JPS59116605A - 光学系の焦点検出方法 - Google Patents
光学系の焦点検出方法Info
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- JPS59116605A JPS59116605A JP22581682A JP22581682A JPS59116605A JP S59116605 A JPS59116605 A JP S59116605A JP 22581682 A JP22581682 A JP 22581682A JP 22581682 A JP22581682 A JP 22581682A JP S59116605 A JPS59116605 A JP S59116605A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000010008 shearing Methods 0.000 claims abstract description 7
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
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- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
- G02B7/30—Systems for automatic generation of focusing signals using parallactic triangle with a base line
- G02B7/32—Systems for automatic generation of focusing signals using parallactic triangle with a base line using active means, e.g. light emitter
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は光学系の焦点検出方法、特に光ディスク等の
情報検出のため0元ピックアップに用いるに適した焦点
検出方法に関する。
情報検出のため0元ピックアップに用いるに適した焦点
検出方法に関する。
(従来技術)
光デイスクファイル、ビデオディスク、コンパクトディ
スク等の情報記録媒体から情報を検出丹生するために、
レーザ光を悄←記録面に集束し、その反射光を検出する
ようにした光ピンクアップが用いられる。これらの光ピ
ンクアンプはトラッキング中、常に記録媒体上に正しく
スポットを結ぶよう、その反射光を利用して自動的に合
焦状態を検出しきその状態を保つように制帥される。
スク等の情報記録媒体から情報を検出丹生するために、
レーザ光を悄←記録面に集束し、その反射光を検出する
ようにした光ピンクアップが用いられる。これらの光ピ
ンクアンプはトラッキング中、常に記録媒体上に正しく
スポットを結ぶよう、その反射光を利用して自動的に合
焦状態を検出しきその状態を保つように制帥される。
この焦点検出方法としては、非点収差法、ナインエツジ
法、臨界角法等、多くの方法が提案され、そのいくつか
け実用に供されている。そしてこれらの焦点検出方法は
、例えば顕微鏡対物レンズの焦点距離の測定等、池のレ
ンズの自動焦点検出法としても利用出来ることは云う迄
もない。しかし、これらの方法はいずれも、焦点嫡出用
υ光検出器の配匝鞘度など、決硝′、の組付けにおける
光軸調整、敗シ付は調整が絢・シく、>整に多くの時間
を要している。
法、臨界角法等、多くの方法が提案され、そのいくつか
け実用に供されている。そしてこれらの焦点検出方法は
、例えば顕微鏡対物レンズの焦点距離の測定等、池のレ
ンズの自動焦点検出法としても利用出来ることは云う迄
もない。しかし、これらの方法はいずれも、焦点嫡出用
υ光検出器の配匝鞘度など、決硝′、の組付けにおける
光軸調整、敗シ付は調整が絢・シく、>整に多くの時間
を要している。
(発明O目的)
この発明は、構造が極めて単純な素子を用い、光路中の
組付は位置等に影響されず、調整が極めて各易な焦点検
出方法を得ようとするものである。
組付は位置等に影響されず、調整が極めて各易な焦点検
出方法を得ようとするものである。
(発明の構成)
この発明け、一般にシェアリング干渉と呼ばれる干渉現
象を利用し7ている。すなわち、光学系を通った後の光
束の波面を2つに分け、互いにわずかの変位を与えてか
ら獣ね合わせるものであシ、波面の変位方法により、横
変位型、角変位型、放射状変位型がある。
象を利用し7ている。すなわち、光学系を通った後の光
束の波面を2つに分け、互いにわずかの変位を与えてか
ら獣ね合わせるものであシ、波面の変位方法により、横
変位型、角変位型、放射状変位型がある。
このシェアリング干渉を用いた焦点検出法の原理は第1
図に示すように、 点光源1を出射し、レンズ2を通った光束中に平行平板
3を斜めに配置し、この平行平板3からの反射光の干渉
縞を光検出器4で検出するものである。
図に示すように、 点光源1を出射し、レンズ2を通った光束中に平行平板
3を斜めに配置し、この平行平板3からの反射光の干渉
