JPS58115583A - 映像パタ−ン読取り方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、集積回路の製造の際に用いるフォトマスクな
どのパターンの欠陥の有無を検出するに適した映像パタ
ーン読取り方式に関する。

一般に、この種フォトマスクは、原図（設計図）（以下
、標準パターンという）に基いて、印刷法などにより、
例えば透明なガラス板上に不透明なりロム薄膜層のパタ
ーン（以下、映倫パターンという）を被着して作製され
るが、そのパターンが標準パターンどおり作られている
かどうかその欠陥の有無を検査する必要があり、その検
査方法として走査屋電子顕微鏡を含む撮儂装置を用いる
ものが知られている。この方法は、検査の対象であるフ
ォトマスクの映像パターン【電子光学的に読取り検出し
、読取り検出した映像信号を絵素毎に２値化しく例えば
、不透明部分又は黒レベル信号上数値ゝゝ１“に、透明
部分又は白レベル信号ｔ数値″０“に変換し）、シかる
後、この２値化信号による映像パターンを検査して欠陥
の有無ｔｖｊ４べろものであるが、この方法では、映像
信号を正しい数値レベルに２値化する必要があり、さも
ないと、その後の検査精度が劣化し、欠陥の有無會誤っ
て判断するおそれが生じる。

特に、Ｓ／Ｎの低い映像信号に対しては、雑音によシ誤
った２値化が行なわれるおよれがある。

従来、このような問題を解決するために、Ｓ／Ｎの低い
映像信号の場合、同一映像パターンを繰返し銃取り走査
し、撮像して同一映倫信号【Ｊｌｌ＆積することによっ
てＳ／Ｎｔ−向上させた後、２値化を行なう方法が知ら
れているが、このように映倫パターンを広範囲に亘って
繰返し走査するため、検査処理時間がきわめて長くなり
、数日を要することもまれではない等の欠点があった。

本発明の目的は、上記従来技□゛術の欠点を除き、映像
パターンの２値化された映像信号に含まれる雑音【迅速
に除去し、以て前記映像パターンの欠陥を迅速、かつ、
適確に検査できるようにした映像パターン読取り方式に
関する。

この目的を達成するために、本発明は、映像パターンの
２値化された映像信号を各絵素信号毎にチェックし、該
チェックの結果雑音を含んでいる可能性のある絵素信号
については該絵素信号を複数回得ることＫよって統計的
に補正上行ない、前記チェックは、標準パターンの２値
化された映倫信号を基準とし、該標準パターンの境界【
含むその周辺領域（以下、境界周辺領域という）では映
像パターンの各絵素の相関性を利用して行ない、また、
該標準パターンの境界周辺領域以外の領域では前記標準
パターンと映倫パターンとの夫々の映像信号を各絵素毎
に比較することによって行なうことｔ特徴とする。

以下、本発明の実施例を図面について説明する。

第１図は本発明による映倫パターン読取シ方式の一実施
例を示すブロック図であって、１は撮像装置、２は走査
位置制御回路、３はメモリ、４は２値化回路、５Ｆｉ境
界周辺領域抽出回路、６は周辺画素参照回路、７は２値
化条件判定回路、８ＶｉＭ度諌Ｆ数回路、９は比較回路
、１ｏＦｉＺ値信号設定回路である。

次に、この実施例の動作について説明する。

同図において、撮像装置１は映像ノ（ターン（図示せず
）を撮偉し、映倫パターンｋＷわす映像信号（以下、映
像パターン信号という）を発生する０映像パタ一ン信号
は２値化回路４に供給され、各絵素毎にサンプリングさ
れるとともに、映像パターン０１ｌＩ！淡に応じて２値
化される。２値化回路４からの２値化された映倫パター
ン信号は、周辺絵素参照回路６．２値化条件判定回路７
、頻度計数回路８に供給される。

一方、メモｌＪ３には、撮像装置１で撮像される映像パ
ターンの４とＫなる標準パターンが記憶され、走査位置
制御回路２の制御のもとに、撮像装置１と同期して映倫
パターン信号と同様に２値化された標準パターンが読み
出される。メモリ３から標準パターン【表わす映像信号
（以下、標準パターン信号という）Ｖｉ境界周辺領域抽
出回路５に供給される。境界周辺領域抽出回路５は、標
準パターン信号から標準パターンの境界周辺領域を表わ
す信号（以下、周辺信号という）′を形成し、この周辺
信号と標準パターン信号とを２値化条件判定回路７に供
給する。

