JPS58143251A - 板状物体の欠陥検出方法 - Google Patents
板状物体の欠陥検出方法Info
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- JPS58143251A JPS58143251A JP2796782A JP2796782A JPS58143251A JP S58143251 A JPS58143251 A JP S58143251A JP 2796782 A JP2796782 A JP 2796782A JP 2796782 A JP2796782 A JP 2796782A JP S58143251 A JPS58143251 A JP S58143251A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/93—Detection standards; Calibrating baseline adjustment, drift correction
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、板状物体の部分的な欠落や孔などの欠陥を、
光学的に走査して検出する欠陥検出方法に関するもので
ある。
光学的に走査して検出する欠陥検出方法に関するもので
ある。
光源列と受光素子列の間に板状物体を通過させた時、も
し板状物体に部分的な欠落や孔などの欠陥があると、光
源からの光が板状物体に遮られることなく幾つかの受光
素子に当たるので、受光素子の出力信号から板状物体の
欠陥の有無を知ることができる。第１図は、この種の欠
陥検出装置の公知の原理構成を示すものである。
し板状物体に部分的な欠落や孔などの欠陥があると、光
源からの光が板状物体に遮られることなく幾つかの受光
素子に当たるので、受光素子の出力信号から板状物体の
欠陥の有無を知ることができる。第１図は、この種の欠
陥検出装置の公知の原理構成を示すものである。
第１図の装置においては、ｎ個の光源１；１〜Ｉｎから
成る光源列に対向してｎ個の受光素子２ａ〜２ｎから成
る受光素子列が設けられている。この例では、光源と受
光素子は１：１の関係でｎ個すつ設けられているが、光
源の数は受光素子とは異なっていてもよく、極端な場合
には１個でもよい。
成る光源列に対向してｎ個の受光素子２ａ〜２ｎから成
る受光素子列が設けられている。この例では、光源と受
光素子は１：１の関係でｎ個すつ設けられているが、光
源の数は受光素子とは異なっていてもよく、極端な場合
には１個でもよい。
板状の試料３は矢印の方向に進行して光源列と受光素子
列の間を、光を遮る形で通過する。受光素子２３〜２ｎ
の出力信号は信号処理装置４に人力され、欠陥検出のた
めに処理される。試料３に欠落部３ａや孔３Ｕ′１など
の欠陥が存在すると、これらの欠陥部が光源と受光素子
の間を通過する時その受光素子に光が当たるので受光素
子の出力が変化する。この変化に基づいて信号処理装置
４は欠陥を検知し、その検知結果を出力装置５に出力す
る〇信号処理装置４内に設けられる欠陥判定回路の一例
を第２図に示す。この回路は比較器５′（ｉｌ−備えて
おり、ここで受光素子２の出力信号Ｓと基準電源６によ
って発生された基準電圧Ｓｏとの比較を行う。受光素子
２の特性が例えば光の増大と共に出力信号Ｓも南天する
ようなものである場合には、比較器５は８）Ｓｏの時に
「欠陥あり］と判断して例えば” １ ”信号を出力す
る〇 しかし、このような従来の欠陥検出方式には、検出精度
が基準電圧Ｓｏの設定精度のみに依存するという欠点が
ある。すなわち、装置据付は時などの初期調整の時に、
素子の製造ばらつきや素子の置かれる環境の相違などに
よる受光素子の出力特性のばらつきに合わせて、受光素
子１個ごとに基準電圧ＳＯの調整を行ってやらなければ
ならない。