縞を光検出器4で検出するものである。
光束の一部は平行平板3の数面3′で一部が反射し光検
出器4に入射する。また、他の一部は鉄面3で反射して
我而3′を透過して光検出器4に入射する0この七き、
異面3′で反射した光束と裏面3で反射した光束とけ図
のように横方向のずれを生じてお!D、12図に示すよ
うに、その両光未の東な多部分に波面0重ね合せによる
シェアリング干渉が生ずる。
出器4に入射する。また、他の一部は鉄面3で反射して
我而3′を透過して光検出器4に入射する0この七き、
異面3′で反射した光束と裏面3で反射した光束とけ図
のように横方向のずれを生じてお!D、12図に示すよ
うに、その両光未の東な多部分に波面0重ね合せによる
シェアリング干渉が生ずる。
もし、点光源1が正しくレンズ2の焦点にあれば、レン
ズ2を透過した光束は下行光束となっておシ、平行平板
3による波面のずれは一定であるので、第2図(a)の
ように光束の重なり部分に干渉縞は生じない。しかし、
点光源1がレンズ2の焦点位置からずれた場合、レンズ
2を透過した光束は発散光束あるいけ集光光束となシ、
光来の各部によって平行平板3への入射角がyくり、そ
れに伴って光路長差が異なってくるため第2図(b)の
ように波面の変位方向と垂直な方向に直紡干渉縞を生ず
る。従って、干渉縞が生じている場合は、これがなくな
る方向に点光源1とレンズ2とを相対的に移動さぜれば
合焦位置を見出すことが出来る。
ズ2を透過した光束は下行光束となっておシ、平行平板
3による波面のずれは一定であるので、第2図(a)の
ように光束の重なり部分に干渉縞は生じない。しかし、
点光源1がレンズ2の焦点位置からずれた場合、レンズ
2を透過した光束は発散光束あるいけ集光光束となシ、
光来の各部によって平行平板3への入射角がyくり、そ
れに伴って光路長差が異なってくるため第2図(b)の
ように波面の変位方向と垂直な方向に直紡干渉縞を生ず
る。従って、干渉縞が生じている場合は、これがなくな
る方向に点光源1とレンズ2とを相対的に移動さぜれば
合焦位置を見出すことが出来る。
このような干渉縞を検知する光検出器4としては、例え
は−次元フオドダイオードアレイを波面を変位させる方
向に配列して使用するのが便利である。このアレイの出
力から、干渉縞の本数、間隔を検出し、干渉縞のポ数を
減らす方向、あるいは干渉縞の間隔を拡ける方向に光源
とレンズを相対移動させるための出力18号を得ること
か出来る。
は−次元フオドダイオードアレイを波面を変位させる方
向に配列して使用するのが便利である。このアレイの出
力から、干渉縞の本数、間隔を検出し、干渉縞のポ数を
減らす方向、あるいは干渉縞の間隔を拡ける方向に光源
とレンズを相対移動させるための出力18号を得ること
か出来る。
このような焦点検出法を光デイスクファイル等の光ピン
クアップに用いた実施例を第3図し示す。
クアップに用いた実施例を第3図し示す。
半導体レーザ等の光源5からO光束をコリメートレンズ
6で平行光とし、偏光ビームスプリッタ7で反射し、′
/4板8、対物レンズ9を介して光ディスク等の被照射
物体10上に集来さぜる。被照射体10からの反射光は
、対物レンズ9、/4板8を経て偏光ビームスプリッタ
7を透過し、平行平板3に入射する。
6で平行光とし、偏光ビームスプリッタ7で反射し、′
/4板8、対物レンズ9を介して光ディスク等の被照射
物体10上に集来さぜる。被照射体10からの反射光は
、対物レンズ9、/4板8を経て偏光ビームスプリッタ
7を透過し、平行平板3に入射する。
平行平板3に入射した光来の一部Vi透過し、情報読出
し等に利用され、反射光は、第1図についての説明と同
様、数面3′からの反射光と裏〃 m13からの反射光はずれを生じ、シェアリング干渉を
生じる。そして、被照射物体10が約物レンズ9の焦点
位置から外れfc@会、第2図(b)■ような干渉縞を
生じ、これを光検出器4で検出することによって合焦の
ためのサーボ信号を得ることか出来る。
し等に利用され、反射光は、第1図についての説明と同
様、数面3′からの反射光と裏〃 m13からの反射光はずれを生じ、シェアリング干渉を
生じる。そして、被照射物体10が約物レンズ9の焦点
位置から外れfc@会、第2図(b)■ような干渉縞を
生じ、これを光検出器4で検出することによって合焦の
ためのサーボ信号を得ることか出来る。
との実施的においては、被照射体10と対物レンズ9の
間隔が減じた場合も増加した場合も、生じる干渉縞は殆
んど同じであり、干渉縞だけからどの方向の焦点外れか
生じているかを判別することが出来ないΩ 躯4図に示す実施V/iJけ、この焦点夕1れの方向の
1」別をI′i、l−能にしたトリである。
間隔が減じた場合も増加した場合も、生じる干渉縞は殆
んど同じであり、干渉縞だけからどの方向の焦点外れか
生じているかを判別することが出来ないΩ 躯4図に示す実施V/iJけ、この焦点夕1れの方向の
1」別をI′i、l−能にしたトリである。
光学系の嫡成り第3図に示すものとをまぼ同じであるが
、両面がわずかな傾斜角を持つ楔状部材11か追加され
ている。
、両面がわずかな傾斜角を持つ楔状部材11か追加され
ている。
この′jt字系においても、憎行傘仮3によって生じる