なお、「標準パターンの境界」とは、第２図ｔｃおいて
、標準ノくターンＰＳ　の濃淡領域、すなわち、たとえ
ば白を表わすａ領域とａｔ表わすｂ＠域との境い目Ｃｔ
−いい、［標準）（ターンの境界周辺領域」とは、標準
パターンの境界Ｃｔ−含む近傍領域ｄ（斜線を施こした
領域）である。

そして、周辺信号は、境界周辺領域抽出回路５に供給さ
れた標準パターン信号の絵素信号が、標準パターンの境
界周辺領域ｄ（第２図）に含まれる絵素ｔ”表わすもの
であるときには、′″０“で、境界周辺領域ｄに含壕れ
ない絵素上表わすものでるときには１“である。

周辺絵素参照回路６は、２値化回路４から供給される映
像パターン信号の各絵素信号【、その周辺の複数の既に
２値化判定がなされ九絵素信号と比較し、各絵素信号が
周辺の絵素信号と全て一致すれば′ｌ“であり、少なく
とも１つが一致しなければ０″である信号（以下、参照
信号という）音発生する。

すなわち、８１３図において、いま、映像パターンのに
一１番目の走査線とに番目の走査線において、ｋ番目の
走査線上の絵素Ｘに対する絵素信号が周辺絵素参照回路
６に供給されたものとすると、この絵素Ｘと、ｋ番目の
走査線の絵素Ｘに対して左隣りの絵素ａ＋に一１番目の
走査線の、絵素ＸＫ対して真上のｌｌＲ素ｃ１さらに絵
素Ｃの両隣りの絵素す、ｄとの夫々の＃素信号の１１“
、′ｏ“レベルを比較し、全てが一致したときには参照
信号ｔ”ｌ“とじ、少なくとも１つが一致しないと自は
％１６　／／とする亀のである。

２値化条件判定回路７は、境界周辺領域抽出回路５から
の周辺信号に応じて、２値化回路４からの映倫パターン
信号の各絵素信号ｔ、異なっ＾方法で判定を行なう。

まず、周辺信号が１　／／であるとする。

このと＠罠は、メモリ３から読取られる絵素は、第２図
に示す境界周辺＊Ｍｄに含まれない。そのとき、撮像装
置Ｉｔｌとメモリ３とは走査位置制御回路２により同期
して走査位置が制御されゐから、撮像装置ｌから得られ
ゐ絵素信号は、映倫パターンの境界を表わすものではな
く、２値化回路４からの映像パターン信号と境界周辺領
域抽出回路５からの標準パターン信号とｔ絵素信号毎に
比較する。そして、両者が一致し次ときには、そのとき
の映像パターン信号の絵素信号は、正しく２値化された
絵素信号として２値信号設定回路１０に供給されるとと
もに、走査位置制御回路２’／Ｋｍ作冬せて撮像装置１
、メモリ３の読取り位置を次の絵素に移す。

これに対して、両者が一致しないときには、そのときの
映像パターン信号の絵素信号は正しく２値化されていな
いものとし、これは、映像パターンの欠陥による場合も
あるが、読取り時における雑音による場合もあるからで
ある。そこで、２値化条件判定回路７は、頻度計数回路
８を動作させ為とともに、走査位置制御回路２による撮
像装置１とメモリ３との読取多位置を固定する。

次ｔこい周辺信号が１１θ″であるとする。

このときには、メモリ３から読取られる絵素は、第２図
に示す境界周辺領域ｄに含まれる。ところで、一般に、
撮像装置１がら読取られ６映像パターンとメモリ３から
読取られる標準パターンとは、完全に一致することがな
く、若干の誤差（４１！準パターンを基準にすると、±
１μｍ程度の誤差）でもってづれている。このために、
第２図の境界周辺類Ｍｄの巾は、ｌＩｉ準パターンＰ８
の境界ｃｆ中心にして、上下左右に１μｍの巾の領域と
しているＯ しかるに、そのときの映倫パターン信号の絵素信号は映
像パターンの境界を表わす可能性もあシ、このためＫ、
映像パターン信号上標準パターン信号とｔ比較しのでは
、夫々のパターンの絵素信号が正しくても両者が不一致
になる可能性がある。

