JPS58192475A - 圧電モ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電動機に関するものであり、更に詳しくいえば
圧電モータに関するものである。

本発明の圧電モータはオートメーション装置における作
動手段の微小電力モータとして、またはテープレコーダ
におけるテープ送り機構用モータとして、写真機、サー
ボ装置、および各種の家庭用機器のためのモータとして
広く用いるためのものである。

回転子の角運動または連続回転の形で電気エネルギーを
機械エネルギーへ変える圧電モータが知られている。

米国特許第４０１９０７３号にはモータの支持体に固定
された固定子と、モータの可動部材であって、’ｔ。

たとえば固定子の軸受に回転できるようにしてとりつけ
られる回転子とを備える圧電モータが開示されている。

固定子と回転子の間の電磁相互作用を利用する電動機と
は異なり、圧電モータは固定子と回転子の間の摩擦相互
作用で、すなわち、摩擦力によって動作する。したがっ
て、電力供給が断たれるとある摩擦トルクにより静止状
態に保たれ、回転子を回転させるためには摩擦力より大
きい力のモーメントを加えることが必要である。圧電モ
ータの固定子または回転子におけるトルクは圧電振動子
により発生される。その圧電振動子は圧電的に動作する
部材、すなわち、圧電素子、を含む電気機械的な共振子
である。圧電素子は１つの向きに電気分極させられる単
結晶または多結晶の圧電材料から作られる。圧電素子は
、たとえば薄い金属層の形で作られた少くとも２つの電
極を含む。それらの電極には金属リードが接続され、そ
れらの金属リードは圧電素子を交流電源に接続する。そ
の電源の周波数は振動子の共振振動数に等し、＜、また
はそれに近く選択されるのが普通である。

圧電素子が上記のような電源に接続されると圧電効果に
よってその圧電素子の内部に弾性振動が発生される。そ
の振動は振動子全体を振動させる。

振動子は固定子の中で音響的に絶縁される。

従来の圧電モータにおける回転子と固定子は、圧”ｒｌ
Ｌ　ｍ動子の動作面の場所において互いに押しつけ合わ
されて、ある直線の少くとも１つの長さの回転により形
成された表面に沿って摩擦相互作用を行わせる。圧電撮
動子の「動作面」という用語は、使用時に摩耗させられ
る前記振動子の表面を意味する。前記摩擦相互作用面の
上では撮動子の機械的振動の一方向接線力への変換が行
われる。

その接線力の大きさは変化し、前記表面にその接線力が
加えられるとトルクが発生される。いいかえると、摩擦
接触領域が、交番する機械的な応力を脈動する応力に変
換するための整流器として機能する。

振動子の内部の応力の大きさと、その振動数は圧電モー
タの回転子のトルクと１分間当りの回転数を決定する。

振動子における応力と機械的な撮動は、その撮動子の材
料の弾性率を介して互いに関連づけられる。したがって
、圧電モータの回転子のトルクと回転速度は互いに直線
的な関係を有する、すなわち、圧電モータは垂下する負
荷特性を有する。しかし、それがしばしば求められる垂
下特性であるから、それは圧電モータの欠点と考えるこ
とはできない。しかし、ある場合には平坦な特性が求め
られる。その平坦な特性は圧電モータの回転数を安定さ
せるようになっている電子回路を用いて一般に得られる
。更に、テープレコーダとレコードプレーヤーに用いら
れるモータは回転数を段階的に変えることができねばな
らない。

その回転数の段階的な変化はなるべくそのトルクを小さ
くすることなしに行うようにする。その理由は、もしそ
うしないとデトネーション係数が著るしく増大するから
である。これに関連して、従来の圧電モータの構造では
、回転モーメントを変えるとと々しに回転速度を段階的
に変えることが実際にはでき力いことに注意すべきであ
る。

従来の圧電モータの別の欠点は、従来の圧電モータの構
造では回転数を大幅に変えられず、回転数が低下すると
回転子の動きがますます不規則となる（トルク減少のた
めに）。その場合にはトルクは負荷トルクの変化に相応
するものとなる。　□また、回転の向きを逆にする問題
は従来の圧電モータでは完全には解決されていない。実
際に、非可逆モータは負荷トルクが大きく、効率が高く
、寿命が長い。非可逆モータは回転時の騒音が小さく、
簡単な電源回路から電力を供給される。従来の圧電モー
タでは２種類の機械的振動、すなわち縦振動と横撮動、
を励振することにより逆転を行っている。この場合には
圧電素子は２０層を持たねばならないが、そうするとそ
の電極の構造・配置と分極が極めて複雑なものとなる。

そのような構造では圧電素子のｃｏＩＩψにも影響を及
ぼし、圧電動作する領域が狭く々す、したがって印加電
圧を高くしなければならなくなる。互いに接合されたい
くつかの層が存在することにより圧電素子の強度が影響
を受け・同一構造の圧電素子中に起る　　　　　　！＋
。

たわみ振動が負荷との整合を劣化させ、その結果として
効率が低下することになる。現在では、可逆圧電モータ
の効率は１０％をとえ々い。この１０％以下の効率では
それらの圧電モータは多くの技術的要求に合致できない
。それに反して、非可逆圧電モータの効率は８０％をこ
えることがある。回転子が超硬材料で作られている圧電
モータの寿命は１００時間をこえないが、非可逆モータ
の寿命は１０００時間以上である。

従来の圧電モータの別の欠点は１本の軸を有するととで
ある。しかし、ある場合には、回転速度が異なる軸を２
本またはそれ以上モータが有することが必要な場合があ
る。たとえば、テープレコーダのテープ送り機構に２軸
圧電モータを用いることにより、そのような機構の構造
を大幅に簡単にできる。

本発明は、発生トルクを一定にしたままで、回転の向き
と速度を直接変えることができる圧電モータを提供する
ものである。

本発明の目的は、固定子と回転子を備え、固定子と回転
子のうちの一方は少くとも１個の圧電振動子を含み、前
配回転子と前記固定子は圧電振動子の動作面が設けられ
ている場所において互いに押しつけられて、回転子の回
転軸を中心とするある直線の少くとも１つの長さの回転
により形成された１つの表面に沿って固定子と回転子を
摩擦相互作用させる圧Ｍ１モータであって、回転子は第
１と第２の部分で構成され、それらの部分の一方は少く
とも１個の付加圧電振動子を含み、第１の部分は固定子
と摩擦相互作用し、前記部分は回転子の回転軸を中心と
して相対的に回転するようにとりつけられ、かつ、回転
子の回転軸を中心とするある直線を中心とする少くとも
１つの長さの回転により形成された別の表面に沿ってそ
れらの部分を摩擦相互作用させるために、付加圧電振動
子の設けられている場所で互いに押しつけられる圧電モ
ータにより達成される。

