JPS5818806B2 - 音叉形圧電振動子 - Google Patents
音叉形圧電振動子Info
- Publication number
- JPS5818806B2 JPS5818806B2 JP50110370A JP11037075A JPS5818806B2 JP S5818806 B2 JPS5818806 B2 JP S5818806B2 JP 50110370 A JP50110370 A JP 50110370A JP 11037075 A JP11037075 A JP 11037075A JP S5818806 B2 JPS5818806 B2 JP S5818806B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- piezoelectric vibrator
- crystal
- vibrating piece
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/09—Elastic or damping supports
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、主面(最とも広い面をいう。
)がU字形に成形された音叉形圧電振動子(以下、音叉
形圧電振動子という。
形圧電振動子という。
)の保持器に関するものである。音叉形圧電振動子、特
に音叉形水晶振動子が腕時計の振動源として使用される
ようになって以来。
に音叉形水晶振動子が腕時計の振動源として使用される
ようになって以来。
形状の小形化および銅損、耐衝撃性が強く要求されると
共に、音叉形圧電振動子本来の電気特性即ち保持器の影
響を極力少なくして直列共振抵抗および共振周波数のそ
れぞれの温度特性、を良好ならしめφことが要求されて
いるが、これらの要求は互に相反する点があるため容易
に満足されない。
共に、音叉形圧電振動子本来の電気特性即ち保持器の影
響を極力少なくして直列共振抵抗および共振周波数のそ
れぞれの温度特性、を良好ならしめφことが要求されて
いるが、これらの要求は互に相反する点があるため容易
に満足されない。
例えば、第1図に示すような音叉形水晶振動子の保持構
造の場合、脚部1′および基部1“から成る音叉形水晶
振動片1は、その基部1“の−主面を保持台2に接着ま
たは半田付により固着して保持される。
造の場合、脚部1′および基部1“から成る音叉形水晶
振動片1は、その基部1“の−主面を保持台2に接着ま
たは半田付により固着して保持される。
このような音叉形水晶振動子は、小形化および制振、耐
衝撃性に関する限り凌れているが、水晶振動子の本来の
電気特性のうち特に要件とされる直列共振抵抗値および
共振周波数のそれぞれの温度特性が保持台2の機械的影
響により強制的に束縛を受けて劣化されている。
衝撃性に関する限り凌れているが、水晶振動子の本来の
電気特性のうち特に要件とされる直列共振抵抗値および
共振周波数のそれぞれの温度特性が保持台2の機械的影
響により強制的に束縛を受けて劣化されている。
即ち、音叉形水晶振動子は、厚み系振動姿態を利用した
高周波振動子(数MHz〜数拾MHz)の直列共振抵抗
が数Ω〜数拾Ωのように元々小さい値であるのに対して
、屈曲振動姿態を利用した低周波振動子(数Hz〜数百
KHz)であることから、その直列共振抵抗が真空封入
した密封容器内の環境下でも50にΩ以上もあり、更に
この値は、周囲温度に対して一定せず、ときにはある温
度において発振停止する程の急激に大きくなることすら
ある。
高周波振動子(数MHz〜数拾MHz)の直列共振抵抗
が数Ω〜数拾Ωのように元々小さい値であるのに対して
、屈曲振動姿態を利用した低周波振動子(数Hz〜数百
KHz)であることから、その直列共振抵抗が真空封入
した密封容器内の環境下でも50にΩ以上もあり、更に
この値は、周囲温度に対して一定せず、ときにはある温
度において発振停止する程の急激に大きくなることすら
ある。
この直列共振抵抗値の劣化現象に伴って共振周波数温度
特性も、通常水晶振動片1の形状および切断方位角が一
定であれば共振周波数温度%Flが測定誤差範囲内のバ
ラツキの中に包含されるべきであるにもかかわらず、再
現性なくして大きなバラツキをもって分布し、かつ周波
数変化率が本来の特性よりも大きくなることがある。
特性も、通常水晶振動片1の形状および切断方位角が一