そこで、周辺絵素参照回路６からの参照信号にもとづい
て、２値化回路４からの映像パターン信号の各絵素１１
１号が正しく２値化されたが否か全判定する。

すなわち、参照１８号が４１１　Ｌ／のときＫは、第３
図において、絵素ｘＫ対・する絵素信号が、周辺の＃＊
ａ　＋　ｂ　＋　ｃ　＋　ｄに対する夫々の絵素信号と
一致しており、映像パターンの相関性から絵素ｘＫ対す
る絵素信号は正しく２値化されているものとし、このと
きの２値化回路４からの映像パターン信号の絵素信号は
、２値漕号設定回路１０に供給されるとともに、走査位
置制御回路２が動作して撮像装置１とメモリ３の読取り
位置を次の絵素に移す。

一方、参照信号がＩｓ　□　／／のときＫは、第３図に
おいて、絵素Ｘに対すゐ絵素信号が、周辺の絵素＆＋　
ｂｌ　Ｃ！ｌ　ｄＫ対する絵素信号の少なくとも１つと
異なっておシ、このために、絵素Ｘは映像パターンの境
界、欠陥である場合もあるし、また、蚊取シ時の雑音に
より絵素Ｘの絵素信号が影響上受けた可能性がある。

そこで、２進化条件設定回＆８７は頻度計数回路８ｔ−
動作させるとともに、走査位置制御回路２ｔ不動作にし
て撮葎装置１とメモリ３の読取り位置を固定する。

頻度計数回路８は、起動されると２値化回路４からの映
像パターン信号の絵素信号の０“またはｌ“の計数を開
始する。つオリ、走査が固定されて同一絵素信号が２値
化回路４で繰返しサンプルされ、２値化されて頻度計数
回路８に入ると、ここでこの２値化レベル％ｌ　１／／
である２値化回数（サンプル回数）と′０“である２値
化回数が各別に計数され、パ１“の回数（頻Ｖ）とＯ″
の回数（頻ｆ）のいずれが先に予じめ設定した回数Ｎ（
例えば数回）ｔ−越えたか１次の比較回路９により検出
し、先に越えたものが１′０“なら“０″ｔ、ＩＩ　Ｉ
　Ｎなら１１１　″＜その読取位置における真の２値数
として採用し、これｔ次段の２値信号設定回路ｌＯに送
るものである。このように、頻度により２値数値の真偽
【判定するようにしたのは、誤り信号が生じる原因とな
る雑音の発生、走査電子ビームや映像パターン表面の微
妙な時間的変化などはごく一時的偶発的なものであって
、正しい信号出力に比べて短時間で頻度が少ないと考え
られるからである。比較回路９は、ま之、前記のように
１１０　／／または１１１　／／のいずれかｋＸである
と法定すると、直ちに、走査位置制御回路２を動作させ
て撮像装［１、メモリ３は次の絵素の読取りｔ開始させ
る。

次に、第１図の各回路の具体例について説明する０ 第４１Ｎ（Ａ）、（１３）は第１図の境界周辺領域抽出
回路５の一具体例を示すブロック図である。

第４図囚において、１１はメモリ３がらの標準パターン
イｇ号入力端子、１２はそれぞれが（テレビジョンの水
平走査に相当する）走査線の長さに対応する遅延時間（
ＩＨ）を有するシフトレジスタ１２１１１２２１　・・
・”・＋　　１２２ｎ２　ｔ−複数本直列接続して構成
畑ねるシフトレジスタ群、１３＃−を各々が２ｎ−４個
の記憶セルを有し、シフトレジスタ１２□＋１２２．・
・・・・・、１２□ｎ−１および入力端子１１から絵素
信号が供給される直列入力並列出力用のシフトレジスタ
（Ｌ’１　、　Ｐ２．、、、−・−ｐＨ１１）ｋ　２　
ｎ　−１本にて構成してなる局部メモリである。この構
成により局部メモリ１３には走査に同期して標準パター
ンの縦×横が（２ｎ−１）Ｘ　（２ｎ−１）の絵素数か
らなる正方形の局部領域が逐次切出される。

たとえば、ｎ＝３とすると、　（２ｎ　　１）　Ｘ　（
２ｎ−１）　−５Ｘ５＝２５個の絵素からなる正方形の
領域が走査位置に応じて抽出され、もしも１絵素分の幅
ｔｏ、２μｍとすれば、この正方形領域はｔｌば１μｍ
Ｘ１μｍ　となる。

