JPS59162412A - 超音波距離測定装置 - Google Patents
超音波距離測定装置Info
- Publication number
- JPS59162412A JPS59162412A JP59024925A JP2492584A JPS59162412A JP S59162412 A JPS59162412 A JP S59162412A JP 59024925 A JP59024925 A JP 59024925A JP 2492584 A JP2492584 A JP 2492584A JP S59162412 A JPS59162412 A JP S59162412A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- ultrasonic
- magnet
- measuring device
- distance measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/48—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using wave or particle radiation means
- G01D5/485—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using wave or particle radiation means using magnetostrictive devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、磁気ひずみ材料製チューブ、該チューブに対
して移動可能であり、位置信号として作用し且つ前記チ
ューブに沿って伝わる超音波信号を、パルス発生器によ
りつくられた電気パルスの関数として発生する第１の磁
石、前記チューブに対して第１の基準位置に固定され、
基準信号として作用する超音波パルスを発生する静止し
た第２の磁石、前記チューブに結合し該チューブ内に発
生された位置信号および基準信号を測定回路用電気信号
に変換する超音波受信器、並びに低熱膨張率を有し、前
記チューブに対して第２の基準位置に固定された距離測
定装置の他の要素に前記静止した第２の磁石を連結する
連結部材からなる、直線距離を測定するための超音波距
離測定装置に関する。
して移動可能であり、位置信号として作用し且つ前記チ
ューブに沿って伝わる超音波信号を、パルス発生器によ
りつくられた電気パルスの関数として発生する第１の磁
石、前記チューブに対して第１の基準位置に固定され、
基準信号として作用する超音波パルスを発生する静止し
た第２の磁石、前記チューブに結合し該チューブ内に発
生された位置信号および基準信号を測定回路用電気信号
に変換する超音波受信器、並びに低熱膨張率を有し、前
記チューブに対して第２の基準位置に固定された距離測
定装置の他の要素に前記静止した第２の磁石を連結する
連結部材からなる、直線距離を測定するための超音波距
離測定装置に関する。
上述の形式の距離測定装置は本出願人の先願である西独
国特許出願公開第Ｐ３１３１４５５．４号明細書に開示
されている。この磁気ひずみ超音波距離測定装置におい
ては、超音波受信器および静止した第２の磁石を、特に
アンバー（ＩＮＭＡＲ、クルンーロワール社の登録商標
）製のバーのような、温度依存性がある連結部材により
互いに連結している。
国特許出願公開第Ｐ３１３１４５５．４号明細書に開示
されている。この磁気ひずみ超音波距離測定装置におい
ては、超音波受信器および静止した第２の磁石を、特に
アンバー（ＩＮＭＡＲ、クルンーロワール社の登録商標
）製のバーのような、温度依存性がある連結部材により
互いに連結している。
このようにして静止磁石と超音波受信器間のスペースは
かなり一定に保たれ、従って、所定の距離に対して基準
となる伝播時間を正確に把握することができる。この点
について言えば、超音波受信器および静止磁石を磁気ひ
ずみチューブの両端に位置させ、できるだけ離して置き
、基準め距離をできるだけ長くして測定中の精度を充分
高めることができる。
かなり一定に保たれ、従って、所定の距離に対して基準
となる伝播時間を正確に把握することができる。この点
について言えば、超音波受信器および静止磁石を磁気ひ
ずみチューブの両端に位置させ、できるだけ離して置き
、基準め距離をできるだけ長くして測定中の精度を充分
高めることができる。
上述した先願の明細書に開示された磁気ひずみ超音波距
離測定装置を使用することによって、基準長さの測定に
際して、超音波の音速の温度に依存するドリフトが著し