列の間を、光を遮る形で通過する。受光素子２３〜２ｎ
の出力信号は信号処理装置４に人力され、欠陥検出のた
めに処理される。試料３に欠落部３ａや孔３Ｕ′１など
の欠陥が存在すると、これらの欠陥部が光源と受光素子
の間を通過する時その受光素子に光が当たるので受光素
子の出力が変化する。この変化に基づいて信号処理装置
４は欠陥を検知し、その検知結果を出力装置５に出力す
る〇信号処理装置４内に設けられる欠陥判定回路の一例
を第２図に示す。この回路は比較器５′（ｉｌ−備えて
おり、ここで受光素子２の出力信号Ｓと基準電源６によ
って発生された基準電圧Ｓｏとの比較を行う。受光素子
２の特性が例えば光の増大と共に出力信号Ｓも南天する
ようなものである場合には、比較器５は８）Ｓｏの時に
「欠陥あり］と判断して例えば” １ ”信号を出力す
る〇 しかし、このような従来の欠陥検出方式には、検出精度
が基準電圧Ｓｏの設定精度のみに依存するという欠点が
ある。すなわち、装置据付は時などの初期調整の時に、
素子の製造ばらつきや素子の置かれる環境の相違などに
よる受光素子の出力特性のばらつきに合わせて、受光素
子１個ごとに基準電圧ＳＯの調整を行ってやらなければ
ならない。
また、経年変化によって受光素子の出力特性が変化した
場合も個々の基準電圧Ｓ（ｌの再調整が必要になってく
る。これらの欠点は、検査される板状物体が完全に不透
明なものであれば大して問題にならないかもしれないが
、半透明なものや細かい網状のもの（例えば海苔など）
では決して無視することができない。
場合も個々の基準電圧Ｓ（ｌの再調整が必要になってく
る。これらの欠点は、検査される板状物体が完全に不透
明なものであれば大して問題にならないかもしれないが
、半透明なものや細かい網状のもの（例えば海苔など）
では決して無視することができない。
本発明の目的は、上述の欠点を除去し、調整や管理が簡
単で、受光素子間の特性のばらつきなどに影響されない
高精度の欠陥検出方法を提供することにある。
単で、受光素子間の特性のばらつきなどに影響されない
高精度の欠陥検出方法を提供することにある。
この目的を達成するために本発明は、各受光素子ごとに
、受光素子の出力データＤ（１）をすべて記憶し、試料
を走査し終ったら全データの平均値すの定数倍ｋＤを計
算し、各データごとにｌ ］）（ｉｌ”ＤＩとｋＤとの
大小比較を行い、もし１つでもｌ Ｄ（ｉ） −Ｄ ｌ
＞ ｋＤとなるようなケースがあれば試料に欠陥ありと
判断するようにしたものである。
、受光素子の出力データＤ（１）をすべて記憶し、試料
を走査し終ったら全データの平均値すの定数倍ｋＤを計
算し、各データごとにｌ ］）（ｉｌ”ＤＩとｋＤとの
大小比較を行い、もし１つでもｌ Ｄ（ｉ） −Ｄ ｌ
＞ ｋＤとなるようなケースがあれば試料に欠陥ありと
判断するようにしたものである。
すなわち、以下に本発明の原理を第３図のグラフに基す
きより具体的に説明する。同図（ａ）において、許容範
囲は平均値Ｄｋ基準としたシラス−マイナスのしきい値
ｉｋｌで表わされる。いまＤ （ｉ）をＤ（２）と仮定
すれば、判定値ＩＤ（ｉ）−ＤＩ、すなわちｌ■）（２
＋−ＤＩは図におけるＡに相当する。したがって、許容
範囲である）・ツチング部のマイナス側しきい値Ｂと判
定値Ａとの比較を行なえばＡ＜Ｂとなり、判定値は許容
範囲にあり欠陥とは見なされない。次にＩ］ｉ）ｔ ”
欠陥部” Ｄ（４）と仮定すれば、判定値ＩＤ（４１−
ＤＩは図におけるＣに相当し、許容範囲である・・ツチ
ング部のプラス側しきい値Ｂ′と比較される。結果はＣ
）Ｂ’となり、判定値はしきい値を超え「欠陥あり」と
判断される。
きより具体的に説明する。同図（ａ）において、許容範
囲は平均値Ｄｋ基準としたシラス−マイナスのしきい値
ｉｋｌで表わされる。いまＤ （ｉ）をＤ（２）と仮定
すれば、判定値ＩＤ（ｉ）−ＤＩ、すなわちｌ■）（２
＋−ＤＩは図におけるＡに相当する。したがって、許容