第４図０３）において、１４ＦｉＡＮＤ回路、１５はＮ
ＯＲ回路、１６はＯＲ回路である。局部メモリ１３の記
憶セルｔＰｉｊ口、ｊ＝１〜２ｎ−１）として、局部メ
モＩ７１３　Ｋ記憶される全絵素信号ｔＡＮＤ回路１４
およびＮＯＲ回路１５へ入力し、ＡＮＤ回路１４および
ＮＯＲ回路１５の出力會ＯＲ回路１６に入力すると、Ｏ
Ｒ回路１６の出力端子１７に得られる周辺信号は、局部
メモリ１３において、上記全絵素が全て一致していると
きｔｔ　１　／／となり、１つでも異なるときには１１
０“となる。

そこで、いま、ｎ−＝２＠例にして、第５図について境
界周辺領域抽出回路５の動作ｔａ明する。

第５図において、ａは標準パターンの境界であり、丸印
は局部メモリ１３　（第４図（Ａ））のシフトレジスタ
の記憶セルＰ１」（但し、ｔ、ｊ＝ｌ、２゜３）に記憶
された絵素信号に対する絵素【示し、以下、説明を簡単
にするために、シフトレジスタ（７）　記［［セルＰｌ
ｊに記憶される絵素ｔＰＢというように表現する。

さて、第５図囚に示すように、絵素Ｐｌｊが全て境界ａ
の一方側にあるときには、全ての絵素Ｐ１ｊは一致する
から、出力端子１７　　（第４図の））に得られる周辺
信号は１１１“である。

次に、メモリ３（第１図）の読取り位置が１絵素分右方
に移動し、第５図缶）に示すように、絵素Ｐｉｚ−ダ境
界ａの右側にあり、絵素Ｐｌ意と絵素Ｐｉａとが境界ａ
の左側になったときには、絵素ｐＨと、絵素Ｐｉｚ　＋
　Ｐｉｍとは当然異なるがら、出力端子１７からの周辺
信号は１′０“となる。

さらに、メモリ３が読取り位置を移動し、第５図（Ｃ）
に示すように、絵素Ｐ１１＋Ｐｉｇが境界ａの右側にあ
り、１１！嵩Ｐ１ｇが境界ａの左＠になったときには、
出力端子１７からの周辺信号はゝゝＯＮとなるが、さら
罠、読取り位置が移動すると、全ての絵素Ｐｌｊは境界
１の右側にあることになって出力端子１７からの周辺信
号Ｆｉ４１１　／／となる（第５図０）。

以上のことから、出力端子１７からの周辺信号が２絵素
分の幅でゝゝ０“となるから、第５図（Ｅ）に示すよう
に１境界ａに対する境界周辺領域の幅ｌは２絵素分−１
−１絵素分に等しくなる。一般に、記憶される絵素Ｐｉ
ｊの個数ｔ、（２ｎ−１）Ｘ（２ｎ−１）とすると、境
界ａＫ対する境界周辺領域の幅／Ｆｉ（ｎ−１）絵素分
に相当する。

なお、第６図は、パターンの境界１が縦方向である場合
について説明したが、パターンの境界が横方向である場
合についても同様であって、記憶される絵素ｐｉｊの個
数が（２ｎ−１）　Ｘ　（２ｎ−１）のときには、境界
に対して±（ｎ　−１）絵素分の幅の境界周辺領域を形
成することができる。

次に、局部メモリ１３０各シフトレジスタ（第４図（Ａ
））に記憶された絵素Ｐ目と、撮像装置Ｉによって読取
られる映像パターンの絵素との関係について説明する。

いま、第５図に説明したように、、ｎ＝２として局部メ
モリ１３　（第４図（Ａ））は３個の記憶セルからなる
シフトレジスタ３個からなる屯のとする。

このときは、第５図で説明したように、標準パターンに
対する映像パターンの許容づれ量は、±ｌ、すなわち、
±１絵素分である。すなわち、第５図において、標準パ
ターンの境界ａに対して、映像パターンの対応する境界
は、境界ａの左右ｌ絵素分のｂｌからす、ｔでのづれが
許容されることになる。

そこで、第５図（Ａ）のように、絵素Ｐｌｊが局部メモ
リ１３のシフトレジスタに記憶されたときには、撮像装
置１　（第１図）で読取られる映倫パターンの絵素（以
下、当該絵素という）は、標準パターンの境界ａに対応
する映倫パターンの境界（以下、境界すという）の左側
になければならない。

しかし、シフトレジスタに配憶される絵素Ｐｉｊが第５
図（Ｅ）に示すようになると、読取られる映像パターン
の当該絵素は、境界すのどちら（ｉｌｌｌＫあゐのか不
明である。特に、境界すが境界ａに対して左側に最大の
１絵素分づれたｂｌであるときには、当腋絵素は境界ｂ
８の右側になければならない。