く補償されるので、従前使用されて・いた形式の距離測
定装置（例えば、米国特許第３．８９８．５５５号明細
書）に比較してｍ 定１１度が向上する。しかしながら
、測定回路を構成している要素の温度ドリフトの影響の
ために、この装置では達成可能な最高精度が往々にして
不充分な値に押えられることになる。
離測定装置を使用することによって、基準長さの測定に
際して、超音波の音速の温度に依存するドリフトが著し
く補償されるので、従前使用されて・いた形式の距離測
定装置（例えば、米国特許第３．８９８．５５５号明細
書）に比較してｍ 定１１度が向上する。しかしながら
、測定回路を構成している要素の温度ドリフトの影響の
ために、この装置では達成可能な最高精度が往々にして
不充分な値に押えられることになる。
上述した先願の明細書に開示された発明を基礎とし、上
述の問題点を考慮し、本発明は測定回路要素の温度ドリ
フトを補償することにより測定精度を一層向上すること
を目的とする。
述の問題点を考慮し、本発明は測定回路要素の温度ドリ
フトを補償することにより測定精度を一層向上すること
を目的とする。
本明１１［１書の冒頭に記述した形式の超音波距離測定
装置においては、本発明は、チューブに一対して固定し
た付加的な静止要素として第３の磁石を設けて、パルス
発生器によりつくられた電気パルスにより２つの静止磁
石において発生され且つチューブに沿って伝わり、超音
波受信器に達する超音波パルスの伝播時間差に対応して
差信号を発生するように測定回路を構成している超音波
距離測定装置により、上述の目的を達成する。
装置においては、本発明は、チューブに一対して固定し
た付加的な静止要素として第３の磁石を設けて、パルス
発生器によりつくられた電気パルスにより２つの静止磁
石において発生され且つチューブに沿って伝わり、超音
波受信器に達する超音波パルスの伝播時間差に対応して
差信号を発生するように測定回路を構成している超音波
距離測定装置により、上述の目的を達成する。
（発明の効果）
本発明に係る超音波距離測定装置の主要な効果ハ次ノ点
にある。２つの静止磁石間の基準距離を伝播する時間を
決定するために２つの静止磁石により２つの基準の測定
を行うときに、また、静止磁石および可動磁石間の基準
距離を伝播する時間を決定するために静止磁石の一方お
よび可動磁石により位置または距離の測定を行うときに
、測定回路の温度ドリフトが完全に、またはほとんど、
問題とならないようにして測定値を得ることができるこ
とにある。
にある。２つの静止磁石間の基準距離を伝播する時間を
決定するために２つの静止磁石により２つの基準の測定
を行うときに、また、静止磁石および可動磁石間の基準
距離を伝播する時間を決定するために静止磁石の一方お
よび可動磁石により位置または距離の測定を行うときに
、測定回路の温度ドリフトが完全に、またはほとんど、
問題とならないようにして測定値を得ることができるこ
とにある。
本発明の開発に際して、石英板の長さの温度影響変動値
がσ＝ ５ Ｘ １０−’／’Ｃでありアンバー製のバ
ーの温度影響変動値がσ＝ ２ Ｘ １０−’／’Ｃで
あることに比べて１０２程度小さくなっているので、石
英板を２つの静止磁石の間に連結部材として設けること
が効果的であることが判明した。石英板によって連結す
ることにより、２つの静止磁石を比較的接近して配置す
ることができ、し力蒐もアンバー製のバーを使用し超音
波受信器と一つの静止磁石との距離を例えば２ｍとした
場合に比較して、一層良好な測定精度が達成できる。
がσ＝ ５ Ｘ １０−’／’Ｃでありアンバー製のバ
ーの温度影響変動値がσ＝ ２ Ｘ １０−’／’Ｃで
あることに比べて１０２程度小さくなっているので、石
英板を２つの静止磁石の間に連結部材として設けること
が効果的であることが判明した。石英板によって連結す
ることにより、２つの静止磁石を比較的接近して配置す
ることができ、し力蒐もアンバー製のバーを使用し超音
波受信器と一つの静止磁石との距離を例えば２ｍとした
場合に比較して、一層良好な測定精度が達成できる。
以下、添付図面を参照して、本発明の詳細な構造および
利点について一層詳細に説明する。
利点について一層詳細に説明する。
第１図はパルス発生器１０を示しており、パルス発生器
１０により電気パルスが電気導体１２に発生される。電
気導体１２は磁気ひずみ材料製チューブ１４により囲ま
れている。チューブ１４は、超音波受信器１６に連結さ
れている。超音波受信器１６は図面では概略的に示して
いるが、モード変換器として形成することができる。モ
ード変換器として形成されたこの形式の超音波受信器は
