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JPS59156169A - Controller for vibration wave motor - Google Patents

Controller for vibration wave motor

Info

Publication number
JPS59156169A
JPS59156169A JP58028878A JP2887883A JPS59156169A JP S59156169 A JPS59156169 A JP S59156169A JP 58028878 A JP58028878 A JP 58028878A JP 2887883 A JP2887883 A JP 2887883A JP S59156169 A JPS59156169 A JP S59156169A
Authority
JP
Japan
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frequency
vibration wave
output
vibrating body
wave motor
Prior art date
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Granted
Application number
JP58028878A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0514511B2 (en
Inventor
Masaharu Kawamura
正春 川村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP58028878A priority Critical patent/JPS59156169A/en
Priority to DE3448414A priority patent/DE3448414C3/en
Priority to DE19843406408 priority patent/DE3406408A1/en
Publication of JPS59156169A publication Critical patent/JPS59156169A/en
Publication of JPH0514511B2 publication Critical patent/JPH0514511B2/ja
Priority to US08/479,821 priority patent/US5500578A/en
Granted legal-status Critical Current

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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
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    • H02N2/142Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
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    • HELECTRICITY
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)

Abstract

PURPOSE:To efficiently operate a motor by sequentially varying the frequency of a frequency voltage applied to an electrostrictive element and obtaining the frequency that the amplitude of a vibrator becomes maximum. CONSTITUTION:The output of a clock generator CG2 is inputted to drivers DR1, DR2, and traveling vibration waves are respectively generated from electrostrictive elements 3A, 3B by the drivers DR1, DR2. The resistors R0-R4 of the clock generator CG2 are sequentially selected while rotating a vibration wave motor, and the frequency of the applied voltage is gradually reduced. At this time the frequency value of when the vibrating amplitudes of electrostrictive elements 3A, 3B become maximum is stored in a register of a CPU and the generator CG2 then outputs the frequency voltage.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電歪素子を駆動媒体として進行性振動波によっ
て駆動する振動波モータの駆動効率の向上を図るために
、進行性振動波の周波数を制御する装置に一関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a device for controlling the frequency of progressive vibration waves in order to improve the driving efficiency of a vibration wave motor driven by progressive vibration waves using an electrostrictive element as a driving medium. .

振動波モータは例えば特開昭52−28192号公報に
も開示されているように、電歪素子に交流、脈流等の周
波電圧を印加したときに生ずる振動運動を回転連動又は
−次元運動に変換するものである。従来の電磁モータに
比べて巻線を必要としないため、構造が簡単で小型にな
り、低速回転時にも高トルクが得られると共に慣性モー
メントが少ないという利点があiため、最近注目されて
いる。
As disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 52-28192, a vibration wave motor converts the vibration motion generated when a frequency voltage such as an alternating current or pulsating current is applied to an electrostrictive element into rotational interlocking or -dimensional motion. It is something that converts. Compared to conventional electromagnetic motors, electromagnetic motors do not require windings, so they have a simpler and more compact structure, can provide high torque even when rotating at low speeds, and have a small moment of inertia, so they have been attracting attention recently.

ところが、従来知られている振動波モータは振動運動を
回転運動等に変換するにあたり、振動体・に生じた定在
振動波で、振動体と接触するロータ等の移動体を一方向
に摩擦駆動するもので、振動の往運動時には振動体と移
動体が摩擦接触し、復運動時には離れるようになってい
る。そのため振動抹と移動体は微小範囲で接触する構造
、即ち点・もしくは線接触に近い構造でなければならず
、いきおい摩擦駆動効率の悪いものとなってしまう。
However, when conventionally known vibration wave motors convert vibration motion into rotational motion, they use standing vibration waves generated in the vibrator to frictionally drive a rotor or other moving body in contact with the vibrator in one direction. The vibrating body and the moving body come into frictional contact during the forward motion of vibration, and separate during the backward motion. Therefore, the vibrating body and the moving body must have a structure in which they come into contact in a minute range, that is, a structure close to point or line contact, which results in poor friction drive efficiency.

また駆動力は一定方向に働、くものであるから移動体の
移動方向は一方向のみである。逆方向に移動覆せるため
には、別な振動体で振動方向を機械的に切り換える必要
かある。従って、正逆回転が可能な振動波モータを得る
には装置が複雑になり、振動波モータの特徴である構造
の簡単さ、小型さが半減されてしまう。
Further, the driving force acts in a fixed direction, and since it is a spider, the moving direction of the moving body is only one direction. In order to move in the opposite direction, it is necessary to mechanically switch the vibration direction using another vibrating body. Therefore, in order to obtain a vibration wave motor capable of forward and reverse rotation, the device becomes complicated, and the simplicity and compactness of the structure, which are the characteristics of the vibration wave motor, are halved.

上記のような振動波モータの持つ欠点を解消する振動波
モータの構造が、本出願人の出願に係る特願昭57−2
06300、同219532等の明細書に開示されてい
る。
The structure of a vibration wave motor that eliminates the drawbacks of the vibration wave motor as described above is disclosed in Japanese Patent Application No. 57-2 filed by the present applicant.
It is disclosed in specifications such as No. 06300 and No. 219532.