範囲である）・ツチング部のマイナス側しきい値Ｂと判
定値Ａとの比較を行なえばＡ＜Ｂとなり、判定値は許容
範囲にあり欠陥とは見なされない。次にＩ］ｉ）ｔ ”
欠陥部” Ｄ（４）と仮定すれば、判定値ＩＤ（４１−
ＤＩは図におけるＣに相当し、許容範囲である・・ツチ
ング部のプラス側しきい値Ｂ′と比較される。結果はＣ
）Ｂ’となり、判定値はしきい値を超え「欠陥あり」と
判断される。
このように本発明は、しきい値の基準点を全データの平
均値としているため、受光量°゛大”という観点から欠
陥部とみなされたデータＤ（４）に限らず、例えば図の
Ｄ（１）がそうであるように、受光量が小さすぎるため
に欠陥部と見なすことも可能である。これは、透光性あ
るいは半透明の被測定物において、付着物等の検出全行
ないたい場合には有効である。尚、上記効果に相伴うも
のとして、しきい値の定数ｋを見逃すことはできない。
均値としているため、受光量°゛大”という観点から欠
陥部とみなされたデータＤ（４）に限らず、例えば図の
Ｄ（１）がそうであるように、受光量が小さすぎるため
に欠陥部と見なすことも可能である。これは、透光性あ
るいは半透明の被測定物において、付着物等の検出全行
ないたい場合には有効である。尚、上記効果に相伴うも
のとして、しきい値の定数ｋを見逃すことはできない。
すなわち定数には許容範囲を決定するものであり、測定
における個々の条件により、あらかじめ設定されるもの
である。この条件には、装置側の精度によるものと、被
測定物の特性によるものとがあり、前者の例として素子
を太陽電池で構成することに伴なう出力のばらつき、後
者の例として被測定物を″食用のり′″とじたことによ
る出力のばらつきがあげられる。第４図の例では、ｋ中
０．５として設定することによシ、各素子の出力のばら
つきに対応したが、このばらつきが小さい場合には、ｋ
を小さくして許容範囲の幅を狭め欠陥部の検出感度を高
めることが好ましい。
における個々の条件により、あらかじめ設定されるもの
である。この条件には、装置側の精度によるものと、被
測定物の特性によるものとがあり、前者の例として素子
を太陽電池で構成することに伴なう出力のばらつき、後
者の例として被測定物を″食用のり′″とじたことによ
る出力のばらつきがあげられる。第４図の例では、ｋ中
０．５として設定することによシ、各素子の出力のばら
つきに対応したが、このばらつきが小さい場合には、ｋ
を小さくして許容範囲の幅を狭め欠陥部の検出感度を高
めることが好ましい。
以上は、本発明が出力のばらつきに影響されないことを
説明するものであるが、本発明は素子の経年変化も考慮
したものであり、これを第３図（ｂ）に基づき説明する
。
説明するものであるが、本発明は素子の経年変化も考慮
したものであり、これを第３図（ｂ）に基づき説明する
。
すなわち、同図は第３図（ａ）に示した素子の出力が、
経年変化により、全体的に低下した一例を示すものであ
る。−上記同様、Ｄ（４）’ｅ例にとって考えると、素
子の出力低下に伴ない判定値ＩＤ（４）−ＤＩも小さく
なっていることがわかる。ここでしきい値が従来同様設
定された値であれば、出力値Ｄ（４）であられされた欠
陥は検出されないであろう。しかしながら本発明におけ
るしきい値には、全体の出力値の平均すが変数として含
まれており、素子の出力値としきい値は密接な関係を有
している０したがって、素子の出力が全体的に低下すれ
ば、しきい値もそれに伴って小さくなり、図においてハ
ツチング部で示す部分が、この場合の許容範囲に相当す
る。このため第３図（ａ）同様、Ｄ（４）は欠陥部とし
て検出されることになる。
経年変化により、全体的に低下した一例を示すものであ
る。−上記同様、Ｄ（４）’ｅ例にとって考えると、素
子の出力低下に伴ない判定値ＩＤ（４）−ＤＩも小さく
なっていることがわかる。ここでしきい値が従来同様設