例えば前述の米国特許第３．８９８，５５５号明細書に
詳細に開示されている。
１０により電気パルスが電気導体１２に発生される。電
気導体１２は磁気ひずみ材料製チューブ１４により囲ま
れている。チューブ１４は、超音波受信器１６に連結さ
れている。超音波受信器１６は図面では概略的に示して
いるが、モード変換器として形成することができる。モ
ード変換器として形成されたこの形式の超音波受信器は
例えば前述の米国特許第３．８９８，５５５号明細書に
詳細に開示されている。
超音波受信器１６への電気出力信号は測定回路１８にお
いて計測される。図示した実施例においては、超音波受
信器１６付きの測定回路１８は特に接着剤により図示の
ように石英板２０に取付けである。石英板２０には更に
２つの静止磁石２２．２４を連結している。また、これ
らの磁石２２．２４はチューブ１４に対して固定されて
おり、互いに所定の間隔りを開けている。磁石２２．２
４は環状形状をしており、第２図に示しているようにチ
ューブ１４を取囲んでいる。更に付加的な環状磁石２６
がチューブ１４を取囲んでおり、該磁石２６はチューブ
１４に対して移動可能である。
いて計測される。図示した実施例においては、超音波受
信器１６付きの測定回路１８は特に接着剤により図示の
ように石英板２０に取付けである。石英板２０には更に
２つの静止磁石２２．２４を連結している。また、これ
らの磁石２２．２４はチューブ１４に対して固定されて
おり、互いに所定の間隔りを開けている。磁石２２．２
４は環状形状をしており、第２図に示しているようにチ
ューブ１４を取囲んでいる。更に付加的な環状磁石２６
がチューブ１４を取囲んでおり、該磁石２６はチューブ
１４に対して移動可能である。
磁石２６および２つの静止磁石の一方、図示した実施例
では２２、間の距離ｊは本発明の超音波距離測定装置に
より測定すべき距離である。
では２２、間の距離ｊは本発明の超音波距離測定装置に
より測定すべき距離である。
本発明の超音波距離測定装置においては、パルスに生型
１０が電気導体１２に電気パルスを発生する。この電気
パルスは電気導体１２に沿って、従ってチューブ１４に
沿って、伝わり、３つの磁石２２．２４．２６の磁界と
の相互作用により磁気ひずみチューブ１４に機械的な捩
じりパルスを引起こす。各機械的な捩じりパルスは超音
波パルスを生じる。電気パルスは光速程度で電気導体１
２を通過するので、実際上チユーブ１４内の捩じりパル
スは３つの全ての磁石２２．２４．２６で同時に発生す
ると仮定することができる。超音波パルスはそれぞれチ
ューブ１４の両端まで伝わり、チューブ端での反射を無
視するならば、ひとたびパルス発生器１０からパルスが
発信されると、超音波受信器１６または測定回路１８は
引続いて３つのパルスを受信することになる。すなわち
、第１のパルスは磁石２２で発生されたものであり、第
２のパルスは磁石２４で発生されたものであり、第３の
パルスは磁石２６で発生されたものである。
１０が電気導体１２に電気パルスを発生する。この電気
パルスは電気導体１２に沿って、従ってチューブ１４に
沿って、伝わり、３つの磁石２２．２４．２６の磁界と
の相互作用により磁気ひずみチューブ１４に機械的な捩
じりパルスを引起こす。各機械的な捩じりパルスは超音
波パルスを生じる。電気パルスは光速程度で電気導体１
２を通過するので、実際上チユーブ１４内の捩じりパル
スは３つの全ての磁石２２．２４．２６で同時に発生す
ると仮定することができる。超音波パルスはそれぞれチ
ューブ１４の両端まで伝わり、チューブ端での反射を無
視するならば、ひとたびパルス発生器１０からパルスが
発信されると、超音波受信器１６または測定回路１８は
引続いて３つのパルスを受信することになる。すなわち
、第１のパルスは磁石２２で発生されたものであり、第
２のパルスは磁石２４で発生されたものであり、第３の
パルスは磁石２６で発生されたものである。
最初の２つパルス間の時間間隔は、磁石２２．２４間の
距離に対応しており、゛高いタイマー周波数で作動して
いる測定回路１８のカウンタにより従来の方法によって
較正することができる。加えて、第１と第３のパルス間
の時間間隔は磁石２２．２６間の距離、すなわち、測定
すべき距離、に対応している。
距離に対応しており、゛高いタイマー周波数で作動して
いる測定回路１８のカウンタにより従来の方法によって
較正することができる。加えて、第１と第３のパルス間
の時間間隔は磁石２２．２６間の距離、すなわち、測定
すべき距離、に対応している。
本発明の超音波距離測定装置においては、２つの静止磁
石２２．２４によって２つの基準信号が得られ、温度に
依存する測定回路１８の電子的なドリフト、経時的に生
