JPS5832646B2 - 圧力伝送器 - Google Patents
圧力伝送器Info
- Publication number
- JPS5832646B2 JPS5832646B2 JP53110329A JP11032978A JPS5832646B2 JP S5832646 B2 JPS5832646 B2 JP S5832646B2 JP 53110329 A JP53110329 A JP 53110329A JP 11032978 A JP11032978 A JP 11032978A JP S5832646 B2 JPS5832646 B2 JP S5832646B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- pressure
- voltage
- resistance
- bridge circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は感圧素子を用いた圧力伝送器に係り、特に圧力
および温度の変化に対し常に一定の直線性を得るように
した圧力伝送器に関する。
および温度の変化に対し常に一定の直線性を得るように
した圧力伝送器に関する。
第１図は従来一般に使用されている感圧素子を用いた圧
力伝送器の回路構成図である。
力伝送器の回路構成図である。
同図において１，２は圧力に応じて抵抗値Ｒ１、Ｒ２が
変化する半導体感圧素子であって、これは温度、圧力変
化に対し一定の抵抗値を示す基準抵抗３，４とでブリッ
ジ回路５を構成している。
変化する半導体感圧素子であって、これは温度、圧力変
化に対し一定の抵抗値を示す基準抵抗３，４とでブリッ
ジ回路５を構成している。
６はブリッジ回路５の給電端子ａ、ｂに一定電圧を供給
する定電圧発生回路である。
する定電圧発生回路である。
７はブリッジ回路５から出力された電圧Ｖｏを入力とす
る差動増幅器であってここで増幅された電圧は後続の電
流変換回路８により電流に変換され電流増幅素子９によ
って増幅される。
る差動増幅器であってここで増幅された電圧は後続の電
流変換回路８により電流に変換され電流増幅素子９によ
って増幅される。
この電流増幅素子９のコレクタには電源１０より伝送路
１１全通して正極性側電圧が印加される。
１１全通して正極性側電圧が印加される。
また、電源１０の正極性側電圧は定電流回路１２で定電
流化されて定電圧発生回路６、差動増幅器γおよび電圧
−電流変換回路８の一方給電端子に供給され、さらに定
電流回路１２より定電圧ダイオード１３を介して同じく
回路６．Ｔ。
流化されて定電圧発生回路６、差動増幅器γおよび電圧
−電流変換回路８の一方給電端子に供給され、さらに定
電流回路１２より定電圧ダイオード１３を介して同じく
回路６．Ｔ。
８の他方給電端子に供給される。
電流増幅素子９によって増幅された電流信号は任意のス
パンに調整するスパン調整抵抗１４および出力確認用抵
抗１５を介して電源１０の負極性側に接続されている伝
送路１１へ伝送される。
パンに調整するスパン調整抵抗１４および出力確認用抵
抗１５を介して電源１０の負極性側に接続されている伝
送路１１へ伝送される。
しかし、以上のような回路構成の圧力伝送器では感圧素
子１，２自身が圧力−抵抗変化を示すので、それがその
ままブリッジ回路５の出力端子Ｃ２ｄ間には第２図の実
線曲線に示すように圧力Ｐの変化に対して非直線性の電
圧■ｏが現われこのため受信側では誤差の伴なった圧力
を測定してしまうことになる。
子１，２自身が圧力−抵抗変化を示すので、それがその
ままブリッジ回路５の出力端子Ｃ２ｄ間には第２図の実
線曲線に示すように圧力Ｐの変化に対して非直線性の電
圧■ｏが現われこのため受信側では誤差の伴なった圧力
を測定してしまうことになる。
そこで、従来かかる不都合を除去する手段として、感圧
素子１，２に予め圧力を加えてみて直線性の良い範囲で
使用すことか、あるいは差動増幅器７の出力信号の一部
をブリッジ回路５の給電端子ａ側に正帰還して補正する
等している。
素子１，２に予め圧力を加えてみて直線性の良い範囲で
使用すことか、あるいは差動増幅器７の出力信号の一部
をブリッジ回路５の給電端子ａ側に正帰還して補正する
等している。
しかし、前者の手段にあっては、直線性の良い範囲が限
定されるために使用圧力範囲が狭くなり、また後者のよ
うに圧力範囲を固定した場合には直線性を補正すること
が可能であるが、零点の遷移等で圧力範囲が移動するも
のでは圧力範囲に対する出力電圧変化幅か変動するため
にスパン誤差を生ずる欠点がある。
定されるために使用圧力範囲が狭くなり、また後者のよ
うに圧力範囲を固定した場合には直線性を補正すること
