JPS58158027A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はプラスチックフィルム上に蒸着、イオンプレー
テング、スパッタリング等によって磁性薄膜を形成して
なる磁気記録媒体の製造方法に関し、特にスキュー特性
が改良されると共に外観形状の改良された金属薄膜型磁
気記録媒体の製造方法に関する。

従来より磁気記録媒体としては、非磁性基体上にｒ−Ｆ
ｅ２０３、ＣＯをドープした１　−Ｆ　ｅ　ｚ　Ｏｓ　
ｓｐｅ　、０４、ＣＯをドープしたＦｅ、０．、ｒ−Ｆ
ｅ２０ｇとＦｅ、Ｏ，のベルトライド化合物、ＣＯをド
ープし九ベルトライド化合物、ＣｒＯ２等の酸化物磁性
粉末あるいはｐｅ％Ｃｏ、Ｎｉ等を主成分とする合金磁
性粉末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共重
合体、スチレン−シタジエン共重合体、エポキシ樹脂、
ポリウレタン樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ、
塗布、乾燥させる塗布型のものが広く使用されてきてい
る。

近年高密度磁気記鎌への要求の高まりと共に、真空蒸着
、スパッタリング、イオンプレーテング、メッキ等の方
法により形成される強磁性金属薄膜はバインダーを使用
しない、いわゆる非バインダー型の磁気記録媒体として
注目を浴びており実用化への努力が種々性なわれている
。

ところで、ポリエステルフィルム等のプラスチックフィ
ルム上に強磁性金属薄膜を設けてなる磁気記録媒体はよ
り高密度記鍮化を目的としている丸め、磁気記録媒体の
寸法変化に起因するスキニーについてはより厳しい要求
が峰せられる。しかしながら、従来非バインダー型磁気
記録媒体におけるスキューの改良は不十分で実用化の上
では問題であった。

一方、ポリエステルフィルム等のプラスチックフィルム
上に金属薄膜を設けた場合に、彎曲変形が生じてしまい
磁気記録装置内での磁気記録媒体の走行不良や磁気ヘッ
ドとの接触不均一の原因となる事が知られている。この
ような彎曲変形（いわゆる、カーリング）を除去する方
法としては、特公昭ｊｊ−／２４ｔλθ号に開示されて
いるように熱処理を施すことが行なわれている。しかし
ながら、ペーパーデポジション法あるいはメッキ法によ
り強磁性金属薄膜を形成してなる磁気記録媒体の場合、
単に特公昭Ｊ！−／Ｊ弘２０号にのっとった熱処理では
スキューの改良は達成されない。

本発明者等は非バインダー型磁気記録媒体に関し鋭意研
究の結果、スキュー特性が改良されると同時にカーリン
グの除去も行なわれる製造方法を見出したもので、非バ
インダー型磁気記録媒体の実用化上効果、は大きい。

すなわち、本発明はポリエステルフィルム上にペーパー
デポジション法あるいはメッキ法により００１／ｍｍ”
以下で走行させつつ該フィルムに７０〜コｏｏ”ｃの加
熱体をＯ１１秒〜３０秒間接触せしめる事を特徴とする
磁気記録媒体の製法である。

本発明において張力は磁性薄膜、必要によっては保護層
、下地層、パック層の設けられ九ポリエステルフィルム
の断面積に加えられる力として定義される。張力として
はスキュー特性の改良の達成の丸めに４’　００　ｆ　
７１８　Ｍｌ　”以下が望ましい。張力の最小限界に関
してはフィルムの搬送上のハンドリング特性の問題から
のみ規定される。フィルムに接触される加熱体の温度は
スキューの改良およびカール除去効果の点から７０”Ｃ
以上で、フィルムの熱変形の問題から２００　＠（：：
以下が選択される。フィルムの加熱体への接触時間はカ
ール除去効果の点からｏ、ｉ秒以上、フィルムの熱変形
の問題から３０秒以下が望ましいものである。