回転子の第１の部分と固定子が摩擦相互作用する表面は
前記固定子上に設け、回転子の２つの部分が摩擦相互作
用する表面はこの回転子の第１の部分上に設けるとよい
。

回転子の第１の部分と固定子が摩擦相互作用する表面を
前記固定子の上に設け、回転子の２つの部分が摩擦相互
作用する表面をこの回転子の第２の部分上に設けること
が可能である。

また、回転子の第１の部分と固定子が摩擦相互作用する
表面を前記回転子の第１の部分上に設け、回転子の２つ
の部分が摩擦相互作用する表面をこの回転子の第２の部
分の上に設けることも可能である。

回転子の第１の部分と固定子が摩擦相互作用する表面と
、回転子の２つの部分が摩擦相互作用する表面は回転子
の第１の部分上に設けることができる。

固定子はボデーを含むことができる。そのボデーの表面
の一部は回転子の回転軸を中心とするある直線の少くと
も１つの長さの回転により形成される。

そのような固定子の表面の前記部分が固定子の中に配置
されている少くとも１つの圧電振動子の動作面を構成し
、その動作面に少くとも１枚の板の一端が押しつけられ
、その板の第２の端部が回転子の第１の部分に押しつけ
られるように本発明のモータを改造することが可能であ
る。

また、第１の部分が少くとも１つの圧電振動子を含み、
その動作面が固定子の前記表面に押しつけられるように
することも可能である。

回転子の第１の部分はボデーを含むことができる。その
ボデーの表面の少くとも一部は、この回転子の回転軸を
中心として、ある直線の少くとも１つの長さが回転する
ことにより形成される。

この場合には、その表面の前記部分は回転子の第１の部
分の中に配置される少くとも１つの付加圧電振動子の動
作面とすることができ、その動作面には少くとも１枚の
板の一端を押しつけることができる。その板の第２の端
部は回転子の第２の部分に固定できる。

更に、回転子の第２の部分は少くとも１つの付加圧電振
動子を含むことができ、その動作面は回′＋０第１″部
Ｇ（ＤＨ８″’＃Ｊ！ｅ部１′押１９けら　　　　　ｉ
。

れる。

回転子の第１の部分の表面の前記部分は第１の部分の中
に囲まれた少くとも１つの圧電振動子の動作面とし、そ
の動作面に少くとも１枚の板の一端を押しつけ、その板
の他端を固定子に１拐定させることが望ましい。

また、固定子が少くとも１つの圧電振動子を含み、その
動作面を回転子の第１の部分の前記部分に押しつけるこ
とも望ましい。

回転子の第２の部分がボデーを含み、そのボデーの表面
の一部を、回転子の回転軸を中心としである直線の少く
とも１つの長さを回転させることによ多形成するように
、本発明の圧電モータを変更することが可能である。

この場合には、回転子の第２の部分の表面の前記部分を
、回転子の第２の部分の中に囲まれている少くとも１つ
の付加圧電振動子の動作面とすることができ、その動作
面には少くとも１枚の板の一端を押しつけることができ
、その板の他端は回転子の第１の部分に固定される。

回転子の第１の部分は少くとも１つの付加圧電振動子を
含むことができる。その振動子の動作面は回転子の第２
の部分の表面の前記部分に押しつけられる。

回転子の第１の部分が２つのボデーを含み、各ボデーの
表面の一部を、回転子の回転軸を中心とするある直線の
少くとも１つの長さの回転により形成するように、本発
明の圧電モータを変えることも可能である。

この場合には、１つのボデーの表面の前記部分を回転子
の第１の部分の中に囲まれている少くとも１つの圧電振
動子の動作面とすることができ、その動作面には少くと
も１枚の板の一端を押しつけることができ、その板の他
端は固定子に固定される。

更に、固定子は少くとも１つの圧電振動子を含むことが
でき、その圧電振動子の動作面は回転子の前記第１の部
分の１つのボデーの前記部分に押しつけられる。

他のボデーの表面の前記部分を、回転子の第１の部分の
中に囲まれている少くとも１つの付加圧電振動子の動作
面とし、少くとも１枚の板の一端をその動作面に押しつ
け、その板の他端を回転子の第２の部分に固定すること
も可能である。

この場合には、回転子の第２の部分は少くとも１つの圧
電振動子を含むことができ、その振動子の動作面は回転
子の第１の部分の他のボデーの前記部分に押しつけられ
る。

本発明の実施例においては、少くとも１枚の板と圧電振
動子の動作面の間の接触角と、少くとも１枚の板と付加
圧電振動子の動作面の間の接触角は同じ符号を持つこと
ができる。

少くとも１枚の板と圧電振動子の動作面の間の接触角と
、少くとも１枚の板と付加圧電振動子の動作面の間の接
触角は逆の符号を持つことができる。

本発明のモータの別の実施例においては、少くとも１つ
の前記振動子を、それと摩擦相互作用する表面の中に配
置できる。本発明のモータの更に別の実施例においては
、少くとも１つの前記圧電振動子を、それと摩擦相互作
用する表面の外側に配置できる。

本発明のモータにおいては、少くとも１つの前記圧電振
動子の動作面を、回転子の回転軸に垂直な平面内に酵く
ように構造を変えることができる。

少くとも１つの前記圧電振動子の圧電素子を板状に作る
ことも可能である。

少くとも１つの前記圧電撮動子の圧電素子を回転体、ま
たはその一部として作ることも可能である。

また、少くとも一方の前記圧電振動子の圧電素子に少く
とも１枚の板を設け、その板の一端は前記圧電素子の前
記表面の１つに固定し、前記振動子の動作面を板の他端
に配置するようにするとよい。

少くとも１枚の板と回転子の第１の部分および固定子が
摩擦相互作用する表面との間の接触角と、少くとも１枚
の板と回転子の２つの部分が摩擦相互作用する表面との
間の接触角を同じ符号とすることができる。

、に、ゆ。１．よ。つよ□イ。、□。イア　　　１゜お
よび固定子が摩擦相互作用する表面との間の接触角と、
少くとも１枚の板と回転子の２つの部分が相互作用する
表面との間の接触角とは異なる符号にできる。

本発明の圧電モータの前記実施例により、非可逆圧電モ
ータの電気機械的パラメータに類似する電気機械的パラ
メータを可逆圧電モータに持たせることが可能となる。

また、それらの実施例により、可逆圧電モータの回転速
度を同様な非可逆モータと比較して２倍にでき、回転速
度の制御可能な範囲を１０倍以上にできる。それと同時
に、付加軸を用いることにより圧電モータの応用分野を
拡げることができる。

以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

本発明の圧電モータ（第１．２図）は固定子ｌと回転子
２を有する。固定子ｌは圧電振動子８を含み、回転子２
Ｆｉ第１の部分４と第２の部分５より成り、付加圧電撮
動子６ｆ：有する。