定であれば共振周波数温度%Flが測定誤差範囲内のバ
ラツキの中に包含されるべきであるにもかかわらず、再
現性なくして大きなバラツキをもって分布し、かつ周波
数変化率が本来の特性よりも大きくなることがある。
本発明は、このような問題点を解決すべくなされたもの
であって、音叉形圧電振動子の電気特性を劣化せしめる
ことなく、小形化に適し、かつ外部からの振動および衝
撃に耐え得る保持機能を持った保持器を具備した音叉形
圧電振動子を提供するところにある。
であって、音叉形圧電振動子の電気特性を劣化せしめる
ことなく、小形化に適し、かつ外部からの振動および衝
撃に耐え得る保持機能を持った保持器を具備した音叉形
圧電振動子を提供するところにある。
このような目的を達成するため、本発明の音叉形圧電振
動子は、主面がU字形に成形された音叉形圧電振動片の
基部を保持する音叉形圧電振動子の保持器が、該基部の
両主面の相対向する面の−部分を挟持個所にし、該挟持
個所からそれぞれ該両生面と接触することなく該音叉形
圧電振動片の長手方向に延在し、かつ該基部の端面を囲
んで合体していることを特徴とする音叉形圧電振動子か
ら成る。
動子は、主面がU字形に成形された音叉形圧電振動片の
基部を保持する音叉形圧電振動子の保持器が、該基部の
両主面の相対向する面の−部分を挟持個所にし、該挟持
個所からそれぞれ該両生面と接触することなく該音叉形
圧電振動片の長手方向に延在し、かつ該基部の端面を囲
んで合体していることを特徴とする音叉形圧電振動子か
ら成る。
ここで、「音叉形圧電振動子」とは、水晶、タンタル酸
リチウム、ニオブ酸リチウムおよび圧電セラミック等の
音叉膨圧電体に屈曲振動すべき励振電極を配置し、該圧
電体の形状および物質定数に基づく共振周波数に一致し
た交番電圧を該励振電極に印加することより振動するも
のであり、「基部」とは、屈曲振動する脚部以外の音叉
形圧電振動片を指す。
リチウム、ニオブ酸リチウムおよび圧電セラミック等の
音叉膨圧電体に屈曲振動すべき励振電極を配置し、該圧
電体の形状および物質定数に基づく共振周波数に一致し
た交番電圧を該励振電極に印加することより振動するも
のであり、「基部」とは、屈曲振動する脚部以外の音叉
形圧電振動片を指す。
以下、本発明を実施例の図示をもって説明する。
先ず本発明の理解を容易ならしめるため、音叉形圧電振
動子の構成および動作原理を第2および第3図によって
説明する。
動子の構成および動作原理を第2および第3図によって
説明する。
第2図は、音叉形圧電振動子の基本構成を示す斜視図で
あり、同図のaおよびbにおいて斜線を施した部分は音
叉形圧電振動子を屈曲振動させるための励振電極であっ
て、それぞれの脚1′の主面(Bs Cs平面)の対向
すべき面に分割電極31゜および脚部1′の主面(B2
C2平面)と側面(A2C2平面)のそれぞれ対向す
べき面に4面電極32が配置されている。
あり、同図のaおよびbにおいて斜線を施した部分は音
叉形圧電振動子を屈曲振動させるための励振電極であっ
て、それぞれの脚1′の主面(Bs Cs平面)の対向
すべき面に分割電極31゜および脚部1′の主面(B2
C2平面)と側面(A2C2平面)のそれぞれ対向す
べき面に4面電極32が配置されている。
なお、1“は音叉形圧電振動片の基部である。
音叉圧電振動片の形状は、aおよびbにおいて、それぞ
れBlC,平面、B2C2平面を主面とするU字形を成
し、結晶軸(AsBscs)および(A2 B2C2)
は、共に直交立方座標軸であって、一般に使用される結
晶座標軸(X’YZ)を用いて表現すれば、例えば圧電
体が水晶の場合、A1がX、Blがz’、c、がY′で
あり、A2がZ“、B2がx、 C2がY′である。
れBlC,平面、B2C2平面を主面とするU字形を成
し、結晶軸(AsBscs)および(A2 B2C2)
は、共に直交立方座標軸であって、一般に使用される結
晶座標軸(X’YZ)を用いて表現すれば、例えば圧電
体が水晶の場合、A1がX、Blがz’、c、がY′で
あり、A2がZ“、B2がx、 C2がY′である。
また圧電体がタンタル酸リチウムの場合、A1がZ′、
B1がX′、C1がY“であり、A2がX′、B2がZ
′、C2がY“である。
B1がX′、C1がY“であり、A2がX′、B2がZ
′、C2がY“である。
ここで、結晶座標軸(xy’z’)は、初めの結晶座標
軸(xyz)のX軸を中心にして座標軸を回転したもの
を示す意味で(xy’z”)とし、結晶座標軸(X/
