JPS59221022A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS59221022A JPS59221022A JP9631383A JP9631383A JPS59221022A JP S59221022 A JPS59221022 A JP S59221022A JP 9631383 A JP9631383 A JP 9631383A JP 9631383 A JP9631383 A JP 9631383A JP S59221022 A JPS59221022 A JP S59221022A
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- JP
- Japan
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- electrode
- comb
- shaped
- input
- electrodes
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- Granted
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14547—Fan shaped; Tilted; Shifted; Slanted; Tapered; Arched; Stepped finger transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は弾性表面波フィルタ・弾性表面波発振器等の弾
性表面波装置に関するものである。
性表面波装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来、弾性体基板に形成された櫛形電極構造の圧電変換
器において、櫛形電極での表面波の反射を少なくするた
めに、入力櫛形電極、出力櫛形電極の電極指を周期的に
間引く方法が用いられていた。その結果たとえば電極指
ｎ対に１対残すような間引きを行えば、第１図に示すよ
うに、（ｎｌ ）／ｎ・λｔ（”−２）／”ψλ・・・
・ １／ｎ・λ、（ｎ＋１）ｎ・λＩ （ｎ＋２ ）／
ｎ・λ、・・・・・・の波長（ただしλ：表面波の波長
）でも表面波が励振され、不要スプリアスとなり問題で
あった。そのため、入力櫛形電極。
器において、櫛形電極での表面波の反射を少なくするた
めに、入力櫛形電極、出力櫛形電極の電極指を周期的に
間引く方法が用いられていた。その結果たとえば電極指
ｎ対に１対残すような間引きを行えば、第１図に示すよ
うに、（ｎｌ ）／ｎ・λｔ（”−２）／”ψλ・・・
・ １／ｎ・λ、（ｎ＋１）ｎ・λＩ （ｎ＋２ ）／
ｎ・λ、・・・・・・の波長（ただしλ：表面波の波長
）でも表面波が励振され、不要スプリアスとなり問題で
あった。そのため、入力櫛形電極。
出力櫛形電極の電極指の間引き周期をずらし、入力櫛形
電極、出力櫛形電極で励振される不要スプリアスの周波
数をずらし、スプリアスのレベルを下げていた。しかし
、入力櫛形電極、出力櫛形電極それぞれの電極指の間引
きの割合が異なると弾性体基板の単位長さ当りの電極幅
の１・−タル長さが異なる。そのため、入力櫛形電極、
出力櫛形電極それぞれの電極部の平均音速が異なシ、
ｆ＝Ｖ／λ （ｆ：周波数 ｖ：、音速 λ：波長）で
表わされる周波数が、第２図に示すようにそれぞれの電
極で異なり、周波数特性挿入損失等で所望の特性が得ら
れなかった。なお、第２図の破線Ａ。
電極、出力櫛形電極で励振される不要スプリアスの周波
数をずらし、スプリアスのレベルを下げていた。しかし
、入力櫛形電極、出力櫛形電極それぞれの電極指の間引
きの割合が異なると弾性体基板の単位長さ当りの電極幅
の１・−タル長さが異なる。そのため、入力櫛形電極、
出力櫛形電極それぞれの電極部の平均音速が異なシ、
ｆ＝Ｖ／λ （ｆ：周波数 ｖ：、音速 λ：波長）で
表わされる周波数が、第２図に示すようにそれぞれの電
極で異なり、周波数特性挿入損失等で所望の特性が得ら
れなかった。なお、第２図の破線Ａ。
Ｂはそれぞれ入力電極特性、出力電極特性、実線Ｃは総
合特性を示す。
合特性を示す。
発明の目的
本発明はこのような従来の欠点をなくすもので、入力櫛
形電極、出力櫛形電極それぞれの電極指間隔を変え、中
心周波数を一致させ、所望の特性を得ることを目的とす
るものである。
形電極、出力櫛形電極それぞれの電極指間隔を変え、中
心周波数を一致させ、所望の特性を得ることを目的とす
るものである。
発明の構成
この目的を達成するために本発明は、入力櫛形電極、出
力櫛形電極の間引きの周期をずらし、さらに入力櫛形電
極、出力櫛形電極の周期的間隔で配置される電極指の周
期をそれぞれの電極における中心周波数が一致するよう
にずらして電極を形成した構成にしたものである。
力櫛形電極の間引きの周期をずらし、さらに入力櫛形電
極、出力櫛形電極の周期的間隔で配置される電極指の周
期をそれぞれの電極における中心周波数が一致するよう
にずらして電極を形成した構成にしたものである。
この構成により、不要スプリアスのレベルを低下させる
とともに、周波数特性、挿入損失等所望の特性を得るこ
とができる。
とともに、周波数特性、挿入損失等所望の特性を得るこ
とができる。
実施例の説明
水晶基板上にアルミニウドで電極を構成した弾性表面波
装置の一実施例をあげて説明する。
装置の一実施例をあげて説明する。
間引きの割合を変えたときの電極膜厚と音速の関係を実
験で求めた。その結果を第３図に示す。
験で求めた。その結果を第３図に示す。
中心周波数６００ ＭＨｚ 、入出力櫛形電極の対数を
それぞれ３００対とし、入力櫛形電極については２対間
引いて１対残し、出力櫛形電極については５対間引いて
１対残すことによって、それぞれの電極部分の平均音速
を同一とした。アルミニウム電極厚を１６００八とする
とそれぞれの電極の中心周波数のずれは約１ＭＨｚとな
り、−３ｄＢ帯域幅は約１０％狭帯域となるとともに、
挿入損失は約２ｄＢ大きくなる。
それぞれ３００対とし、入力櫛形電極については２対間
引いて１対残し、出力櫛形電極については５対間引いて
１対残すことによって、それぞれの電極部分の平均音速
を同一とした。アルミニウム電極厚を１６００八とする
とそれぞれの電極の中心周波数のずれは約１ＭＨｚとな
り、−３ｄＢ帯域幅は約１０％狭帯域となるとともに、
挿入損失は約２ｄＢ大きくなる。