本発明の圧電モータはいぐつかの振動子８．６を含むこ
とができ、その振動子の数は指定された特性（大電力、
高速度など）により決定される。

固定子１の振動子８の動作面は回転子２の第１の部分４
に押しつけられて、摩擦相互作用表面７に沿ってその動
作面と第１の部分の間に摩擦相互作用を行わせる。

先に定義し友ように、「動作面」という用語は摩耗面、
すなわち、圧電振動子の表面のうち、モータの動作中に
摩耗させられる表面を意味する。

部分４．５は相対的に回転するために同軸状に配置され
る。この場合には、付加振動子６の動作面が回転子２の
第１の部分４に押しつけられて、摩擦相互作用面８に沿
って部分４と６を摩擦相互作用させる。

一般的な場合においては、各表面７．８は、回転子の回
転軸を中心とするある直線の少くとも１つの長さの回転
により形成される。その長さは撮動子８．６の動作面と
モータの対応する部分の間の接触線の長さに等しい（そ
れらの部分は固定子１と、回転子２の第１と第２の部分
４．５である）。

表面７．８Ｆｉ第１．２図に示されているように円筒面
にされる（破線で示されている）。

本発明に従って、圧電モータは種々の構造にでき、回転
の速度と向きは別々に変えられる。したがって、たとえ
ば、摩擦相互作用面の場所に応じて、本発明のモータを
下記のように変えることができる。

（１）表面７．８は回転子２の第１の部分４の上に設け
られる（第１〜１４図）。

（２）表面７Ｆｉ回転子の第１の部分４の上に設けられ
、表面８は前記回転子の第２の部分５の上に設けられる
（第１８．１９図）。

（８）　　表面７Ｆｉ固定子１の上に設けられ、表面８
は回転子２の第２の部分５の上に設けられる（第１５．
１６．１７図）。

（４）゛表面４は固定子１の上に設けられ、表面８は第
１の部分４の上に設けられる（第２０．２１図）。

以上説明したように、表面７．８は回転子の回転軸を中
心とするある直線の少（とも１つの長さの回転により形
成される表面である。一般に、その直線中の長さの数は
対応する表面に接触している圧電振動子の数により決定
される。したがって、本発明の圧電モータの各変更にお
ける固定子１と、回転子２の部分４．５はボデーを含む
。このボデーの表面の一部はある直線の長さの回転によ
り形成される。とくに、そのボデーは円筒（第１．２．
１８．１９図）、中空円筒、猿（第８．４．５．６．９
．１０．１７図）、スリーブ（第７．８．１５．１６．
２０．２１図）、または円板（第１１．１２．１３図）
などにできる。

前記ボデーは回転体（第１７図）として作られた振動子
自体とすることができる。

第１、２図に示す本発明のモータの別の実施例において
は、固定子はほぼフレーム９であって、そのフレームの
中に撮動子８の圧電素子１１が設けられてホルダ１ｏｖ
ｃより固定される。その圧電素子１０は耐摩耗層１２ヲ
有する板の形に作られる。

回転子２の第１の部分４は中実円筒であって、軸１３に
とりつけられる。振動子８は、平はねとして作られてい
るクランプ部材Ｊ４に工す、この円筒の側面に押しつけ
られる。

振動子６の圧電素子１５は耐摩耗層１２が設けられた板
の形でも作られる。この板の一端は、他の軸１７にとり
つけられているホルダ１６に固定される。

軸１３．１７はフレーム９に固定されている軸受１８に
Ｌシ支持される。

各圧電素子１１．１５は電極１９と、圧電素子１１．１
５を電源（第１，２図には示されていがい）へ接続する
リード加とを含む。圧電素子１５のリード２０は、軸１
７に固定されている接触リング２１とブラシ２２ヲ介し
て電源に接続される。

第８．４図には本発明の圧電モータの別の実施例を示す
。この実施例では回転子２の第１の部分４は、中空円筒
である。圧電素子１１．１５はリング状に作らｎる。こ
れらのリングの外部円筒面には板２３が固定される。電
極１９がそれらのリングの平らな表面の上に付着される
。固定子１と回転子２の第２の部分５は、それぞれホル
ダ１０．１６’ｉ保持する円板の形に作られる。ホルダ
１５．１６は圧電素子１１．１５’ｉｉかかえ込む輪状
突出部２４の形に作られ、板２３ヲ受ける溝２５がその
突出部Ｕに設けられる。

この場合には、板２３の自由端部は、固定子１と第２の
部分に対して回転するようにとりつけられている中空円
筒の内面に押しつけられる。固定子１と部分５は金属ブ
ッシング２６により互いに連結される。そのブッシング
には圧電素子１５の電極１つの１つが連結され、その電
極１９にブラシ２２が押しつけられる。圧電素子１５の
他の電極は弾性接触リング２７を介して圧電素子１１の
電極１９の１つに連結される。

第５．６図には本発明の圧電モータの別の実施例が示さ
れている。この実施例では、振動子８．６は圧電板の形
に作られ、それらの圧電板の端面には板２３の一端が固
定される。この実施例では、第１の部分４はプラスチッ
ク製の中空円筒でほぼ作られる。金ＭＩＪング２８が前
記中空円筒に圧入されるから、板２３の自由端部が前記
リングの内面と摩擦相互作用する。

第７．８図は本発明の圧電モータの更に別の実施例を示
す。この実施例では振動子８．６が圧電板の形で作られ
、それらの圧電板の端面に板２３の一端が固定される。

この実施例では、回転子２の第１の部分４は軸１３にと
りつけられたスリーブの形で作られ、振動子８の動作面
がそのスリーブの側面に押しつけられ、回転子２の第２
の部分５の中に配置されている振動子６がスリーブの内
面に押しつけられる。

第９．１０図には本発明の圧電モータの更に別の実施例
が示されてｂる。この実施例では、振動子８けリング状
に作られ、板２３がそのリングの内側円筒面に固定され
る。振動子６もリング状に作られるが、この場合には板
２３はリングの外側円筒面に固定される。この実施例に
おいては、第１の部分４は中空円筒であり、振動子６の
板２３はその円筒の内面に押しつけられ、その円筒の外
面には、固定子１のフレーム９の中にとりつけられてい
る振動子８の板２３が押しつけられる。フレーム９には
輪状の突出部２４が設けられる。この突出部２４には振
動子３の板を受ける溝２５が設けられる。同様に、軸１
７にとりつけられている回転子２の第２の部分５は円板
を有する。この円板には、前記振動子６をかかえ込む輪
状突出部冴が設けられる。この突出部２４は振動子６の
板２３ヲ受ける溝２５ヲ有する。

本発明の圧電モータは、振動子８．６の動作面の少（と
も一方を回転子の回転軸に垂直な平面内に配置するよう
に変えることもできる。第１１．１２図は、振動子８．
６が圧電板の形に作られ５各圧電板の端面の１つに板２
３が設けられ、その板２３の一端が圧電板の前記端面に
固定され、振動子８．６の動作面が板２３の他端部に設
けられる工うにした、本発明の圧電モータの別の実施例
を示す。この実施例では、第１の部分４は軸１７の軸受
１８にと、つゆ、６□。ア１作、。１□６゜１作　　　
　　　ｉ：面が前記円板の平らな表面に押しつけられる
。その振動子６は、軸１７にとりつけられてｈる回転子
２の第２の部分５に固定される。固定子１のフレーム９
上に固定された振動子８の動作面は前記円板の円筒面に
押しつけられる。

