JPS58185146A - レ−ザ−加工装置 - Google Patents
レ−ザ−加工装置Info
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- JPS58185146A JPS58185146A JP57070065A JP7006582A JPS58185146A JP S58185146 A JPS58185146 A JP S58185146A JP 57070065 A JP57070065 A JP 57070065A JP 7006582 A JP7006582 A JP 7006582A JP S58185146 A JPS58185146 A JP S58185146A
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
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Landscapes
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Laser Surgery Devices (AREA)
- Radiation-Therapy Devices (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は人体の治療や工場における物の加工等に利用さ
れるレーザー加工装置に関するものである。
れるレーザー加工装置に関するものである。
近年、生体組成の蒸散や切開にはCO2レーザー等の赤
外レーザー光を利用したレーザーメス装置が実用化され
ている。
外レーザー光を利用したレーザーメス装置が実用化され
ている。
しかしながら従来はこのような装置の赤外レーザー光を
通す適当な光ファイバーが開発されていなかったため、
複数個の鏡から構成されたミラー関節型の導光路装置を
用い、との導光路装置にょ3べ一゛ り前記赤外レーザー光を手術部位に導びくようにしてい
た。しかし、このミラー関節型の導光路装置は操作性や
保守性等の面で問題を有していたため、赤外レーザー用
光ファイバーの積極的開発が試みられていた。その結果
、近年になり、たとえばKRI−5等の7・ロゲン化物
を材料とした光ファイバーにより赤外レーザー光を導く
ことが徐々に実用化されつつあることも事実である。
通す適当な光ファイバーが開発されていなかったため、
複数個の鏡から構成されたミラー関節型の導光路装置を
用い、との導光路装置にょ3べ一゛ り前記赤外レーザー光を手術部位に導びくようにしてい
た。しかし、このミラー関節型の導光路装置は操作性や
保守性等の面で問題を有していたため、赤外レーザー用
光ファイバーの積極的開発が試みられていた。その結果
、近年になり、たとえばKRI−5等の7・ロゲン化物
を材料とした光ファイバーにより赤外レーザー光を導く
ことが徐々に実用化されつつあることも事実である。
さて前述したような、一般的に使用されているミラー関
節型の導光路装置により導びかれた赤外レーザー光は、
出射端で集光レンズにより絞られた後1手術部位に照射
される。しかし赤外レーザー光は不可視光なので術者は
集光点を直接見ることができないため、その集光点を見
ることができるように集光点の位置を他の可視光、たと
えばHe−Ne レーサー等により表示する必要がある
。そしてミラー関節型導光路装置においては赤外レーザ
ー光等の作業に用いられるレーザ光(以下1作業光と称
する)と、その作業光をガイドして作業光の集光点を示
す可視光(以下、ガイド光と称する)とを一致させるこ
とは構造上比較的容易に行なうことができる。
節型の導光路装置により導びかれた赤外レーザー光は、
出射端で集光レンズにより絞られた後1手術部位に照射
される。しかし赤外レーザー光は不可視光なので術者は
集光点を直接見ることができないため、その集光点を見
ることができるように集光点の位置を他の可視光、たと
えばHe−Ne レーサー等により表示する必要がある
。そしてミラー関節型導光路装置においては赤外レーザ
ー光等の作業に用いられるレーザ光(以下1作業光と称
する)と、その作業光をガイドして作業光の集光点を示
す可視光(以下、ガイド光と称する)とを一致させるこ
とは構造上比較的容易に行なうことができる。
しかし前述したような光ファイバーを用いた導光路の場
合はCO2ガスレーザー等の作業光とHe−Noレーザ
ー等のガイド光を同時に通すことができる材料はまだ開
発されそいない。そのため作業光を導び〈光ファイバー
とは別に可視光を導び〈光ファイバーを設ける必要があ
