決し得ることを見
出し、本発明に到達した。
て山谷標高差の大きい粗度を有するシャドウマスク用金
属板を製造する必要に迫られ、種々の試験研究の結果、
仕上げ圧延ワークロールとして液体ホーニング加工ロー
ルを用いる事により、上記問題点を解決し得ることを見
出し、本発明に到達した。
本発明に至る経過を以下に略述する。
すなわち、従来シャドウマスク用金属板製造用仕上げ圧
延ワークロールは、（１）粗目の砥石研磨、もしくは（
２）ショツトブラストによってその表面を仕上げられて
いた。ところが（１）の方法は、砥石のスクラッチ目が
金属板に転写され、エツチング後シャドウマスクの孔形
状が異形となる傾向があるため、適当でなかった。また
（２）の方法では、ロール表面粗度断面形状にうねり（
ミクロ的に大波状の高低）と突起が生じ、これが結局シ
ャドウマスク孔形状に悪影響を及ぼす傾向があった。す
なわち前記うねりは特■こシャドウマスクスロット孔の
直線部を非直線にし、前記突起はシャドウマスクスロッ
ト孔にクレータと呼ばれる欠落部を生じる。
延ワークロールは、（１）粗目の砥石研磨、もしくは（
２）ショツトブラストによってその表面を仕上げられて
いた。ところが（１）の方法は、砥石のスクラッチ目が
金属板に転写され、エツチング後シャドウマスクの孔形
状が異形となる傾向があるため、適当でなかった。また
（２）の方法では、ロール表面粗度断面形状にうねり（
ミクロ的に大波状の高低）と突起が生じ、これが結局シ
ャドウマスク孔形状に悪影響を及ぼす傾向があった。す
なわち前記うねりは特■こシャドウマスクスロット孔の
直線部を非直線にし、前記突起はシャドウマスクスロッ
ト孔にクレータと呼ばれる欠落部を生じる。
従って（２）の方法も不適当であった。そこで（２）の
方法を改善するためにショツトブラスト後の表面をビニ
ル砥石等の軟質砥石で仕上げたロールで試験してみたが
、シャドウマスク孔のクレータ発生はなくなったが、う
ねりによる影響は数倍されなかった。以上が本発明に至
るまでの研究経過であり、従って液体ホーニングクール
を採用することは、単なる思い付きては決してない。
方法を改善するためにショツトブラスト後の表面をビニ
ル砥石等の軟質砥石で仕上げたロールで試験してみたが
、シャドウマスク孔のクレータ発生はなくなったが、う
ねりによる影響は数倍されなかった。以上が本発明に至
るまでの研究経過であり、従って液体ホーニングクール
を採用することは、単なる思い付きては決してない。
本発明の目的は、シャドウマスク製造工程において短時
間でムラのない真空引きを達成出来るシャドウマスク用
金属板の製造法を提供する１こある。
間でムラのない真空引きを達成出来るシャドウマスク用
金属板の製造法を提供する１こある。
本発明の他の目的は、緻密でしかもＲａ徂度の大きいシ
ャドウマスク用金属板の製造法を提供する１こある。
ャドウマスク用金属板の製造法を提供する１こある。
本発明の更に他の目的は、高品位カラー受像管に適した
、正確な孔形状の得られるシャドウマスク素材であるシ
ャドウマスク用金属板の製造法を提供するにある。
、正確な孔形状の得られるシャドウマスク素材であるシ
ャドウマスク用金属板の製造法を提供するにある。
本発明により、
仕上げ冷間圧延もしくは調質圧延において、液体ホーニ
ング加工ロールをワークロールとして用いる事を特徴と
するシャドウマスク用金属板の製造法 が提供される。
ング加工ロールをワークロールとして用いる事を特徴と
するシャドウマスク用金属板の製造法 が提供される。
以下に実施例を用いて本発明の詳細な説明する。
第４図は触針式表面粗さ計で測定した従来めショツトブ
ラスト法によるワークロール表面粗度プロフィル図（比
較例）であり、第５図は同しスケールにおける液体ホー
ニング加工されたワークロールの表面粗度プロフィル図
（実施例）である。
ラスト法によるワークロール表面粗度プロフィル図（比
較例）であり、第５図は同しスケールにおける液体ホー
ニング加工されたワークロールの表面粗度プロフィル図
（実施例）である。
いづれも横方向の倍率は５０倍、縦方向の倍率は２、０
００倍である。
００倍である。
第４図及び第５図の表面粗度を数値で表わしたものが第
１表である。
１表である。
ここにＤａは中心線平均粗さであって、低域カットオフ
された粗さ曲線から、との中心４Ｊ１の方向に測定長さ
Ｌの部分を抜き取り、その部分の中心線をＸ軸、縦倍率
の方向をｙ軸とし、粗さ曲線をｙ ＝ ｆ （ｘ）で表
わした＋：：７ 、次の式で′ｊえられるμＩｎ里位０
去示である− またＨ２Ｏは単位長さ当りの山数（Ｈｉｇｈ ５ｐｏｔ
Ｃｏｕｎｔ）の事であり、 断面曲線からある測定長さＬ（この場合Ｌ ＝２．５■
とした。）を抜き取り、その平均線より上の位置にある
かどうかで山と谷を区別した時の山数で表わされる。
された粗さ曲線から、との中心４Ｊ１の方向に測定長さ
Ｌの部分を抜き取り、その部分の中心線をＸ軸、縦倍率
の方向をｙ軸とし、粗さ曲線をｙ ＝ ｆ （ｘ）で表
わした＋：：７ 、次の式で′ｊえられるμＩｎ里位０
去示である− またＨ２Ｏは単位長さ当りの山数（Ｈｉｇｈ ５ｐｏｔ
Ｃｏｕｎｔ）の事であり、 断面曲線からある測定長さＬ（この場合Ｌ ＝２．５■
とした。）を抜き取り、その平均線より上の位置にある
かどうかで山と谷を区別した時の山数で表わされる。
籾で、第１表Ｉこおいて、Ｒａは比較例、本発明実施例
ともに殆ど変りないが、Ｈ２Ｏで比較すると実施例では
比較例Ｉこ比して約３倍と多く、すなわち粗度の緻密度