第１３．１４図に示す実施例は、撮動子８の動作面が前
記円板の円筒面でなぐて、前記円板の他の平らな面に押
しつけられることを除き、第１１．１２図に示す実施例
に類似する。

本発明によれば、軸１７にとりつけられている回転子２
の第１の部分中に圧電振動子８．６を配置するようにし
次圧室モータの実施例も可能である。

（第１５．１６図）。この場合には、固定子はスリーブ
状に作られ、振動子８の動作面がそのスリーブの内側円
筒面に押しつけられる。第２の部分５は軸１７にとりつ
けられる。この第２の部分５もスリーブ状に作られて、
その内側円筒面に振動子６が押しつけられる。

第１ケ図に示す実施例では板２３は回転子２の部分５に
固定される。固定子１と回転子２の第２の部分５ば、円
筒状の耐摩耗Ｎ１２を有するリング状に作られた圧電振
動子８．６を含む。それらのリングの内面には回転子２
の第１の部分４の板２３が押しつけられる。

第１８．１９図には、振動子８を固定子１の上に配置さ
れる圧電板で作った本発明の圧電モータの別の実施例を
示す。この実施例では、振動子８の動作面は回転子２の
第１の部分４０円時宜７に押しつけられる。振動子６も
回転子２の第１の部分４の上に配置される。この振動子
６Ｆｉ圧電板として作られ、その動作面は回転子２の第
２の部分５の円筒面８に押しつけられる。

表面７が固定子１の上に配置され、表面８が回転子２の
第１の部分４の位置に配置されるようにした、本発明の
圧電モータの別の実施例を第２０゜２１図に示す。この
実施例では、固定子１はスリーブ状に作られ、そのスリ
ーブの内側円筒面に、軸１７の軸受１８にとりつけられ
ている第１の部分４の中に配置された振動子８が押しつ
けられる。回転子２の第ｉの部分４けほぼスリーブ状で
あって、そのスリーブの内側円筒面には、軸１７にとり
っけられる第２の部分５の上に配置される圧電振動子６
が押しつけられる。

したがって、本発明の圧電モータについての以上の説明
から、そのモータの主な部品は下記のよう配置できるこ
とがわかる。

（１１振動子８は固定子１の上に配置でき（第１〜１４
．１７〜１９図）、または回転子２の第２の部分の上に
配置できる（第１５．１６．２０．２１図）。

（２）撮動子６は第１の部分４の上に配置でき（第１５
．１６．１８．１９図）、または第２の部分５の上に配
置できる（第１〜１４．１７．２０．２１図）。

（８）振動子８．６の一方が外側に転置されるように（
第１．２．８〜１２．１８．１９図）、ま九は内側に配
置されるように（第８〜１０．１５．１６．２０．２１
図）、かつ振動子の動作面が摩擦相互作用面に一致しく
第１７図）、および回転子２０回転軸に垂直な平面内に
含まれる（第１１〜１４図）ように、振動子８．６は摩
擦相互作用面７．８に対して配置できる。

（４）圧電振動子は種々の形とすることができる（第２
２．２３図）。

本発明の圧電モータに用いられる圧電振動子の可能な種
々の形を以下に記す（第２２．２３図）。最も簡単なも
のでは各振動子は下記の１うな形の圧電素子を１個だけ
用いて構成できる。

（１）電極が両面にとりつけられた長方形板（第２２ａ
、２２ｈ図）。

（２）平らな表面に電極がとりつけられた円筒（第２２
ｃ、２２ｅ図）、円板（第２２（１図）。

（８）側面に電極がとりつけられた中空円筒（第２２ｅ
図）。

（４）突き合わせ端面に電極がとりつけられたリング（
第２２ｆ図）。

（５）　　リングの一部（第２２ｇ図）または中空円筒
の一部（第２２ｈ図）。

圧電振動子８．６（第１〜２１図）またはそれらの振動
子の圧電素子１１．１５の以上説明した全ての可能な形
において、好ましい分極の向きは電極から電極へ向く向
きである（第２゜、２３図には分極の　　　　　ｉ・向
きが矢印で示されている）。

圧電素子１１．１５はチタン酸バリウムまたけジルコニ
チタン酸鉛をペースとし九圧電材料で作ると便利である
。長方形板（第２２ａ、２２ｈ図）として作られる圧電
素子１１．１５は水晶から作ることもできる。

銅またはニッケルの化学的付着にエリ電極１９を圧電素
子１１．１５の表面に形成することも便利である。細い
多心絶縁導体の形のり−ド２０を、丁ずをペースとする
はんだを用いてはんだづけすることにエリなるべく接続
する。圧電素子の形と電極１９のとりつけ位着は、付加
的に諸要求に合致するように希望に応じて選択できる。

より複雑な構造の圧電振動子は受動部品、すなわち、薄
い鱗層板ま九は多層板２３の形につくられ次ブツシャを
含む（第２３　ａ　、　２３　ｂ　、　２３　ｃ　、　
２３　ｇ　。

２３ｈ、２３１図）。多層ブツシャ（第２３図）の場合
には、フッ素樹脂製の音響絶縁層２９を層の間に設ける
ことができる。

板２３は金属友とえは鋼、またはプラスチックたとえば
紙をペースとするラミネート、から作ることができる。

板２３の代りに欅ま之はブラシを用いることができる（
第２３ｄ図）。

板２３を圧電素子１１．１５にとりつけるために、圧電
素子１１．１５には溝３０が設けられる。それらの溝の
中には板２３が挿入されて、その中に接着される（第２
３　ａ　、　２３　ｂ　、　２３　ｃ　、　２３　ｇ　
、　２３　ｈ図）。

振動子８．６の周囲にフープ３１（第２３θ、２３ｆ。

２３ｈ、２３１図）をはめ込むことに工り、撮動子の構
造強度を高くすることができる。フープ３１は強くて、
必要があれば、耐摩耗性を有する材料、たとえば鋼、ま
たは炭化タングステンや炭化チタンをペースとする材料
で作ることができる。

板２３はたとえばエポキシ樹脂に工り溝３０の中に接着
でき、金属フープ（リング）のスロット内では接着、は
んだづけま友は溶接できる。

板２３は圧電素子１１．１５にかならずしもとりつけら
れない。本発明の圧電モータは、モータの円筒面を有す
る受動部品（第１７図）に板２３ヲとりつける実施例も
可能である。

本発明の圧電モータは板２３が、モータの受動圧電部品
または能動圧電部品のいずれの上に設けられるかとは無
関係に動作する。板２３のとりつけ場所は摩擦相互作用
面７．８の直径だけに影響を及ぼす。その直径が大きく
なると軸のトルクが大きり彦す、回転子２の回転速度は
低下する。