るが、その際には以下に述べる2点の問題がある。
合はCO2ガスレーザー等の作業光とHe−Noレーザ
ー等のガイド光を同時に通すことができる材料はまだ開
発されそいない。そのため作業光を導び〈光ファイバー
とは別に可視光を導び〈光ファイバーを設ける必要があ
るが、その際には以下に述べる2点の問題がある。
第1点として例えばCO2ガスレーザー光の波長は1o
、6μmであるのに対し、He−Neレーザー光の波長
は0.6μmであり1桁も波長が短いためレンズの屈折
率が異なり、焦点距離が異なる。しだがってもし作業光
とガイド光のファイバー出射端を揃え、再光を単レンズ
で集光するように構成すると、ガイド光の集光結像点が
赤外光の集光結像点よりもレンズ側寄りに位置してしま
う。そこで、この欠点を防止するためにはガイド光用光
ファイバーの出射端を赤外光用光ファイバーの出射端よ
りも突出するように構成すればよいわけだが。
、6μmであるのに対し、He−Neレーザー光の波長
は0.6μmであり1桁も波長が短いためレンズの屈折
率が異なり、焦点距離が異なる。しだがってもし作業光
とガイド光のファイバー出射端を揃え、再光を単レンズ
で集光するように構成すると、ガイド光の集光結像点が
赤外光の集光結像点よりもレンズ側寄りに位置してしま
う。そこで、この欠点を防止するためにはガイド光用光
ファイバーの出射端を赤外光用光ファイバーの出射端よ
りも突出するように構成すればよいわけだが。
5ペー二゛
このような構成にすると作業用光フアイバー出射端から
送出された赤外光によりガイド用光ファイバーの出射端
が焼損してしまうという欠点を有する。
送出された赤外光によりガイド用光ファイバーの出射端
が焼損してしまうという欠点を有する。
捷だ第2点として作業光とガイド光の光フアイバー出射
端を単に並設しだのでは、出射位置が同一でないために
レンズでの結像位置が互いに離れてし一4r、正確に集
光点すなわち作業点を表示することができない。
端を単に並設しだのでは、出射位置が同一でないために
レンズでの結像位置が互いに離れてし一4r、正確に集
光点すなわち作業点を表示することができない。
本発明は上記欠点に鑑み、複数のガイド光用光ファイバ
ーを作業光用光ファイバーの外周に設けるとともに、第
1.第2の凸レンズを介して作業光の焦点にガイド光の
焦点を正確に一致させることができるレーザー加工装置
を提供するものである。
ーを作業光用光ファイバーの外周に設けるとともに、第
1.第2の凸レンズを介して作業光の焦点にガイド光の
焦点を正確に一致させることができるレーザー加工装置
を提供するものである。
以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
第1図は本発明の一実施例におけるレーザー加工装置の
外観斜視図である。同図において、1はたとえばC02
レーザー光線とHe−Neレーザー先光6ベー ンとの照射制御を行なうレーザー装置本体、2は支柱3
に支持され後述するC02ガスレーザー元線およびHe
−Neレーザー光線を発生する発振管が組み込まれてい
るハウジング部、4はレーザー装置本体゛1からの制御
命令をハウジング部2に伝送する命令伝送路である。6
は後述するようにKftS−6を材料とする作業光用光
ファイバーと、石英を材料とするガイド光用ファイバー
とを内部に設けさらにその外部を保護用可撓管により被
覆しである光フアイバーケーブルで、ファイバーコネク
ター6を介して−・ウジング部2に接続されている。乙
は光フアイバーケーブル5を介してハウジング部2より
送出されたCO2ガスレーザー光線オj ヒHe −N
eレーザー光線とを集光するレンズがそれぞれ後述する
ように設けられているハンドピース部で、作業者が手に
持って作業を行なう。
外観斜視図である。同図において、1はたとえばC02
レーザー光線とHe−Neレーザー先光6ベー ンとの照射制御を行なうレーザー装置本体、2は支柱3
に支持され後述するC02ガスレーザー元線およびHe
−Neレーザー光線を発生する発振管が組み込まれてい
るハウジング部、4はレーザー装置本体゛1からの制御
命令をハウジング部2に伝送する命令伝送路である。6
は後述するようにKftS−6を材料とする作業光用光
ファイバーと、石英を材料とするガイド光用ファイバー
とを内部に設けさらにその外部を保護用可撓管により被
覆しである光フアイバーケーブルで、ファイバーコネク
ター6を介して−・ウジング部2に接続されている。乙
は光フアイバーケーブル5を介してハウジング部2より
送出されたCO2ガスレーザー光線オj ヒHe −N