第１図は本発明を実施するための装置の一例を図式的に
示している。磁気記録層としてイーパーデポジシ目ン法
あるいはメッキ法により形成された磁性薄膜を有する磁
気テープ原板は送出し部ｌよりガイドローラー２を経て
熱ドラムＪへと案内される。熱ドラム３の表面Ｊｌはあ
る一定温ｆＫ保たれるようになっておシ、ドラム面に接
して移動するフィルムダに熱処理を施す。熱ドラム３を
経た後フィルムダはガイドローラー！を経て巻取り部１
にて巻取られる。必要に応じて熱ドラムＪへ入る前や巻
取り部乙に入る前にエキスパンダーローラーを配設して
も良い。熱ドラム面Ｊ／とはフィルムダの磁性薄膜側面
あるいはフィルムダの磁性薄膜の設けられていないパッ
ク面のいずれを接触させてもよいが、保護処理の未処理
の場合等には特に磁性薄膜に熱ドラムとの接触により傷
等の発生するのを防ぐためにパック面を接触させるのが
望ましい。フィルムダとドラム面Ｊ／との接触時間はフ
ィルムダの搬送速度、フィルム参〇熱ドラムＪへのラッ
プ角によって調整される。

本発明においてペーパーデポジション法とは気体あるい
は真空空間において析出させようとする物質又は化合物
を蒸気あるいはイオン化した蒸気としてから、気相状態
から固相状態へと基体上に薄膜として析出させる方法を
指し、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーテ
ング法、イオンビームデポジシ薦ン法、化学気相メッキ
（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　　ｖａｐｏｒ　］）ｅｐｏｓｉｔ
ｌｏｎ）法等がこれに相当する。ｔＩｔ、、、メッキ法
とは電気メツキ法あるいは無電解メッキ法等の液相より
基体上に物質を薄膜として析出する方法を言う、さらに
、本発明において磁気記録層となるべき強磁性金属薄膜
としては鉄、コバルト、ニッケル、その他の強磁性金属
あるいはｐｅ−Ｃｏ　、Ｆｅ−Ｎｉ　＊Ｃｏ−Ｎｉ　、
ｐｅ−Ｃｏ−Ｎｉ　、ｐｅ　−８１。

ｐｅ　−Ｒｈ　、Ｃｏ−Ｐ　、Ｃｏ　−Ｂ　、Ｃｏ−８
１。

Ｃｏ−ＶｅＣＯ−Ｙ　、Ｃｏ−Ｌａ　、Ｃｏ−Ｃｅ　。

Ｃｏ−Ｐｒ　、Ｃｏ−８ｍ、Ｃｏ−Ｐｔ　、Ｃｏ−Ｍｌ
ｌ　、Ｇｏ−Ｍｇ　、Ｃｏ−Ｎｉ　−Ｐ　、Ｃｏ−Ｎｉ
−０，Ｇｏ−Ｎｉ　−Ｂ　、Ｃｏ−Ｎｉ−Ａｇ、Ｃ。

−Ｎｉ−Ｃｕ　、Ｃｏ−Ｃｒ　、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ　。

Ｃｏ−Ｎｉ−７，ｎ、Ｃｏ−Ｎｉ　＝Ｚｒ、Ｃｏ−Ｎ１
−Ｗ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｂ・　、Ｃｏ−Ｎｉ　−Ｒｅ等の強
磁性合金をペーパーデポジシＷノ法あるいはメッキ法に
よってポリエステルフィルムの上に薄膜状に形成せしめ
たもので、その膜厚は磁気記録媒体として使用する場合
０．０２μｍ−ｔμｍの範囲であり特に０．０！μｆＮ
−７μｍが好ましい。

