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JPS58119228A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

Semiconductor integrated circuit

Info

Publication number
JPS58119228A
JPS58119228A JP57001714A JP171482A JPS58119228A JP S58119228 A JPS58119228 A JP S58119228A JP 57001714 A JP57001714 A JP 57001714A JP 171482 A JP171482 A JP 171482A JP S58119228 A JPS58119228 A JP S58119228A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
integrated circuit
trq2
mos transistor
semiconductor integrated
node
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57001714A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tsuneo Mano
真野 恒夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority to JP57001714A priority Critical patent/JPS58119228A/en
Publication of JPS58119228A publication Critical patent/JPS58119228A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K5/00Manipulating of pulses not covered by one of the other main groups of this subclass
    • H03K5/13Arrangements having a single output and transforming input signals into pulses delivered at desired time intervals
    • H03K5/135Arrangements having a single output and transforming input signals into pulses delivered at desired time intervals by the use of time reference signals, e.g. clock signals

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Pulse Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To adjust the time until a prescribed circuit operation of a semiconductor integrated circuit is completed after starting, by changing the gain constant and threshold voltage of an MOS transistor (TR) in the seiconductor integrated circuit even after manufacture. CONSTITUTION:In case of the adjusting mode, a drain of the MOS(TR)Q2 is connected to a node NH1, the source to a node NH2 and the gate to the node NH1 with a switch circuit 1, respectively. Further, a voltage difference VH larger than a power supply voltage VDD subtracted from a threshold value of the TRQ2 is applied between the drain and the source of the TRQ2, and the TRQ2 is conductive. In this case, the implantation of hot carrier to the gate oxide is caused in the TRQ2 and the characteristics of the TRQ2 is changed. The change is directed toward the reduced gain constant and the increased threshold voltage. Through this change, the discharge time constant of a capacitor C1 at the normal mode is increased and the input and output delay time is adjusted.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は何らかの所定の回路動作を行わせるためにMO
S )ランジスタを複数個搭載している半導体集積回路
において、所定の回路動作を行わせない任意の期間にあ
る特定のトランジスタに通常よりも高い電圧を印加し、
そのトランジスタの利i定数や閾値電圧を変化せしめる
ことにより所定の回路動作が開始してから完了するまで
の時間を調節することが可能な半導体集積回路に関する
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention provides an MO
S) In a semiconductor integrated circuit equipped with a plurality of transistors, applying a voltage higher than normal to a specific transistor during an arbitrary period in which a predetermined circuit operation is not performed,
The present invention relates to a semiconductor integrated circuit in which the time from the start to the completion of a predetermined circuit operation can be adjusted by changing the gain i constant and threshold voltage of the transistor.

従来の半導体集積回路の一例を第1図に示す。An example of a conventional semiconductor integrated circuit is shown in FIG.

