JPS59171826A - 静電容量型圧力センサ−の温度補償装置 - Google Patents
静電容量型圧力センサ−の温度補償装置Info
- Publication number
- JPS59171826A JPS59171826A JP4742083A JP4742083A JPS59171826A JP S59171826 A JPS59171826 A JP S59171826A JP 4742083 A JP4742083 A JP 4742083A JP 4742083 A JP4742083 A JP 4742083A JP S59171826 A JPS59171826 A JP S59171826A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- fixed
- diaphragm
- temperature
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、静電容量型圧力センサーの温度補償袋＠に関
する。
する。
静電容量型圧力センサーは、ハウジングに、可動電極を
支持したダイヤフラムと固定面イ析を支持した固定電極
支持部材とが配置され、ダイヤスラムには、列えば、燐
青銅等の金属が用いられる。
支持したダイヤフラムと固定面イ析を支持した固定電極
支持部材とが配置され、ダイヤスラムには、列えば、燐
青銅等の金属が用いられる。
その金属ダイヤフラムは、圧力に対し、良い直線性を示
すが、湿度係数が非常に大きく、特にゼロ圧時ＶＣ−ｉ
、’ける変動が大きいという欠点があった。
すが、湿度係数が非常に大きく、特にゼロ圧時ＶＣ−ｉ
、’ける変動が大きいという欠点があった。
従来、この補償のためには、センサ一本体の構造が複雑
になって大型化し、或はそのセンサー出力を入力とする
検出回路内で処理するものでは、センサ一本体と検出回
路を切り離して考えることができなくなり、センサ一本
体の互換性がなくなる等の欠点があった。
になって大型化し、或はそのセンサー出力を入力とする
検出回路内で処理するものでは、センサ一本体と検出回
路を切り離して考えることができなくなり、センサ一本
体の互換性がなくなる等の欠点があった。
本発明の目的は、上記従来装置の欠点に軽み、静電容量
型圧力センサーの簡単な構造による温度補償装置を提供
するとしである。
型圧力センサーの簡単な構造による温度補償装置を提供
するとしである。
以下、図面ＶＣ基づいて本発明の詳細な説明する。
先ず、第１図において、１は金属イオ料よりなるハウジ
ングで、後述するダイヤフラムを固定する部分１ａｉ肉
厚にして圧力に対し変形しない強度を保証し得るように
形成されている。２は例えは燐青銅で作られたダイヤフ
ラムで、ノ・ウゾング１に半田付けにて固定され、また
可動電極３を半田付けにて支持している。４はプラスチ
ック相よりなる環状のスペーサで、プラスチック相より
なるネジ５によりハウシング１に固定されている。６は
固定電極としての鉄板で、可動電極３（で対向する如く
プラスチック（才よりなるネジ７によりスペーサ４に固
定されている。８は圧力送排口としてのバイブで、ハウ
ジングＩＫ螺合支持されている。
ングで、後述するダイヤフラムを固定する部分１ａｉ肉
厚にして圧力に対し変形しない強度を保証し得るように
形成されている。２は例えは燐青銅で作られたダイヤフ
ラムで、ノ・ウゾング１に半田付けにて固定され、また
可動電極３を半田付けにて支持している。４はプラスチ
ック相よりなる環状のスペーサで、プラスチック相より
なるネジ５によりハウシング１に固定されている。６は
固定電極としての鉄板で、可動電極３（で対向する如く
プラスチック（才よりなるネジ７によりスペーサ４に固
定されている。８は圧力送排口としてのバイブで、ハウ
ジングＩＫ螺合支持されている。
こ＼で、本発明は、材料の選定によって、ハウジング１
とダイヤフラム２の複合的な温度係数とスペーサ４の温
度係数とが略等しくなるように設定し、温度変化に対し
て、可動電極３と鉄板６とか相対的（（変位するように
し、両者間の間隔が変化しない或は間隔変化が僅少であ
るようにしたものである。
とダイヤフラム２の複合的な温度係数とスペーサ４の温
度係数とが略等しくなるように設定し、温度変化に対し
て、可動電極３と鉄板６とか相対的（（変位するように
し、両者間の間隔が変化しない或は間隔変化が僅少であ
るようにしたものである。
即ち、それは、ハウシング（１）１４の温度係数とその
肉厚にした部分（１ａ）の厚さ及びダイヤフラム（３）
材の温度係数と、スペーサ（４）材の温度係数とその厚
でと、それに′市極間の距離の要素からＴｒＥｊ単に設
定できるものである。
肉厚にした部分（１ａ）の厚さ及びダイヤフラム（３）
材の温度係数と、スペーサ（４）材の温度係数とその厚
でと、それに′市極間の距離の要素からＴｒＥｊ単に設
定できるものである。
なお、ネジ５はハウジング］とスペーサ４の湿度係数に
近い材料のものが選定され、またネジ７はスペーサ４の
温度係数に略等しい材料のものが選定されると好ましい