じる測定回路１８の電子的なドリフトをなくすことがで
きる。このようにして、距離ｊおよびＬの測定精度に対
するドリフ１〜の影響を排することができる。石英板２
０が経時変化を受は難く、そして熱膨張率が著しく低い
ことにより、距離Ｌ１すなわち、基準の距離、が一定で
且つ正確であることが保証される。その結果、高いタイ
マ周波数を用いて特に現代の半導体技術−を駆使する場
合には、直線距離の測定を非常に正確に行うことができ
る。また、測定結果の精度は、距［Ｌまたは）の読みの
平均値を取ることにより更に向上できる。距離り、Ｊの
読みは、それぞれパルス発生器１０からの多数の出力パ
ルスの関数として測定され、このようにして測定された
各結果の平均値はより信頼性の高いものとなる。
石２２．２４によって２つの基準信号が得られ、温度に
依存する測定回路１８の電子的なドリフト、経時的に生
じる測定回路１８の電子的なドリフトをなくすことがで
きる。このようにして、距離ｊおよびＬの測定精度に対
するドリフ１〜の影響を排することができる。石英板２
０が経時変化を受は難く、そして熱膨張率が著しく低い
ことにより、距離Ｌ１すなわち、基準の距離、が一定で
且つ正確であることが保証される。その結果、高いタイ
マ周波数を用いて特に現代の半導体技術−を駆使する場
合には、直線距離の測定を非常に正確に行うことができ
る。また、測定結果の精度は、距［Ｌまたは）の読みの
平均値を取ることにより更に向上できる。距離り、Ｊの
読みは、それぞれパルス発生器１０からの多数の出力パ
ルスの関数として測定され、このようにして測定された
各結果の平均値はより信頼性の高いものとなる。
上述の説明から明らかなように、超音波受信器および測
定回路で生じるドリフトの影響は２つの静止基準磁石を
設置することにより低減される。
定回路で生じるドリフトの影響は２つの静止基準磁石を
設置することにより低減される。
この原理は、特に低い熱膨張率を有する連結部材により
２つの磁石が連結されているか否かにかかわらず有効に
利用できる。このような連結部材、特に石英バーまたは
石英板、の使用により、基準距離の長さの温度影響変動
値を最小とすることができる。更に上述の説明から明ら
かなように、測定回路および超音波受信器は、必ずしも
２つの静止磁石を担・持した石英板上に設置しなくとも
よい一方、実施例に示した構成とすれば、装置全体の大
きさがコンパクトとなり多くの場合に有効である。
２つの磁石が連結されているか否かにかかわらず有効に
利用できる。このような連結部材、特に石英バーまたは
石英板、の使用により、基準距離の長さの温度影響変動
値を最小とすることができる。更に上述の説明から明ら
かなように、測定回路および超音波受信器は、必ずしも
２つの静止磁石を担・持した石英板上に設置しなくとも
よい一方、実施例に示した構成とすれば、装置全体の大
きさがコンパクトとなり多くの場合に有効である。
更に、原理的には、磁気ひずみ材れ製バーを磁気ひずみ
チューブの代りに用いてもよい。しかしながら、中実の
バーを使用すると質凹が大きく不活発なために超音波パ
ルスが著しく減衰するという欠点が起こり得る。
チューブの代りに用いてもよい。しかしながら、中実の
バーを使用すると質凹が大きく不活発なために超音波パ
ルスが著しく減衰するという欠点が起こり得る。
第１図は本発明に係る超音波距離測定装置の好ましい実
施例の概略側面図であり、第２図は第１図に示した２−
２線に沿って断面した超音波距離測定装置の断面図であ
る。 １０・・・パルス発生器、 １２・・・電気導体、１４
・・・チューブ、 １６・・・超音波受信器、１８
・・・測定回路、 ２０・・・石英板、２２．２４
．２６・・・磁石、 特許出願人 ゲプハルト・バルブ・ファブリーク・ ファインメカニジエル・エルツォイグニシュ・フエルバ
ルツングスゲゼルシャフト・ミツト・ベシュレンクテル
・ハフラング 特許出願代理人 弁理士 三 中 英 治 弁理士 山 本 菊 枝
施例の概略側面図であり、第２図は第１図に示した２−
２線に沿って断面した超音波距離測定装置の断面図であ
る。 １０・・・パルス発生器、 １２・・・電気導体、１４
・・・チューブ、 １６・・・超音波受信器、１８
・・・測定回路、 ２０・・・石英板、２２．２４
．２６・・・磁石、 特許出願人 ゲプハルト・バルブ・ファブリーク・ ファインメカニジエル・エルツォイグニシュ・フエルバ
ルツングスゲゼルシャフト・ミツト・ベシュレンクテル
・ハフラング 特許出願代理人 弁理士 三 中 英 治 弁理士 山 本 菊 枝
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、磁気ひずみ材料製チューブ、該チューブに対して移