モータを組立てる場合には、板２３ヲ横に置き、組立が
完了し九ら板２３の自由端部を対応する摩擦相互作用面
７．８に押しつける。板２３の長さが圧電素子と摩擦相
互作用面の間の距離をこえるように、板２３の長さは選
択される。前記表面に押しつけられる板２３の端部は表
面７まｆｃｔ１８に対しである角度を成すＬうに配置さ
れる。長方形の圧電素子１１．１５に耐摩耗層１２が設
けられた時は、その耐摩耗層も摩擦相互作用面７．８に
対しである角度を成して配置される（第２２ａ、２２ｂ
図）。その耐摩耗７Ｉ＃１２が設けられなければ、板状
に作られた圧電素子１１．１５を摩擦相互作用面７．８
に対して傾斜させねばならない。

この特別な場合には、モータ部品と摩擦相互作用面７．
８の間の接触角αは、振動子８または６と表面７または
８のと接触に接する直線と、振動子が板状に作られてい
る時（第１．２．１５．１６図）には振動子の配置平面
との角度、あるいは振動子８または６に板２３が用いら
れている時（第８〜１４．１８〜２１図）は板２３の面
との間の角度、もしくＦｉモータ部品の１つが振動子と
相互作用する板２３（第１７図）を含む時は板２３の面
との間の角度、として定義される。この角度が時計回り
に増大する時を正、逆時計向りに増加する時を負と仮定
し、回転子の回転の向きが接触角αの符号に依存するこ
と全考慮に入れると、回転子２の第２の部分５の回転速
度が接触角αの符号に依存すると信することができる（
これは実際には実験にエリ証明される）この場合には、
モータ部品を次のように構成することが可能である。

（１）振動子８は固定子ｌの上に配置され、振動子６は
回転子２の第１の部分４の上に配置される（第′°・′
”１）・　　　　　　　　　　　　　　　　　　ｉ。

（２）振動子８は回転子４の第１の部分の中に配置され
、振動子６は回転子２の第２の部分６の中に配置される
（第２０．２１図）。

（これら（１）と（２）の場合に振動子６．６の接触角
αが同じ符号だとすると本発明のモータは非可逆モータ
であり、その接触角αが逆符号であれば本発明のモータ
は可逆モータである。）（８）振動子８は固定子１の上
に配置され、振動子６は回転子２の第２の部分６の上に
配置される（第１〜１４図、１７図）。

（４）振動子８は回転子２の第１の部分４の上に配置さ
れ、振動子６も第１の部分４の上に配置される（第１５
．１６図）。

（これら（８１、（４）の場合に、接触角αが同じ符号
であれば本発明のモータは可逆モータであり、接触角α
が逆符号であれば本発明のモータは非可逆モータである
。） 本発明のモータの部分のうち摩擦相互作用面７．８を有
する部分は耐摩耗性の高込硬い材料から作られる。それ
らの材料としては硬化鋼、硬質銑鉄、ガラス、なるぺ（
１１２０８をペースとするセラミック材料、炭化クロム
、炭化チタン、炭化カーバイド々どの炭化金属全ペース
とする材料およびその他の材料がある。同じ目的のため
にある種のプラスチック材料と圧縮された木材を用いる
ことができる。

回転子２の部分４．５はモータ自体に求められる寸法と
形に応じて形成される。回転子２の第１の部分４が第８
〜６，９．１０図に示されているように中空円筒（リン
グ）で作られると、この圧電モータは小型になる。板２
３の一端を前記リングの側面に固定するようにこの圧電
モータを実施することもできる。この場合には、回転子
２の第１の部分４は板２３′ｔ−有するリングを含み、
振動子８．６Ｆｉ回転体として作られる。

本発明の圧電モータは、第１の部分４を中実円筒として
作り、その円筒の側面に板２３ヲ固定する（第１７図）
ことにより回転速度を高くできる。更に、板おが各圧電
素子１１．１５にとりつけら扛るものとすると、回転子
の角速度は一層高（なる。第１．２．１８．１９図に示
すように、部分４．５け同時に円筒にできる。

回転子２の部分４．６はほぼスリーブ状に作ることがで
きる（第７．８．１５．１６．２０．２１図）。

その場合には本発明の圧電モータは高さを低ぐして平ら
にできる。回転子２の第１の部分４を円板にしてモータ
の軸にとりつけることにより（第１１〜１４図）この圧
電モータを更に平らな形に作ることができる。この場合
には、振動子８．６の動作面を前記円板の平らな面に接
触させることにより（第１３．１４図）、または振動子
８の動作面を円板の側面に接触させ、振動子６をこの円
板の平らな面の１つに接触させることにより（第１１．
１２図）、本発明のモータの構造を更に変えることがで
きる。

圧電振動子８．６は種々のやり方で固定子または回転子
にとりつけることができる。しかし、壁と、振動子を正
しい位置に固定するために用いらＣる部材とから振動子
を適切に絶縁するとよい。

そのために、振動子と機械的に接触する表面はゴム、フ
ッ素樹脂のような遮音材料からなるべく作るようにする
。それらの表面と固定子全体およびフレームはプラスチ
ックで作ることができる。また、この目的のために、と
ぐにＩＷ以上の軸出力を有する圧電モータの場合には、
耐熱性プラスチックを使用するとよい。

本発明の圧電モータの上記の実施例においては、固定子
１と回転子２の第１の部分４との間の接触と、回転子２
″の２つの部分４と５の間の接触（それらの接触はそれ
ぞｎ表面に沿って摩擦相互作用を行わせるためである）
は、従来の方法を適用することに↓す、たとえば、平ば
ねを用いることにより（第１．２．１１．１３．１８．
１９図）、レバーが設けられている円筒げねを用いるこ
とに工す（第７．８．１２．１５．１６．２０．２１図
）、その他永久磁石、電磁石などを用Ａることにエリ行
わせることかできる。また、板２３の場合には、その接
触はそれぞれの表面に接触するそれらの板の弾性により
そのよう表接触を行うことができる（第８〜６．９．１
０．１７図）。

４１１°’１１−％　Ｃ０ＥＥｉ！−Ｅ−／“７“°′
（１□ｉ。

ａ図）に交互に接続される少くとも２個の圧電振動子を
有する。本発明のこの説明においては、電源３２を接続
する丸めの接続図は第８図に示すようなものが使用のた
めに提案されている。

キー３３（第２４図）（キーは機械的に操作することも
できれば、トランジスタ・キーまたはリレーの場合には
電気的に操作させることもできる）を操作すると、周波
数が圧電素子の共振振動数に等しいか、それに近い電源
３２から交流電圧が圧電振動子８の圧電素子１１の電極
１９に加えられ、その電圧は逆圧電効果の下では弾性機
械振動に変えられ、それによって発生させられた機械的
な波が圧電振動子の他の部品とくに耐摩耗層１２　（第
１．２．１５．１６．１７図）または板２３（第８〜１
４．１８〜２１図）へ伝えられる。

