JPH1154049A - Plasma display substrate and manufacture of plasma display - Google Patents
Plasma display substrate and manufacture of plasma displayInfo
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Landscapes
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル(以下PDPと略す)に関する。PDPは大
型化と薄型化が可能であり、家庭用テレビ、コンピュー
ターモニターなどに適したディスプレイである。より詳
細には、PDP用の基板を作製する際に、基板のそり・
割れを低減し、高歩留まりでPDPを作製するためのP
DP用基板およびその製造方法に関する。The present invention relates to a plasma display panel (hereinafter abbreviated as PDP). A PDP can be made large and thin, and is a display suitable for a home television, a computer monitor, and the like. More specifically, when fabricating a substrate for a PDP,
P for producing PDP with reduced cracking and high yield
The present invention relates to a DP substrate and a method for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、大型ディスプレイとしてプラズマ
ディスプレイが注目されている。プラズマディスプレイ
パネル(PDP)は液晶パネルに比べて高速の表示が可
能であり、且つ大型化が容易であることから、OA機器
および広報表示装置などの分野に浸透している。また高
品位テレビジョンの分野などでの進展が非常に期待され
ている。このような用途の拡大にともなって、微細で多
数の表示セルを有するカラーPDPが注目されている。2. Description of the Related Art In recent years, plasma displays have attracted attention as large displays. 2. Description of the Related Art Plasma display panels (PDPs) can permeate at higher speeds than liquid crystal panels and can be easily increased in size, and thus have permeated fields such as OA equipment and public information display devices. Also, progress in the field of high-definition television is highly expected. With the expansion of such applications, attention has been paid to color PDPs having a large number of fine display cells.
【0003】PDPは前面板と背面板をはり合わせて構
成されている。前面板ではガラス基板の裏面にITOや
酸化錫からなる透明電極が形成されている。透明電極は
帯状に複数本形成されている。この隣り合う透明電極間
に通常10kHz〜数10kHzのパルス状AC電圧を
印加し表示用の放電を得るが、透明電極のシート抵抗は
数10Ω/cm2と高いため、電極抵抗が数10kΩ程
度になり、印過電圧パルスが十分に立ち上がらずに駆動
が困難になる。そこで、透明電極状に通常金属製のバス
電極を形成して抵抗値を下げる。[0003] A PDP is constructed by laminating a front plate and a back plate. In the front plate, a transparent electrode made of ITO or tin oxide is formed on the back surface of the glass substrate. A plurality of transparent electrodes are formed in a strip shape. Usually, a pulsed AC voltage of 10 kHz to several tens of kHz is applied between the adjacent transparent electrodes to obtain a discharge for display. However, since the sheet resistance of the transparent electrode is as high as several tens of Ω / cm 2 , the electrode resistance is reduced to about several tens of kΩ. As a result, the driving becomes difficult because the imprint voltage pulse does not sufficiently rise. Therefore, a metal bus electrode is usually formed on the transparent electrode to reduce the resistance value.
【0004】次に、これら電極を透明誘電体層によって
被覆する、透明誘電体層は低融点ガラスを用いる。その
後、保護層として、MgOを電子ビーム蒸着法により形
成する。前面板に形成される誘電体は、放電のための電
荷を蓄積するためのコンデンサーとしての役割を有して
いる。Next, these electrodes are covered with a transparent dielectric layer. The transparent dielectric layer uses low melting point glass. Thereafter, MgO is formed as a protective layer by an electron beam evaporation method. The dielectric formed on the front plate has a role as a capacitor for accumulating charges for discharging.
【0005】一方、背面パネルは、ガラス基板上に表示
データを書き込むデータ電極を感光性銀ペーストを用い
て作製し、誘電体層で被覆する。その上に、隔壁を形成
し、スクリーン印刷によって、赤、緑、青の各色に発光
する蛍光体を塗布後、乾燥、焼成を行って蛍光体層を形
成する。赤色蛍光体粉末としては(Y,Gd)BO3:
Eu、緑色蛍光体粉末としては(Zn,Mn)2Si
O、青色蛍光体粉末としては(Ba,Eu)MgAl10
O7等のものが一般的に用いられる。On the other hand, in the rear panel, a data electrode for writing display data on a glass substrate is formed using a photosensitive silver paste, and is covered with a dielectric layer. A partition is formed thereon, and a phosphor that emits red, green, and blue light is applied by screen printing, and then dried and fired to form a phosphor layer. (Y, Gd) BO 3 as a red phosphor powder:
Eu, green phosphor powder (Zn, Mn) 2 Si
O, (Ba, Eu) MgAl 10 as blue phosphor powder
O 7 and the like are generally used.