が極めて高い事を示している。そしてこの事実は第４図
と第５図を比較する事によっても明らかである。本発明
実施例（第５図）の粗度を、仕上げ圧延において転写さ
れたシャドウマスク用金属板はほぼ同様の粗度プロフィ
ルを示すから、前述のとおり真空引きの際に排気通路が
確保され、短時間の真空引きても原版がレジスト塗布金
属板に密性する。従ってパフォーマンスとして孔形状の
良いシャドウマスクが得られる。
ともに殆ど変りないが、Ｈ２Ｏで比較すると実施例では
比較例Ｉこ比して約３倍と多く、すなわち粗度の緻密度
が極めて高い事を示している。そしてこの事実は第４図
と第５図を比較する事によっても明らかである。本発明
実施例（第５図）の粗度を、仕上げ圧延において転写さ
れたシャドウマスク用金属板はほぼ同様の粗度プロフィ
ルを示すから、前述のとおり真空引きの際に排気通路が
確保され、短時間の真空引きても原版がレジスト塗布金
属板に密性する。従ってパフォーマンスとして孔形状の
良いシャドウマスクが得られる。
なおワークロールの表面粗度を０．５〜４０μｍＲａと
した理由は、Ｒａが０．５μｍより小さいと真空引きの
際の排気通路閉塞が生じるからであり、Ｒａが４．０μ
ｍより大きいとシャドウマスクの孔形状が反って不正確
となるからである。
した理由は、Ｒａが０．５μｍより小さいと真空引きの
際の排気通路閉塞が生じるからであり、Ｒａが４．０μ
ｍより大きいとシャドウマスクの孔形状が反って不正確
となるからである。
またワークロール表面粗度の緻密度を１０〜８０Ｈ８Ｃ
／ ２．５閣とした理由は、Ｉ（ＳＣが１０未満である
と従来例（第４図参照）の如く粗度が凹凸の少ないプレ
ーンなものとなってシャドウマスク孔形状が悪（なり、
Ｈ２Ｏが８０を越すものは現状の液体ホーニング技術で
は工業的に実施困難であるからである。
／ ２．５閣とした理由は、Ｉ（ＳＣが１０未満である
と従来例（第４図参照）の如く粗度が凹凸の少ないプレ
ーンなものとなってシャドウマスク孔形状が悪（なり、
Ｈ２Ｏが８０を越すものは現状の液体ホーニング技術で
は工業的に実施困難であるからである。
製品金属板の表面粗度の限定理由もワークロール表面粗
度のそれと同じである。但し、転写率の関係で、経験的
にＲａのみ０．２〜２．４μｍとした。
度のそれと同じである。但し、転写率の関係で、経験的
にＲａのみ０．２〜２．４μｍとした。
また金属板の材質は軟鋼の他、アンバー、４２９６Ｎｉ
−Ｆｅ合金、コバー／Ｌ７ （Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金
）パーマロイ等があるが、これ等以外の材質にも適用出
来ることは云う迄もない。
−Ｆｅ合金、コバー／Ｌ７ （Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金
）パーマロイ等があるが、これ等以外の材質にも適用出
来ることは云う迄もない。
以上本発明を実施することにより、前記目的のすべてが
達成され、高品位シャドウマスクの工業的生産が可能と
なった。
達成され、高品位シャドウマスクの工業的生産が可能と
なった。
第１図はシャドウマスクの製造工程図、第２図は真空引
き工程の斜視図、第３図は真空引き工程の断面図、第４
図及び第５図は夫々比較例と本発明実施例のワークロー
ル表面粗度プロフィル図である。 １・・・・・・・・・金属板、 ２・・・・・・
・・・フォトレジスト、３・・・・・・・・・原 版
４・・・・・・・・・脱気管。 特許出願人 東洋鋼鈑株式会社 代 理 人 弁理士 迎 １）昌 失策 １
図 ンヤドウマスク用 金属板製造工程 第２図 第３図
き工程の斜視図、第３図は真空引き工程の断面図、第４
図及び第５図は夫々比較例と本発明実施例のワークロー
ル表面粗度プロフィル図である。 １・・・・・・・・・金属板、 ２・・・・・・
・・・フォトレジスト、３・・・・・・・・・原 版
４・・・・・・・・・脱気管。 特許出願人 東洋鋼鈑株式会社 代 理 人 弁理士 迎 １）昌 失策 １
図 ンヤドウマスク用 金属板製造工程 第２図 第３図
Claims (3)
- （１）仕上げ冷間圧延もしくは調質圧延において、液体
ホーニング加工ロールをワークロールとして用いる事を
特徴とするシャドウマスク用金属板の製造法。 - （２） ワークロールの表面粗度が０．５〜４．０μ
ｍＲａであり、かつ粗度の緻密度が１０〜８０ Ｈ８Ｃ
／２．５欄である特許請求の範囲第１項記載の製造法。 - （３）製品金属板の表面粗度が０．２〜２．４μｍＲａ
であり、かつ粗度の緻密度が１０〜８０ Ｈ８Ｃ／２．
５朝である特許請求の範囲第１項乃至第２項記載の製造
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10888383A JPS59232607A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | シヤドウマスク用金属板の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10888383A JPS59232607A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | シヤドウマスク用金属板の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59232607A true JPS59232607A (ja) | 1984-12-27 |