が可能であるが、零点の遷移等で圧力範囲が移動するも
のでは圧力範囲に対する出力電圧変化幅か変動するため
にスパン誤差を生ずる欠点がある。
本発明は以上のような欠点を除去するためになされたも
のであって、広範囲の圧力変化に対し良好な直線性を得
るとともに、周囲温度変化に対し常に一定の直線性を得
るようにして圧力変化を高精度に測定する圧力伝送器を
提供するものである。
のであって、広範囲の圧力変化に対し良好な直線性を得
るとともに、周囲温度変化に対し常に一定の直線性を得
るようにして圧力変化を高精度に測定する圧力伝送器を
提供するものである。
以下、本発明の一実施例について第３図を参照して説明
する。
する。
同図において２０は変化する圧力を電気信号に変換して
出力するブリッジ回路であってこれは抵抗値Ｒ１，Ｒ２
を有する半導体感圧素子２１，２２と温度、圧力に対し
一定の抵抗値Ｒ８Ｉ、Ｒ８２を示す基準抵抗２３，２４
とで構成されている。
出力するブリッジ回路であってこれは抵抗値Ｒ１，Ｒ２
を有する半導体感圧素子２１，２２と温度、圧力に対し
一定の抵抗値Ｒ８Ｉ、Ｒ８２を示す基準抵抗２３，２４
とで構成されている。
この抵抗２３，２４の直列抵抗回路には同じく抵抗値Ｒ
８３，Ｒ８４ｆ：示す基準抵抗２５，２６が並列に接続
されている。
８３，Ｒ８４ｆ：示す基準抵抗２５，２６が並列に接続
されている。
２７は、定電流回路２８で定電流化した電流を抵抗値Ｒ
Ｃを有する感度補償抵抗２９に加えて電圧を取り出しこ
れを演算増幅器３０および定電圧ダイオード３１を介し
て定電圧を電圧制御用トランジスタ３２のベースに加え
てエミッタ側から定電圧を取り出す定電圧回路であって
、この回路２１から取り出された定電圧をブリッジ回路
２０の給電端子ａ、ｔ）に供給している。
Ｃを有する感度補償抵抗２９に加えて電圧を取り出しこ
れを演算増幅器３０および定電圧ダイオード３１を介し
て定電圧を電圧制御用トランジスタ３２のベースに加え
てエミッタ側から定電圧を取り出す定電圧回路であって
、この回路２１から取り出された定電圧をブリッジ回路
２０の給電端子ａ、ｔ）に供給している。
３３はブリッジ回路２０の出力端子ｃ、ｄに接続されこ
の出力端子ｃ、ｄ間の出力電圧を電流に変換して増幅出
力する差動増幅器である。
の出力端子ｃ、ｄ間の出力電圧を電流に変換して増幅出
力する差動増幅器である。
３４はブリッジ回路２０の感圧素子２１，２２の中点電
圧（出力端子ｄの電圧）と前記基準抵抗２５．２６の中
点端子ｆの電圧との差電圧を入力とし、各々の抵抗値Ｒ
ｉ、、Ｒｆｋ有する入力抵抗３５、帰還抵抗３６によっ
て出力端子ｇに増幅された出力電圧を発生する演算増幅
器である。
圧（出力端子ｄの電圧）と前記基準抵抗２５．２６の中
点端子ｆの電圧との差電圧を入力とし、各々の抵抗値Ｒ
ｉ、、Ｒｆｋ有する入力抵抗３５、帰還抵抗３６によっ
て出力端子ｇに増幅された出力電圧を発生する演算増幅
器である。
この演算増幅器３４は基準抵抗値Ｒｉ’、Ｒｆ’を示す
抵抗３７．３８によって基準電圧が決定される。
抵抗３７．３８によって基準電圧が決定される。
３９は演算増幅器３４の出力端子ｇとブリッジ回路２０
の給電端子ａ、ｂ間に設けた抵抗値Ｒ５、Ｒ６ｅ有する
基準抵抗４０．４１の中点端子りとの間に介挿してｇ−
ｈ間に電位差が生じた時に生ずる電流を規制する抵抗値
ＲＬを有する電流制御用可変抵抗である。
の給電端子ａ、ｂ間に設けた抵抗値Ｒ５、Ｒ６ｅ有する
基準抵抗４０．４１の中点端子りとの間に介挿してｇ−
ｈ間に電位差が生じた時に生ずる電流を規制する抵抗値
ＲＬを有する電流制御用可変抵抗である。
また、この中点端子りは前記演算増幅器３０の他方入力
部に接続している。
部に接続している。
次に、以上のように構成した圧力伝送器の作用を説明す
る。
る。
感圧素子２１，２２に圧力が加わると、同素子２１．２
２の抵抗値Ｒ１，Ｒ２が変化して出力端子ｄの電圧か変
化する。
２の抵抗値Ｒ１，Ｒ２が変化して出力端子ｄの電圧か変
化する。
この結果、端子ｄ−ｆ間の電圧か変化するので、演算増
幅器３４の出力電圧も変化し、これによって可変抵抗３
９に流れる電流か変わる。
幅器３４の出力電圧も変化し、これによって可変抵抗３
９に流れる電流か変わる。
この電流はトランジスタ３２より基準抵抗４０を通って
流れるため同抵抗４０の両端電圧が変化し、その結果、
ブリッジ回路２０の給電端子ａ、ｂ間に加える給電々圧
が変化する。
流れるため同抵抗４０の両端電圧が変化し、その結果、
ブリッジ回路２０の給電端子ａ、ｂ間に加える給電々圧
が変化する。
従って、圧力の変化に応じてブリッジ回路２０の給電々
圧が変化することになるが、これは可変抵抗３９を調整
することで給電々圧変化の割合を変えれば、感圧素子２