y// z/ )は、初めの結晶座標軸(xyz)のZ
軸を中心にして座標軸を回転した後の結晶座標軸(x’
y’z)を更にX′軸を中心にして回転したものを示す
意味で(X/ Y//Z/)としである。
軸(xyz)のX軸を中心にして座標軸を回転したもの
を示す意味で(xy’z”)とし、結晶座標軸(X/
y// z/ )は、初めの結晶座標軸(xyz)のZ
軸を中心にして座標軸を回転した後の結晶座標軸(x’
y’z)を更にX′軸を中心にして回転したものを示す
意味で(X/ Y//Z/)としである。
このように結晶座標軸を回転することは、使用する温度
に適した周波数%性を得るために圧電体の切断方位角を
所望角の範囲で回転することであり、音叉形圧電振動子
の設計技術としての通常手段である。
に適した周波数%性を得るために圧電体の切断方位角を
所望角の範囲で回転することであり、音叉形圧電振動子
の設計技術としての通常手段である。
第3図のaおよびbに示す電極の接続図は、それぞれ第
2図のaおよびbの同記号に対応し、それぞれの電極に
係る部分の詳細図で共に音叉形圧電振動片の脚部1′の
頭から見込んだ場合を示す。
2図のaおよびbの同記号に対応し、それぞれの電極に
係る部分の詳細図で共に音叉形圧電振動片の脚部1′の
頭から見込んだ場合を示す。
そして、端子り、と81問および端子D2とB2間に音
叉形圧電振動子の共振周波数に一致した交番電圧を印加
すれば、第2図のaおよびbに示す音叉形圧電振動子は
、それぞれB、 C,平面およびB2C2平面を屈曲振
動面として屈曲振動する。
叉形圧電振動子の共振周波数に一致した交番電圧を印加
すれば、第2図のaおよびbに示す音叉形圧電振動子は
、それぞれB、 C,平面およびB2C2平面を屈曲振
動面として屈曲振動する。
次に本発明の実施例について説明するが、結晶座標軸お
よび励振電極の配置図は、図面を複雑にするので、これ
らは図示せず、音叉形圧電振動片および保持器を中心に
した図示をもって説明する。
よび励振電極の配置図は、図面を複雑にするので、これ
らは図示せず、音叉形圧電振動片および保持器を中心に
した図示をもって説明する。
第4図は、本発明の一実施例である音叉形水晶振動子の
構造図であり、同図aがその全体図、同図すが保持器の
詳細図である。
構造図であり、同図aがその全体図、同図すが保持器の
詳細図である。
脚部1′および基部1“から成る音叉形水晶振動片1は
、基部1の両生面の相対向する面上で保持器4の挾持面
81および82によって挾持される。
、基部1の両生面の相対向する面上で保持器4の挾持面
81および82によって挾持される。
保持器4は、密封容器の底板7に固着されたガラス等の
絶縁物から成る挿通孔6、に植設された引出端子51に
半田付して固着される。
絶縁物から成る挿通孔6、に植設された引出端子51に
半田付して固着される。
ここで、脚部1′に配置された励振電極から導かれた2
端子電極のうち一方を基部1“の両生面上に相対向して
配置しておくことより、2端子電極のうち1端子を保持
器4と半田付または導電接着剤により電気接続できると
共に、音叉形水晶振動片1は保持器4で保持される。
端子電極のうち一方を基部1“の両生面上に相対向して
配置しておくことより、2端子電極のうち1端子を保持
器4と半田付または導電接着剤により電気接続できると
共に、音叉形水晶振動片1は保持器4で保持される。
また、残りの端子電極は、挿通孔62に植設された引出
端子5□にリード線を接続することより気接続される。
端子5□にリード線を接続することより気接続される。
このようにして構成された音叉形水晶振動子は、この後
密封容器のカバーを底板7にコールドウエルデング接合
(容器内は真空にする)することで組立が完了する。
密封容器のカバーを底板7にコールドウエルデング接合
(容器内は真空にする)することで組立が完了する。
以上、本発明の実施例で注目すべき構成は、音叉形水晶
振動片1の基部1“と保持器4との構成にある。
振動片1の基部1“と保持器4との構成にある。
即ち、音叉形水晶振動片1の挟持個所が基部1の両生面
の相対向する面上にあって、保持器4の挟持面81,8
□の一部分だけであると共にその挟持個所からそれぞれ
両主面と接触することなく音叉形水晶振動片1の長手方
向に延在し、基部1“の端面を囲んで合体された保持器
の構造が注目される。
の相対向する面上にあって、保持器4の挟持面81,8