動可能であり、位置信号として作用し且つ前記チューブ
に沿って伝わる超音波信号を、パルス発生器によりつく
られた電気パルスの関数として発生する第１の磁石、前
記チューブに対して第１の基準位置に固定され、基準信
号として作用する超音波パルスを発生する静止した第２
の磁石、前記チューブに結合し該チューブ内に発生され
た位置信号および基準信号を測定回路用電気信号に変換
する超音波受信器、並びに低熱膨張率を有し、前記チュ
ーブに対して第２の基準位置に固定された距離測定装置
の他の要素に前記静止した第２の磁石を連結する連結部
材からなる、直線距離を測定するための超音波距離測定
装置において、前記チューブ（１４）に対して固定した
付加的な静止要素として第３の磁石（２４）を設けてお
り、前記パルス発生器（１０）によりつくられた電気パ
ルスにより２つの静止磁石（２２，２４）にお（、て発
生され且つチューブに沿って伝わり、前記超音波受信器
（１６）に達する超音波パルスの伝播時間差に対応して
差信号を発生するように前記測定回路（１８）を構成し
ていることを特徴とする超音波距離測定装置。 ２、前記チューブ（１４）内に電気導体（１２）を設け
ており、前記パルス発生器により発生された電気パルス
を該電気導体に印加するようにしている特許請求の範囲
第１項記載の超音波距離測定装置。 ３、前記連結部材として石英板（１０）を設けている特
許請求の範囲第１項または第２項記載の超音波距離測定
装置。 ４、前記磁石（２２〜２６）を磁気ひずみ材料（１４）
を取囲むよう環状磁石として形成している特許請求の範
囲第１項から第３項までの何れか１項に記載の超音波距
離測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19833304520 DE3304520A1 (de) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | Ultraschall-wegmesser |
| DE33045208 | 1983-02-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59162412A true JPS59162412A (ja) | 1984-09-13 |
Family
ID=6190464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59024925A Pending JPS59162412A (ja) | 1983-02-10 | 1984-02-10 | 超音波距離測定装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0118711A1 (ja) |
| JP (1) | JPS59162412A (ja) |
| DE (1) | DE3304520A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61112923A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-30 | Sankyo Boeki Kk | 変位検出装置 |
| JPH02183117A (ja) * | 1989-01-07 | 1990-07-17 | Sankyo Boeki Kk | 変位検出装置 |
| US5412317A (en) * | 1992-07-07 | 1995-05-02 | Santest Co., Ltd. | Position detector utilizing absolute and incremental position sensors in combination |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3939328A1 (de) * | 1989-11-28 | 1991-08-29 | Mpv Mess Und Prueftechnik Vogt | Verfahren und vorrichtung zur abstandsmessung in gasen und fluessigkeiten mittels ultraschall |
| ATE116902T1 (de) * | 1991-08-08 | 1995-01-15 | Ossberger Turbinen | Vorrichtung zum herstellen eines vorformlings zum blasformen eines faltenbalges. |
