JPS58123980U - ストツプバルブ - Google Patents
ストツプバルブInfo
- Publication number
- JPS58123980U JPS58123980U JP1995782U JP1995782U JPS58123980U JP S58123980 U JPS58123980 U JP S58123980U JP 1995782 U JP1995782 U JP 1995782U JP 1995782 U JP1995782 U JP 1995782U JP S58123980 U JPS58123980 U JP S58123980U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- vacuum chamber
- stop valve
- airtightly
- exhaust device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は、本考案の一実施例を説明するもので、本考案に
よるストップバルブの縦断面図である。 １０ａ、１０ｂ・・・穴、１１・・・弁座、１２・・・
弁箱、１３・・・シール材、１４・・・弁、１５・・・
往復動装置、１６・・・往復動軸、１７・・・弁棒、１
８・・・ベローズ。
よるストップバルブの縦断面図である。 １０ａ、１０ｂ・・・穴、１１・・・弁座、１２・・・
弁箱、１３・・・シール材、１４・・・弁、１５・・・
往復動装置、１６・・・往復動軸、１７・・・弁棒、１
８・・・ベローズ。
Claims (1)
- 真空室と、該真空室を排気する排気装置とを遮断スるス
トップバルブにおいて、前記真空室と前記排気、装置と
にそれぞれ連通ずる穴が穿設され、該穴の一方の周囲に
弁座が設けられた弁箱と、該弁箱に内設されると共！−
こ、弁座に気密に着座可能な弁と、該弁に設けられた大
気側を往復動可能な弁棒と、該弁棒を内股し弁箱と弁と
に気密に跨設されたベローズとで構成したことを特徴と
するストップバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1995782U JPS58123980U (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | ストツプバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1995782U JPS58123980U (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | ストツプバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58123980U true JPS58123980U (ja) | 1983-08-23 |
Family
ID=30032145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1995782U Pending JPS58123980U (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | ストツプバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58123980U (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0267182U (ja) * | 1988-11-10 | 1990-05-21 | ||
| JP2005016729A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Vat Holding Ag | 制御スライドバルブ |
| JP2011075017A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Ckd Corp | 真空弁 |
| JP2011133005A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Murata Mfg Co Ltd | 開閉バルブ |
| JP2013228109A (ja) * | 2013-07-31 | 2013-11-07 | Murata Mfg Co Ltd | 開閉バルブ |
-
1982
- 1982-02-17 JP JP1995782U patent/JPS58123980U/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0267182U (ja) * | 1988-11-10 | 1990-05-21 | ||
| JP2005016729A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Vat Holding Ag | 制御スライドバルブ |
| JP2011075017A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Ckd Corp | 真空弁 |
| JP2011133005A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Murata Mfg Co Ltd | 開閉バルブ |
| JP2013228109A (ja) * | 2013-07-31 | 2013-11-07 | Murata Mfg Co Ltd | 開閉バルブ |
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