□の一部分だけであると共にその挟持個所からそれぞれ
両主面と接触することなく音叉形水晶振動片1の長手方
向に延在し、基部1“の端面を囲んで合体された保持器
の構造が注目される。
ところで、第5図に示す音叉形水晶振動片1の保持器9
は、本発明の実施例に示した保持器4と一見したところ
類以じているように思われる。
は、本発明の実施例に示した保持器4と一見したところ
類以じているように思われる。
しかし、保持器9は、その詳細図である同図すに示すよ
うに挟持面10Iおよび10□と底面11が基部1″の
主面上の中央部から長手方向端部までの領域と底面1″
にわたって接触して構成されていることに注意しなけれ
ばならない。
うに挟持面10Iおよび10□と底面11が基部1″の
主面上の中央部から長手方向端部までの領域と底面1″
にわたって接触して構成されていることに注意しなけれ
ばならない。
そこで、本発明の実施例である第4図に示す音叉形水晶
振動子と第5図に示す音叉形水晶振動子について、図示
以外の点に関して条件を変えずに電気特性を比較すれば
、それらの構成の相違個所から予想をもできない程の著
しい差が現われることを説明する。
振動子と第5図に示す音叉形水晶振動子について、図示
以外の点に関して条件を変えずに電気特性を比較すれば
、それらの構成の相違個所から予想をもできない程の著
しい差が現われることを説明する。
即ち、対称1次モードである基本波振動では、両者は共
に直列共振抵抗および共振周波数の各温度特性が良好で
あるので、大差はないが、しかるに対称:2次モードで
の眼動では、下記する通り著しい差が現われる。
に直列共振抵抗および共振周波数の各温度特性が良好で
あるので、大差はないが、しかるに対称:2次モードで
の眼動では、下記する通り著しい差が現われる。
第11図および第12図は、それぞれ対称2次4モード
の共振周波数が200,000H,Zであって、保持器
として第4図および第5藺に示す保持器4および9を使
用したそれぞれの音叉形水晶振動子の直列共振抵抗温度
%性および共振周波数温度特性を示す。
の共振周波数が200,000H,Zであって、保持器
として第4図および第5藺に示す保持器4および9を使
用したそれぞれの音叉形水晶振動子の直列共振抵抗温度
%性および共振周波数温度特性を示す。
なお、第11図は、横軸が温度T(’C)縦軸が直列共
振抵抗C1,(KΩ)であり、第12図は、横軸が温度
T (℃)、縦軸が共振周波数F(Hz )である。
振抵抗C1,(KΩ)であり、第12図は、横軸が温度
T (℃)、縦軸が共振周波数F(Hz )である。
そして、各%性曲線の12および14は第4図に示す保
持器4,13および15は第5図に示す保持器5を使用
した場合の音叉形水晶振動子の直列共振抵抗温度特性お
よび共振周波数温度特性曲線図である。
持器4,13および15は第5図に示す保持器5を使用
した場合の音叉形水晶振動子の直列共振抵抗温度特性お
よび共振周波数温度特性曲線図である。
曲線12および14は、竜叉形水晶振動子の形状寸法お
よび水晶振動片の切断方位角で定まる音叉形水晶振動子
本来の%性に近い特性曲線であるが、一方、曲線13お
よび15は、それぞれ前述の曲線12および14と比較
して、共に変動量が各温度において著しく大きいのみな
らず、0℃および30℃において直列共振抵抗値が白に
Ωのケタでは測定できない程の大きな値になるため、そ
のときの共振周波数も著しく大きな変動を起こすと共に
、発振停止にまで至ってしまう。
よび水晶振動片の切断方位角で定まる音叉形水晶振動子
本来の%性に近い特性曲線であるが、一方、曲線13お
よび15は、それぞれ前述の曲線12および14と比較
して、共に変動量が各温度において著しく大きいのみな
らず、0℃および30℃において直列共振抵抗値が白に
Ωのケタでは測定できない程の大きな値になるため、そ
のときの共振周波数も著しく大きな変動を起こすと共に
、発振停止にまで至ってしまう。
また、各%性曲線の再現性においては、第4図の保持器
4を使用した音叉形水晶振動子は良好であるが、一方、
′第5図の保持器9を使用°した音叉形水晶振動子はバ
ラツキが非常に大きく分布しているため、この点でも本
発明が優秀であることを立証している。
4を使用した音叉形水晶振動子は良好であるが、一方、
′第5図の保持器9を使用°した音叉形水晶振動子はバ
ラツキが非常に大きく分布しているため、この点でも本
発明が優秀であることを立証している。