圧電振動子８の境界面からの弾性機械波の多重反射と、
それらの波の伝播方向におけるそれらの波の干渉とによ
って定在波が形成される。そのような定在波中の粒子の
振動の振幅は、電源周波数が、弾性波の［株］播方向に
おける振動子８の共振振動数に等しい時に最大である。

弾性機械振動の定在波が存在すると、固定子と回転子の
間の摩擦相互作用領域内へ振動子３が強く変位させられ
ることになる。圧電モータの動作についての今日の理論
によれば、固定子と回転子の摩擦相互作用領域には、同
相で互いに画直な方向にＫ（ＸＩさせられる２種類の振
動が存在する。それらの振動の１つが圧電効果により励
起され、第２の種類の振動は、板または圧電板の端部が
回転子２０第１の部分４の摩擦相互作用円筒面に沿って
動く時に、第１の１１！１頑のエネルギーにより励起さ
れる。

それらの振動が組合わされ九結果として、機械的接触領
域中に発生された応力は定常成分を有する。回転子２の
第１の部分４に作用する力の定常成分はそのトルクを生
じ、このトルクの作用の下に第１の部分４が回転を始め
る。回転子２の第２の部分５が第１の部分４に摩擦連結
されているから、第２の部分５も第１の部分４の回転の
向きと同じ向きに回転を始め、そ扛によりモータの軸１
７を回転させる。

キー３３が放され、キー３４が押されると、電源３２か
らの交流電圧が第２の圧電振動子６の圧電素子１５の酸
極１９へ辱えら扛るから、第２の振動子６の内部にも機
械阪が発・モされ、そのためにトルクが発生されて回転
子２の第２０’部分５を回転させる。

この場合には、本発明の圧電モータが可逆モータとして
作られておれば、回転子２の第２の部分５は軸１７とと
もに、第１の圧電振動子３が’ａｆＩに接続された場合
とは逆向きに回転を始める。

本発明のモータが非０Ｔ逆モータの場合には、第１の振
動子３と第２の撮動子６との摩擦相互作用円筒面の直径
は等しくなるが、負荷特性の「剛性」が変化する。その
ような特性は、たとえばテープレコーダ用の駆動モータ
において、そのテープレコーダの動作モードが再生また
は録音から早送シまたは巻もどしへ変えられた時にわか
るであろう。

モータが非可逆モータであって、２個のスイッチ３３．
３４が操作させら扛だ（閉じられた）とすると、回転子
２の第２の部分５０回転速度が付！加されするが、可逆
モータの場合にはその角速度に差し引かれる。第１の場
合においてはトルクは各振動子により発生された２つの
トルクのうちの太きい方のトルクに等しいが、第２の場
合にはトルクは各撮動子によ多発生さ扛た２つのトルク
のうちの小さい万のトルクに等しい。第１の場合ではモ
ータの回転速度は２倍に哨大でき、第２の場合にはトル
クをそのままにして非常に低い回転速度でモータを回転
させることができる。回転子の一方の部分の回転速度を
他方の部分の回転速度に対して安定にすることによシ、
モータの回転速度を安定にできる。これは従来の方法で
容易に行うことができる。

振動子３．６を同じ１つの電飾３２に同時に接続する場
合には、それらの振動子の動作周波数は０．５％以上異
ならない方がよい。振動子を電源へ別個に接続する場合
には、各圧電振動子が、水晶発振器における水晶振動子
と同様に、励振子でろるという事実から、各振動子の動
作周波数誤差は３．６〜３％である。

異なる床度、および必要があれば異なる向き、ｉ。

で回転する２本の軸を用いると、従来の１軸モータと比
較して本発明の圧電モータの応用分野が拡がる。

本発明の圧電モータを試′検した結果によると、本発明
のモータは従来のモータよシいくつかの面で曖ｎている
ことが判明した。すなわち、不発明の圧電モータの効率
は３０チ以上であり、始動トルクは５０〜−鋸でめる。

本発明の圧電モータは円弧角で１秒台の角変位、または
１ミクロン台の微小変位を行うことができる。角変位置
検出器と組合わせることにより、従来のステッピングモ
ータよりはるかに良い歩進動作を行わせるパラメータが
得られる。また、本発明の圧電モータは小型、軽量で製
災に手間がかからず、安価である。

【図面の簡単な説明】

第１図は回転子の第１の部分が中実円筒で作られている
、本発明の圧電モータの一実施例の略図、第２図は第１
図のＵ−ＵＳに沿う断面図、第３図は回転子の第１の部
分が中空円筒で作ら扛、圧電振動子の板がその円筒の内
面に押しつけられる、本発明の圧電モータの別の実施例
の断面図、第４図は第３図のＩＶ−Ｎ線に沿う断面図、
第５図は第３図に示す実施例の変形例を示す断面図、第
６図は第５図のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図、第１図は圧
電振動子が回転子の第１の部分の内側と外側に配置され
る、本発明の圧′亀モータの別の実施例の断面図、第８
図は第１図の■−■組に沿う断面図、第９図は第１図に
示す実施例の変形例を示す断面図、第１０図は第９図の
Ｘ−Ｘ線に沿う断面図、第１１図は圧電振動子が回転子
の第１の部分の種々の表面に押しつけらする、不発明の
圧電モータの別の実施例の断面図、＠１２図は第１１図
の■−ＸＩＩ線に沿う断面図、第１３図は第１１図に示
す実施例の変形例を示す断面図、第１４図は回転子の第
１の部分の平らな表面に押しつけられる圧電振動子の構
成を示す略図、第１５図は振動子が回転子の第１の部分
の上に配置される本発明の圧電モータの断面図、第１６
図は第１５図のＭ−ｘＶｉ線に沿う断面図、第１７図は
回転子の第１の部分に圧電撮動子の動作面と摩擦相互作
用する板が設けらｎる、不発明の圧電モータの別の実施
例の切ｐ欠き斜視図、第１８図は摩擦相互作用面が回転
子の両方の部分の上に設けられる、不発明の圧電モータ
の別の実施例の断面図、第１９図は第１８図のＸＴＸ−
ＸＴＸ線に沿う断面図、第゛）Ｑ図は圧′醒振動子が回
転子の第１と第２の部分の上に配置される、本発明の圧
電モータの別の実施例の断面図、第２１図は第２０図の
■ト→ＩＩ線に沿う断面図、第２２図は本発明の圧電モ
ータにおける種々の形の圧醒累子を示す斜視図、第２３
図は本発明の圧電モータで用いられる種々の形の圧電撮
動子を示す斜視図、第８図は本発明の圧電モータにおけ
る圧電撮動子の接続図である。 ｌ・・・固定子、２・・・回転子、３・・・圧電撮動子
、４・・・回転子の第１の部分、５・・・回転子の第２
の部分、６・・・付加圧電撮動子、７・・・固定子と回
転子の摩擦相互作用面、８・・・固定子の摩擦相互作用
面、１１・・・圧電振動子の圧電素子、１５・・・付加
圧電振動子の圧電素子、２３・・・板。□ 出願人代理人　　猪　股　　　清 Ｉ〃 ／Ｅ乏 Ω ７ Ｆ助　　ｆＥ；？Ｊｂ　　　ｆＥＺＪｃＨご　　Ｌ喪　
　屈τ ｆＥ　Ｅｌｌ 第１頁の続き ０発　明　者　ツヤチェスラフ・ワシリエウイツチ・ラ
フリネンコ ソビエト連邦キエフ・ウーリツ ツア・アー・マリクコ１３カーベ １２５ ０発　明　者　オレグ・レオニドウィッチ・ボイチェン
コ ソビエト連邦キエフ・プロスペ クト・スポボドイ２４カーベー５ ０発　明　者　イゴール・アレクサンドロウイツチ・カ
ルタシェフ ソビエト連邦キエフ・プロスペ クト・イワナ・マリアネンコ７ 力一べ−２２ ０発　明　者　ユーリー・ウラジミロウイツチ・ゴロビ
アシン ソビエト連邦キエフ・ウーリツ ツア・エンツジアストフ２５カー バー６１ ０発　明　者　ニコライ・フィヨードロウィッチ・セロ
フ ソビエト連邦キエフ・ウーリッ ツア・レズニツカヤ８カーベー ８ ０発　明　者　レオニド・イヮノウィッチ・シンカレン
コ ソビエト連邦キエフ・プルバー ル・ペロワ３０アー・カーバー３９ ０発　明　者　オレグ・ゲオルギエウィッチ・ユラシ ソビエト連邦キエフ・ウーリッ ツア・ユリウサ・フチカニ３力一 ベー７４

