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JPS58106947A - 光センサ - Google Patents

光センサ

Info

Publication number
JPS58106947A
JPS58106947A JP20518981A JP20518981A JPS58106947A JP S58106947 A JPS58106947 A JP S58106947A JP 20518981 A JP20518981 A JP 20518981A JP 20518981 A JP20518981 A JP 20518981A JP S58106947 A JPS58106947 A JP S58106947A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
illumination
light
light guiding
oxidation
reflected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20518981A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyoshi Ozawa
清 小沢
Nobuyoshi Takagi
高城 信義
Koichi Hiranaka
弘一 平中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP20518981A priority Critical patent/JPS58106947A/ja
Publication of JPS58106947A publication Critical patent/JPS58106947A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/024Details of scanning heads ; Means for illuminating the original
    • H04N1/028Details of scanning heads ; Means for illuminating the original for picture information pick-up
    • H04N1/03Details of scanning heads ; Means for illuminating the original for picture information pick-up with photodetectors arranged in a substantially linear array
    • H04N1/031Details of scanning heads ; Means for illuminating the original for picture information pick-up with photodetectors arranged in a substantially linear array the photodetectors having a one-to-one and optically positive correspondence with the scanned picture elements, e.g. linear contact sensors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Facsimile Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)  発明の技術分野 本発明祉光七ンサに関するものであシ、特に酸化によっ
て透明にした部分を少くとも光照射用導光路とする光セ
ンナに関するものである。
(2)発明の背景 近年のエレクトロニクスの急速な発展とともに、情報#
%lIl技術の進歩も著しく、光センサはこれらの情報
入力機器用素子として重要な役割を果している。
このような背景において、光センナの開発は単なる光電
変換素子としてでなく、多くの機能をもつ集積化された
センナとして発展しつつある。
(3)従来技術と問題点 第1図は従来の光センサを説明するための概略断面図を
示したものである。
同図に於て[は例えばプラスチック等からなる基板、2
は光源、3は原稿面、4は光源2から出た光が原稿面上
の照明点3′に当たって反射された反射光、5は光ファ
イバ、6は受光素子(センサ)を示している。
第1図に示すように光源2が該基板1に設けられたV溝
7に取シ付けられておシ、原稿面3上の照明点3′を照
明した反射光線4拡光フアイバ5によって受光素子6に
導光せしめられる。この従来の密着臘の光センナは原稿
面を照明するために#原稿面に近接する箇所に光源、咳
光源から発せられた光を絞る丸めのレンズ系(図示せず
)更に受光素子に光を導く特別な機器(光ファイバ郷)
が必要であシ、高価な構造にならざるを得、なかりた。
更に又、光源より発せられた光線その光の有効利用がさ
れず光O出射部にレンズ効果をもたせることKよって原
稿面上の照明点に収束されるが空間的に光源が制約され
る等の欠点がある。
(4)発明の目的 本発明は上記従来の欠点に鑑み、原稿面の高照度点状照
明が可能な帯層型光センサを提供することを目的とする
更に又、一本発明は照明系、反射光導光系が単純で安価
な密着瀝光センサを提供することを目的とする。
((転)発明の構成 そしてこの目的は本発明によれば照明用導光系と受光素
子とを含む光センサにおいて酸化によシ透明体となる材
料Kmm酸酸化よシ透明体に形成せしめられえ少なくと
も1つの前記照明用導光系を會むことを特徴とすゐ光セ
ンサによって達成される。
(6)  斃W140実施例 以下本発明実施例を図wKよって詳述する。
第2図は不発1jlKよる光センナの構造を示す概略断
面図である。
同図において8は例えばシリコン基板、9は原稿面、1
0は該シリコン基板を酸化することによって形成された
透明体照明用導光系、1oaii該透明体反射光導光系
、11は入射光、12は反射光、13は原稿面9上の照
明点、14は受光素子をそれぞれ示している。
酸化によシ透明体となる例えばシリコン基板8の一部を
陽極酸化法により二酸化シリコン(Si02)Kせしめ
入射光11を原稿面9の照明点13へ導く入射光導光系
10を形成する。該陽極酸化の電界液は水1000(C
C)にクエン酸1.9を投入したものを用いた。該入射
光導光系110@1を約10100(J1として入射光
が収束された形で照明点213に照明せしめられる。入
射光11は照明点13で反射せしめられ該反射光12轄
例えば前述の入射光導光系の両側の該入射光導光系と同
様に11 陽極酸化法によって形成された二酸化シリコン(81伽
)の反射光導光系101にムシ、受光素子14で検出さ
れる。
該反射光導光系10aの幅!雪 は約10100(j 
 であ抄、各導光系の長さは約l〔■〕とした。また導
光系と原稿面間の距離tsは約300(μm〕とするの
が好ましい。
陽極酸化法によ)透明体となる材料は本発明に係るシリ
コンの他にアルミニウム(*2) 、タングステン(財
)、タンタル(’!’a)等があシ、これらの金属4勿
論本願に利用出来る。
第3図は単に入射光導光系10′に入り九人射光11′
が原稿面9′上の照明点13′に反射してすぐに受光素
子14′に検出される構造を示している。すなわち受光
素子14′は例えばシリコン基I[8′に対して入射光
線11’が照射される側と反対側に配置せしめられる。
本発明で社入射光導光系及び反射光導光系の数をフォト
リングラフ技術を用いて増加させることによって2次元
又は1次元(ライン)センナが構成される。
(η 発W14の効果 以上説明しえように本発明の光センナでは一般の高輝度
光源を用いることができるので原稿面の高照度点状照明
が可能となシ、更に照明系(入射光導光系)及び反射光
導光系の構造を単純に且つ安価とすることが出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の光センサを欽、明するための概略断面図
を示したものであり、第2図及び第3図は本発明に係る
実施例を示す概略断面図である。 1・・・基板、2・・・光源、3・・・原稿面、3′・
・・照明点、4・・・反射光、5・・・光ファイバ、6
・・・受光素子、7・・・V溝、訃・・シリコン基板、
9,9′・・・原稿面、10−、10’ ・・・入射光
導光系、11 、11’・・・入射光、12 、12’
・・・反射光、13.13’・・・照明点、14.1−
4’−′・・・受光素子。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 照明用導光系と受光素子とを含む光センサにおいて、 酸化により透明体となる材料Kmm酸酸化よシ透明体に
    形成せしめられ九少なくとも1つの前記照明用導光系を
    含むことを特徴とする光センサ。
JP20518981A 1981-12-21 1981-12-21 光センサ Pending JPS58106947A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20518981A JPS58106947A (ja) 1981-12-21 1981-12-21 光センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20518981A JPS58106947A (ja) 1981-12-21 1981-12-21 光センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58106947A true JPS58106947A (ja) 1983-06-25

Family

ID=16502873

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20518981A Pending JPS58106947A (ja) 1981-12-21 1981-12-21 光センサ

Country Status (1)

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JP (1) JPS58106947A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0438104A2 (en) * 1990-01-17 1991-07-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Image reading device
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US8592959B2 (en) 2009-11-27 2013-11-26 Shinko Electric Industries Co., Ltd. Semiconductor device mounted on a wiring board having a cap

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