。
近い材料のものが選定され、またネジ７はスペーサ４の
温度係数に略等しい材料のものが選定されると好ましい
。
また、可動電極３に対向する固定電極は、後述の実施例
のように描成することもできる。
のように描成することもできる。
次に、第２図において、１１はプラスチック相よりなる
ハウジングで、環状の脚部１１ａと溝部１ ｌ ｂを形
成していると共に、圧力送排Ｄ １１ ｃをυｊ丈方向
即ち、後述するダイヤフラム（で対する圧力作用方向と
直交する方向に形成し、高さ方向の大きさが小さくされ
ている。１２ばＯｌ）ングである。］３は金属材料より
なるベース部材で、金属のネジ１４によりハウシング１
１に固定され、０リング１２によりハウジング１１との
間が圧力シールされている。１５は前実施例と同様のダ
イヤフラムで、べ〜ス部材１３に半田付け１・てて固定
され、また同様に可動電極１６を支持している。
ハウジングで、環状の脚部１１ａと溝部１ ｌ ｂを形
成していると共に、圧力送排Ｄ １１ ｃをυｊ丈方向
即ち、後述するダイヤフラム（で対する圧力作用方向と
直交する方向に形成し、高さ方向の大きさが小さくされ
ている。１２ばＯｌ）ングである。］３は金属材料より
なるベース部材で、金属のネジ１４によりハウシング１
１に固定され、０リング１２によりハウジング１１との
間が圧力シールされている。１５は前実施例と同様のダ
イヤフラムで、べ〜ス部材１３に半田付け１・てて固定
され、また同様に可動電極１６を支持している。
１７はカラスエポキシまたはセラミック材料よりなる固
定電欅支持！ｆｌＳｖＪで、プラスチックイ」よりなる
ネジ１８１でより脚部１ａに固定されている。
定電欅支持！ｆｌＳｖＪで、プラスチックイ」よりなる
ネジ１８１でより脚部１ａに固定されている。
１９は固定電極で、可動電極１６に対向する如く固定電
極支持部材１７に支持でれている。２０は他の固定室Ｑ
で、固定電極１９とは反対側（Ｃおいて固定電極支持部
材１７に支持されている。
極支持部材１７に支持でれている。２０は他の固定室Ｑ
で、固定電極１９とは反対側（Ｃおいて固定電極支持部
材１７に支持されている。
本実施例では、材料の選定によって、ベース部ｖＪ’１
３とダイヤフラム１５の複合的な温度係数とハウジング
］１の温度係数とが略等しくなるように設定するもので
ある。
３とダイヤフラム１５の複合的な温度係数とハウジング
］１の温度係数とが略等しくなるように設定するもので
ある。
即ち、それは、ベース部材（１３）の湿度係数とその厚
さ及びダイヤフラム（１５）材の湿度係数と、ハウジン
グ（１１）Ｕの湿度係数とその脚部（１１，ａ ）の高
さと、それに電イゲ間の距離の要素から簡単に設定でき
るものである。
さ及びダイヤフラム（１５）材の湿度係数と、ハウジン
グ（１１）Ｕの湿度係数とその脚部（１１，ａ ）の高
さと、それに電イゲ間の距離の要素から簡単に設定でき
るものである。
なお、ネジ１４はハウジング１１とベース部４２１３の
温度係数１で近い材料のものが選定され、またネジ１８
はハウジング１］の温度係数に略等しい材料のものが選
定されると好ましい。
温度係数１で近い材料のものが選定され、またネジ１８
はハウジング１］の温度係数に略等しい材料のものが選
定されると好ましい。
また、ｌｉ！ｉｌ定電極１９と２０による容量は、セン
サ一本体の浮遊容Ｍを検出回路内において相殺できるよ
うＫ Ｗｒ定されるものである。
サ一本体の浮遊容Ｍを検出回路内において相殺できるよ
うＫ Ｗｒ定されるものである。
更に、本実施例の固定電極支持部材１７．固定電接１９
ば、逆に前実施例の鉄板に置換可能である。
ば、逆に前実施例の鉄板に置換可能である。
捷だ、両実施例に共ｊ戸シて、ハウジング、ペース部材
及びダイヤフラムは、金属或はプラスチック材に限らず
種々の拐料が利用できるものであり、特にダイヤフラム
は弾性材（弾性部晴と組合わされる布等も含む〕であれ
ばよい。
及びダイヤフラムは、金属或はプラスチック材に限らず
種々の拐料が利用できるものであり、特にダイヤフラム
は弾性材（弾性部晴と組合わされる布等も含む〕であれ
ばよい。
以りの如く、本発明のように、ハウジングとダイヤスラ
ムの複合的な温度係数とスペーサの温度係数を、或はベ
ース部材とダイヤフラムの複合的な湿度係数とハウジン
グの温度係＠を略等しく設定することによって、簡単な
構造により静電容量型圧力センサーの温度補償装置全提
供できるものであり、センサ一本体で温度補償を施して
いるので、各センサ一本体が検出回路に対して互換性を
持つようになるものである。
ムの複合的な温度係数とスペーサの温度係数を、或はベ
ース部材とダイヤフラムの複合的な湿度係数とハウジン
グの温度係＠を略等しく設定することによって、簡単な
構造により静電容量型圧力センサーの温度補償装置全提
供できるものであり、センサ一本体で温度補償を施して
いるので、各センサ一本体が検出回路に対して互換性を
持つようになるものである。
第１図及び第２図は夫々本発明の実施例を示した説明図
である。 １．１１・・・・・・・・・・ハウジング１ａ・・・・
