JPS5889835A - グランドピン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はプローブ針、特に回路素子のグランド電極に接
触するグラシトビンに関する。

半導体装置の主構成部品である回路素子は、半導体基板
（ウェハ）上に多数整列形成された後、縦横に分断され
て得られる。また、回路素子の電気特性の測定検査は、
このウェハの状態で行なわれる。すなわち、第１ｇで示
すように、ウェハｌの単位ブロックであ木口−素子２の
電−３にプローブ針４の先端を接触させて各電気特性を
測定する。なお、プローブ針４はプローブカード５０下
面に挿入固定したリング−６に固定されている。

ところで、プローブ針４のうち、回路素子２のグランド
電極７に接触するグランドビン８がある。

このグランドビン８は他のプａ　ニブ針４と同様に、電
極３との接触にｉいて、針先端の摩耗等によって接触抵
抗が増大することも生じる。この結果、各電気特性の測
定価が変動し、測定不安定が生じる。

したがって、本発明の目的は電極との間の接触抵抗の゛
変動如何にかかわらず、グランド電位の上昇を来たさな
い構造のグランドビンな提供することにある。

このような目的を達成するために本発明は、プローブ針
のグランドビンにおいて、グランドビンは絶縁性の筒体
の内側に導電性のセンス艇体を、外側に導電性のフォー
ス新体をそれぞれ設けた二重構造となっているものであ
って、以下実施例により本発明を説明する。

第２図は本発明の一実施例によるグランドビンな示す断
面図である。

このクランドピン８は同図で示すようＫ、二重ＩＩＩ″
ｌｈとなっている。すなわち、ｊングステン等からなる
導電性の細いセンス新体９の外周には筒状の絶縁性の筒
体１０が被覆されている。また、筒体１０の外［（外侮
）にはタングステン略からなる導電性のフォース新体１
１が被、覆されている。

−路素子２のグランド１極７と接触する先端では、セン
ス針１体９．筒体１０．フォース針体１１はともに同一
平面上に位置していて、センス新体９とフォース新体１
１は空気を介して絶縁されている。

一方、グランドピン８は途中で屈曲してプローブカード
に取り付けられるリング６の下面に取り付は可能となる
とともに、外伺のフォース新体１１はグランドピン８の
他端の手前で他端が終了し、グランドピン８の他端部は
筒体ｌＯ外胸が露出している。また、内−のセンス新体
９は筒体ｌＯの端面より突出し、いずれもりング６の対
応する電極と導通するようになっている。

このようなグランドピン８にあっては、測定時グランド
ピン８の先端を回路素子２のグランド電極７に接触させ
ると、センス新体９とフォース新体１１はグランド１極
７を介して導通状態となる。

このため、グランド１極アームランド電極７との間の接
触抵抗の如何にかかわらず、グランド電位は一定となる
。したがって、回路素子２の電気特性の測定は安定しか
つ信頼度の高いものとなる。

また、このグランドピン８は二重構造となっているため
、全体は細く（たとえば数十μｍ外径）形成できる。し
たがって、このグランドピン８を採□用し°ても、グラ
ンド１極７は従来の大きさでよく、何勢不都合は生じな
い。

なお、本発明は前記実施例に限定されない。

以上のように、本発明のグランドどンによれば、接触抵
抗が増大しても、ＩＩＳ値の変動が生じないことから、
安定した電気特性測定が行なえる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のプローブ針およびプローブ状態を示す説
明図、第２図は本発明の一実施例によるグランドピンお
よびプローブ状態を示す断面図である。 １・・・ウェハ、２・・・回−路素子、３・・・電極、
４・・・プローブ針、５・・・プ四−プカード、７・・
・グランド電極、８・・・グランドピン、９・・・筒体
、１０・・・センス新体、１１・・・フォース新体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、プローブ針のグランドビンにおいて、グランドビン
   は細長の導電性のセンス艇体と、このセンス艇体の外層
   な被う絶縁性の筒体と、この筒体の外隅な被う導電性の
   フォース新体と、からなり、先端はそれぞれ同一面上に
   位置していることを特徴とするグランドビン。