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、固定子（１）と回転子（２）を備え、固定子と回転
   子のうちの一方は少くとも１個の圧電振動子（３）を含
   み、前記回転子（２）と前記固）。 電子（１）は圧電振動子′（３）の動作面が設けられて
   いる場所において互いに押しつけられて、回転子（２）
   の回転軸を中心とするある直線の少くとも１つの長さの
   回転により形成された１つの表面（７）に沿って固定子
   （１）と回転子（２）を摩擦相互作用させる圧電モータ
   であって、回転子（２）は第１と第２の部分（４，５１
   で構成され、それらの部分の一方は少くとも１個の別の
   圧電振動子（６）を含み、第１の部分（４）は固定子（
   １ンと摩擦相互作用し、前記部分（４，５）は回転子（
   ２）の回転軸を中心として相対的に回転するようにとり
   つけ”られ、かつ、回転子（２）の回転軸を中心とする
   ある直線の少くとも１つの長さの回転により形成された
   別の表面（８）に沿ってそれらの部分を摩擦相互作用さ
   せるために、別の圧電振動子（６）の設けられている場
   所で互いに押しつけられることを特徴とする圧電モータ
   。 ２、特許請求の範囲の第１項に記載の圧電モータ゛であ
   って、回転子（２）の第１の部分（４）と固定子（１）
   が摩擦相互作用する表面（７）は前記固定子（１）の上
   に設けられ、回転子（２）の２つの部分（４，５１が摩
   擦相互作用する表面は回転子（２）の第１の部分（４）
   の上に設けられることを特徴とする圧電モータ。 ３、特許請求の範囲の第１項に記載の圧電モータであっ
   て、回転子（２）の第１の部分（４）と固定子（１）が
   摩擦相互作用する表面（７）は前記固定子（１）の上に
   設けられ、回転子（２）の２つの部分（４，５）が摩擦
   相互作用する表面（８）は回転子（２）の第２の部分（
   ５）の上に設けられることを特徴とする圧電モータ“。 ４、特許請求の範囲の第１項に記載の圧電モータであっ
   て、回転子（２）の第１の部分（４）と固定子（１）が
   摩擦相互作用する表面（７）は前記回転子（２）の第１
   の部分（４）の上に設けられ、回転子（２）の２つの部
   分（４，５）が摩擦相互作用する表面（８）は回転子（
   ２）の第２の部分（５）の上に設けられることを特徴と
   する圧電モータ。 ５、特許請求の範囲の第１項に記載の圧電モータであっ
   て、回転子（２）の第１の部分（４）が固定子（１）と
   摩擦相互作用する表面（７）と、回転子（２）の２つの
   部分（４，５）が摩擦相互作用する表面（８）は回転子
   （２）の第１の部分（４）の上に設けられることを特徴
   とする圧電モータ。 ６、特許請求の範囲の第２項または第３項に記載の圧電
   モータであって、固定子（１）は、回転子（２）の回転
   軸を中心とするある直線の少くとも１つの長さの回転に
   より形成されたその表面の一部を有するボデーを構成す
   ることを特徴とする圧電モータ。 ７％許梢求の範囲の第６項に記載の圧電モータであって
   、固定子（１）の表面の前記部分は固定子（１）の中に
   囲まれている少くとも１つの圧電振動子（３）の動作面
   であり、少くとも１枚の板の一端が前記動作面に押しつ
   けられ、前記板の他端は回転子（２）の第１の部分（４
   ）の上に固定されることを特徴とする圧電モータ。 う ８、特許請求の範囲の第６項に記載の圧電モータであっ
   て、第１の部分（４）は少くとも１つの圧電振動子（３
   ）を含み、この圧電振動子（３）の動作面は前記固定子
   （１）の前記表面に押しつけられることを特徴とする圧
   電モータ。 ９、特許請求の範囲の第２項または第４項に記載の圧電
   モータであって、回転子（２）の第１の部分（４）はボ
   デーを構成し、このボデーの表面の一部は、回転子（２
   ）の回転軸を中心とするある直線の少くとも１つの長さ
   の回転により工ゎ、。オｉ、オ、□、−２゜　　　　　
   ｉ。 １０、特許請求の範囲の第２項または第９項に記載の圧
   電モータであって、表面の前記部分は回転子（２）の第
   １の部分（４）の中に囲オれた少くとも１つの付加圧電
   振動子（６）の動作面であり、少くとも１枚の板の一端
   がその動作面に押しつけられ、その板の他端は回転子（
   ２）の第２の部分の上に固定されることを特徴とする圧
   電モータ。 １１、特許請求の範囲の第２項または第９項に記載の圧
   電モータであって、回転子（２）の第２の部分（５）は
   少くとも１つの付加圧電振動子（６）を含み、その圧電
   振動子の動作面は回転子（２）の第１の部分（４）の表
   面の前記部分に押しつけられることを特徴とする圧電モ
   ータ。 １．２、特許請求の範囲の第４項または第９項に記載の
   圧電モータであって、回転子（２）の第１の部分（４）
   の表面の前記部分は第１の部分（４）の中に囲まれる少
   くとも１つの圧電振動子（３）の動作面であり、その動
   作面に少くとも１枚の板の一端が押しつけられ、その板
   の他端は固定子（１）に固定されることを特徴とする圧
   電モータ。 １３、特許請求の範囲の第４項または第９項に記載の圧
   電モータであって、固定子（１）は少く・とも１つの圧
   電振動子（３）を含み、この圧電振動子の動作面は回転
   子（２）の第１の部分（４）の前記部分に押しつけられ
   ることを特徴とする圧電モータ。 １４、特許請求の範囲の第３項または第４項に記載の圧
   電モータであって、回転子（２）の第２の部分（５）は
   ボデーを構成し、そのボデーの表面の一部は、回転子（
   ２）の回転軸を中心とする直線の少くとも１つの長さの