| JPH0344842B2 JPH0344842B2 (ja) | 1991-07-09 |
Family
ID=14496006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10888383A Granted JPS59232607A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | シヤドウマスク用金属板の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59232607A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6139344A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-25 | Toshiba Corp | シャドウマスク |
| JPS62238003A (ja) * | 1986-04-07 | 1987-10-19 | Nisshin Steel Co Ltd | シャドウマスクの製造法 |
| JPS62287044A (ja) * | 1986-06-04 | 1987-12-12 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | プレス成形性に優れたシャドウマスク原板の製造方法 |
| EP0472194A2 (en) * | 1990-08-22 | 1992-02-26 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Manufacturing process of shadow mask and shadow mask plate therefor |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5437999A (en) * | 1977-08-31 | 1979-03-20 | Mitsubishi Electric Corp | Method of processing roll type works with electric discharge |
| JPS5741801A (en) * | 1980-08-26 | 1982-03-09 | Nippon Steel Corp | Manufacture of stainless steel sheet prevented from generating gold-dust flaw |
-
1983
- 1983-06-16 JP JP10888383A patent/JPS59232607A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5437999A (en) * | 1977-08-31 | 1979-03-20 | Mitsubishi Electric Corp | Method of processing roll type works with electric discharge |
| JPS5741801A (en) * | 1980-08-26 | 1982-03-09 | Nippon Steel Corp | Manufacture of stainless steel sheet prevented from generating gold-dust flaw |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6139344A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-25 | Toshiba Corp | シャドウマスク |
| JPH0452585B2 (ja) * | 1984-07-31 | 1992-08-24 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
| JPS62238003A (ja) * | 1986-04-07 | 1987-10-19 | Nisshin Steel Co Ltd | シャドウマスクの製造法 |
| JPH0534081B2 (ja) * | 1986-04-07 | 1993-05-21 | Nisshin Steel Co Ltd | |
| JPS62287044A (ja) * | 1986-06-04 | 1987-12-12 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | プレス成形性に優れたシャドウマスク原板の製造方法 |
| EP0472194A2 (en) * | 1990-08-22 | 1992-02-26 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Manufacturing process of shadow mask and shadow mask plate therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0344842B2 (ja) | 1991-07-09 |
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