定された値であれば、出力値Ｄ（４）であられされた欠
陥は検出されないであろう。しかしながら本発明におけ
るしきい値には、全体の出力値の平均すが変数として含
まれており、素子の出力値としきい値は密接な関係を有
している０したがって、素子の出力が全体的に低下すれ
ば、しきい値もそれに伴って小さくなり、図においてハ
ツチング部で示す部分が、この場合の許容範囲に相当す
る。このため第３図（ａ）同様、Ｄ（４）は欠陥部とし
て検出されることになる。
本発明は、このような原理に基づき構成されるものであ
るが、次に本発明を実施する為の装置の一例を第４図に
基づき説明する。受光素子１１は入力光に応じた出力信
号ＳｉＡ／Ｄ変換器１２に入力する。一方、周波数固定
の基準パルスの周波数を分周器１３が１に分周して、シ
ステムのタイミングパルスを発生する。すなわち分周器
１３は基準パルス９発ごとにスタート信号パルスＴを出
してシステムを基準パルス９発ごとに１動作させるＯｑ
Ｏ値を変化させることによってシステムの動作速度を調
節することができる訳であり、場合によっては分周器１
３は省略することもできる。Ａ／Ｄ変換器１２は分周器
１３からＡ Ｎ ＤゲートＩＯを介して供給されるスタ
ート信号Ｔにより始動し、変換動作が終了すると変換終
了信号ＥＯＣとデータ信号りを出力する。これらのデー
タ信号りはｍ個のレジスタ２１．２２ 、・・・に入力
され、順次記憶される。順次記憶のだめの制御は各レジ
スタに設けられているＡＮＤゲー） Ａｔ、 Ａ２．・
・・・・・によって行われる。
るが、次に本発明を実施する為の装置の一例を第４図に
基づき説明する。受光素子１１は入力光に応じた出力信
号ＳｉＡ／Ｄ変換器１２に入力する。一方、周波数固定
の基準パルスの周波数を分周器１３が１に分周して、シ
ステムのタイミングパルスを発生する。すなわち分周器
１３は基準パルス９発ごとにスタート信号パルスＴを出
してシステムを基準パルス９発ごとに１動作させるＯｑ
Ｏ値を変化させることによってシステムの動作速度を調
節することができる訳であり、場合によっては分周器１
３は省略することもできる。Ａ／Ｄ変換器１２は分周器
１３からＡ Ｎ ＤゲートＩＯを介して供給されるスタ
ート信号Ｔにより始動し、変換動作が終了すると変換終
了信号ＥＯＣとデータ信号りを出力する。これらのデー
タ信号りはｍ個のレジスタ２１．２２ 、・・・に入力
され、順次記憶される。順次記憶のだめの制御は各レジ
スタに設けられているＡＮＤゲー） Ａｔ、 Ａ２．・
・・・・・によって行われる。
分周器１３の出力パルスはカウンタ１４によって初期値
零からカウントされる。カウンタ１４の２進出力信号Ｘ
はデコーダ１５によって１〜Ｉｆｌ＋１ の制御信号
Ｙにデコードされる。ここで１番目の制御信号はカウン
タ１４の２進出力が１に等しい時のみオンすなわち°′
１″信号となる。したがって、デコーダ１５は１からｍ
＋１の順に順番にｔ＋ １ ＃信号を出力する。レジス
タ２］、２２．・・・のうち１番目のレジスタにはＡ、
ＮＤゲー） Ａ１． Ａ２．・・・・・の作用により、
変換終了信号ＥＯＣ＝１かつ１番目の制御信号−１の時
のみ、Ａ／Ｄ変換器１２によってＡ／Ｄ変換された信号
Ｓの値が書込まれる。つまり１番目にＡ／Ｄ変換された
信号ＳのデータＤ （ｉ）は１番目のレジスタに記憶さ
れ、最終的にレジスタ２１，２２．・・・にはｍ回Ａ／
Ｄ変換された信号Ｓのデータが時系列順に書込まれるこ
とになる。このｍ回の変換は受光素子１１が試料の一端
から他端まで走査したことに対応する０信号Ｓの測定’
ｚｔｎ回終了した次のタイミング、すなわちデコーダ■
５のｍ＋を出力がＩＩ Ｉ ＩＩになってＡ／Ｄ変換関
係の一連の動作は終了し、システムの動作は次の段階に
移行する。すなわち、制御信号ｍ＋１ によって加算器
１ｂが始動されると共に、Ａ、 Ｎ Ｉ’）ゲート１０
はブロックされ、カウンタ１４はホールドされる。加算