１．２２自身の圧力−抵抗変化特性の非直線性に伴なう
ブリフジ回路２０の非直線性出力を補正することができ
る。
圧が変化することになるが、これは可変抵抗３９を調整
することで給電々圧変化の割合を変えれば、感圧素子２
１．２２自身の圧力−抵抗変化特性の非直線性に伴なう
ブリフジ回路２０の非直線性出力を補正することができ
る。
即ち、感圧素子２Ｌ２２自身の非直線性によるブリッジ
回路２０の出力電圧の影響を可変抵抗３９の調整で除去
できる。
回路２０の出力電圧の影響を可変抵抗３９の調整で除去
できる。
この点について以下に数式化して説明する。
即ち、感圧素子２１．２２の抵抗値Ｒ１，Ｒ２は、Ｒｌ
−Ｒｏ−ｆ（ｔ） ＋ｌＪ Ｒｏｈ（ｔ） ・・・・
・・・・・・・・（１）Ｒ２−Ｒｏ−ｆ （ｔ）−１Ｒ
ｏ−ｈ（ｔ） ・・・・・・・・・・・・（２）で表
わされる。
−Ｒｏ−ｆ（ｔ） ＋ｌＪ Ｒｏｈ（ｔ） ・・・・
・・・・・・・・（１）Ｒ２−Ｒｏ−ｆ （ｔ）−１Ｒ
ｏ−ｈ（ｔ） ・・・・・・・・・・・・（２）で表
わされる。
ここで、ｆ（ｔ）、 ｈ（ｔ）は各々Ｒｏ。ｌＲｏの温
度変化を表わす関数である。
度変化を表わす関数である。
この場合、ブリッジ回路２０の給電端子ａ −ｂ閾電圧
ｅＶａｂ、端子ｄ−ｆ間電圧電圧ｄｆ、端子ｈ−ｂ間電
圧電圧ｈｂとすると、 となる。
ｅＶａｂ、端子ｄ−ｆ間電圧電圧ｄｆ、端子ｈ−ｂ間電
圧電圧ｈｂとすると、 となる。
この（４）式に（３）式を代入して変形すると、となる
。
。
これによりＶｄｆの圧力に対する非直線性は可変抵抗Ｒ
Ｌを任意の値に設定することによりｆ（ｔ） 近似的に直線化できる。
Ｌを任意の値に設定することによりｆ（ｔ） 近似的に直線化できる。
この場合、ｖｈｂに函）なる温度勾配をもたせることに
より、温度変化によるＶｄｆの変化を補正することかで
きる。
より、温度変化によるＶｄｆの変化を補正することかで
きる。
しかしながら、分母の第２項も同様に温度勾配をもって
いるので、ある温度でＲＬによってＶｄｆの圧力に対す
る非直線性を補償しても温度が変化すると、補償値を変
える必要かあることになる。
いるので、ある温度でＲＬによってＶｄｆの圧力に対す
る非直線性を補償しても温度が変化すると、補償値を変
える必要かあることになる。
そこで、なる温度特性’ｋＲｉ、Ｒｆに持たせることに
より、温度が変化してもＶｄｆの圧力に対する非直線性
を一定に保つことができる。
より、温度が変化してもＶｄｆの圧力に対する非直線性
を一定に保つことができる。
一般にはｈ（ｔ） ｈ（ｔ）−
は温度上昇に伴なって−〈１になるため、ｆ（ｔ）
ｆ（ｔ）ｆ（ｔ）＞□＆Ｃｆ、にゎ
（よよい。
は温度上昇に伴なって−〈１になるため、ｆ（ｔ）
ｆ（ｔ）ｆ（ｔ）＞□＆Ｃｆ、にゎ
（よよい。
。。３．よ、演算増幅器ｈ（ｔ）
子のゲインＧに正の温度特性をもたせればよい。
従って、帰還抵抗Ｒｆに正の温度係数を有する素子を用
いるか、あるいは入力抵抗Ｒｉに負の温度係数を有する
素子を用いることにより、温度変化に関して一定の直線
性を有する圧力伝送器を得ることができる。
いるか、あるいは入力抵抗Ｒｉに負の温度係数を有する
素子を用いることにより、温度変化に関して一定の直線
性を有する圧力伝送器を得ることができる。
以上詳記したように本発明によれば、感圧素子の抵抗を
用いたブリッジ回路の給電端子間に接続された基準抵抗
回路の中点端子側出力とブリッジ回路の出力端子側出力
との差を入力とする演算増幅素子と、ブリッジ回路に電
圧を供給する定電圧回路の出力端間の分圧抵抗共通部と
の間に圧力変化に対応して変化する電気信号を規制する
補正抵抗を介挿し、この抵抗の調整により圧力変化に対
するブリッジ回路への給電々圧変化の割合を変えるよう
にしたので、感圧素子の圧力−抵抗変化が非直線性であ
ってもブリッジ回路の出力電圧を直線化することができ
る。
用いたブリッジ回路の給電端子間に接続された基準抵抗
回路の中点端子側出力とブリッジ回路の出力端子側出力
との差を入力とする演算増幅素子と、ブリッジ回路に電
圧を供給する定電圧回路の出力端間の分圧抵抗共通部と
の間に圧力変化に対応して変化する電気信号を規制する
補正抵抗を介挿し、この抵抗の調整により圧力変化に対
するブリッジ回路への給電々圧変化の割合を変えるよう
にしたので、感圧素子の圧力−抵抗変化が非直線性であ
ってもブリッジ回路の出力電圧を直線化することができ
る。
また、前記補正抵抗の入力側に設けた演算増幅素子の入
力抵抗もしくは帰還抵抗に正もしくは負の抵抗温度特性
を有する抵抗素子を設けたので、感圧素子の圧力−抵抗
変化の温度依存性を補償でき温度変化に関し一定の直線
性を持った出力電圧を伝送することができる。
力抵抗もしくは帰還抵抗に正もしくは負の抵抗温度特性