次に、シフトレジスタに記憶される絵素Ｐ１ｊが第５図
（Ｃ）のようになっても、やはり、当該絵素は境界すの
どちら側にあるか不明である。境界すが１絵素分左側に
づれて境界ｂ１であるときには、当該絵素は境界すの右
側にあるが、右側にづれて境界ｂ１であるときには、当
該絵素は境界すの左側にあるからである。

さらＫ、シフトレジスタに記憶される絵素Ｐｌｊが第５
図（Ｄ）のようＫなると、当該絵素は境界すの右側にな
ければならない。

以上のことから、局部メモリ１３に記憶される絵素Ｐ１
ｊ、Ｐ□、Ｐ１．のいずれかと、捧像装ｆｊｔｔ（第１
図）からの映像パターン信号の各絵素信号と比較するた
めに、メモリ３（第１図）から読取られつつある標準パ
ターンの絵素とが同一でなければならない。また、同様
にして、境界＆（第５図）が横方向である場合を考える
と、絵素ｐａｔ、ｐｇ□。

Ｐａ１１のいずれかと、メモリ３から読取られつつある
標準パターンの絵素とが同じでなければならない。した
がって、絵素ｐｓｉと読堆られつつある標準パターンの
絵素とが同一でなければならない。

一般に、局部メモリ３が（２ｎ−１）Ｘ（２ｎ　−１）
個の絵素を記憶するとすれば、Ｐｎｎに記憶される絵素
と読取られつつある標準パターンの絵素とが同じでなけ
ればならない。′）まり、撮像装置ｌ　（第１図）によ
って読取られる映像ノくターンの絵素と同期して、メモ
リ３（第１図）から読取られる標準パターンの絵素に対
する絵素信号は、同時に、境界周辺領域抽出回路５の局
部メモＩＪ　ｌ　３（第４図（Ａ））のシフトレジスタ
の記憶セルＰｎｎに記憶されることになる。

このように、境界周辺領域抽出回路５が動作するため、
第１図において、メモリ３から、２［化回路４からの映
像パターン信号と比較するための標準パターン信号とは
別に、この標準）（ターン信号よりも時間的に進んだ標
準パターン信号が境界周辺領域抽出回路６の入力端子１
１（ｗＪＡ図ＧＡ））に供給されることになる。

そこで、いま、標準パターンに対する映像パターンの可
能な最大のづハ量！（第５図）を１１１ｍとし、かつ、
各絵素間隔ｔｏ、２μｍとすると、５絵素分のづれが許
容されなければならない。したがって、 ｎ　−１＝　５ 、’、　　ｎ＝６ であるから、 ２ｎ−１＝１１ となって、第４図（Ａ）におけるシフトレジスタ群１２
はシフトレジスタ１に１０個（＝２Ｘ６−２）縦統接続
し、局部メモリ１３Ｆｉ１１段のシフトレジスタ１１１
（１用い、シフトレジスタの記憶セルＰ、、に記憶され
ゐ絵素信号と同じ絵素信号を、撮儂装置ｌから読取る絵
素信号と同期してメモリ３から読取るようにすればよい
。

館６図は、第１図の周辺絵素参照回路５の一実施例を示
すブロック図である。第６図において、１８Ｆｉ２値化
回路４からの映像パターン信号の入力端子であり、１９
は１走査線の長さより本１絵素分短い長さくテレビジョ
ンでいうＩ　Ｈ−１絵素の長さに相当）のシフトレジス
タ、２０［１列入力並列出力のシフトレジスタ、２１は
ＥｘＯＲ回路＃（排他的ＯＲ回路）、２２はＮＯＲ回路
である。

この例では、シフトレジスタ２ｏは５個の記憶セルａｌ
　ｂ＋　ｅｌ　ａ、ｘｋ有し、入力端子１８よりの入力
絵素に対して、第３図に示すように、ａは左、ｂは右上
、Ｃは上、ｄは左上にそれぞれ隣接する部分の絵素を記
憶している。入力端子１８からの記憶セルＸに記憶され
る絵素が既に２値化判定済みのこれら周辺４絵素ａ　−
ｄの全てと一致するときにのみ、出力端子２３の信号は
ゝ１１″になり、他の場合はｓｔ　Ｏｔｔとなる。