その概略は以下のようなものである。The outline is as follows.

第1図は振動波モータを各要素別に分解したものを示、
している。
Figure 1 shows a vibration wave motor disassembled into each element.
are doing.

ベースとなる固定体5の中心円筒部5aに、振動吸収体
4、吸収体4側に電歪素子3を接着した金属の環状振動
体2、移動体lの順に嵌め込まれており、固定体5・吸
収体4・振動体2は各々相互に回転しないように取付け
られている。振動体2に対し移動体1は自重又は図示し
ない付勢手段で圧接されモータの一体性を保っている。
A vibration absorber 4, a metal annular vibrating body 2 with an electrostrictive element 3 bonded to the side of the absorber 4, and a movable body l are fitted into the central cylindrical portion 5a of the fixed body 5, which serves as a base, in this order. - The absorber 4 and the vibrator 2 are attached so that they do not rotate relative to each other. The movable body 1 is pressed against the vibrating body 2 by its own weight or a biasing means (not shown) to maintain the integrity of the motor.

複数の電歪素子3は一群の電歪素子3A、〜3A7が振
動波の波長入の2分の1のピンチで配列され、電歪素子
3A、  ・3A、3・3A5・3A7の分極方向は同
一で、その間に位置する電歪素子3A2 ・3A4 ・
3A6の分極方向は逆である。従って電歪素子3A、〜
3A7は隣り合う位置のものどうしの分極方向は逆向き
にしである。別な群の電歪素子3B、〜3B、も同じく
入/2ピツチで配列されていて、隣り合う位置のものど
うしの分極方向は逆向きにしである。
In the plurality of electrostrictive elements 3, a group of electrostrictive elements 3A to 3A7 are arranged with a pinch of half the wavelength of the vibration wave, and the polarization directions of the electrostrictive elements 3A, 3A, 3, 3A5, and 3A7 are as follows. Electrostrictive elements 3A2, 3A4, and 3A4 are the same and located between them.
The polarization direction of 3A6 is opposite. Therefore, the electrostrictive element 3A, ~
In 3A7, the polarization directions of the adjacent ones are opposite to each other. The other groups of electrostrictive elements 3B, -3B are similarly arranged at a pitch of 1/2, and the polarization directions of adjacent elements are opposite to each other.

電歪素子3A、〜3A、と3B、〜3B7の相n:ピッ
チは(no+174)入(イ旦しn、)=O,−1,2
,3・・・)ずれた位相差的配列がなされる。
Phase n of electrostrictive elements 3A, ~3A, and 3B, ~3B7: Pitch is (no + 174) = O, -1, 2
, 3...) A shifted phase difference arrangement is made.

なお゛I′E歪素子3は複数並べず、第2図に示すよう
に環状の中休の素子3にし、それを前記ピンチに分極処
理し分極処理部3a、〜3a5と3b。
It should be noted that a plurality of I'E strain elements 3 are not arranged in a row, but as shown in FIG. 2, an annular intermediate element 3 is used and polarized in the pinch described above to form the polarization processing sections 3a, -3a5, and 3b.

〜3bsにしても良い。~3bs may be used.

電歪素子3A、〜3A、の各々には吸収体4側にリード
線11aが接続され電歪素子3B1〜3B7の各々には
リード線11bが接続され、その各々は電1源6aと9
0°位相器6bに接続毎される(第3図参照)、また金
JAの振動体2にはリード線11’ cか接続され交流
電源6aと接続される。
A lead wire 11a is connected to the absorber 4 side to each of the electrostrictive elements 3A, -3A, and a lead wire 11b is connected to each of the electrostrictive elements 3B1 to 3B7.
It is connected to the 0° phase shifter 6b (see FIG. 3), and a lead wire 11'c is connected to the gold JA vibrating body 2, which is connected to the AC power source 6a.

このように構成された振動波モータの動作は次のような
ものである。
The operation of the vibration wave motor configured as described above is as follows.

第3図は上記モータの振動波の発生状y魚を示゛してい
る。金属の振動体2に接着された電歪素子3A1〜3A
4及び3B、〜3B4は、説明の便宜上、隣接して現わ
されているが、上記の入/4の位相ずれの条件を満足し
ているため、第1図に示すモータの電歪素子3A、〜3
A4a及び3B。
FIG. 3 shows how the vibration waves of the motor are generated. Electrostrictive elements 3A1 to 3A bonded to the metal vibrating body 2
4 and 3B, to 3B4 are shown adjacent to each other for convenience of explanation, but since they satisfy the above-mentioned input/4 phase shift condition, the electrostrictive element 3A of the motor shown in FIG. ,~3
A4a and 3B.

〜3B4の配列と実質的に等価なものである。各電歪素
子3A、〜3A4及び3B、〜3B4中の■は交流電圧
が正側の周期であるとき伸び、eは同じく正側の周期で
縮む状態になることを示している。
It is substantially equivalent to the arrangement of ~3B4. In each of the electrostrictive elements 3A, 3A4, 3B, and 3B4, ■ indicates that the electrostrictive elements expand when the alternating current voltage is in the positive cycle, and e indicates that the electrostrictive elements contract in the positive cycle.