eレーザー光線とを集光するレンズがそれぞれ後述する
ように設けられているハンドピース部で、作業者が手に
持って作業を行なう。
以下、第2図を用いハウジング部2、ファイバーケーブ
ル5.ファイバーコネクタ6およびハンドピース部7の
関係をさらに詳細に説明する。
ル5.ファイバーコネクタ6およびハンドピース部7の
関係をさらに詳細に説明する。
同図において、2aはハウジング部2内部に設77・−
2−・ けられたCO2ガスレーザー光線の発振管、2bは同様
にハウジング部2内部に設けられたHe −Neガスレ
ーザー光線の発振管、2Cおよび2dはノ・ウジング部
2内部に設けられた鏡、2eおよび2f[ハウジング部
2内部に設けられたZnS eを材料とする凸レンズ、
6aはKH2−5を材料とする光フアイバ−ケーブル6
内部に設けられた作業光用光ファイバーである。6bは
メタクリルを材料とする細い複数のファイバーを束とし
たガイド光用光ファイバーで、その出射端近傍では作業
光用光ファイバー5aを覆うようにして設けられている
。7aldハンドピ一ス部7に設けられた集光用凸レン
ズ、7bは同様にハンドピース部7に設けられた補正用
凸レンズである。
2−・ けられたCO2ガスレーザー光線の発振管、2bは同様
にハウジング部2内部に設けられたHe −Neガスレ
ーザー光線の発振管、2Cおよび2dはノ・ウジング部
2内部に設けられた鏡、2eおよび2f[ハウジング部
2内部に設けられたZnS eを材料とする凸レンズ、
6aはKH2−5を材料とする光フアイバ−ケーブル6
内部に設けられた作業光用光ファイバーである。6bは
メタクリルを材料とする細い複数のファイバーを束とし
たガイド光用光ファイバーで、その出射端近傍では作業
光用光ファイバー5aを覆うようにして設けられている
。7aldハンドピ一ス部7に設けられた集光用凸レン
ズ、7bは同様にハンドピース部7に設けられた補正用
凸レンズである。
次に第3図および第4図を用い、ハンドピース部7にお
ける作業光用光ファイバー5aおよびガイド光月光ファ
イバー6bの構成をさらに詳細に説明する。なお、第3
図は第2図のハンドピース部7の部分拡大図、第4図は
同断面図で、第3図。
ける作業光用光ファイバー5aおよびガイド光月光ファ
イバー6bの構成をさらに詳細に説明する。なお、第3
図は第2図のハンドピース部7の部分拡大図、第4図は
同断面図で、第3図。
第4図において、8は熱収縮チューブ9により作業光用
光ファイバー68に固定されている金属パイプである。
光ファイバー68に固定されている金属パイプである。
同図から明らかなようにハンドピース部子において複数
のガイド光用光ファイバー5bは作業光用光ファイバー
6aと同軸をなすように金属パイプ8の外周に接着固定
されている。まだ作業光用光ファイバー6aの出射端は
ガイド光用光ファイバー5bよりも突出して設けられて
いる。
のガイド光用光ファイバー5bは作業光用光ファイバー
6aと同軸をなすように金属パイプ8の外周に接着固定
されている。まだ作業光用光ファイバー6aの出射端は
ガイド光用光ファイバー5bよりも突出して設けられて
いる。
上記のように構成された装置の動作について。
以下説明する。
まず作業者はレーザー装置本体1を操作し、ハウジング
部2を動作状態にする。するとハウジング部2内部の発
振管2a、2bにより波長1o、6μmの002ガスレ
ーザー光線および波長o、63μmのHe−Neレーザ
ー光線が出射される。発振管2aより出射されたC02
ガスレーザー光線は凸レンズ2eにより一旦絞られてか
ら作業光用光ファイバー6aの入射端に入射され、作業
光用光ファイバー5aを介して、作業光用光ファイバー
68の出射端から一定の拡がり角をもって出射される。
部2を動作状態にする。するとハウジング部2内部の発
振管2a、2bにより波長1o、6μmの002ガスレ
ーザー光線および波長o、63μmのHe−Neレーザ
ー光線が出射される。発振管2aより出射されたC02
ガスレーザー光線は凸レンズ2eにより一旦絞られてか
ら作業光用光ファイバー6aの入射端に入射され、作業
光用光ファイバー5aを介して、作業光用光ファイバー
68の出射端から一定の拡がり角をもって出射される。
97・−0
そして作業光用光ファイバー5aの出射端から出射され
だC02ガスレーザー光線は補正用凸レンズを介して集
光用凸レンズ7aにより焦点Pに結像される。
だC02ガスレーザー光線は補正用凸レンズを介して集
光用凸レンズ7aにより焦点Pに結像される。
一方発振管2bより出射されたHe −Heガスレーザ
ー光線は鏡2c、2dを介し凸レンズ2fにより一旦絞