この従来の半導体集積回路は、入力信号φ、nが人力さ
れてからある時間τを経過した時点で出力信号へ。、を
発生するという所定の回路動作を行わせるだめに4個の
MOSトランジスタQ1〜Q4トコンデンサC0を搭載
している。P、 、 P2は電圧VDD  の電源が接
続される端子1 φ、はMOS )ランジスタQ1〜Q
4とコンデンサC7で形成される回路を準備状態にする
だめのプリチャージ信号、NL、、 NL2は節点であ
る。第1図の半導体集積回路の動作としては、まずプリ
チャージ信号φ、を高電位にしてMOSトランジスタQ
1を通じてコンデンサc1の充電を行う。次に人力信号
φ1nが高電位(vDD)になるとMOSトランジスタ
Q2が導通状態となりコンデンサC□が放電して節点N
L1の電位が低下し、節点NL、の電位がMOS )ラ
ンジスタQ4の閾値電圧(以下v、h(C4)のように
表わす)以下になると出力信号φ。utが高電位(vD
D−vth(C3))になる。この間の動作波形を第2
図に示す。入力信号へ。と出力信号φ。、の時間間隔τ
は閾値電圧vth(C4)SコンデンサC1の値とMO
S トランジスタQ2の特性で決まり、MOSトランジ
スタC2の利得定数β(C2)が小さくなるか閾値電圧
vtt1(C2)が大きくなると時間τは長くなる。又
閾値電圧vth (C4)についてはその値が大きくな
る程時間τは短くなり、コンデンサC1についてはその
値が小さくなる程時間τは短くなる。さらにMOS )
ランジスタQ2のソースとドレインの間に印加される最
大電圧差をV。とするとv。−vDD−vth(Ql)
テアリ、こot電圧差節点NL、とNH2の間に与えら
れる。
This conventional semiconductor integrated circuit outputs the input signals φ and n when a certain time τ has elapsed since the input signals φ and n are input manually. In order to perform a predetermined circuit operation of generating , , four MOS transistors Q1 to Q4 and a capacitor C0 are mounted. P, , P2 are terminals 1 to which the power supply of voltage VDD is connected φ, are MOS) transistors Q1 to Q
The precharge signal, NL, NL2, which prepares the circuit formed by C4 and capacitor C7, is a node. As for the operation of the semiconductor integrated circuit shown in FIG.
1 to charge the capacitor c1. Next, when the human power signal φ1n becomes a high potential (vDD), the MOS transistor Q2 becomes conductive, and the capacitor C□ is discharged to the node N.
When the potential of L1 decreases and the potential of node NL becomes equal to or less than the threshold voltage (hereinafter expressed as v, h (C4)) of transistor Q4 (MOS transistor), output signal φ is generated. ut is at high potential (vD
D-vth(C3)). The operating waveform during this time is
As shown in the figure. to the input signal. and output signal φ. , the time interval τ
is the threshold voltage vth(C4)S value of capacitor C1 and MO
S Determined by the characteristics of the transistor Q2, the time τ becomes longer as the gain constant β (C2) of the MOS transistor C2 becomes smaller or the threshold voltage vtt1 (C2) becomes larger. As for the threshold voltage vth (C4), the larger the value, the shorter the time τ, and the smaller the value of the capacitor C1, the shorter the time τ. Furthermore, MOS)
V is the maximum voltage difference applied between the source and drain of transistor Q2. Then v. -vDD-vth(Ql)
The voltage difference is given between the nodes NL and NH2.

従来のこの種半導体集積回路ではβ(C2)l■、h(
C4)IC,の各々の値は製造時に定まりその後は変化
しない構成となっていたので、所定の回路動作を開始し
てから完了するまでの時間、即ち第1図の例ではτが一
定であり、これを製造後に調節することが出来ないとい
う欠点を持っていた。
In the conventional semiconductor integrated circuit of this type, β(C2)l■, h(
C4) Since each value of IC was determined at the time of manufacture and did not change thereafter, the time from the start to the completion of a given circuit operation, that is, τ in the example of Fig. 1, was constant. However, this had the disadvantage that it could not be adjusted after manufacturing.

本発明は上記欠点を解決するためになされたものであっ
て、半導体集積回路中の特定のMOS )う/:)スタ
の特性を変化させるため通常の回路動作が行われ、る期
間以外の任意の期間に1その特定のMOS )ランジス
タに高い電圧を印加することができるよう構成したこと
を特徴とするものである。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned drawbacks. The device is characterized in that it is configured such that a high voltage can be applied to the specific MOS transistor during the period of 1.

以下図面について詳細に説明する。The drawings will be explained in detail below.