金属振動体2を電歪素子3A、〜3A4及び3B1〜B
4の一力の電極にし、電歪素子3A、〜3A4には交流
電源6aからV=Vo S i nωtの交流電圧を印
加し、電歪素子3B、〜3B4には交流型a6aから9
0°位相器6bを通して、入/4位相のずれた、V=V
。5in(ωt±π/2)の交流電圧を印加する。式中
の十又−は移動体1(本図に於て省略)を動かす方向に
よって位相器6bで切り換えられるもので、+側に切り
換えると+90°位相がずれ正方向に動き、−側に切り
換えると一90°位相がずれ逆方向に動く。いま−側に
切り換えてあり電歪素子3B、〜′3B4にはV=V、
sin (ωt−π/2)の電圧が印加される。とする
。電歪素子3A、〜3A4たけが電圧■−V。sinω
tにより振動した場・合は同図(a)に示すような定在
波による振動が起り、電歪素子3B、〜3B4だけが電
圧v=Vosin (ωを一π/2)により振動した場
合は(b)に示すような定在波による振動が起る。上記
位相のずれた二つの交流を同時に各々の電歪素子3A1
〜3A4と3B、〜3B4に印加すると振動波は進行性
になる。(イ)は時間t=2nπ/ω、(ロ)はt=π
/2ω+2nπ/ω、(ハ)はL−π/ω+2nπ/ω
、(ニ)はt=3π/2ω+2nπ/ωの時のもので、
振動波の波面はX方向に進行する。
The metal vibrating body 2 is connected to electrostrictive elements 3A, ~3A4, and 3B1~B.
4, an AC voltage of V=Vo Si nωt is applied from the AC power supply 6a to the electrostrictive elements 3A and 3A4, and AC voltages a6a to 9 of the AC type are applied to the electrostrictive elements 3B and 3B4.
Through the 0° phase shifter 6b, input/4 phase shifted, V=V
. An AC voltage of 5 inches (ωt±π/2) is applied. The ten or minus in the equation is switched by the phase shifter 6b depending on the direction in which the movable body 1 (omitted in this figure) is moved; when switched to the + side, the phase shifts by +90° and moves in the positive direction, and is switched to the - side. The phase shifts by 90 degrees and moves in the opposite direction. Now switched to the negative side, V=V in the electrostrictive elements 3B, ~'3B4,
A voltage of sin (ωt-π/2) is applied. shall be. Electrostrictive element 3A, ~3A4 injury voltage ■-V. sinω
When the electrostrictive elements 3B and 3B4 vibrate due to the voltage v=Vosin (ω is 1π/2), vibrations occur due to standing waves as shown in Figure (a). Vibrations occur due to standing waves as shown in (b). The above two phase-shifted alternating currents are simultaneously transmitted to each electrostrictive element 3A1.
When applied to ~3A4, 3B, and ~3B4, the vibration wave becomes progressive. (A) is time t = 2nπ/ω, (B) is t = π
/2ω+2nπ/ω, (c) is L−π/ω+2nπ/ω
, (d) is when t=3π/2ω+2nπ/ω,
The wavefront of the vibration wave travels in the X direction.

このような進行性の振動波は縦波と横波を伴なっており
、第4図に示すように振動体2の質点Aについて着]」
すると、縦振幅Uと横振幅Wで反時計方向の回転楕円運
動をしている。振動体・2の表面には移動体1が加圧接
触しており振動面の頂点にだけ接触することになるから
、頂点に於ける質点A−A・・・の楕円連動の縦振幅U
の成分に駆動さ、れ、移動体1は矢示N方向に移動する
Such progressive vibration waves are accompanied by longitudinal waves and transverse waves, and as shown in Fig. 4, they arrive at mass point A of the vibrating body 2.
Then, it is performing counterclockwise rotational elliptical motion with a vertical amplitude U and a horizontal amplitude W. Since the movable body 1 is in pressure contact with the surface of the vibrating body 2 and is in contact only with the apex of the vibrating surface, the longitudinal amplitude U of the elliptical interlocking of the mass point A-A... at the apex is
The movable body 1 moves in the direction of arrow N.

質点Aの頂点に於ける速度はV=2πfu(fは振動岡
波数)となり、移動体1の移動速度はこれに依存すると
共に、加圧接触による摩擦堅動かされるため、横振幅W
にも依存する。即ち、移動体1.の移動速度は質点Aの
楕円運動の大きさに比例する。
The velocity at the apex of the mass point A is V = 2πfu (f is the Oscillatory wave number), and the moving velocity of the moving body 1 depends on this, and since it is moved firmly by friction due to pressurized contact, the lateral amplitude W
It also depends on. That is, mobile object 1. The moving speed of is proportional to the magnitude of the elliptical motion of mass point A.