られてからガイド光用光ファイバー5bの入射端に入射
され、ガイド光用光ファイバー6bを介して、ガイド光
用光ファイバー6bの出射端から一定の拡がり角をもっ
て出射される。
ー光線は鏡2c、2dを介し凸レンズ2fにより一旦絞
られてからガイド光用光ファイバー5bの入射端に入射
され、ガイド光用光ファイバー6bを介して、ガイド光
用光ファイバー6bの出射端から一定の拡がり角をもっ
て出射される。
そして作業光用光ファイバー6bの出射端から出射され
たHe −Neガスレーザー光線は補正用凸レンズ7b
により一旦集光用レンズ7aの光軸上にある焦点Qに結
像された後、集光用凸レンズ7aを介して再びCO2ガ
スレーザー光線が集光した焦点Pに結像される。また前
述したようにガイド光月光ファイバー5bは作業光用光
ファイバー6aと同軸となるように設けられていること
により。
たHe −Neガスレーザー光線は補正用凸レンズ7b
により一旦集光用レンズ7aの光軸上にある焦点Qに結
像された後、集光用凸レンズ7aを介して再びCO2ガ
スレーザー光線が集光した焦点Pに結像される。また前
述したようにガイド光月光ファイバー5bは作業光用光
ファイバー6aと同軸となるように設けられていること
により。
光軸と直角方向の結像位置も一致する。さらにガイド光
月光ファイバー5bのそれぞれの出射端は10/:、−
: 作業光用光ファイバー5aの出射端に対し環状になるよ
う配置されているためマクロ的にみてガイド用光ファイ
バー6bの出射端外径は作業光月光ファイバー6aの出
射端よりも大きいが、ガイド光の結像倍率を作業光の結
像倍率を小さく設定しておくことにより焦点Pにおける
集光像を作業光の集光像に一致させることができる。
月光ファイバー5bのそれぞれの出射端は10/:、−
: 作業光用光ファイバー5aの出射端に対し環状になるよ
う配置されているためマクロ的にみてガイド用光ファイ
バー6bの出射端外径は作業光月光ファイバー6aの出
射端よりも大きいが、ガイド光の結像倍率を作業光の結
像倍率を小さく設定しておくことにより焦点Pにおける
集光像を作業光の集光像に一致させることができる。
次に第6図を用いて、凸レンズ7a、7bと光ファイバ
ー5a、5bの出射端との位置関係について説明する。
ー5a、5bの出射端との位置関係について説明する。
第5図に艷いて、6a′は作業光用光ファイバー6aの
出射端、6b′はガイド光用光ファイバー6bの出射端
、7aはハンドピース部7に設けられた集光用凸レンズ
、7bは同様にハンドピース部7に設けられた補正用凸
レンズである。
出射端、6b′はガイド光用光ファイバー6bの出射端
、7aはハンドピース部7に設けられた集光用凸レンズ
、7bは同様にハンドピース部7に設けられた補正用凸
レンズである。
まず集光用凸しンズ了aおよび補正用凸レンズ7bの材
料をZnS eとし波長10.6μmのco2 ガス
レーザー光(作業光)に対する各レンズ7a。
料をZnS eとし波長10.6μmのco2 ガス
レーザー光(作業光)に対する各レンズ7a。
7bの焦点距離をそれぞれf+ 、 f2 とすれば
、波長0.6μmのHe−Neレーザー光(ガイド光)
に対する各レンズ7a、7bの焦点距離は約o、5sf
1゜0.5sf2とな9.焦点距離はやや短かくなる。
、波長0.6μmのHe−Neレーザー光(ガイド光)
に対する各レンズ7a、7bの焦点距離は約o、5sf
1゜0.5sf2とな9.焦点距離はやや短かくなる。
壕だ補正用凸レンズ7bのCO2ガスレーザー光に対す
る前焦点位置をFll、後焦点位置をF12とすれば、
He−Neガスレーザー光の前焦点位置および後焦点位
置はそれぞれF’N > Fj2 の点となる。また
同様に集光用凸レンズγaのC02カスレーザー光に対
する前焦点位置をF21.後焦点位置をF22とすれば
、He −Neガスレーザー光の前焦点位置および後焦
点位置はそれぞれF2+ + F22 の点となる。
る前焦点位置をFll、後焦点位置をF12とすれば、
He−Neガスレーザー光の前焦点位置および後焦点位
置はそれぞれF’N > Fj2 の点となる。また
同様に集光用凸レンズγaのC02カスレーザー光に対
する前焦点位置をF21.後焦点位置をF22とすれば
、He −Neガスレーザー光の前焦点位置および後焦
点位置はそれぞれF2+ + F22 の点となる。
そこでガイド光用光ファイバー5bの出射端tsbの実
像は補正用凸レンズ了すによりQ点に形成される。この
Q点を前焦点位置F21よりも補正用凸レンズ7b側に
なるようにすると、Q点の実像は集光用凸レンズ7aに