第3図は本発明の実施例であって、1はスイッチ回路、
NH,とNH2はvvoよりも大なる電圧差vHが与え
られる2つの節点、P3とP4け電圧−の電源が接続さ
れる端子であり、その他は第1図と同様のものを示して
いる。この回路の動作としてはまず通常のモードとして
スイッチ回路lによってトランジスタQ2のドレインが
節点NL1に、ソースが節点NL2に、ゲートが入力信
号φin (D 人カサレる節点に各々接続されている
場合を考えると、この状態は第1図の従来例で述べた場
合と同様であることは明らかである。
FIG. 3 shows an embodiment of the present invention, in which 1 is a switch circuit;
NH and NH2 are two nodes to which a voltage difference vH larger than vvo is applied, and terminals P3 and P4 are connected to a power source with a voltage of -, and the other parts are the same as in FIG. As for the operation of this circuit, first consider the case where the switch circuit 1 connects the drain of the transistor Q2 to the node NL1, the source to the node NL2, and the gate to the input signal φin (D) in the normal mode. It is clear that this situation is similar to the case described in the conventional example shown in FIG.

次に本発明の特徴とする調節モードにおける動作につい
て説明する。この調節モードは前述の通常モードの期間
以外の任意の期間に集積回路中の特定のMOS)ランジ
スタ(本実施例では。2)の特性を所望の特定のものに
設定するためのものである。この調節モードではスイッ
チ回路1にょってMOSトランジスタQ のドレインが
節点NH,に、ソースが節点■2に、ゲートが節点NH
□に各々接続されており、トランジスタQ2のドレイン
とソースの間にV。よシも大なる電圧差−が印加された
状態でMOS )ランジスタQ2が導通状態になって電
流が流れている。このときMOS形のトランジスタでは
ホットキャリアのゲート酸化膜への注入(以下ホットキ
ャリア現象とする)が生じてMOSトランジスタの特性
が変化する。NチャネルMOSトランジスタの場合はキ
ャリアに相当するものはエレクトロンであり、特性変化
の方向は利得定数が小さくなる方向及び閾値電圧が大き
くなる方向である。又その変化量はソースドレイン間に
高電圧が印加されてMOS )う/ジスタが導通してい
る時間が長い程大きい。従って第3図の実施例ではスイ
ッチ回路1によって調節モードに切換えるととにより、
トランジスタQ2の利得定数β(C2)を小さくしかつ
トランジスタQ2の閾値電圧vth(C2)を大きくす
ることが可能である。即ち通常のモード、にした場合の
コンデンサC1の放電時定数を大きくする方向に変える
ことができ、入力信号φinと出力信号φ。utの時間
間隔てを調節することが出来る。
Next, the operation in the adjustment mode, which is a feature of the present invention, will be explained. This adjustment mode is for setting the characteristics of a specific MOS transistor (2 in this embodiment) in the integrated circuit to a desired specific value during any period other than the above-mentioned normal mode period. In this adjustment mode, the drain of the MOS transistor Q is connected to the node NH, the source is connected to the node 2, and the gate is connected to the node NH by the switch circuit 1.
□ and V between the drain and source of transistor Q2. When a large voltage difference is applied, the MOS transistor Q2 becomes conductive and current flows. At this time, in a MOS transistor, hot carriers are injected into the gate oxide film (hereinafter referred to as a hot carrier phenomenon), and the characteristics of the MOS transistor change. In the case of an N-channel MOS transistor, what corresponds to carriers are electrons, and the direction of change in characteristics is a direction in which the gain constant becomes smaller and a direction in which the threshold voltage becomes larger. Further, the amount of change increases as the time period during which the MOS transistor is conductive due to the high voltage applied between the source and drain increases. Therefore, in the embodiment of FIG. 3, by switching to the adjustment mode by the switch circuit 1,
It is possible to decrease the gain constant β(C2) of the transistor Q2 and increase the threshold voltage vth(C2) of the transistor Q2. That is, the discharge time constant of the capacitor C1 in the normal mode can be changed in the direction of increasing the input signal φin and the output signal φ. The time interval of ut can be adjusted.