第７図は、第１図の２値化条件判定回路７の一実施例を
示すブロック図であって、２４，２５゜２６．２７は夫
々入力端子、２８ＦｉＥｘＯＲ回路、２９はインバータ
、３０．３１＃′ｉ夫々ＡＮＤ回路、３２．３３は夫々
インバータ、３４．３５は夫々ＯＲ回路、３６．３７は
夫々ＯＲ回路、３８はゲート回路、３９．４０．４１は
夫々出力端子である。

次に、第７図の動作について説明する。

同図において、入力端子２４にＦｉＺ値化回路４（第１
図）からの映倫パターン備考が供給され、入力端子２５
には境界周辺領域抽出回路５（第１図）からの標準パタ
ーン信号が供給され、入力端子２６には境界周辺領域抽
出（ロ）路５の出力端子１７（菖５図）からの周辺信号
が供給され、さらに、入力端子２７には周辺絵素参照回
路６（第１図）からの参照信号が供給される。

まず、入力端子２６からの周辺信号がゝゝｌ″であると
き、すなわち、メモリ３（第１図）で読取られる標準パ
ターンの絵素が、境界劉辺領域ｄ（第２図）以外の領域
であると１！Ｋｉｉ、ＡＮＤ回路３０．３１の一方の入
力端子はゝ１１“になり、ＡＮＤ回路３４，３５ｔｌイ
ンバータ３２により出力ｆｆ１−ｊｔのレベルＦｉゝゝ
０“である。

一方、入力端子２４からの映像パターン信号は、ゲート
回路３８とともに、ＥｘＯＲ回路２８に供給されて入力
端子２５からの標準パターンイ」号と各絨素毎に比較さ
れ、両絵素が一致するとｌ　ＯＩＩ。

一致しないと１１″の出力（１号を発生する。

ＥｘＯＲ回路２８の出力信号が１０″のときには、ＡＮ
Ｄ回路３１の出力信号のレベルはゝ０″であって、結局
、ＯＲ回路３７を介して出力端子４１に得られる信号は
ゝゝ０“である。

これに対して、ＥＸＯＲ回路２８の１１Ｏ“の出力信号
はインバータ２９で反転して１″となり、ＡＮＤ回路３
０はオンしてゝ゛ｌ“の信号ｋＯＲ回路３６に介してゲ
ート回路３８と出力端子４０に供給する。このために、
ゲート回路３８は−き、標準パターンに一致した映像パ
ターンの絵素を出力端子３９に供給する。

ＥｘＯＲ回路２８の出カイｇ＠が１“のときには、ＡＮ
Ｄ回路３０！″ｔオフし、ＡＮＤ回路３１がオンしてゝ
′１″の信号を発生ずゐから、この１１１　／／の信号
はＯＲ回路３７に介して出力端子４１に供給される。こ
れに対して、ＡＮＤ回路３０．３４けオフであるから、
ゲー　ト回路３８は閉じており、出力端子４０にはＳｌ
　ｇ“の信壮が供給される。

次に、入力端子２６からの周辺信号が０“、すなわち、
メモリ３（第１図）で読取られる標準パターンの絵素が
、境界周辺領域ｄ（第２図）内圧あるときには、ＡＮＤ
回路３０．３１Ｆｉオフで、ＡＮＤ回路３４．３５の一
方の入力端子は、インバータ３２により１１“である。

そこで、入力端子２７からの参照１１号が４％　Ｉ　Ｌ
／のときには、ＡＮＤ回路３４　ｔｒｉオンし、ＡＮＤ
回路３５Ｈオフする。ＡＮＤ回路３４からの１″の信号
１１ｔＯＲ回路３６ｔ−介してゲート回路３８と出力端
子４０に供給され、ゲート回路３８（Ｌ−開いてその時
点の入力端子２４からの映像パターン１６号の絵素を出
力端子３９に供給する。

一方、入力端子２７からの１照信号が″０″のときには
、ＡＮＤ回路３４はオフし、ＡＮＤ回路３５はインバー
タ３３によりオンする。ＡＮＤ回路３５からのｖｌｌ“
の信号はＯＲ回路３７１１−介して出力端子４１に供給
される。

なお、出力端子２９の信号は２値信号設定回路１０　（
第１図、以下同じ）に、出力端子４０の信号は走査位置
制御回路２に、出力端子４１の信号は頻度針数回路８に
夫々供給され、出力端子４０の信号がゝ゛１“のときに
は、走査位置制御回路２は動作して撮像装置ｌとメモリ
３のパターン読取位置ｔ１絵素だけ移動させる。