・・・・・・・・・・肉厚にした部分１、 １ ａ
・・ ・・ ・・ ・・ ・・ ・・ ・・ 脚音１
５１１ｂ・・・・・・・・・・・・・・溝部１１ｃ・・
・・・・・・・・・・・・上方送排口２．１５・・・・
・・・・・・ダイヤフラム３．１６・・・・・・・・・
・可動電極４・・・・・・・・・・・・・・・・スペー
サ６・・・・・・・・・・・・・・・・鉄板（固定電極
）１２・・・・・・・・・・・・・・・・０リング１３
・・・・・・・・・・・・・・・・ヘース＝＋ｔ、材１
７・・・・・・・・・・・・・・・・固定電極支持部材
１９．２０・・・・−・・・・固定電極特許出願人 株式会社コパルタケダメディカル研究所手続補正書（方
式） １ 事件の表示 昭和５８年特許願４７４２０号 ２ 発明の名称 ３ 補正をする者 特許出願人 ４ 補正命令の日付 明細書の浄書（内容に変更なし）
である。 １．１１・・・・・・・・・・ハウジング１ａ・・・・
・・・・・・・・・・肉厚にした部分１、 １ ａ
・・ ・・ ・・ ・・ ・・ ・・ ・・ 脚音１
５１１ｂ・・・・・・・・・・・・・・溝部１１ｃ・・
・・・・・・・・・・・・上方送排口２．１５・・・・
・・・・・・ダイヤフラム３．１６・・・・・・・・・
・可動電極４・・・・・・・・・・・・・・・・スペー
サ６・・・・・・・・・・・・・・・・鉄板（固定電極
）１２・・・・・・・・・・・・・・・・０リング１３
・・・・・・・・・・・・・・・・ヘース＝＋ｔ、材１
７・・・・・・・・・・・・・・・・固定電極支持部材
１９．２０・・・・−・・・・固定電極特許出願人 株式会社コパルタケダメディカル研究所手続補正書（方
式） １ 事件の表示 昭和５８年特許願４７４２０号 ２ 発明の名称 ３ 補正をする者 特許出願人 ４ 補正命令の日付 明細書の浄書（内容に変更なし）
Claims (4)
- （１）可動電極を支持しハウジングに固定されるダイヤ
フラムと、前記可動電極に対向する如く前記ハウジング
に固定される固定電極部材とからなる静電容量型圧力セ
ンサーにおいて、前記ハウジングのダイヤスラムを固定
する部分を圧力に対して変形しない強度を保証する厚さ
に形成すると共に、前記固定電極部材をスペーサを介し
て該ハウジングに固定するようにし、材料の選定によっ
て、前記ハウジングとダイヤフラムの複合的な温度係数
と前記スペーサの温度係数とが略等しくなるように設定
するようにしたことを特徴とする温度補償装置。 - （２）、可動電極を支持しハウジングに固定されろダイ
ヤフラムと、前記可動電極に対向する如く前記ハウジン
グに固定される固定電極部材とからなる静電容量型圧力
センサーにおいて、前記ダイヤフラムケベース部材を介
して前記ノ・ウジングに固定すると共に、前記ハウジン
グに脚部を形成すると共に、該脚部によって前記固定電
極部材を固定するようにし、材料の選定によって、前記
ベース部材とダイヤフラムの複合的な温度係数と前記ノ
・ウジングの温度係数とが略等しくなるように設定する
ようにしたことを特徴とする温度補償装置。 - （３）ベース部材は圧力に対して変形しない強度を保証
する厚さを有することを特徴とする特許請求の範囲第二
項に記載の静電容量型圧力センサーの温度補償装置。 - （４）ハウジングとベース部材との間がシール材によっ
て圧力シールされていることを特徴とする特許請求の範
囲第二項に記載の静電容量型圧力センサーの温度補償装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4742083A JPS59171826A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 静電容量型圧力センサ−の温度補償装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4742083A JPS59171826A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 静電容量型圧力センサ−の温度補償装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59171826A true JPS59171826A (ja) | 1984-09-28 |
Family
ID=12774659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4742083A Pending JPS59171826A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 静電容量型圧力センサ−の温度補償装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59171826A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61161728U (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-07 | ||