より実像Pとして再度形成される。すなわちガイド光用
光ファイ・り一5bの出射端6 b’から出射されたガ
イド光はP点に集光結像されることとなる。これらの位
置関係を第6図に記した長さal 、a’l 、 bl
、b: 、a2 。
像は補正用凸レンズ了すによりQ点に形成される。この
Q点を前焦点位置F21よりも補正用凸レンズ7b側に
なるようにすると、Q点の実像は集光用凸レンズ7aに
より実像Pとして再度形成される。すなわちガイド光用
光ファイ・り一5bの出射端6 b’から出射されたガ
イド光はP点に集光結像されることとなる。これらの位
置関係を第6図に記した長さal 、a’l 、 bl
、b: 、a2 。
b2を用いて示すと。
1//+1/lユ17
8、bl 荀 °゛”゛(1)17 ’ +
”b2 = ””’ ・・・・・・・・・ (
2)2 となるような関係を有している。
”b2 = ””’ ・・・・・・・・・ (
2)2 となるような関係を有している。
また作業光用光ファイバー6aの出射端5aはFNの点
よりも補正用凸レンズ7b側に配置さねているため、補
正用凸レンズ7bにより虚像がQ点に形成される。この
虚像を集光用レンズ了aにより実像としてP点に一致さ
せるために1、.1/1 1/(b、+b1+ a2 ) b2−/f2
・”・= (3)1/a1−1/b1−1/f1
・・・・・−(4)を満足させるような位置に作業光用
光ファイバー・、・、1.:・ 5aの出射端5 ’aを設けている。すなわち先ず第1
.2式よりJ 、 bH、&’2 、 b2を決定し、
第3式よりblを決め、第4式よりalを決めればよい
。
よりも補正用凸レンズ7b側に配置さねているため、補
正用凸レンズ7bにより虚像がQ点に形成される。この
虚像を集光用レンズ了aにより実像としてP点に一致さ
せるために1、.1/1 1/(b、+b1+ a2 ) b2−/f2
・”・= (3)1/a1−1/b1−1/f1
・・・・・−(4)を満足させるような位置に作業光用
光ファイバー・、・、1.:・ 5aの出射端5 ’aを設けている。すなわち先ず第1
.2式よりJ 、 bH、&’2 、 b2を決定し、
第3式よりblを決め、第4式よりalを決めればよい
。
13、−・ 7
またガイド光の倍率(g+ / ”+ ) X (b2
/412 ) と、作業光の倍率(bI/ al)
X (b2/ (b1+b’、 十a; ) )とにそ
れぞれの7.イバーの出射端の外径を掛算し、お互いの
値が等しくなるようにパラメータを定めることにより、
ガイド光および作業光の像の大きさを等しくすることが
できる。
/412 ) と、作業光の倍率(bI/ al)
X (b2/ (b1+b’、 十a; ) )とにそ
れぞれの7.イバーの出射端の外径を掛算し、お互いの
値が等しくなるようにパラメータを定めることにより、
ガイド光および作業光の像の大きさを等しくすることが
できる。
以」二のように本実施例によれば、作業光用光ファイバ
ー6aの外周に複数のガイド光用ファイバーsbを設け
るとともに、各光ファイバーの出射端5a、5bを補正
用レンズ7bの位置に対して考慮して設置することによ
り、ガイド光および作業光の最終集光結像の点Pに一致
させることができ、またガイド光および作業光の像の大
きさを一致させることができ、さらに光ファイバー6a
の外周に複数のガイド光用光ファイバー5bを接着し一
体的に設けていることにより、各党ファイバー5a、6
bをハンドピース部7にそれぞれ固定する必要がなく、
調整が容易となる。壕だガイド光用光ファイバー5bは
作業光用光ファイバー5aよりも十分に細い光ファイバ
ーを用いている14べ一〕・ コトニより、光フアイバーケーブル6は最終的に可撓性
のよいものとなる。
ー6aの外周に複数のガイド光用ファイバーsbを設け
るとともに、各光ファイバーの出射端5a、5bを補正
用レンズ7bの位置に対して考慮して設置することによ
り、ガイド光および作業光の最終集光結像の点Pに一致
させることができ、またガイド光および作業光の像の大
きさを一致させることができ、さらに光ファイバー6a
の外周に複数のガイド光用光ファイバー5bを接着し一
体的に設けていることにより、各党ファイバー5a、6
bをハンドピース部7にそれぞれ固定する必要がなく、
調整が容易となる。壕だガイド光用光ファイバー5bは
作業光用光ファイバー5aよりも十分に細い光ファイバ
ーを用いている14べ一〕・ コトニより、光フアイバーケーブル6は最終的に可撓性
のよいものとなる。
なお第3図に示すように作業光用光ファイバー6aの出
射端5aはガイド光用光ファイバー6bの出射端6b’