一方、移動体1の痒擦駆動は振動体2の進行性振動波の
波面の頂点でなされるものであるから、頂点方向(第4
図Z軸方向)の波面が共振していることが駆動効率を向
上させるために必要である。入力端子の周波数f(−2
πω)とし振動体2のヤ〉・グ率E・音度ρ・厚、さh
としてこれによってつくられる波の波長入とすると、(
「「−T主−ン3ρ・πh/入2なる関係がありこの関
係を満足する板厚りで共振することになる。
On the other hand, since the itching drive of the movable body 1 is performed at the apex of the wavefront of the progressive vibration wave of the vibrating body 2,
In order to improve drive efficiency, it is necessary that the wavefront in the Z-axis direction in the figure resonates. Input terminal frequency f(-2
πω) of the vibrating body 2〉・G rate E・Sound intensity ρ・Thickness, h
If the wavelength of the wave created by this is input as (
``There is a relationship of -T main -n 3ρ·πh/in2, and a plate thickness that satisfies this relationship will resonate.

また振動体2は環状であ乞ため、進行性振動波は環に沿
って進行し、新に起る波と周長πDか波長入のn倍(n
は自然数)、即ちn入=πDのとき共振する。
In addition, since the vibrating body 2 is annular, the progressive vibration wave propagates along the ring, and the newly generated wave has a circumference of πD or n times the wavelength (n
is a natural number), that is, it resonates when n = πD.

進行性振動は共振することによって振幅が犬きくなり振
動波モータの駆動効率が向」ニする。
As the progressive vibration resonates, the amplitude becomes sharper and the drive efficiency of the vibration wave motor is improved.

このような振動波モータの駆動効率を良くするためには
振動体の板厚や環径等諸々の条件を加味して印加周波電
圧の周緯数を制、御する必要かある。
In order to improve the drive efficiency of such a vibration wave motor, it is necessary to control the frequency of the applied frequency voltage by taking into consideration various conditions such as the thickness of the vibrating body and the ring diameter.

しかしながら、一度調整してもモータ自体の温1隻変化
や発振回路の温度変化により、共振周波数かずれてきた
り、モータの経時的な疲労例えば振動体の摩耗等で共振
周波数が異なって来る場合がある。
However, even once adjusted, the resonant frequency may shift due to changes in the temperature of the motor itself or the temperature of the oscillation circuit, or due to fatigue of the motor over time, such as wear of the vibrator. be.

また製造工程では、周波数の調整工程が加わる小により
コスト的にも問題がある。
In addition, there is also a cost problem in the manufacturing process due to the addition of a frequency adjustment process.

本発明は上記問題点を解消し、振動波モータの高い駆動
効率を41)る制御装置を提供することを目的とするも
のである。“ このl−1的を達成するため、本発明は、振動体を接触
させた電歪素子に周波電圧を印加して該振動体に生ずる
進行性振動波によって、該振動体と接触゛させた移動体
を駆動させる振動波モータの、前記周波電圧の周波数を
順次変動させ、その変動させた各周波数での該振動体の
振幅を計測し、その計測値を順次比較演算し、該計71
111値が耐大となる周波数を記憶し、その記憶された
周波数の前記周波′電圧で駆動することを特徴とする振
動波モータの制御装置である。
It is an object of the present invention to provide a control device that solves the above-mentioned problems and achieves high driving efficiency of a vibration wave motor. “In order to achieve this objective 1-1, the present invention applies a frequency voltage to an electrostrictive element that is brought into contact with a vibrating body, and a progressive vibration wave is generated in the vibrating body to bring it into contact with the vibrating body. Sequentially vary the frequency of the frequency voltage of the vibration wave motor that drives the moving body, measure the amplitude of the vibrating body at each of the varied frequencies, sequentially compare and calculate the measured values, and calculate the total 71
This is a control device for a vibration wave motor, characterized in that a frequency at which a 111 value is tolerated is stored, and the vibration wave motor is driven with the frequency' voltage of the stored frequency.

この11J制御装置の回路が第5図に示しである。The circuit of this 11J control device is shown in FIG.

同図で、CI)Uはマイクロコンピュータ、DF4はD
タイプのノリツブフロップ4個からなり出力;1制御可
能な回路、I) F 5はDタイプのフリップフロップ
3個からなる回路、BFはトライステートバッファ、G
1・G2はナンドゲ−1・、II〜■9はインバータ、
Di−D2は分周器、ASはアナログマルチプレクサ、
RO〜R15は抵抗、CA P l −CA P 3’
はコンデンサー、Tr1〜Tr9はトランジスタ、Di
はダイオード、ADCはアナログデジタルコンバータ、
ONIはワンショット回路、OPI・OF2はバッファ
アンプ、である。3A・3Bは電歪素子で、振動波モー
タの振動体2に夫々複数接着されたもののうち夫々一つ
づつを示し、11も電歪素子で同じく振動体2に電歪素
子3A・3Bと並へて接着されているものである(第9
図参照)。
In the same figure, CI)U is a microcomputer, and DF4 is D
5 is a circuit consisting of 3 type D type flip-flops, BF is a tri-state buffer, G
1.G2 is Nando game 1., II~■9 is inverter,
Di-D2 is a frequency divider, AS is an analog multiplexer,
RO to R15 are resistors, CA P l - CA P 3'
is a capacitor, Tr1 to Tr9 are transistors, Di
is a diode, ADC is an analog-to-digital converter,
ONI is a one-shot circuit, and OPI/OF2 is a buffer amplifier. 3A and 3B are electrostrictive elements, one of which is bonded to the vibrating body 2 of the vibration wave motor, and 11 is an electrostrictive element, which is also attached to the vibrating body 2 in parallel with the electrostrictive elements 3A and 3B. (No. 9)
(see figure).

