JPS58162045A - ウエハ−プロ−ビング用探針ユニツトの構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体素子製造工程中に於けるウニへ（１） 一プロービング用の探針ユニットに関する。

本発明の目的はウニハープロービング用探針の位置精度
を向上させることにある。

半導体素子の製造工程の中で、ウニバー上に多数形成さ
れた各素子は、ウニへ−を切断して各々分離する前に全
ての素子について機能検査が行われる。　機能検査は実
際に電機を流して素子を勤”作させる検査であるため、
素子の全ての接続端子に検査懐習を接続する必要があり
、通常は素子内に形成されている電極、又は検査専用に
特に設けた電極に針を接触させて電気的な接続を行なっ
ている。

以下、図面によって本発明の詳細な説明を行なう。

第１Ｉａ及び第２図は従来使用されているウェハーブロ
ービング用揮針ユニットの一例を示すものである。　第
１図は探針ユニットを上から見た図を示し、第２＠ばこ
れを矢印５及び６で示す断面で、切断した断面図を示す
。　この例では図中の１．２．３で示すのがそれぞれ電
極に接続するた（２） めの探針で、第２図ではこれはそれぞれ１１，１２，１
３に相当する。　又、図中には番号を示してないが、こ
の例では探針は１４本あることは明らかである。　４及
び１４で示すリングは採針の保持部材で、電気的な絶縁
物で作られている。

通常この種の探針ユニットは必要な数だけの探針をあら
かじめ半導体素子の接続用電極の位置に合せた治工具の
中に並べ、その後４又は１４で示す保持部材を流し込ん
で形成する。　保持部材は種々の樹脂で作られるのが通
常であるから、これは流し込んで形成することが可能な
わけである。

しかしこの様にして作られた探針ユニットは、後日保持
部材に使用している４Ｉｌ脂等の変形で探針先端の位置
に狂いが生じやすく、このため半導体素子の方に用意さ
れる接続用電極は成る程度の大きさを必要とする。　本
発明はこの様な探針ユニットに於ける探針先端の位置精
度を向上することを目的とした探針ユニットの構造に関
するものである。

第３図、第４図は本発明に係る深針ユニットの（３） 一例を示したものである。　図に於いて２４又は３４で
示す板は、例えば石英板を使用する。　又２１．２２．
２３で示す部材はそれぞれ探針であり、この部分も２４
で示す板と同一の材料でできている。　即ちこの場合に
於いては平板状の石英板から写真蝕刻法によって探針部
の形状を全部作り出す。　この例でも探針の数は１４本
である。

第３図に於いて２７，２８，２９，３０で示した部分は
写真蝕刻法によって探針ユニットを形成しｔコ時同時に
抜き去られた部分である。　餉４図は第３図に示す例を
矢印２５．２６で示す線で切断した図である。　図に於
いて８４は石英板で、探針ユニット全体がこの石英板で
作られる。従って探針に必要な弾性は石英板から形成さ
れた探針の舌片状の部分である。　第５図はこの嫌にし
て作られた探針ユニットの探針の先端部の拡大図である
。　図に於いて４１は石英板から写真蝕刻法で作られた
探針舌片部の先端付近で、４２は半導体素子の電極に実
際に接触するための針、４３は針からの電気信号を外部
に取り出すための引出し線（４） である。　この引出し線の延長先は例えば第３図の２１
０に示す部分で、ここから実際の検装置に接続する。　
又、４３で示す引出し線も写真蝕刻法によって形成する
ことができる。　４２で示す金属性の針は４１で示す石
英製の舌片部にあけられｔ二人（この穴も石英板の写真
蝕刻法で外形々状と同時にあけられる。）に挿入され、
導電性の接着剤で固定される。

以上が本発明に係るウニへ−ブロービング用揮針ユニッ
トの構造に関する説明であるが、本発明に係る探針ユニ
ットは全ての形状を写真蝕刻法で同時に形成するため、
探針部の位置精度を極めて高く保つことができる。′又
、採針に要求される弾性は石英板等を使用するなめ非常
に安定している。　更に採針部は平坦な石英板であるた
め上下方向には弾性があるが、水平方向の変位力に対し
ては極めて強い抵抗を示す。　石英板は長期の安定性に
対しては極めて良好な性質を示す。　以上本発明に係る
探針−Ｌ−ットの効果（こついて述べたが、探針ヱニッ
トを形成するための材料は石英板（Ｓ） 息外にも各種の絶縁性材料が使用可能である（例えば水
晶、ガラス等）。　特に水晶等を使った場合には写真蝕
刻で厚み方向だけ選択的に蝕刻を迩ませて探針ユニット
の形状製作を有利にする等の利点を有する。

ここに説明した例では探針の先端に付ける針は接着で固
定しているが、この部分は例えば電気鋳造法又は化学的
鋳造法等によって針に相当するものを自己形成すること
も可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来使用されているウニへ〜ブロービング用の
探針ユニットを上から見た図であり、第２図は第１図に
示す採針ユニットの断画図、第３図は本５ｍ＠に係る探
針ユニットを上から見た図、第４図は第３図に示す採針
ユニットの斬面図、第５図は第３図に示す採針ユニット
の探針部分の拡大図である。 特許出願人　株式会社チルメック （６） 鵠１　＋ｆｌ 第２１η ′ｌ！Ｊ３面 ４

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　電気的絶縁物よゆ成る薄板の中央部に穴を有し、前
   記穴の周辺に多数のリード状凸起を形成し、更に前記凸
   起の先端に電気的良導体より成る接触子を設けたウニへ
   −ブロービング用の探針ユニット。 ２、特許請求の範囲ｌに示す薄板及びリード状凸起は同
   一の素材からの加工によって形成されていることを特徴
   とするもの。 ３　特許請求の範囲ｌに示す薄板及びリード状凸起は、
   ガラス板１石英、又は水晶で作られていることを特徴と
   するもの。 れているもの。