よりも突出させたが、作業光用光ファイバー5aの出射
端5 a’は第5図に示すF+を点とF1′1点との間
に位置させても作業光およびガイド光の結像点を一致さ
せることができることにより、両党ファイバーの出射端
6g、6≦の端面を一致させてFN点と21(点との間
に位置させてもよい。
射端5aはガイド光用光ファイバー6bの出射端6b’
よりも突出させたが、作業光用光ファイバー5aの出射
端5 a’は第5図に示すF+を点とF1′1点との間
に位置させても作業光およびガイド光の結像点を一致さ
せることができることにより、両党ファイバーの出射端
6g、6≦の端面を一致させてFN点と21(点との間
に位置させてもよい。
以上のように本発明は作業光用光ファイバーよりも細い
複数のガイド光用光ファイバーを前記作業光用光ファイ
バ〜の出射端と同軸になるように前記作業光用光ファイ
バーの外周に設けるとともに、前記作業光用光ファイバ
ーの出射端を第1の凸レンズの前焦点位置後方となるよ
うに配置し、前記第1の凸レンズにより形成される前記
作業光用光ファイバーの出射端の虚像を第2の凸レンズ
により実像として結像さぜ、丑たガイド光用光)15 アイバーの出射端を第1の凸レンズのfjill焦点位
置前方となるように配置し、前記第1の凸レンズにより
形成される前記ガイド光用光ファイバーの出射端の実像
を第2の凸レンズにより前記作業光用光ファイバーの出
射端の結像と一致させるように構成することにより、作
業光とガイド光との集光点を正確に一致させることがで
き、その工業的価値は犬なるものがある。
複数のガイド光用光ファイバーを前記作業光用光ファイ
バ〜の出射端と同軸になるように前記作業光用光ファイ
バーの外周に設けるとともに、前記作業光用光ファイバ
ーの出射端を第1の凸レンズの前焦点位置後方となるよ
うに配置し、前記第1の凸レンズにより形成される前記
作業光用光ファイバーの出射端の虚像を第2の凸レンズ
により実像として結像さぜ、丑たガイド光用光)15 アイバーの出射端を第1の凸レンズのfjill焦点位
置前方となるように配置し、前記第1の凸レンズにより
形成される前記ガイド光用光ファイバーの出射端の実像
を第2の凸レンズにより前記作業光用光ファイバーの出
射端の結像と一致させるように構成することにより、作
業光とガイド光との集光点を正確に一致させることがで
き、その工業的価値は犬なるものがある。
第1図は本発明の一実施例におけるレーザー加工装置の
外観余1視図、第2図は同要部断面図、第3図はハンド
ピース部における光ファイバーの拡大図、第4図は同断
面図、第5図は光学系の位置関係を説明するだめの図で
ある。 2a・・・・C02ガスレーザー光線の発振管、26・
・・・・He−Neガスレーザー光線の発振管、5a、
。 ・・作業光用光ファイバー、6.b−・・・・・ガイド
光用光ファイバー、7a・・・・集光用凸レンズ、7b
・・・・・・補正用凸レンズ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図
外観余1視図、第2図は同要部断面図、第3図はハンド
ピース部における光ファイバーの拡大図、第4図は同断
面図、第5図は光学系の位置関係を説明するだめの図で
ある。 2a・・・・C02ガスレーザー光線の発振管、26・
・・・・He−Neガスレーザー光線の発振管、5a、
。 ・・作業光用光ファイバー、6.b−・・・・・ガイド
光用光ファイバー、7a・・・・集光用凸レンズ、7b
・・・・・・補正用凸レンズ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図
Claims (2)
- (1)作業を行なうだめの作業光を発生する作業光発生
源と、前記作業光発生源から送出される前記作業光を導
く作業光用光ファイバーと、前記作業光の作業点を確認
するだめのガイド光を発生するガイド光発生源と、前記
ガイド光発生源から送出される前記ガイド光を導くとと
もに。 前記作業光用光ファイバーの外周に前記作業光用光ファ
イバーと同軸となるように配設された前記作業光用光フ
ァイバーよりも細い複数のガイド光用光ファイバーと、
前記作業光用光ファイバーの出射端が前焦点位置後方と
なるように。 まだ前記ガイド光用光ファイバーの出射端が前焦点位置
前方となる位置に設置された第1の凸レンズと、前記第
1の凸レンズを介して形成される前記作業光用光ファイ
バーの出射端の虚像が実像として結像するとともに、ま
た前記第12ベー−・ の凸レンズを介して形成される前記ガイド光用光ファイ
バーの出射端の実像が前記作業光用光ファイバーの出射