第８図は第１図の頻度計数回路８および比較回路９の一
実施例を示すブロック図であって、４２は入力端子、４
３はインバータ、４４．４５ｔ′ｉ夫々カウンタ、４６
．４７は夫々比較回路、４８゜４９は夫々入力端子、５
０は選択回路、５１はＯＲ回路、５２．５３は夫々出力
端子である。

次に１第８図の動作について説明する。

同図において、２値化条件判定回路７の出力端子４１　
（第７図）の信号がＩＩ　１　／／となると、カウンタ
４４，４５は作動状態となる。このとき、先に述べたよ
うに、２値化条件判定回路７の出力端子４０の出力信号
は１１０“であるから、走査位置制御回路２は不動作状
態となり、撮像装置１とメモリ３（第１図）Ｋよるパタ
ーンの読取り位ｔは固定しており、入力端子４２からは
、映倫ノ＜ターンの同一絵素に対する絵素信号が供給さ
れる。

そこで、カウンタ４４は入力端子４２）に現われる”ｌ
“の出現回数【計数し、カウンタ４５はインバータ４３
があるため０“の出現回数を計数する。この回数に応じ
て変化する電圧がそれぞれ比較器４６．４７で予じめ設
定されている回数Ｎに相当する入力端子４８．４９から
の基準電圧と比較され、そのいずれかが基準電圧と一致
したとき出力信号を出し、この出力信号により選択回路
５０ｔｆ　％％ｔ“または“Ｏ“のいずれか一方を選択
して出力端子５２に２値化信号として出力する。

比較回路４６．４７の出力信号はＯＲ回路５１にも供給
され、出力端子５３を通じて走査位置制御回路２（第１
図）に供給され、撮像装置１とメモリ３（１１１１図）
のパターン読取り位ｆｋ次の絵素に移す。

ところで、このように、カウンタ４４，４５にヨリ同一
絵素の１７７．％ＩＯ“ｔカウントするのは、先に述べ
たように、映像パターン信号に雑音が含まれているとし
ても、この雑音は固定的なものではなく、時々刻々変化
するものであって、映像パターンの同一絵素を繰返し読
取ると、その絖取られた絵素信号が、雑音の影響を受け
た頻度よりも雑音を受けない頻度の方が統計的な発生分
布から一般に大きいことになるから、雑音の影響を受け
ない絵素信号のカウンタの方が、より速く設置Ｎに達す
るであろうし、また、統計的により速く設定値Ｎに達し
たカウンタの入力信号が正しいものと判定してもよいで
あろうことによるものである。

たとえば、標準パターンと映像パターンとの比較される
絵素が、夫々ゝｌ　Ｑ　／／　、　　１１１　Ｎであっ
て−・致しなかった本のとし、実際に、そのときの映像
パターンの絵素は１ｔＯ″であったとする。

そこで、この映像パターンの絵素に対する絵素信号ヶ繰
返し読み取り、これｔカウンタ４４．４５に供給すると
、Ｉｔ　Ｏ／／の絵素信号が供給される頻度がゝ゛１″
の絵素信号が供給される頻度よりも統計的に多いから、
カウンタ４５のカウント数がより速く設定値Ｎに達し、
比較回路４７から出力が発生して選択回路５０から１′
０“の絵素信号が得られる。そして、この１″０“の絵
素信号を正しい絵素信号とみなしても大きな誤りはない
。

第９図は第１図の２値信号設定回路１０の一具体例を示
すブロック図であって、５４は選択回路、５５．５６．
５７．５８は夫々入力端子、５９は出力端子である。

次に、第９図の動作について説明する。

同図において、入力端子５５．５７には夫々２値化条件
判定回路７の出力端子３９．４０（第７図）からの信号
が供給される。入力端子５６．５８には夫々比較回路９
の出力端子５２．５３（第８図）からの信号が供給され
る。

すなわち、入力端子５５にｔｉＺ値化条件判定回路７か
らの映像パターン信号の各絵素信号が、また、入力端子
５６には比較回路９からの映像パターン信号の絵素信号
が夫々供給される。

そして、選択回路５４は、入力端子５７．５８から供給
される信号に応じて入力端子５５．５６のいずれか一方
の絵素信号を選択し、出力端子５９に雑音を含まない映
像パターン信号が得られる。

このようにして、映像パターンの欠陥を正確に検査する
ことができる映像パターン信号ｋｎることができるが、
これまで示した第１図の各回路の実施例は一例を示すに
すぎず、他の同等の機能忙有する回路も用いることがで
きることは明らかである。