以上説明したように本発明に係る音叉形水晶振動子は、
対称1次モード(基本波振動)のみならず、対称2次モ
ードにおいても音叉形水晶振動子の電気特性を劣化する
ことなく、良好なる特性を維持することができる。
対称1次モード(基本波振動)のみならず、対称2次モ
ードにおいても音叉形水晶振動子の電気特性を劣化する
ことなく、良好なる特性を維持することができる。
また、剛衝撃試1験によれば、本発明を用いた音叉形水
晶振動子を組込んだ腕時計を1.5mの高度から木板上
に落下させても日差0.3秒以下の周波数偏差しか生じ
ないことが確認されており、保持機能についても十分満
足している。
晶振動子を組込んだ腕時計を1.5mの高度から木板上
に落下させても日差0.3秒以下の周波数偏差しか生じ
ないことが確認されており、保持機能についても十分満
足している。
小形化の点については、実施例の図示の通り説明するま
でもなく最適であるといえる。
でもなく最適であるといえる。
以上、圧電体として水晶を実施例に取りあげたが、他の
圧電体、例えばタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム
および圧電セラミック等の圧電体から成る音叉形圧電振
動子においても、本発明の作用効果が得られることは、
当業者であれば容易に理解できよう。
圧電体、例えばタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム
および圧電セラミック等の圧電体から成る音叉形圧電振
動子においても、本発明の作用効果が得られることは、
当業者であれば容易に理解できよう。
また、本発明の他の実施例として第6図、第7図および
第8図に示す音叉形圧電振動子の構造図を挙げることが
できる。
第8図に示す音叉形圧電振動子の構造図を挙げることが
できる。
第6図および第8図に示す音叉形圧電振動子は、前者が
振動片1の主面に対して垂直に保持した場合、後者が振
動片1の主面に対して平行に保持した場合であって、共
に2つの保持器4.および42を使用して基部1“の両
主面に配置された2端子電極にそれぞれ電気接続すると
同時に振動片1を保持器41および4□によって保持し
ている。
振動片1の主面に対して垂直に保持した場合、後者が振
動片1の主面に対して平行に保持した場合であって、共
に2つの保持器4.および42を使用して基部1“の両
主面に配置された2端子電極にそれぞれ電気接続すると
同時に振動片1を保持器41および4□によって保持し
ている。
第7図に示す音叉形圧電振動子は、振動片1の主面に対
して垂直に保持した場合であって、第4′図に示した構
造図と同様に保持器4を1個使用している。
して垂直に保持した場合であって、第4′図に示した構
造図と同様に保持器4を1個使用している。
このような各実施例においても、第4図すに示した保持
器4を基本構成にして使用しているので、第4図aに示
した音叉形圧電振動子と同様な作用効果が得られること
は明らかである。
器4を基本構成にして使用しているので、第4図aに示
した音叉形圧電振動子と同様な作用効果が得られること
は明らかである。
また、保持器の変形として、第9図および第10図に示
されるものが挙げられる。
されるものが挙げられる。
かくして本発明による音叉形圧電振動子は、小形化およ
び耐振、耐衝撃性に優れると共に、音叉形圧電振動子本
来の電気特性を対称1次モードのみならず対称2次モー
ドの振動においても劣化していないので、この分野にお
ける工業上の利用価値が極めて高い。
び耐振、耐衝撃性に優れると共に、音叉形圧電振動子本
来の電気特性を対称1次モードのみならず対称2次モー
ドの振動においても劣化していないので、この分野にお
ける工業上の利用価値が極めて高い。
第1図は従来の音叉形水晶振動子の構造図、第2図は音
叉形圧電振動子の基本構成を示す斜視図、第3図は第2
図に基づく構成の電極の接続図、第4図は本発明の一実
施例である音叉形圧電振動子の構造図、第5図は本発明
と比較すべき音叉形圧電振動子の構造図、第6,7およ
び8図は本発明の他の実施例である音叉形圧電振動子の
構造図、第9,10図は本発明に使用する保持器の他の
実施例である構造図、並びに第1L12図はそれぞれ本
発明の実施例と第5図に示した構造図に基づく音叉形圧
電振動子の対称2次モード振動における直列共振抵抗温
度特性曲線図および共振周波数温度特性曲線図である。 1・・・・・・音叉形圧電振動片、1“・・・・・・音