器１６はレジスタ２１．２２ 、・・・に書込まれてい
るデータＤ（ｉｌの総和を計算するＯ Ａ／Ｄ変換器１
２の変換データ金時系列順にＤ（１） 、 Ｄ（２１。
零からカウントされる。カウンタ１４の２進出力信号Ｘ
はデコーダ１５によって１〜Ｉｆｌ＋１ の制御信号
Ｙにデコードされる。ここで１番目の制御信号はカウン
タ１４の２進出力が１に等しい時のみオンすなわち°′
１″信号となる。したがって、デコーダ１５は１からｍ
＋１の順に順番にｔ＋ １ ＃信号を出力する。レジス
タ２］、２２．・・・のうち１番目のレジスタにはＡ、
ＮＤゲー） Ａ１． Ａ２．・・・・・の作用により、
変換終了信号ＥＯＣ＝１かつ１番目の制御信号−１の時
のみ、Ａ／Ｄ変換器１２によってＡ／Ｄ変換された信号
Ｓの値が書込まれる。つまり１番目にＡ／Ｄ変換された
信号ＳのデータＤ （ｉ）は１番目のレジスタに記憶さ
れ、最終的にレジスタ２１，２２．・・・にはｍ回Ａ／
Ｄ変換された信号Ｓのデータが時系列順に書込まれるこ
とになる。このｍ回の変換は受光素子１１が試料の一端
から他端まで走査したことに対応する０信号Ｓの測定’
ｚｔｎ回終了した次のタイミング、すなわちデコーダ■
５のｍ＋を出力がＩＩ Ｉ ＩＩになってＡ／Ｄ変換関
係の一連の動作は終了し、システムの動作は次の段階に
移行する。すなわち、制御信号ｍ＋１ によって加算器
１ｂが始動されると共に、Ａ、 Ｎ Ｉ’）ゲート１０
はブロックされ、カウンタ１４はホールドされる。加算
器１６はレジスタ２１．２２ 、・・・に書込まれてい
るデータＤ（ｉｌの総和を計算するＯ Ａ／Ｄ変換器１
２の変換データ金時系列順にＤ（１） 、 Ｄ（２１。
Ｄ （３１，・・・・・・Ｄ（ｍｌとすると、加算器１
６が行う演算は、ΣＤ （ｉｌである。
６が行う演算は、ΣＤ （ｉｌである。
ｉ＝１
加算器１６のこの出力ＺＤ（ｉ）は、乗算器１７によっ
て１／ｍ倍され、ここでＤ（１）についての平均値すが
求められると共に、乗算器１８によって定数’Ａｎ倍計
算が行われる。ここでｋは前述したように、個々の条件
に応じて定まるものであり、この計算結果は欠陥判定の
しきい値として用いられる。
て１／ｍ倍され、ここでＤ（１）についての平均値すが
求められると共に、乗算器１８によって定数’Ａｎ倍計
算が行われる。ここでｋは前述したように、個々の条件
に応じて定まるものであり、この計算結果は欠陥判定の
しきい値として用いられる。
一方、レジスタ２１，２２．・・・・・ の各記憶デー
タＤ（１）と上記平均値すとの差Ｄ（ｉ）−りが減算器
３１，３２．・・・によって求められ、これらの差はそ
れぞれ絶対値形成回路４１．４２．・・・・・・によっ
て絶対値ＩＤ（ｉ）−ＤＩに変換される。
タＤ（１）と上記平均値すとの差Ｄ（ｉ）−りが減算器
３１，３２．・・・によって求められ、これらの差はそ
れぞれ絶対値形成回路４１．４２．・・・・・・によっ
て絶対値ＩＤ（ｉ）−ＤＩに変換される。
乗算器１８の出力信号ｋＤと、絶対値形成回路４１゜４
２、゛・・・・・・の各出力信号ＩＩ）（ｉ）Ｄ Ｉと
の間の大小比較が比較器５１，５２．・・・・・・によ
って行われ、もしＩＤ（ｉ） −Ｄ Ｉ ＞ ｋＤであ
ればその出力信号１−３ｉが°′１″となり、ＯＲゲー
ト１９ヲ介してシステム出力として、試料の欠陥を表わ
す” １ ”信号が出力される。
２、゛・・・・・・の各出力信号ＩＩ）（ｉ）Ｄ Ｉと
の間の大小比較が比較器５１，５２．・・・・・・によ
って行われ、もしＩＤ（ｉ） −Ｄ Ｉ ＞ ｋＤであ
ればその出力信号１−３ｉが°′１″となり、ＯＲゲー
ト１９ヲ介してシステム出力として、試料の欠陥を表わ
す” １ ”信号が出力される。
なお、以上の演算はマイクロコンピュータなどによって
実行することもできる０ 以上の回路動作をまとめると次のようになる〇捷す試料
の一端から他端まで走査して受光素子１１の出力ｆｍ回
Ａ、／Ｄ変換する。その変換結果をＩ）（１） 、 Ｄ