なおホントキャリア現象の起とり易さはMOSトランジ
スタの実効チャネル長とソースドレイン間に印加する電
圧の大きさに依存する。例えば実効チャネル長1μm付
近のNチャネルMOS )う/ジスタでは、印加電圧が
5v以下では10年以上の期間に渡ってそのトランジス
タを導通状態としてもホットキャリア現象による特性の
変化は無視できる程度に小さい。一方同じMOS )ラ
ンジスタに対し印加電圧をIOV以上にすると、導通状
態が数秒続くだけで数チ以上の利得定数低下および数1
0mV以上の閾値電圧増大が起き、その状態が継続する
のが一般的である。故に第3図の実施例でvDD−5v
の場合を考えると、Vo= 5  % (Q、) < 
5Vであることから、MOSトランジスタ。2の実効チ
ャネル長を1μm程度とし閾値電圧vHをIOV近傍に
選ぶことにより製造後においても時間間隔ての調節が可
能な半導体集積回路が実現する。
Note that the ease with which the true carrier phenomenon occurs depends on the effective channel length of the MOS transistor and the magnitude of the voltage applied between the source and drain. For example, in an N-channel MOS transistor with an effective channel length of around 1 μm, changes in characteristics due to hot carrier phenomena are negligible even if the transistor is kept conductive for more than 10 years at an applied voltage of 5 V or less. . On the other hand, when the applied voltage to the same MOS transistor is increased to IOV or more, the gain constant decreases by several orders of magnitude or more even if the conduction state continues for just a few seconds.
Generally, a threshold voltage increase of 0 mV or more occurs and this state continues. Therefore, in the embodiment of Fig. 3, vDD-5v
Considering the case, Vo= 5% (Q,) <
Since it is 5V, it is a MOS transistor. By setting the effective channel length of 2 to about 1 μm and selecting the threshold voltage vH near IOV, a semiconductor integrated circuit that can be adjusted at time intervals even after manufacturing is realized.

又上記時間間隔τの調節はMOS )ランジスタ。2の
特性変化によって時間間隔τを長くする方向の調節であ
るが、同様のスイッチ回路をMOS )ランジスタQ4
に対して設けることにより調節モードで適宜閾値電圧v
th(C4)を大きくすることができるから)時間間隔
てを短くする方向の調節も容易に実現できる。
Also, the above time interval τ can be adjusted using a MOS transistor. This is an adjustment in the direction of lengthening the time interval τ by changing the characteristics of MOS transistor Q4.
In the adjustment mode, the threshold voltage v
th(C4) can be increased), adjustment in the direction of shortening the time interval can also be easily realized.

スイッチ回路をどのように構成するかはとくに制限は無
いが、スイッチ回路のスイッチ素子としてMOS )ラ
ンジスタを用いる場合にはそのMOS )ランジスタの
実効チャネル長をMosトランジスタQ2又はC4の実
効チャネル長よりも着干長くすることにより、ホットキ
ャリア現象がスイッチ回路内のMOS )ランジスタに
及ぼす影響を少なくすることが望ましい。あるいは調節
モードにおいて節点NL、、NL2と特性変化をさせた
いMOS トランジスタの接続を切離す必要はかならず
しも無いことから、節点NL、とNb2を各々節点NH
,,NH2に接続したままにする構成となし、端子P3
.P4間に閾値電圧YHを印加することにより調節モー
ドとすることも可能である。
There are no particular restrictions on how to configure the switch circuit, but if a MOS transistor is used as the switch element of the switch circuit, the effective channel length of the MOS transistor should be longer than the effective channel length of the MOS transistor Q2 or C4. It is desirable to reduce the influence of the hot carrier phenomenon on the MOS transistors in the switch circuit by increasing the drying time. Alternatively, in the adjustment mode, it is not always necessary to disconnect the MOS transistors whose characteristics are to be changed from the nodes NL, NL2, so the nodes NL and Nb2 are connected to the nodes NH and NL2 respectively.
,,configuration to remain connected to NH2 and no configuration, terminal P3
.. It is also possible to enter the adjustment mode by applying the threshold voltage YH between P4.