コレラのベーノペーデポジション法あるいはメッキ法に
よる形成法については、例えばり。

）１ｏ１１ａｎｄ着“Ｖａｃｕｕｍ　Ｄｅｐｏａ目ｉｏ
ｎ　ｏｆＴｈｉｎ　ｐ目ｍＳ″（Ｃｈａｐｍａｏ　＆　
１（ａｌｌＩ、ｔｄ、、７り１４　）；Ｌ、Ｉ　、Ｍａ
ｉｓｓｅｌ　　＆Ｒ，Ｑｌａｎｇ共編“Ｈａｎｄｂｏｏ
ｋ　　ｏｆ　Ｔｈｌｎｐｉｌｍ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
”　（Ｍｅ　Ｇｒ　ｍｗ−Ｈｉｌ　１ＣＯ０ｌり７ｏ　
）ＨＷ、Ｇｏｌｄｉｅ着“　Ｍｅｔａｌｌｉｃ　　　Ｃ
ｏａ　目　ｎｇ　　　ｏｆ　　　ｐｌａｓｔｉｃｍ　　
”（Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ　　　ｐｕｂ　目
ｃａｔｔｏｎｓ。

ｌり４１）ＨＦ、Ａ、Ｌｏｗｅｎｈｅｉｍｉｉ“Ｍｏｄ
ｅｒｎ　。

Ｅｌｅｃｔｒｏｐｌａｔｉｎｇ　”　（Ｊｏｈｎ　ＷＨ
ａｙ＆８ｏｎｓ、Ｉｎｃ、、ｔり７ダ）に記載されてい
る。

が本発明はこれに限定されるものではない。

実施例　１゜ １１μｍ厚、幅ｒｏｏｍｍのポリエチレンテレフタレー
トフィルム上にコバルト磁性膜を厚さが０．１２μｍと
なるよう斜方蒸着法によって形成させて磁気テープ原板
とじ九。蒸発源としては電子ビーム蒸発源を使用し、こ
れにタタ、りＪ′−の純度のコバルトをチャージし、真
空度ｊ　Ｘ　／　Ｏ−”’ｌ’ｏｒｒ中にて入射角７０
０〜ｔｏ　６の範囲で蒸気流がフィルム面上に入射する
よう斜方蒸着を行なった。次に第７図に示す装置を用い
て種々の条件により熱処理を行なった後、磁気テープ原
板を１７２インチ幅にスリットして磁気テープとした。

コ秒間の熱処理の場合磁気テープのスキューを次のよう
に測定したところ下の表のような結果が得らｔｔり。Ｖ
Ｈ８ｇ■’ｌ’几１１Ｃｒ＃！　’０　７０％相対湿度
の下で録画した後磁気テープを７０’Ｃ、ドライの下で
４Ｉｔ時間保存しる。しがる後、コ！″Ｃ１７０−相対
湿度の下でテープを再生しスキューを測定する。

熱ドラムの表　熱処理時の張　スキュー　　テープの面
温度（’Ｃ）　　力（ｆ／広−）　（μ５ｅｃ）　　カ
ール状態１００　　　　Ｊ”　　　磁性膜面 コ１０　　　７４　　　　側に大暑 ！　０ ≠□０　　　１１　　　　なカー“ ｊｔｏｏ　　　　　　　４ｊ １００　　　　　　　　　ｊ コｔｏ　　　　ｉｏ　　　　実用上 　０ １１００　　　　／４Ｃ問題なし １００　　　　　　　Ｊｌ １００　　　　　　　　　ｊ コｔｏ　　　　ｔｏ　　　　実用上 ／１０ ≠００　　　　／Ｊ　　　　問題なし ！００　　　　　　　１１ １００　　　　　　　　　　参 コ！Ｏ１０実用上 ／４０ 弘００　　　　／Ｊ　　　　間聴なし １００　　　　　　　　ＪＪ さらに熱ドラムの表面温度７０　＠Ｃおよび２０００Ｃ
の場合について、熱処理時張力１００９／ｍｍ”と４Ａ
　００１　／　ｊｌｌ　Ｗｎ　”とした時に熱処理時間
を変化させて磁気テープを作製した。その結果０゜７秒
以下の熱処理時間ではカール除去は不十分であり、３０
秒以上の熱処理時間では逆カールが発生してしまい、い
ずれも実用上の許容範囲以外であつ九。