叉形圧電振動片の基部、4 、41.4□・・・・・・
保持器。
叉形圧電振動子の基本構成を示す斜視図、第3図は第2
図に基づく構成の電極の接続図、第4図は本発明の一実
施例である音叉形圧電振動子の構造図、第5図は本発明
と比較すべき音叉形圧電振動子の構造図、第6,7およ
び8図は本発明の他の実施例である音叉形圧電振動子の
構造図、第9,10図は本発明に使用する保持器の他の
実施例である構造図、並びに第1L12図はそれぞれ本
発明の実施例と第5図に示した構造図に基づく音叉形圧
電振動子の対称2次モード振動における直列共振抵抗温
度特性曲線図および共振周波数温度特性曲線図である。 1・・・・・・音叉形圧電振動片、1“・・・・・・音
叉形圧電振動片の基部、4 、41.4□・・・・・・
保持器。
Claims (1)
- 1 主面がU字形に成形された音叉形圧電振動片の基部
を保持する音叉形圧電振動子の保持器が、該基部の両主
面の相対向する面の一部分を挟持個所にし、該挟持個所
からそれぞれ該両主面と接触することなく該音叉形圧電
振動片の長手方向に延在し、かつ該基部の端面を囲んで
合体していることを特徴とする音叉形圧電振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP50110370A JPS5818806B2 (ja) | 1975-09-11 | 1975-09-11 | 音叉形圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP50110370A JPS5818806B2 (ja) | 1975-09-11 | 1975-09-11 | 音叉形圧電振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5234691A JPS5234691A (en) | 1977-03-16 |
JPS5818806B2 true JPS5818806B2 (ja) | 1983-04-14 |
Family
ID=14534062
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP50110370A Expired JPS5818806B2 (ja) | 1975-09-11 | 1975-09-11 | 音叉形圧電振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5818806B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61168835U (ja) * | 1985-04-10 | 1986-10-20 | ||
JPS62110071U (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-14 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008076222A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Fujitsu Ltd | 音叉型振動ジャイロセンサ |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4852472U (ja) * | 1971-10-21 | 1973-07-07 | ||
JPS5241805Y2 (ja) * | 1973-04-09 | 1977-09-21 |
-
1975
- 1975-09-11 JP JP50110370A patent/JPS5818806B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61168835U (ja) * | 1985-04-10 | 1986-10-20 | ||
JPS62110071U (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-14 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5234691A (en) | 1977-03-16 |
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