シェアリング干渉により ’−焦1j号が光検出器4か
ら敗ル出されるのは同じである〇一方乎行1L板3を透
過し7た光束は根板1]に入射し、光束D il)μ
社曲11′で反射され、光検出器12に達する。数面1
1′を透過した光束の一部け゛、これと角度Oを有する
hm11で反射し、再び六面11′を透過して光映出b
12に達する。この表面11′で反射された光束と裏面
11で反射された光束とげ丙肪2θだけの角・変位を与
えたシェアリング干渉を、その光束の重被部分に生じる
。
シェアリング干渉により ’−焦1j号が光検出器4か
ら敗ル出されるのは同じである〇一方乎行1L板3を透
過し7た光束は根板1]に入射し、光束D il)μ
社曲11′で反射され、光検出器12に達する。数面1
1′を透過した光束の一部け゛、これと角度Oを有する
hm11で反射し、再び六面11′を透過して光映出b
12に達する。この表面11′で反射された光束と裏面
11で反射された光束とげ丙肪2θだけの角・変位を与
えたシェアリング干渉を、その光束の重被部分に生じる
。
従って、第4図に示す光学系で、被照射体10が対物レ
ンズ9の焦点位置にあるときは、第5図に示すように、
平行子板3によっては同図(a)のように干渉縞を住ぜ
ず合焦を示し、楔板11によっては同図(b)のような
1t■線等間陥の干渉縞を生ずる。
ンズ9の焦点位置にあるときは、第5図に示すように、
平行子板3によっては同図(a)のように干渉縞を住ぜ
ず合焦を示し、楔板11によっては同図(b)のような
1t■線等間陥の干渉縞を生ずる。
今、第6図のように、合焦位置よ!ll対物レンズ9と
被照射体10v間隔が小となれば、対物レンズ9を出た
光束は発散性の光束となシ、平行子板3及び楔板11に
よる干渉縞は同図(b)に示すようになる。すなわち、
平行子板3によっても、第2図(b)と同様O直線干渉
縞を生じ、光検出器4から焦点外ncD信号が得られる
。一方、楔板11による干渉縞は、第5図(b)に示す
合焦時O平行光束によるシェアリング干渉縞よシ縞の数
が減少し1、近接による焦点外れを示す。
被照射体10v間隔が小となれば、対物レンズ9を出た
光束は発散性の光束となシ、平行子板3及び楔板11に
よる干渉縞は同図(b)に示すようになる。すなわち、
平行子板3によっても、第2図(b)と同様O直線干渉
縞を生じ、光検出器4から焦点外ncD信号が得られる
。一方、楔板11による干渉縞は、第5図(b)に示す
合焦時O平行光束によるシェアリング干渉縞よシ縞の数
が減少し1、近接による焦点外れを示す。
逆に対物レンズ9と被l′!?射体】0との間隔が大と
なれば、λ1物レンズ9による光束は集光性の光束とな
り、第7図(b)に示すような、干渉縞を生ずる。すな
わち、”F?−r’lL板3による干渉縞は第6図(b
) ′D:I易倉と同様の直線干渉縞を生じ、焦点外れ
の倍すVま?4られるが、遠近側れの焦点外れであるか
の情報は得られない。一方、楔板11による干渉縞け、
第5図(b)に示す合焦時の化性光束によるシェアリン
グ干渉縞よシ縞の数が増加し、遠ざかったため■焦点外
れであることを示す。
なれば、λ1物レンズ9による光束は集光性の光束とな
り、第7図(b)に示すような、干渉縞を生ずる。すな
わち、”F?−r’lL板3による干渉縞は第6図(b
) ′D:I易倉と同様の直線干渉縞を生じ、焦点外れ
の倍すVま?4られるが、遠近側れの焦点外れであるか
の情報は得られない。一方、楔板11による干渉縞け、
第5図(b)に示す合焦時の化性光束によるシェアリン
グ干渉縞よシ縞の数が増加し、遠ざかったため■焦点外
れであることを示す。
このように、との夾施例では、平行子板3と楔板11と
による干渉縞から、直ちに焦点外れの伝号と共に合焦の
ための駆ル11方向についてのin報を得ることが出来
る。
による干渉縞から、直ちに焦点外れの伝号と共に合焦の
ための駆ル11方向についてのin報を得ることが出来
る。
上記史めF!/11では、波…1.■シェアリングの方
法としてb−□、2ン、位および角・変位を生ずる素子
を用いた場合を示したが、放射状変位を用いてもよく、
横方向変位を生ずるための素子として干行平板でなく、
例えばサヴアールプレートの複屈折を用い、角変位を生
ずる素子としてプリズム、反射鏡、回折格子などを用い
る等、この発明の範囲内で多くの設計変更が可能である
。
法としてb−□、2ン、位および角・変位を生ずる素子
を用いた場合を示したが、放射状変位を用いてもよく、
横方向変位を生ずるための素子として干行平板でなく、
例えばサヴアールプレートの複屈折を用い、角変位を生
ずる素子としてプリズム、反射鏡、回折格子などを用い
る等、この発明の範囲内で多くの設計変更が可能である
。
(効果)
上記のように、この発明の焦点検出方法は、1 シェア
リング干渉縞を利用するので、極めて精度の旨い焦点位
置の決定が可能である。
リング干渉縞を利用するので、極めて精度の旨い焦点位
置の決定が可能である。
11 はぼ平行に近い光束中に波面のシェアリングを
生ずる素子を配置すれはよいので、例えば光ピンクアン
プ等に応用する場合、素子の敗υ付は誤差等の影響は匝
めて小さく、装置の組立て、!1.W整は診めて容易と
なる。
生ずる素子を配置すれはよいので、例えば光ピンクアン