インバータl3−I4、コンデンサCAP 1、その値
が順次大きくなる抵抗RO−R4はクロックゼネレータ
CG2を形成する。アナログマルチプレクサASは、A
O−A2のデジタル入力によりXo−X4のいずれかを
選択しX端子との導通を行う。従ってデジタル信号によ
り抵抗RO−R4を選択し、クロックゼネレータCG2
の出力CLKは異った周波数での発振出力となる。分周
器D1・D2はクッロク出力CLKの立上がりにょり夫
々1段の分周を行う。分周器D2がインバータエ5を介
している為、分周器DiとD2の出力は夫々第6図で示
す位相のずれたACLKとBCLKの波形出力になる。
Inverters l3-I4, capacitor CAP1, and resistors RO-R4 whose values increase in sequence form a clock generator CG2. Analog multiplexer AS is A
One of Xo-X4 is selected by the digital input of O-A2 and electrically connected to the X terminal. Therefore, the resistor RO-R4 is selected by the digital signal, and the clock generator CG2 is selected.
The output CLK of is an oscillation output at a different frequency. The frequency dividers D1 and D2 each divide the frequency by one stage depending on the rising edge of the clock output CLK. Since the frequency divider D2 is connected to the inverter 5, the outputs of the frequency dividers Di and D2 become phase-shifted waveform outputs of ACLK and BCLK shown in FIG. 6, respectively.

この波形の出力が夫々ドライバ回路DRI、DR2に入
力する。ドライバ回路DRIは出力波形ACLKによっ
て動作するプッシュプル回路からなり、電歪素子3Aに
周波電圧を印加する。ドライバ回路DR2は出力波形B
CLKによって同様にして電歪素子3Bに1/4波長位
相のずれた周波電圧を印加する。その印加電圧により電
歪素子3A・3Bが振動し、それに従って振動体2も振
動する。
Outputs of this waveform are input to driver circuits DRI and DR2, respectively. The driver circuit DRI is composed of a push-pull circuit operated by the output waveform ACLK, and applies a frequency voltage to the electrostrictive element 3A. Driver circuit DR2 outputs waveform B
Similarly, a frequency voltage having a phase shift of 1/4 wavelength is applied to the electrostrictive element 3B using CLK. The applied voltage causes the electrostrictive elements 3A and 3B to vibrate, and the vibrating body 2 also vibrates accordingly.

振動体2の振動運動は電歪・素子11に伝えられ、電歪
素子11に起電力が発生する。電歪素子11の出力電圧
は振動体2の振動振幅が大きいほど、即ち共振状態が良
いほど大きくなる。
The vibration motion of the vibrating body 2 is transmitted to the electrostrictive element 11, and an electromotive force is generated in the electrostrictive element 11. The output voltage of the electrostrictive element 11 increases as the vibration amplitude of the vibrating body 2 increases, that is, as the resonance condition improves.

電歪素子11の出力電圧はバッファアンプOF1を介し
て、グイ、オードDi・コンデサCAP3からなるピー
クホールド回路に接続され、電圧の最大値がコンデンサ
CAP3に記憶される。コンデンサCAP3の電圧はバ
ッファアンプOF2を介してコンバータADCのアナロ
グ電圧入力VINに入力される。フリップフロップDF
4の出力はトランステートとなっていて、端子OEの入
力で端子QO−Q3に出力信号が発生する。
The output voltage of the electrostrictive element 11 is connected via a buffer amplifier OF1 to a peak hold circuit consisting of an ode Di and a capacitor CAP3, and the maximum value of the voltage is stored in a capacitor CAP3. The voltage of capacitor CAP3 is input to analog voltage input VIN of converter ADC via buffer amplifier OF2. flip flop DF
The output of 4 is in transstate, and an output signal is generated at terminals QO-Q3 by inputting to terminal OE.

マイクロコンピュータCPUは出力命令を実行して出力
゛バスDBO−DB3にデータを出方するとともに端子
WRにLレベルパルスを出力する。
The microcomputer CPU executes the output command, outputs data to the output bus DBO-DB3, and outputs an L level pulse to the terminal WR.

この出力よりノリツブフロップDF5がDBO〜。From this output, Noritsubu flop DF5 becomes DBO~.

DB2のデータをラッチする。同時にこの出力は’l’
7/<−II6を通ってワンショット回路oN1に入力
しその出力が一定時間Hレベルになる。このH信号はイ
ンバータI9と抵抗R15を介してトランジスタTr9
を開にし、ピークホールド回路Di@CAP3が動作す
る。つまりワンショットONlがHレベルになっている
時間内で電歪素子11から出力される最大電圧が、前記
、の如くコンデンサCAP3に記憶される。
Latch the data in DB2. At the same time this output is 'l'
The signal passes through 7/<-II6 and is input to the one-shot circuit oN1, whose output remains at H level for a certain period of time. This H signal is passed through the inverter I9 and the resistor R15 to the transistor Tr9.
is opened, and the peak hold circuit Di@CAP3 operates. In other words, the maximum voltage output from the electrostrictive element 11 during the time period during which the one-shot ONl is at the H level is stored in the capacitor CAP3 as described above.