そこで、第４図に示すように、弾性体基板１上に設ける
入力櫛形電極２と出力櫛形電極３それぞれの電極指の間
隔を’ｉｎ ’ｏｕｔとするとき、６００Ｘ１０ −３
１３６Ｘ１０ ／４６ｉｎ：３１４０Ｘ１０６／４’
ｏ ｕ ｔとなるよう’１ｎ＝１．３０６μｍ、１Ｏｕ
ｔ＝１．３ｏ８μｍとすれば、入力櫛形電極と出力櫛形
電極の周波数は一致して所望の特性が得られる。
入力櫛形電極２と出力櫛形電極３それぞれの電極指の間
隔を’ｉｎ ’ｏｕｔとするとき、６００Ｘ１０ −３
１３６Ｘ１０ ／４６ｉｎ：３１４０Ｘ１０６／４’
ｏ ｕ ｔとなるよう’１ｎ＝１．３０６μｍ、１Ｏｕ
ｔ＝１．３ｏ８μｍとすれば、入力櫛形電極と出力櫛形
電極の周波数は一致して所望の特性が得られる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、不要スプリアスのレベル
を下げ、さらに挿入損失の増加させることなく所望の周
波数特性が得られる。特に弾性表面波遅延素子として帰
還増幅回路と組合せて発振器を構成する場合などのよう
に、狭帯域の周波数特性が必要となる場合、挿入損失が
増加したとき増幅回路の利得を上げる必要があり、また
安定な発振を得るために不要スプリアスレベルを低下さ
せなければならない場合、本発明を用いれば著しい効果
を得ることが出来る。
を下げ、さらに挿入損失の増加させることなく所望の周
波数特性が得られる。特に弾性表面波遅延素子として帰
還増幅回路と組合せて発振器を構成する場合などのよう
に、狭帯域の周波数特性が必要となる場合、挿入損失が
増加したとき増幅回路の利得を上げる必要があり、また
安定な発振を得るために不要スプリアスレベルを低下さ
せなければならない場合、本発明を用いれば著しい効果
を得ることが出来る。
第１図および第２図は従来の弾性表面波装置の特性を例
示する図、第３図は弾性表面波装置の電極指の間引きの
割合を変化させたときの電極膜厚と平均音速の関係を示
す図、第４図は本発明の一実施例の弾性表面波装置を示
す模式図である。 １・・・・・弾性基板、２・・・・・・入力櫛形電極、
３・・・・・・出力櫛形電極。 範１図 一間浪数 第２図 −周浪玖 第３図 θ、／ ０．２ ０．３室径■騎（Ｋ
Ｈ） 第４図
示する図、第３図は弾性表面波装置の電極指の間引きの
割合を変化させたときの電極膜厚と平均音速の関係を示
す図、第４図は本発明の一実施例の弾性表面波装置を示
す模式図である。 １・・・・・弾性基板、２・・・・・・入力櫛形電極、
３・・・・・・出力櫛形電極。 範１図 一間浪数 第２図 −周浪玖 第３図 θ、／ ０．２ ０．３室径■騎（Ｋ
Ｈ） 第４図
Claims (2)
- （１）入力櫛形電極と出力櫛形電極の電極指の間引きの
周期をずらし、さらに前記入力櫛形電極と前記出力櫛形
電極の周期的間隔で配置される電極指の周期をずらした
ことを特徴とする弾性表面波装置・ - （２）電極指の間引きを入力櫛形電極については電極指
ｄ対につきｂ対出力櫛形電極については電極指Ｃ対につ
きｄ対としたとき、電極部分の平均音速をｖｉｎ Ｉ
ｖｏｕｔ ＋それぞれの電極指の間隔を’ｉｎ＋’ｏｕ
ｔとするとき、Ｚ’ｉｎ／ ’ｉｎ−υ。ｕｔ／１ｏｕ
ｔとなるよう櫛形電極を配置したことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58096313A JPH0815248B2 (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58096313A JPH0815248B2 (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59221022A true JPS59221022A (ja) | 1984-12-12 |
| JPH0815248B2 JPH0815248B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=14161532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58096313A Expired - Lifetime JPH0815248B2 (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815248B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02284511A (ja) * | 1989-04-25 | 1990-11-21 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| JPH04266209A (ja) * | 1991-02-20 | 1992-09-22 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波伝搬装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5657527U (ja) * | 1979-10-08 | 1981-05-18 |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP58096313A patent/JPH0815248B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5657527U (ja) * | 1979-10-08 | 1981-05-18 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02284511A (ja) * | 1989-04-25 | 1990-11-21 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| JPH04266209A (ja) * | 1991-02-20 | 1992-09-22 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波伝搬装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0815248B2 (ja) | 1996-02-14 |
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