プ等に応用する場合、素子の敗υ付は誤差等の影響は匝
めて小さく、装置の組立て、!1.W整は診めて容易と
なる。
111 合焦状態を光検出累子によって容易に検出出
来るので合焦のためのレンズ等の躯如ノを自動化するQ
に便利である口 吟の多くの顕著な効果を生ずる。
来るので合焦のためのレンズ等の躯如ノを自動化するQ
に便利である口 吟の多くの顕著な効果を生ずる。
第1図、第2図はこO発明の焦点検出方法の原理説明図
、第3図は光ピンクアンプに用いた1実施向の光学配置
図、第4図は同じく光ピツクアップに用いた他の実施レ
リの光学配置図、第5図、第6 L’7+ 、第7図は
その作用説明図である。 1.5:光@ 2.9:対物レンズ 3:化性〒板 4
,12:光検出器 7二偏光ビームスプリンタ 8 :
’/4板 10:被照射体11:楔板 特Wト出願人 医式会?± リ コ
−出酊4人代17p人 弁理士 佐 藤 文 男
(ほか1名) 第4図 fat 第 6 図
、第3図は光ピンクアンプに用いた1実施向の光学配置
図、第4図は同じく光ピツクアップに用いた他の実施レ
リの光学配置図、第5図、第6 L’7+ 、第7図は
その作用説明図である。 1.5:光@ 2.9:対物レンズ 3:化性〒板 4
,12:光検出器 7二偏光ビームスプリンタ 8 :
’/4板 10:被照射体11:楔板 特Wト出願人 医式会?± リ コ
−出酊4人代17p人 弁理士 佐 藤 文 男
(ほか1名) 第4図 fat 第 6 図
Claims (1)
- レンズの焦点近傍にある光源からの光束を該レンズによ
シはぼ乎行光束とし、該光束中に光分割素子を配散し、
該分割素子により光束の波面を変位させ、そのシェアリ
ング干渉縞を光検出素子で検出することを特徴とする光
学系の焦点検出方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22581682A JPS59116605A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | 光学系の焦点検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22581682A JPS59116605A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | 光学系の焦点検出方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59116605A true JPS59116605A (ja) | 1984-07-05 |
Family
ID=16835240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22581682A Pending JPS59116605A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | 光学系の焦点検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59116605A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1710608A1 (de) * | 2005-04-07 | 2006-10-11 | Sick Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Fokuslage |
JP2014508321A (ja) * | 2011-02-08 | 2014-04-03 | ライカ マイクロシステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー | オートフォーカス装置を有する顕微鏡及び顕微鏡でのオートフォーカス方法 |
-
1982
- 1982-12-24 JP JP22581682A patent/JPS59116605A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1710608A1 (de) * | 2005-04-07 | 2006-10-11 | Sick Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Fokuslage |
JP2014508321A (ja) * | 2011-02-08 | 2014-04-03 | ライカ マイクロシステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー | オートフォーカス装置を有する顕微鏡及び顕微鏡でのオートフォーカス方法 |
EP2673671B1 (de) * | 2011-02-08 | 2019-08-28 | Leica Microsystems CMS GmbH | Mikroskop mit autofokuseinrichtung und verfahren zur autofokussierung bei mikroskopen |
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