この調節モードが製造後の一時期、例えばウェハプロー
ビング時だけで良い場合には、端子P3tP4は半導体
集積回路内のパッドとして設けるだけで良くスイッチ回
路も、ケーシングのボンディングも共に不用である。
If this adjustment mode only needs to be used for a period of time after manufacturing, for example during wafer probing, terminals P3tP4 can simply be provided as pads within the semiconductor integrated circuit, and neither a switch circuit nor bonding of the casing is necessary.

又端子P3・P4の何れか一方を電源端子P1・P2の
何れか一方と共用する構成とすることも可能である。要
は特定のMOS )ランジスタにある期間高電圧が印加
される構成であれば良いわけで、本発明の精神を脱する
ことなしに種々の変型、変更をなし得る。
It is also possible to configure one of the terminals P3 and P4 to be shared with one of the power supply terminals P1 and P2. In short, it is sufficient to have a configuration in which a high voltage is applied to a specific MOS transistor for a certain period of time, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit of the present invention.

次に・調節モードで使用する高電圧を半導体集積回路内
で発生させる方法について述べる。第4図はその一例を
示すものであり、2は発振回路、C2はコンデンサ、C
5とC6はMOS )ランジスタである。コンデンサc
2の一端は発振回路2の出力端子に接続され、他端はト
ランジスタQ のソースとMOS )ランジスタQ6の
ドレインに接続される。
Next, a method for generating high voltage used in the adjustment mode within a semiconductor integrated circuit will be described. Figure 4 shows an example, where 2 is an oscillation circuit, C2 is a capacitor, and C2 is an oscillation circuit.
5 and C6 are MOS transistors. capacitor c
One end of the oscillation circuit 2 is connected to the output terminal of the oscillation circuit 2, and the other end is connected to the source of the transistor Q and the drain of the MOS transistor Q6.

MOS )ランジスタQ5のドレインは電源端子P1に
接続される。この第4図の例ではMOS トランジスタ
Q6のソースと電源端子P2の間に高い電圧差vH′が
発生するので、これらを第3図の実施例における節点N
H,l NH2として使用するように構成すれば電圧v
Hの外部電源を不用にすることができる。
The drain of the MOS transistor Q5 is connected to the power supply terminal P1. In the example of FIG. 4, a high voltage difference vH' occurs between the source of the MOS transistor Q6 and the power supply terminal P2.
If configured to be used as H, l NH2, the voltage v
This makes it possible to eliminate the need for an external power source.

尚発振回路出力端子における電圧振巾をvO8e ’端
子P、とP2の間の電圧をV。Dとすると一′≦VDD
 +■osc 、 vth (C5)−vth (C6
)となる。さらK MOS トランジスタQ5・C6は
ダイオードで置き換えても良いととは云うまでもない。
Note that the voltage amplitude at the oscillation circuit output terminal is vO8e', and the voltage between terminal P and P2 is V. If D, then 1′≦VDD
+■osc, vth (C5) -vth (C6
). Furthermore, it goes without saying that the KMOS transistors Q5 and C6 may be replaced with diodes.

この場合の構成を第5図に示す。The configuration in this case is shown in FIG.

又上記実施例の説明において時間間隔τの調節について
述べたが、MOSトランジスタ。3について、MOSト
ランジスタ。2に対するものと同様のスイッチ回路を付
加すれば出方信号φ。。、の立上り時の傾きを調節する
ことも可能である。
Further, in the description of the above embodiment, adjustment of the time interval τ was described, but this applies only to MOS transistors. Regarding 3, MOS transistor. If a switch circuit similar to that for 2 is added, the output signal φ. . It is also possible to adjust the slope at the rise of .