（２） 、 −、Ｉ）Ｑｎ）−Ｄ（ｉ）とする。Ｄ（ｉ
）は試料の端から端丑での横方向の距離（幅）をＷとす
れば、Ｗ−±の位置の走査結果に相当する。データをｍ
口］ 個取り終わったら、データの平均値ｒ５−−２−ΣＤ（
１）を計算すると共に、それに定数に−ｉ乗じたものに
相当するｋＤｉ割算する。一方、各データＤ（ｉ）ごと
に１４）（ｉｔ−ＤＩを計算し、その計算結果と１り１
）との大小比軸を行い、１つでもｌ Ｄ（ｉ） −１）
ｌ ＞ ｋＤとなるようなデータＩ］ｉ）があれば、
試料に欠陥ありと判定するものである。
実行することもできる０ 以上の回路動作をまとめると次のようになる〇捷す試料
の一端から他端まで走査して受光素子１１の出力ｆｍ回
Ａ、／Ｄ変換する。その変換結果をＩ）（１） 、 Ｄ
（２） 、 −、Ｉ）Ｑｎ）−Ｄ（ｉ）とする。Ｄ（ｉ
）は試料の端から端丑での横方向の距離（幅）をＷとす
れば、Ｗ−±の位置の走査結果に相当する。データをｍ
口］ 個取り終わったら、データの平均値ｒ５−−２−ΣＤ（
１）を計算すると共に、それに定数に−ｉ乗じたものに
相当するｋＤｉ割算する。一方、各データＤ（ｉ）ごと
に１４）（ｉｔ−ＤＩを計算し、その計算結果と１り１
）との大小比軸を行い、１つでもｌ Ｄ（ｉ） −１）
ｌ ＞ ｋＤとなるようなデータＩ］ｉ）があれば、
試料に欠陥ありと判定するものである。
以上述べた本発明によｔば、データＤ（１）の平均値す
およびその定数倍ｋＤｉ欠陥判定のしきい値として用い
ることにより、受光素子のばらつきや経年変化の影響が
ｂやｋＤにすべて吸収されて検出結果には効いてこなく
なり、したがって高精度でありながら受光素イごとの煩
しい調整作業が不要になるという利点がある。
およびその定数倍ｋＤｉ欠陥判定のしきい値として用い
ることにより、受光素子のばらつきや経年変化の影響が
ｂやｋＤにすべて吸収されて検出結果には効いてこなく
なり、したがって高精度でありながら受光素イごとの煩
しい調整作業が不要になるという利点がある。
第１図は公知の欠陥検出装置の原理構成を示す配置図、
第２図は信号処理回路部分の基本構成を示すブロック図
、第３図（ａ） 、 ｉｂ）は本発明の詳細な説明する
グラフ、第４図は本発明を実施する装置の一例を示すブ
ロック図である。 ３・・・試料、１１・・・受光素子、１２・・・Ａ／Ｄ
変換器、１６・・・加算器、１７．１８・・・乗算器、
２１＋２２＋・・レジスタ、３１．３２ 、・・・減算
器、 ４１，４２．・・・絶対値形成回路、５１．５２
．・・・比較器。 特許出願人 株式会社富士電機総合研究所同
富士電機製造株式会社 」 ２６０ Ｑ ’ 婦
第２図は信号処理回路部分の基本構成を示すブロック図
、第３図（ａ） 、 ｉｂ）は本発明の詳細な説明する
グラフ、第４図は本発明を実施する装置の一例を示すブ
ロック図である。 ３・・・試料、１１・・・受光素子、１２・・・Ａ／Ｄ
変換器、１６・・・加算器、１７．１８・・・乗算器、
２１＋２２＋・・レジスタ、３１．３２ 、・・・減算
器、 ４１，４２．・・・絶対値形成回路、５１．５２
．・・・比較器。 特許出願人 株式会社富士電機総合研究所同
富士電機製造株式会社 」 ２６０ Ｑ ’ 婦
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）試料たる板状物体を光学的に走査して得られる受光
素子列の出力データから試料の欠陥を検出する欠陥検出
方法において、各受光素子ごとに、受光素子から１走査
サイクル中に順次得られたデータＤ（ｉｌ（ただし、ｉ
−１，２，・・・、ｎｌとする）を記憶し、これらの記
憶された全データの平均値すの定数１（倍に相当するｋ
Ｄを計算し、前記記憶された各データＩ’）（ｉ）ごと
に前記平均値すとの差の絶対値１１）（ｒ）−Ｔ５１
を計ｘ Ｌ、コノｌ Ｄ（＋ｌ Ｄ ｌト前記ｋＤト