この電圧は、変換器ADCによりデジタル変換され、ワ
ンショット回路ONIがHからLレベルになったときイ
ンバータI9を介してフリップフロップDF4にトリガ
信号を与えラッチされる。
This voltage is digitally converted by the converter ADC, and when the one-shot circuit ONI changes from H to L level, a trigger signal is applied to the flip-flop DF4 via the inverter I9 and latched.

トライステートバッファ ベルでワンショット回路ONIの信号をインバータI9
を介して端子Xiに入力し、端子Y1から出力させる。
The tri-state buffer bell converts the signal of the one-shot circuit ONI to inverter I9.
The signal is inputted to the terminal Xi through the terminal and outputted from the terminal Y1.

CPUが外部入力からデータを読む際に出力されるリー
ド信号RDがLになり、アドレス信号AOがLの場合は
ナンドゲー)G2の出力がLになり、/へ,ファBFの
OEにL信号が入力する。アドレス信号AOがHの場合
はナントゲートGlの出力がLになりフリップフロップ
DF4の端子OEに人力し、出力QO−q)の信号がC
PUに読み込まれる。
When the CPU reads data from an external input, the read signal RD output becomes L, and if the address signal AO is L, the output of NAND game) G2 becomes L, and the L signal is sent to OE of /to, faBF. input. When the address signal AO is H, the output of the Nant gate GL becomes L and is applied to the terminal OE of the flip-flop DF4, and the signal of the output QO-q) becomes C.
Loaded into PU.

CPUが外部に出力をするときはライト信号WRがLに
なるので、フリップフロップDF5はCPUのデータバ
ス信号をラッチする。フリップフロップDF5の出力は
アナログマルチプレクサASに入力し、抵抗RO−R4
のうち一つを選択する。
When the CPU outputs to the outside, the write signal WR becomes L, so the flip-flop DF5 latches the data bus signal of the CPU. The output of flip-flop DF5 is input to analog multiplexer AS, and resistor RO-R4
Choose one.

またRe端子には、コンデンサCAP2と抵抗R6から
なる積分回路が接続され電源投入時にCPUをリセット
する。
Further, an integrating circuit consisting of a capacitor CAP2 and a resistor R6 is connected to the Re terminal, and resets the CPU when the power is turned on.

以上の回路動作を第7図のプログラムフロチャートを参
照して説明する。
The above circuit operation will be explained with reference to the program flowchart shown in FIG.

電源を投入すると゛マイクロコンピュータCPUのリセ
ットがかかりプログラムカウンタは0になるため、プロ
グラムはフローチャートの上がらスタートする。
When the power is turned on, the microcomputer CPU is reset and the program counter becomes 0, so the program starts from the top of the flowchart.

ます、変数KをOに初期設定し、レジスタRGlの内容
を最小値Oに設定する(K=O.RGI−〇)。
First, the variable K is initialized to O, and the contents of register RGl are set to the minimum value O (K=O.RGI-〇).

このに値をデータバスに出力する(OUTK)。今に=
0であるからフリップフロップDF5の値は0となり、
アナログマルチプレクサASによって抵抗ROが選択さ
れる。抵抗ROの抵抗値が抵抗RO−R4のうち最も小
さいため、出力波CLKは最大周波数となる。
This value is output to the data bus (OUTK). Now =
Since it is 0, the value of flip-flop DF5 is 0,
Resistor RO is selected by analog multiplexer AS. Since the resistance value of the resistor RO is the smallest among the resistors RO-R4, the output wave CLK has the maximum frequency.

このとき、CPUのライト信号WRはインパータエ6を
介してワンショット回y4゛−’o N tにトリガを
加える。
At this time, the write signal WR of the CPU applies a trigger to the one-shot cycle y4'-'o Nt via the inverter 6.

次にアドレスOのポート入力をする(INPUT  A
DO)。このときCPUの出力AOはLとなっているの
で、/へラフ7BFの出力がデータバスを介してCPU
に入力される。次にそのデータのbitlが、0かlか
の判別をする。つまりインへ−タエ9の出力の判別であ
り、bitlがOのとき、即ちワンショットON1の出
力がHレベルでピークホールド回路DleCAP3が動
作中であるときは、プログラムはINIに戻る。
Next, input the port at address O (INPUT A
DO). At this time, the output AO of the CPU is L, so the output of /Helaf 7BF is sent to the CPU via the data bus.
is input. Next, it is determined whether the bitl of the data is 0 or 1. That is, it is a determination of the output of the input terminal 9. When bitl is O, that is, when the output of the one-shot ON1 is at H level and the peak hold circuit DleCAP3 is in operation, the program returns to INI.

ワンショットONIがHレベルのとき、プログラムはこ
のループを繰り返し、振動波モータの振動体2は振動し
続け、ロータ(移動体)lは回転を続ける。ワンショッ
トONIがLレベルになると、プログラムはループから
抜は出しIN2に進む。
When the one-shot ONI is at H level, the program repeats this loop, the vibrating body 2 of the vibration wave motor continues to vibrate, and the rotor (moving body) l continues to rotate. When the one-shot ONI becomes L level, the program exits the loop and proceeds to IN2.