以上説明したように半導体集積回路内のMOSトランジ
スタの利得定数や閾値電圧を製造後においても変化させ
ることができる構成となっているから、半導体集積回路
の所定の回路動作が開始してから完了するまでの時間を
調節することが可能であり、特に大規模集積回路におい
て多数のクロック発生回路を搭載している場合に本発明
を適用すると、クロック相互間の時間的余裕を半導体集
積回路を製造した後できめ細く調節することができ、高
性能な半導体集積回路を容易に実現できるという利点が
ある。
As explained above, since the structure is such that the gain constant and threshold voltage of the MOS transistor in the semiconductor integrated circuit can be changed even after manufacturing, the predetermined circuit operation of the semiconductor integrated circuit is completed after it starts. In particular, when the present invention is applied to a large-scale integrated circuit equipped with a large number of clock generation circuits, the time margin between the clocks can be adjusted, and the time margin between the clocks can be adjusted. It has the advantage that it can be finely adjusted later and that a high-performance semiconductor integrated circuit can be easily realized.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は従来の半導体集積回路の一例、第2図は従来の
半導体集積回路の動作波形、1JK3図は本発明による
半導体集積回路の実施例、第4図は本発明による半導体
集積回路で用いる高電圧発生回路の第・1の例、第5図
は同じく第2の例を示す。 1 ・・・・・・・・・スイッチ回路、 2・・・・・
・・・・発振回路、Q1〜Q6・・・・・・・・・MO
S)ランジスタ、C1,C2・・・・・・・・・コンデ
ンサ、 P□〜P4・・・・・曲電源端子、NL、、 
NL2. NH,l NH2・・・・・・・・・節点、
 φ、・・・・・・・・・プリチャージ信号、  φ 
・甲・・・・・入力信号、 φ。0.・・・n ・・・・・・出力信号、Dl、D2・・・・・・・・・
ダイオード。 第1図 第2図 NL+f)(&l「トS1χ!二汐h(Q+)一?ド
Fig. 1 is an example of a conventional semiconductor integrated circuit, Fig. 2 is an operating waveform of a conventional semiconductor integrated circuit, Fig. 1JK3 is an example of a semiconductor integrated circuit according to the present invention, and Fig. 4 is used in a semiconductor integrated circuit according to the present invention. A first example of a high voltage generating circuit, and FIG. 5 similarly shows a second example. 1...Switch circuit, 2...
...Oscillation circuit, Q1 to Q6...MO
S) Transistor, C1, C2... Capacitor, P□~P4... Song power terminal, NL,...
NL2. NH,l NH2・・・・・・Node,
φ, ...... precharge signal, φ
・A: Input signal, φ. 0.・・・n ・・・・・・Output signal, Dl, D2・・・・・・・・・
diode. Fig. 1 Fig. 2 NL+f)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 複数個のMOSトランジスタを有し所定の回路動作を行
わせるだめの半導体集積回路において、前記複数個のM
OS)ランジスタ中のある%5tのMOSトランジスタ
(Q2等)の特性を調節するため、その特定のMOSト
ランジスタのソース、トンイン間に、前記所定の回路動
作をする期間中に印加されるノース)ドレイン間の最大
電圧差(vo)よりも大きな電圧差(vH)を、前記所
定の回路動作をする期間以外の任意の期間に印加するだ
めの手段を備えたことを特徴とする半導体集積回路。
In a semiconductor integrated circuit having a plurality of MOS transistors and for performing a predetermined circuit operation, the plurality of M
In order to adjust the characteristics of a certain MOS transistor (such as Q2) in a certain MOS transistor (OS) transistor, a voltage is applied between the source and the ton-in of that particular MOS transistor during the period of the predetermined circuit operation. 1. A semiconductor integrated circuit comprising means for applying a voltage difference (vH) larger than a maximum voltage difference (vo) between the two during any period other than the period during which the predetermined circuit operation is performed.
JP57001714A 1982-01-11 1982-01-11 Semiconductor integrated circuit Pending JPS58119228A (en)

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JP (1) JPS58119228A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6240756A (en) * 1985-08-16 1987-02-21 Fujitsu Ltd semiconductor equipment
JPS63136556A (en) * 1986-11-27 1988-06-08 Matsushita Electronics Corp Substrate bias generator
JP2016042676A (en) * 2014-08-19 2016-03-31 株式会社東芝 Delay device

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