を有する抵抗素子を設けたので、感圧素子の圧力−抵抗
変化の温度依存性を補償でき温度変化に関し一定の直線
性を持った出力電圧を伝送することができる。
第１図は従来の圧力伝送器の回路構成図、第２図は第１
図に示す圧力伝送器の圧力−出力電圧の関係特性図、第
３図は本発明に係る圧力伝送器の一実施例を説明する回
路構成図である。 ２０・・・・・・ブリッジ回路、２１，２２・・・・・
・感圧素子、２３〜２６・・・・・・基準抵抗、２７・
・・・・・定電圧回路、２８・・・・・・定電流回路、
２９・・・・・・感度補償抵抗、３０・・・・・・演算
増幅器、３１・・・・・・定電圧ダイオード、３２・・
・・・・電圧制御用トランジスタ、３３・・・・・・差
動増幅器、３４・・・・・・演算増幅器、３５・・・・
・・入力抵抗、３６・・・・・・帰還抵抗、３７，３Ｂ
・・・・・・基準抵抗、３９・・・・・・可変抵抗、４
０，４１・・・・・・基準抵抗。
図に示す圧力伝送器の圧力−出力電圧の関係特性図、第
３図は本発明に係る圧力伝送器の一実施例を説明する回
路構成図である。 ２０・・・・・・ブリッジ回路、２１，２２・・・・・
・感圧素子、２３〜２６・・・・・・基準抵抗、２７・
・・・・・定電圧回路、２８・・・・・・定電流回路、
２９・・・・・・感度補償抵抗、３０・・・・・・演算
増幅器、３１・・・・・・定電圧ダイオード、３２・・
・・・・電圧制御用トランジスタ、３３・・・・・・差
動増幅器、３４・・・・・・演算増幅器、３５・・・・
・・入力抵抗、３６・・・・・・帰還抵抗、３７，３Ｂ
・・・・・・基準抵抗、３９・・・・・・可変抵抗、４
０，４１・・・・・・基準抵抗。
Claims (1)
- １ 感圧素子の抵抗を用いてブリッジ回路を構成し圧力
変化に対応する該感圧素子の抵抗変化を電気信号に変換
して取り出し、これを増幅器で増幅して伝送する圧力伝
送器において、前記ブリッジ回路を構成する第１の基準
抵抗回路に並列に第２の基準抵抗回路を接続しこの第２
の基準抵抗回路の中点端子電圧と前記ブリッジ回路の感
圧素子側より得られた電圧との差電圧を増幅する演算増
幅回路と、この回路の入力抵抗もしくは帰還抵抗に負も
しくは正の温度−抵抗特性を有する抵抗素子を用いて前
記感圧素子の温度依存性を補償する温度補償抵抗回路と
、前記ブリッジ回路に所定の電圧を供給する定電圧回路
の出力端間に接続された分圧基準抵抗回路と、前記演算
増幅回路の出力側と前記分圧基準抵抗回路の分圧点との
間に接続され、前記ブリッジ回路の圧力変化に対する給
電電圧変化の割合を調整する電圧補正抵抗回路とを備え
てなることを特徴とする圧力伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53110329A JPS5832646B2 (ja) | 1978-09-08 | 1978-09-08 | 圧力伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53110329A JPS5832646B2 (ja) | 1978-09-08 | 1978-09-08 | 圧力伝送器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5537906A JPS5537906A (en) | 1980-03-17 |
| JPS5832646B2 true JPS5832646B2 (ja) | 1983-07-14 |
Family
ID=14532969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53110329A Expired JPS5832646B2 (ja) | 1978-09-08 | 1978-09-08 | 圧力伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5832646B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5931404A (ja) * | 1982-08-16 | 1984-02-20 | Hitachi Ltd | 圧力センサ回路 |
| JPS5935481A (ja) * | 1982-08-23 | 1984-02-27 | Mitsubishi Electric Corp | 圧力検出装置 |
| JPS5961736A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-09 | Hitachi Ltd | 集積化圧力センサ |
| JPH01105108A (ja) * | 1987-10-17 | 1989-04-21 | Ohkura Electric Co Ltd | 直線化回路を含む変換増幅器 |