IN2では、アドレス1のポート入力を行い(INPU
T  ADZ)、フリップフロップDF4の出力を読み
込む。
IN2 performs port input at address 1 (INPU
TADZ), reads the output of flip-flop DF4.

前記のように・、フリップフロップDF4はインバータ
I9の出力がHレベルになったときラッチするので、ワ
ンショッ)ONIがHレベルにある間の電歪素子11か
らの最大出力に対返する値をCPUに入力させることが
できる。
As mentioned above, since the flip-flop DF4 latches when the output of the inverter I9 becomes H level, the CPU outputs a value corresponding to the maximum output from the electrostrictive element 11 while ONI is at the H level. can be entered.

IN2で入力した値(D A T A)とレジスタRG
lO値を比較する。最初はRG1=0であるからDAT
Aが0より大きいはずであり、プログラムはMNに進行
する。ここではDATAをレジスタRG1にストアしく
DATA+RG1)、に値”をレジスタRG2にストア
する(K−RG2)。
The value input at IN2 (DATA) and register RG
Compare the lO values. Initially, RG1=0, so DAT
A must be greater than 0 and the program proceeds to MN. Here, DATA is stored in register RG1 (DATA+RG1), and the value " is stored in register RG2 (K-RG2).

フロクラムはNXTに進み、K値をインクリメントする
(K+1→K)。もし、DATAがレジスタRGIの内
容より小さいか等しくなったときは、レジスタRGI・
RG2の内容はそのままで、プログラムはNXTに進む
The flocram advances to NXT and increments the K value (K+1→K). If DATA is less than or equal to the contents of register RGI, then
The program proceeds to NXT, leaving the contents of RG2 unchanged.

次にに値が5であるかどうかを判別する。今にはlにな
っているので、再びプログラムはFSTに戻る。Kを1
、即ち抵抗R1を新に選択して、同様のプログラムを進
行させる。
Next, it is determined whether the value is 5 or not. Since it is now l, the program returns to FST again. K to 1
, that is, the resistor R1 is newly selected and the same program is performed.

このようにして、振動波モータを回転させつつ抵抗RO
〜R4を・逐次選択し、印加電圧の周波数を少しづつ減
少させてゆく。
In this way, while rotating the vibration wave motor, the resistance RO
~R4 is selected one after another, and the frequency of the applied voltage is gradually decreased.

変数Kが5になると、レジスタRGIには振動体の振動
振幅が最大になったときのカウント値が、レジスタRG
2にはそのときのに値が夫々記憶されている。
When the variable K becomes 5, the count value when the vibration amplitude of the vibrating body reaches the maximum is stored in the register RG.
2 stores the respective values at that time.

従って、プログラムはに、= 5の分岐命令でFNSへ
進行し、レジスタRG2’の値を出力することによって
、−抵抗RO−R,4のうちから最適になる抵抗が選択
され、クロックセネレータCG2の出力CLKを制御し
てプログラムは終了する。
Therefore, the program proceeds to FNS with the branch instruction = 5, and by outputting the value of register RG2', the optimum resistance is selected from among -resistors RO-R and 4, and clock generator CG2 is output. The program ends by controlling the output CLK of.

そしてこの制御された出力CLKによって、分周器D1
・D2が動作する。分周器D1の出力ACLKと分周器
D2の出力BCLKに従っ′た周波電圧が夫々ドライ八
回路DRI@DR2によって電歪素子3A・3Bに印加
される。
Then, by this controlled output CLK, the frequency divider D1
・D2 works. Frequency voltages according to the output ACLK of the frequency divider D1 and the output BCLK of the frequency divider D2 are applied to the electrostrictive elements 3A and 3B by the dry circuit DRI@DR2, respectively.

このとき周波電圧の周波数は振動体の形状争大きさに対
し最適の共振状態となるように制御され、振動体の振動
振幅は最大となり、駆動効率は極めて高いものとなる。
At this time, the frequency of the frequency voltage is controlled to achieve an optimum resonance state with respect to the shape and size of the vibrating body, the vibration amplitude of the vibrating body becomes maximum, and the driving efficiency becomes extremely high.

この制御はモータの駆動開始時に行われるため、駆動の
都度使用条件が変わる場合であっても常に最適の状態で
制御されることになる。また、製造時に周波数の微調整
をする必要がなくなり製造工程の短縮が図られることに
なる。
Since this control is performed when the motor starts driving, it is always controlled in an optimal state even if the usage conditions change each time the motor is driven. Furthermore, there is no need to make fine adjustments to the frequency during manufacturing, and the manufacturing process can be shortened.

なお、上記実施例での分周器の出力波形は第6図に示す
ような方形波ACLK−BCLKに限らず、正弦波を加
えても振動波モータは作動する。
Note that the output waveform of the frequency divider in the above embodiment is not limited to the square wave ACLK-BCLK as shown in FIG. 6, but the vibration wave motor operates even if a sine wave is added.

また、この制御装置は回転式の振動波モータだ・けでな
くリニア型の振動波モータにも適用し、得る。
Furthermore, this control device can be applied not only to rotary vibration wave motors but also to linear vibration wave motors.