端の結像点と一致するように設置された第2の凸レンズ
とを具備するレーザー加工装置。 - (2)作業光用光ファイバーの出射端をガイド光用光フ
ァイバーの出射端よりも突出されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載のレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57070065A JPS58185146A (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | レ−ザ−加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57070065A JPS58185146A (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | レ−ザ−加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58185146A true JPS58185146A (ja) | 1983-10-28 |
JPS6351700B2 JPS6351700B2 (ja) | 1988-10-14 |
Family
ID=13420756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57070065A Granted JPS58185146A (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | レ−ザ−加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58185146A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6120545A (ja) * | 1984-07-06 | 1986-01-29 | 松下電器産業株式会社 | レ−ザ−照射装置 |
JPS6120544A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-29 | 松下電器産業株式会社 | レ−ザ−照射装置 |
JPS624352U (ja) * | 1985-06-24 | 1987-01-12 | ||
JPS6250608U (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-28 | ||
JPH031881A (ja) * | 1989-05-30 | 1991-01-08 | Topcon Corp | レーザ装置 |
JPH03236002A (ja) * | 1990-02-14 | 1991-10-22 | Hisankabutsu Glass Kenkyu Kaihatsu Kk | エネルギー伝送用導光路 |
-
1982
- 1982-04-26 JP JP57070065A patent/JPS58185146A/ja active Granted
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6120544A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-29 | 松下電器産業株式会社 | レ−ザ−照射装置 |
JPS6120545A (ja) * | 1984-07-06 | 1986-01-29 | 松下電器産業株式会社 | レ−ザ−照射装置 |
JPS624352U (ja) * | 1985-06-24 | 1987-01-12 | ||
JPS6250608U (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-28 | ||
JPH031881A (ja) * | 1989-05-30 | 1991-01-08 | Topcon Corp | レーザ装置 |
JPH03236002A (ja) * | 1990-02-14 | 1991-10-22 | Hisankabutsu Glass Kenkyu Kaihatsu Kk | エネルギー伝送用導光路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6351700B2 (ja) | 1988-10-14 |
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