| FR2659447B1 (fr) * | 1990-03-09 | 1994-10-28 | Jaeger | Dispositif de mesure de force comprenant un transducteur piezoresistif compense en temperature. |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4925984A (ja) * | 1972-04-12 | 1974-03-07 | ||
| JPS52139456A (en) * | 1976-05-18 | 1977-11-21 | Toshiba Corp | Pressure and pressure-difference transmitting apparatus |
-
1978
- 1978-09-08 JP JP53110329A patent/JPS5832646B2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4925984A (ja) * | 1972-04-12 | 1974-03-07 | ||
| JPS52139456A (en) * | 1976-05-18 | 1977-11-21 | Toshiba Corp | Pressure and pressure-difference transmitting apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5537906A (en) | 1980-03-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4414853A (en) | Pressure transmitter employing non-linear temperature compensation | |
| US4362060A (en) | Displacement transducer | |
| AU8550291A (en) | Apparatus and method for a temperature compensation of a catheter tip pressure transducer | |
| JPS597928B2 (ja) | ストレンゲ−ジ交換器信号調整回路装置 | |
| JPH02177566A (ja) | 半導体歪み検出装置 | |
| US6198296B1 (en) | Bridge sensor linearization circuit and method | |
| US4595884A (en) | Transducer amplifier and method | |
| US4190796A (en) | Pressure detecting apparatus having linear output characteristic | |
| US4205327A (en) | Two wire current transmitter with adjustable current control linearization | |
| JPS5832646B2 (ja) | 圧力伝送器 | |
| JP3222367B2 (ja) | 温度測定回路 | |
| JP2001141757A (ja) | ホール素子を用いたセンサ装置 | |
| JPS6145761B2 (ja) | ||
| US4305288A (en) | Temperature sensing circuit | |
| US4492122A (en) | Circuit for linearization of transducer | |
| CN111238673B (zh) | 一种薄膜温度传感器的测量电路 | |
| JPH0750690Y2 (ja) | 半導体圧力センサの温度補償回路 | |
| EP0381730B1 (en) | Linearization circuit | |
| JPS6122766B2 (ja) | ||
| JPS6136163B2 (ja) | ||
| JP2576414B2 (ja) | 交流レベル検出回路 | |
| RU1778556C (ru) | Устройство дл измерени разности температур | |
| JP2661303B2 (ja) | 変調回路 | |
| KR100263151B1 (ko) | 저항-전압변환회로 | |
| JPH0312248B2 (ja) |