| JPS6262944U (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-18 | ||
| JPS62170538U (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-29 | ||
| JPS62187827U (ja) * | 1986-05-21 | 1987-11-30 | ||
| JPS62284232A (ja) * | 1986-06-02 | 1987-12-10 | Takeda Medical:Kk | 静電溶量式圧力センサ |
| JPS6319233U (ja) * | 1986-07-22 | 1988-02-08 | ||
| JPS6370044U (ja) * | 1986-10-27 | 1988-05-11 | ||
| JPS6370045U (ja) * | 1986-10-27 | 1988-05-11 | ||
| JPS63262537A (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-28 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力測定装置 |
| JPH01102841U (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-11 | ||
| US8783112B2 (en) | 2011-06-30 | 2014-07-22 | Caterpillar Inc. | Gas monitoring system implementing pressure detection |
| US8875560B2 (en) | 2011-06-30 | 2014-11-04 | Caterpillar Inc. | System implementing constituent identification and concentration detection |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52123283A (en) * | 1976-03-12 | 1977-10-17 | Kavlico Corp | Pressureetooelectricity converting element and method of manufacturing the same |
| JPS5429820U (ja) * | 1977-07-30 | 1979-02-27 | ||
| JPS5562332A (en) * | 1978-11-02 | 1980-05-10 | Fuji Electric Co Ltd | Pressure measuring device |
| JPS5627630A (en) * | 1979-08-16 | 1981-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pressure sensitive element |
-
1983
- 1983-03-22 JP JP4742083A patent/JPS59171826A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52123283A (en) * | 1976-03-12 | 1977-10-17 | Kavlico Corp | Pressureetooelectricity converting element and method of manufacturing the same |
| JPS5429820U (ja) * | 1977-07-30 | 1979-02-27 | ||
| JPS5562332A (en) * | 1978-11-02 | 1980-05-10 | Fuji Electric Co Ltd | Pressure measuring device |
| JPS5627630A (en) * | 1979-08-16 | 1981-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pressure sensitive element |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61161728U (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-07 | ||
| JPH0435778Y2 (ja) * | 1985-10-11 | 1992-08-25 | ||
| JPS6262944U (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-18 | ||
| JPS62170538U (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-29 | ||