また、第２図の境界周辺領域ｄは、第５図で説明したよ
うに、境界ａに対してプラス、マイナス等距離ｌの範囲
に設定しなければならないことはなく、標準パターンと
映像パターンとの蛭大づれがどの方向に生ずるかに応じ
て任意に設定できるものである。

以上説明したように、不発ｆ！ＡＫよれば、標準パター
ンに基づいて形成された映像パターン′に絖取り、得ら
れた映像パターン信号を各絵素信号毎に判定し補正する
ものであって、該各絵素信号の判定は、標準パターンと
映像パターンの読取や時におけるづれｔ考慮して境界周
辺領域を設定し、前記各絵素信号が前記境界周辺領域外
の絵素を表わすときには、骸各絵素信号と標準パターン
に対する標準パターン信号の各絵素信号とを比較するこ
とにより行ない、また、映像パターン信号の前記各絵素
イぎ号が前記境界周辺領域内の絵素′Ｊｋ表わすときに
は、該映像パターンの相関性を利用して行ない、さらに
、前記判定によって雑音を含む可能性のある絵素信号に
ついては、映像パターンの回−絵素を繰返し読み取って
得られる絵素信号の１゛１“と０“との頻度分布を利用
して前記各絵素信号を補正するものであるから、映像パ
ターン（＋Ｊ号の各絵素信号の判定、補正については、
映像パターンと標準パターンとのづれがあったとしても
、格別長時間を要せず、正確に行なわれるものであり、
よって、前記映像パターンの欠陥を迅速、かつ、適確に
検査することができ、従来技術の欠点を除いて優れた機
能の映像パターン読取り方式を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による映像パターン読取り方式の一実施
例を示すブロック図、第２図１−１ｍ準パターンの境界
周辺領域を示す説明図、第３図は第１図の周辺絵素参照
回路の動作を説明するための１明区、第４図（Ａ）、（
Ｂ）ｔｉ第１図の境界周辺領域抽出回路の一実施例の一
部を示すブロック図、第５図（Ａ）　、　　（Ｂ）　、
　　（Ｃ）　、　　（Ｄ）　、　　（Ｅ）は第４図の動
作を示す説明図、第６図は第１図の周辺絵素参照回路の
一実施例を示すブロック図、第７図は第１図の２値化条
件判定回路の一実施例を示すブロック図、第８図は第１
図の頻度計数回路と比較回路の一実施例【示すブロック
図、第９図は第１図の２値信号設定回路の一実施例を示
すブロック図である。 １・・・・・・撮像装置、２・・・・・・走査位置制御
回路、３・・・・・・メモリ、４・・・・・・２値化回
路、５・・・・・・境界周辺領域抽出回路、６・・・・
・・周辺絵素参照回路、７・・・・・・２値化条件判定
回路、８・・・・・・頻度計数回路、９・・・・・・比
較回路、１０・・・・・・２値信号設定回路。 代理人　弁理士　武　顕次部（ほか１１名）ど 第２図 名３図 第４図 （Ａ） （Ｂ） 第５図 第６図 １１ジ８図 ５Ｉ −、シ　９　１：；−，１ ７５Ｂ 第１頁の続き （ｎ）発　明　者　牧平坦 横浜市戸塚区吉田町２９２番地株 式会社日立製作所生産技術研究 所内 ′？２）発　明　者　青木信彦 横浜市戸塚区吉田町２９２番地株 式会社日立製作所生産技術研究 所内

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 標準パターンに基づいて形成された映倫ノ（ターンを撮
   儂して２値化された映像パターン信号を得、該映倫パタ
   ーン信号により蚊映偉パターンの欠陥：。 を検出できるようＫした映像パターンを読取り方゛弐に
   おいて、前記映像パターン信号と同期して前記標準パタ
   ーンから標準パターン信号を得、該標準パターン信号に
   より前記標準・くターンの境界周辺領域を検出し、骸境
   界周辺領域においては、前記映倫パターン信号を各絵素
   毎に、骸絵素と該絵素の周辺の複数の絵素とｔ比較し、
   前記境界周辺領域以外の領域においては、前記映倫パタ
   ーン信号と前記標準パターン信号とを各絵素毎に比較し
   、前記夫々の比較により一致しない前記映像）（ターン
   信号の絵素を禎数回繰返し得ることによって補正された
   絵素を得、該補正された絵素と前記夫々の比較により一
   致し九前記映像パターン信号の絵素とからなり、雑音が
   除去された前記映像パターン信号を得ることができるよ
   うに構成したことｔ特徴とする映倫パターン読取り方式
   。