   回転により形成されることを特徴とする圧電モータ。 １５、特許請求の範囲の第１４項に記載の圧電モータで
   あって、回転子（２）の第２の部分（５）の表面の前記
   部分は、回転子（２）の第２の部分（５）の中に囲まれ
   る少くとも１つの付加圧電振動子（６）の動作面であり
   、その動作面には少くとも１枚の板の一端が押しつけら
   れ、その板の他端は回転子（２）の第１の部分（４）に
   固定されることを特徴とする圧電モータ。 １６特許請求の範囲の第１４項に記載の圧電モータであ
   って、回転子（２）の第１部分（４）は少くとも１つの
   付加撮動子（６）を含み、この振動子の動作面は回転子
   （２）の第２の部分（５）の表面の前記部分に押しつけ
   られるととを特徴とする圧電モータ。 １７、特許請求の範囲の第５項に記載の圧電モータであ
   って、回転子（２ンの第１の部分（４）は２つのボデー
   を有し、各ボデーの表面の一部は回転子（２）の回転軸
   を中心とするある直線の少くとも１つの長さの回転によ
   り形成されることを特徴とする圧電モータ。 １８、特許請求の範囲の第１７項に記載の圧電モータで
   あって、一方のボデーの表面の前記部分は回転子（２）
   の第１の部分（４）の中に囲まれる少くとも１つの圧電
   振動子（３）の動作面であり、その動作面には少くとも
   １枚の板の一端が押しつけられ、その板の他端は固定子
   （１）に固定されることを特徴とする圧電モータ。 １９、特許請求の範囲の第１７項に記載の圧電モータで
   あって、固定子（１）は少くとも１つの圧電振動子（３
   ）を含み、その圧電撮動子の動作面は回転子（２）の前
   記第１の部分（４）の一方のボデーの前記部分に押しつ
   けられることを特徴とする圧電モータ。 ２、特許請求の範囲の第１７項に記載の圧電モータであ
   って、他方のボデーの表面の前記部分は、回転子（２］
   の第１の部分（４）の中に囲まれる少くとも１つの付加
   圧電撮動子（６）の動作面であり、その動作面に少くと
   も１枚の板の一端が押しつけられ、その板の他端は回転
   子（２）の第２の部分（５）に固定されることを特徴と
   する圧電モータ。 ２、特許請求の範囲第１７項に記載の圧電モータであっ
   て、回転子（２）の第２の部分（５）は少くとも１つの
   付加圧電振動子（６）を含み、との振動子０動作面は回
   転子（２）の前記第１の　　　　　　件。 部分（４）の他方のボデーの前記部分に押しつけられる
   ことを特徴とする圧電モータ。 ２、特許請求の範囲の第７　、１（１，１２，＋５．１
   ８．２０項のいずれかに記載の圧電モータであって、少
   くとも１枚の板（ハ）と圧電振動子（３）の動作面の間
   の接触角度と、少くとも１枚の板と付加圧電振動子（６
   ）の動作面の間の接触角度は同一の符号を有することを
   特徴とする圧電モータ。 ２、特許請求の範囲の第７　、３０．１２．　＋５．１
   ８．２０項のいずれかに記載の圧電モータであって、少
   くとも１枚の板（２３）と圧電振動子（３）の動作面の
   間の接触角度と、少くとも１枚の板（ｚ３）と付圧電振
   動子（６）の動作面の間の接触角度は逆の符号を有する
   ことを特徴とする圧電モータ。 ２４、！￥ｊ許請求の範囲の第１項に記載の圧電モータ
   であって、前記圧電振動子（３，６）のうちの少くと本
   一方は摩擦相互作用表面（７，８１のうちの一方の内部
   に、その一方の表面に接触して配置されることを特徴と
   する圧電モータ。 ２、特許請求の範囲の＠１項に記載の圧電モータであっ
   て、前記圧電振動子（３，６）の少くとも一方は、摩擦
   相互作用表面（７，８）のうち前記束くとも一方の圧電
   振動子に接触している１つの表面の外側に配置されるこ
   とを特徴とする圧電モータ。 ２、特許請求の範囲の第１項に記載の圧電モータであっ
   て、前記圧電振動子（３，６）の少くとも一方の振動子
   の動作面は回転子（２）の回転軸に垂直な平面内に配置
   されることを特徴とする圧電モータ。 ２、特許請求の範囲の第２４．２５．２６項のいずれか
   に記載の圧電モータであって、前記圧電振動子（３，６
   ）のうちの少くとも一方の振動子の圧電素子（１１，１
   ５）の一方は板状に作られることを特徴とする圧電モー
   タ。 ２、特許請求の範囲の第２４．２５．２６項のいずれか
   に記載の圧電モータであって、前記圧電振動子（３，６
   １のうちの少くとも一方の振動子の圧電素子（１１，１
   ５）の一方は回転体またはその一部として作られること
   を特徴とする圧電モータ。 ２、特許請求の範囲第８　、１１．１３．　＋６．１９
   ．２１項のいずれかに記載の圧雪、モータであって、圧
   電振動子（３，６１の少くとも１つの圧電素子（１１゜
   １５）の少くとも１つの表面に少くとも１枚の板（２３
   ）の一端が固定され、その板（２３）の他端は対応する
   振動子（３，６）の動作面に位置させられることを特徴
   とする圧電モータ。 ３０特許請求の範囲の第ｎ項または第２９項に記載の圧
   電モータであって、少くとも１枚の板（乙）と回転子（
   ２）の第１の部品（４）および固定子（１）の摩擦相互
   作用表面（７）との間の接触角度と、少くとも１枚の板
   と回転子（２）の２枚の部分（４，５）の摩擦相互作用
   表面（８）の間の接触角度とは同じ符号を有することを
   特徴とする圧電モータ。 ３１、特許請求の範囲の第ｎ項または第２９項に記載の
   圧電モータであって、少くとも１枚の板と回転子（２）
   の第１の部分（，４）および固定子（１）の摩擦相互作
   用表面（７）との間の接触角度と、少くとも１枚の板と
   回転子（２）の２つの部分（４，５）の摩擦相互作用表
   面の間の接触角度とは逆の符号を有することを特徴とす
   る圧電モータ。