| JPS62187827U (ja) * | 1986-05-21 | 1987-11-30 | ||
| JPS62284232A (ja) * | 1986-06-02 | 1987-12-10 | Takeda Medical:Kk | 静電溶量式圧力センサ |
| JPS6319233U (ja) * | 1986-07-22 | 1988-02-08 | ||
| JPS6370044U (ja) * | 1986-10-27 | 1988-05-11 | ||
| JPS6370045U (ja) * | 1986-10-27 | 1988-05-11 | ||
| JPS63262537A (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-28 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力測定装置 |
| JPH01102841U (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-11 | ||
| US8783112B2 (en) | 2011-06-30 | 2014-07-22 | Caterpillar Inc. | Gas monitoring system implementing pressure detection |
| US8875560B2 (en) | 2011-06-30 | 2014-11-04 | Caterpillar Inc. | System implementing constituent identification and concentration detection |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59171826A (ja) | 静電容量型圧力センサ−の温度補償装置 | |
| US4617607A (en) | High pressure capacitive transducer | |
| EP0714505B1 (en) | Capacitive pressure sensor with adjustable feed through | |
| EP0376632A1 (en) | Capacitive pressure sensor and method for minimizing the parasitic capacitance in a capacitive pressure sensor | |
| EP0990885A3 (en) | Capacitive pressure sensor | |
| SE7503078L (sv) | Kapacitivt kraftavkenningsorgan. | |
| GB1497185A (en) | Pressure gauges | |
| JPS60195829A (ja) | 静電容量形絶対圧力検出器 | |
| US3814998A (en) | Pressure sensitive capacitance sensing element | |
| US3991285A (en) | Microphone having an electrostatic cartridge having a structural electrical resistor | |
| US5249469A (en) | Pressure gauge | |
| TW425478B (en) | Acceleration sensor and 3-axis acceleration sensor | |
| AU1019299A (en) | Piezo-electric stretching detector and method for measuring stretching phenomenausing such a detector | |
| GB1276196A (en) | Electro-acoustic transducer | |
| JPH11160349A (ja) | 加速度センサ | |
| JPH085435A (ja) | ガスメータ | |
| JP2660517B2 (ja) | 静電容量型レベルセンサー | |
| JPH0495743A (ja) | 静電容量式差圧検出器 | |
| JPS5988633A (ja) | 圧力センサユニツト | |
| JPS61266931A (ja) | 圧力センサ | |
| RU2060483C1 (ru) | Датчик давления | |
| JPS6459075A (en) | Semiconductor acceleration sensor | |
| JPS6316993Y2 (ja) | ||
| JPH09119858A (ja) | ガスメータ | |
| JPS635183A (ja) | ピエゾポンプ |