| AT502314B1 (de) * | 2005-04-28 | 2007-12-15 | Leopold Horst Ing | Vorrichtung zur messung der belastung eines entlang einer messstrecke verlagerbaren gegenstandes |
| DE102007031787A1 (de) | 2007-07-07 | 2009-01-08 | Stefan Hubrich | Magnetostriktiver Wegsensor mit Selbstdiagnose-Funktionalität |
| GB201104345D0 (en) * | 2011-03-15 | 2011-04-27 | Pulse Structural Monitoring Ltd | In-situ self-calibrating strain sensor |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5253390Y2 (ja) * | 1972-10-26 | 1977-12-03 | ||
| JPS5557645U (ja) * | 1978-10-14 | 1980-04-18 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3898555A (en) * | 1973-12-19 | 1975-08-05 | Tempo Instr Inc | Linear distance measuring device using a moveable magnet interacting with a sonic waveguide |
| DE2833369C3 (de) * | 1978-07-29 | 1985-05-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Anordnung zum inkrementalen Messen der Relativlage zweier Objekte mittels Ultraschallwellen |
| DE3131455A1 (de) * | 1981-08-08 | 1983-03-24 | Gebhard Balluff GmbH & Co Feinmechanische Erzeugnisse, 7303 Neuhausen | Magnetostriktiver wegmesser |
-
1983
- 1983-02-10 DE DE19833304520 patent/DE3304520A1/de not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-01-31 EP EP84100937A patent/EP0118711A1/de not_active Withdrawn
- 1984-02-10 JP JP59024925A patent/JPS59162412A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5253390Y2 (ja) * | 1972-10-26 | 1977-12-03 | ||
| JPS5557645U (ja) * | 1978-10-14 | 1980-04-18 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61112923A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-30 | Sankyo Boeki Kk | 変位検出装置 |
| JPH02183117A (ja) * | 1989-01-07 | 1990-07-17 | Sankyo Boeki Kk | 変位検出装置 |
| US5412317A (en) * | 1992-07-07 | 1995-05-02 | Santest Co., Ltd. | Position detector utilizing absolute and incremental position sensors in combination |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0118711A1 (de) | 1984-09-19 |
| DE3304520A1 (de) | 1984-08-16 |
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