実施例　２゜ ７２μｍ厚、幅ＪＯＯｍｌｌｌのポリエチレンテレフタ
レート上に下記のようなメッキ液、メッキ条件でＣｏ−
Ｐ（Ｃｏ：り１−１Ｐ：コ一）磁性膜を０．２２ｍとな
るよう無電解メッキした。無電解メッキのための活性化
前処理の九めに、ポリエチレンテレフタレートフィルム
表面上にスパッタリングによってｐｄを平均厚み１０に
となるよう形成させた。

塩化コバルト（Ｃｏα、−ＡＨ，Ｏ）　　タ、ｊｌ／１
次亜リン酸ソーダ （ＮａＨ，ＰＯ２−Ｈ，Ｏ）　　　　ｊ、Ｊｆ／１塩化
アンモニウム　　　　　　ｔｏ、ｙｆ／１クエン酸　　
　　　　　　　　コ４．ｊｆｌ／１ホウ酸　　　　　　
　　　　　ＪＯ６りｆ／１（メッキ条件）　　ｐＨニア
、ｊ、液温ｔｏ　＠ｃこうして抗磁力ｔｏｏｏｅ、角臘
比０．７Ｊのメッキによる磁気記録層が形成された。次
に第１図に示す装置を用いて種々の条件により熱処理を
行なつ圧機、磁気テープ原板を７７２インチ幅にスリッ
トして磁気テープとした。５秒間の熱処理の場合のス鴫
−１カールの状態を実施例１と同た。

側 これから７０”Ｃ−コＯＯ＠Ｃの熱ドラムにより４’　
ＯＤ　ｆ　／　ｍ　ｍ　”以下の張力で熱処理して得ら
れた磁気テープはスキューが少ないと同時にカール状態
も実用上問題のないレベルであることが分かる。次に熱
ドラム表面温度７０°Ｃで熱処理張力が７０　ｆ　／　
ｍ　２７ｇ　”およびｕｏｏｇ、／ｐｔｍ”の場合、そ
れから熱ドラム表面温度２００°Ｃで熱処理張力が７Ｏ
ｆ７ｍｍ２およびｕｏｏｙ７ｍｍ”の場合に熱処理時間
を変化させて磁気テープを作製した。その結果、０．１
秒以下の熱処理時間ではカール除去は実用範囲に入る程
十分でなく、’Ｏ秒以上の熱処理時間では逆カールが大
となって実用上問題であることが判明した。

以上の実施例から明らかなように、ポリエステルフィル
ム上にペーパーデポザション法あるいはメッキ法によシ
磁性薄膜を形成せしめ圧機、フィルムを張力４Ａ　００
１　／　ｍｚ　　以下で走行させつつフィルム面に７０
　’〜コ００”Ｃの加熱体を０゜７−３０秒接触せしめ
て得られる磁気記録媒体はカールの除去が行われると共
にスキューにおいても改良され九磁気記録媒体である。

【図面の簡単な説明】

ｇ／図は本発明による磁気記録媒体の製造法を夾施する
ための装置の説明図である。 ｌ・・・・・・送出し部　　　　３・・・・・・熱ドラ
ム３１・・・・・・熱ドラム表面　　参・・・・・・フ
イルムト・・・・・巻取部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ポリエステルフィルム上にベー／（−デポジション法又
   はメッキ法により磁性薄膜を形成させた後、該フィルム
   をｐｏｏｙ７ｍｍ”以下の張力で走行させつつ、該フィ
   ルムに７０〜λｏｏ”ｃの加熱体を０．１〜３０秒間接
   触させることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。