ｋｉｌ［ｔ、、ｌ Ｄ （ｉ）Ｉ） ｌ ） ｌ（Ｄ
Ｋ Ｊ： ’） 前記試料に欠陥ありと判断することを
特徴とする板状物体の欠陥検出方法。 ２、特許請求の範囲第１項記載の方法において、とする
板状物体の欠陥検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2796782A JPS58143251A (ja) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | 板状物体の欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2796782A JPS58143251A (ja) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | 板状物体の欠陥検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58143251A true JPS58143251A (ja) | 1983-08-25 |
| JPH0332734B2 JPH0332734B2 (ja) | 1991-05-14 |
Family
ID=12235656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2796782A Granted JPS58143251A (ja) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | 板状物体の欠陥検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58143251A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015107795A1 (ja) * | 2014-01-20 | 2015-07-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 検査装置および計測装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50147982A (ja) * | 1974-04-30 | 1975-11-27 |
-
1982
- 1982-02-22 JP JP2796782A patent/JPS58143251A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50147982A (ja) * | 1974-04-30 | 1975-11-27 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015107795A1 (ja) * | 2014-01-20 | 2015-07-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 検査装置および計測装置 |
| JP2015135300A (ja) * | 2014-01-20 | 2015-07-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 検査装置および計測装置 |
| US9779912B2 (en) | 2014-01-20 | 2017-10-03 | Hitachi High-Technologies Corporation | Inspection device and measurement device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0332734B2 (ja) | 1991-05-14 |
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