第2図に示す環状の単体素子3を使用した場合は、第9
図に示す電歪素子11と同位置つまり3a5と3b5の
間に分極処理した分極処理部からの起電力を検出するこ
とにより、単体素子3の振動振幅を振動体2の振動を介
さずに得ることができる。
When using the annular single element 3 shown in FIG.
By detecting the electromotive force from the polarization processing section that is polarized at the same position as the electrostrictive element 11 shown in the figure, that is, between 3a5 and 3b5, the vibration amplitude of the single element 3 is obtained without using the vibration of the vibrating body 2. be able to.

第8図は振動波モータをカメラのオートフォーカスレン
ズの駆動に使用した場合の応用例を示すものであり、オ
ートフォーカス回路101は特開昭55−’ 1553
37号公報に記載された公知のものであるから説明を省
略する。
FIG. 8 shows an application example in which a vibration wave motor is used to drive an autofocus lens of a camera, and the autofocus circuit 101 is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-1553.
Since this is a publicly known method described in Publication No. 37, its explanation will be omitted.

この回路は第5図に示した回路にオートフォーカス回路
101と選択ゲー)GIOとGllを付加したものであ
る。
This circuit is obtained by adding an autofocus circuit 101 and selection games GIO and Gll to the circuit shown in FIG.

合焦時にはコンパレータ59・60のいずれの出力もL
レベルであり、非合焦時にはどちらかg〕コンパレータ
の出力がHレベルになるので、その出力がアントゲ−)
G12・G13とオアゲートG14からなる選択ゲート
G10、又はアンドゲートG15・G16とオアゲート
G17からなる選択ゲーhG11に入力されて、振動波
モータMは正転あるいは逆転する。オアゲート018は
モータ駆動時にHになる出力STであり、この信号はマ
イクロコンピュータCPUの5TOP端子に入力される
。5TOP端子がLレベルであると、CPUはプログラ
ム進行をせずにホールド状態となるため、プログラムが
進行するのは電源投入後最初のモータ駆動時となる。
When in focus, both outputs of comparators 59 and 60 are L.
level, and when out of focus, the output of either g] comparator becomes H level, so the output is ant game)
The vibration wave motor M rotates forward or reverse when inputted to a selection gate G10 consisting of G12, G13 and an OR gate G14, or a selection game hG11 consisting of AND gates G15, G16 and an OR gate G17. The OR gate 018 is an output ST that becomes H when the motor is driven, and this signal is input to the 5TOP terminal of the microcomputer CPU. When the 5TOP terminal is at the L level, the CPU does not proceed with the program and enters a hold state, so the program proceeds only when the motor is driven for the first time after the power is turned on.

尚振動波モータを使用する応用例はこのようなオートフ
ォーカスに限られるものではなく、例えばカメラにおい
ては、絞り制御やフィルム駆動等に応用されるものであ
る。
Application examples using the vibration wave motor are not limited to such autofocus; for example, in a camera, the vibration wave motor is applied to aperture control, film drive, and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は振動波モータの分解斜視図、第2図は電歪素子
の実施例の平面図、第3図・第4図は振動波モータの駆
動原理説明図、第5図は振動波モータの駆動制御回路図
、第6図は分周器の出力波形を説明する図、第7図は本
発明の制御装置を実・行するフローチャート図、第8図
は振動波モータをカメラのオートフォーカス機構に応用
した場合の制御回路図、第9図は振動体の斜視図である
。 lは移動体、2は振動体、3A・3B・11は電歪素子
、CG2はクロックゼネレータ、C’ P Uはマイク
ロコンピュータである。
Figure 1 is an exploded perspective view of the vibration wave motor, Figure 2 is a plan view of an embodiment of the electrostrictive element, Figures 3 and 4 are illustrations of the driving principle of the vibration wave motor, and Figure 5 is the vibration wave motor. FIG. 6 is a diagram explaining the output waveform of the frequency divider, FIG. 7 is a flowchart for implementing the control device of the present invention, and FIG. A control circuit diagram when applied to a mechanism, FIG. 9 is a perspective view of a vibrating body. 1 is a moving body, 2 is a vibrating body, 3A, 3B, and 11 are electrostrictive elements, CG2 is a clock generator, and C'PU is a microcomputer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)振動体を接触させた電歪素子に周波電圧を印加し
て一該振動体に生ずる進行性に動波によって、該振動体
と接触させた移動体を駆動させる振動波モータの、 前記周波電圧の周波数を順次変動させ、その変動させた
各周波数での該振動体の振幅を計測し、その計測値を順
次比較演算し、該計測値が最大となる周波数を記憶し、
その記憶された周波数の前記周波電圧で駆動することを
特徴とする振動波モータの制御装置。
(1) A vibration wave motor that applies a frequency voltage to an electrostrictive element that is in contact with a vibrating body, and drives a moving body that is in contact with the vibrating body using progressive dynamic waves generated in the vibrating body. Sequentially varying the frequency of the frequency voltage, measuring the amplitude of the vibrating body at each of the varied frequencies, sequentially comparing and calculating the measured values, and storing the frequency at which the measured value is the maximum,
A control device for a vibration wave motor, characterized in that the vibration wave motor is driven by the frequency voltage having the stored frequency.
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