【0006】前面板と背面板をマトリクス駆動が可能に
なるように合わせて、封着した後、排気、He、Ne、
Xeの混合ガスを封入し、駆動回路を実装してPDPを
作製される。[0006] After sealing the front plate and the rear plate so as to enable matrix driving, exhaust, He, Ne,
A mixed gas of Xe is sealed, and a drive circuit is mounted to manufacture a PDP.
【0007】隣り合う透明電極の間にパルス状の交流電
圧を印加するとガス放電が生じ、プラズマが形成され
る。ここで生じた紫外線が蛍光体を励起して可視光を発
光し前面板を通して表示発光を得る。放電を生じる透明
電極は走査電極と維持電極からなっている。実際のパネ
ル駆動において、放電電極である透明電極には維持放電
パルスが印加されており、放電を生じさせるときには、
背面板上のデータ電極との間に電圧を印加して対向放電
を生じさせ、この放電が維持パルスによって放電電極間
で維持される。上記のPDPを作製する場合に、基板が
加工時にそりや割れが生じることによって、歩留まりが
低下するという課題があった。特に、基板のほぼ全面に
形成する誘電体に起因する基板そりや基板割れが生じや
すい。When a pulsed AC voltage is applied between adjacent transparent electrodes, gas discharge occurs, and plasma is formed. The ultraviolet light generated here excites the phosphor to emit visible light and obtain display light emission through the front plate. The transparent electrode that generates a discharge is composed of a scan electrode and a sustain electrode. In an actual panel drive, a sustain discharge pulse is applied to the transparent electrode serving as a discharge electrode.
A voltage is applied between the data electrodes on the back plate to generate a counter discharge, and this discharge is maintained between the discharge electrodes by a sustain pulse. When manufacturing the above PDP, there is a problem that the yield is reduced due to warpage or cracking of the substrate during processing. In particular, substrate warpage or substrate cracking due to a dielectric formed on substantially the entire surface of the substrate is likely to occur.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ガラス基板
上に誘電体層を形成する場合に生じる基板のそりや割れ
を抑制し、歩留まりよくPDP用基板を提供することを
目的とする。本発明の方法は、ガラス基板上に電極、誘
電体、隔壁および蛍光体を設けたPDP用背面基板の誘
電体層を形成する場合に有効である。特に、隔壁を感光
性ペースト法で形成して、高精細のPDP用の基板を得
る場合に有効である。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a PDP substrate with a high yield by suppressing warping or cracking of the substrate when a dielectric layer is formed on a glass substrate. The method of the present invention is effective when forming a dielectric layer of a PDP rear substrate provided with electrodes, dielectrics, partitions, and phosphors on a glass substrate. In particular, it is effective when a partition is formed by a photosensitive paste method to obtain a high-definition PDP substrate.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、ガラス
基板上に形成した電極層の上に絶縁体からなる誘電体層
を設けたプラズマディスプレイ用基板であり、該誘電体
層に含まれるアルカリ金属の合計含有量が5重量%以下
であることを特徴とするプラズマディスプレイ用基板に
よって達成される。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a plasma display substrate in which a dielectric layer made of an insulator is provided on an electrode layer formed on a glass substrate, the substrate being included in the dielectric layer. This is achieved by a plasma display substrate characterized in that the total content of alkali metals is 5% by weight or less.
【0010】また本発明の目的は、アルカリ金属の合計
含有量が5重量%以下であるガラス粉末またはセラミッ
クス粉末と有機成分からなる誘電体ペーストを塗布した
ガラス基板上に、ガラス粉末と感光性有機成分からなる
感光性ガラスペーストを塗布、露光、現像の工程を経て
隔壁パターンを形成した後に、誘電体ペースト層および
隔壁パターンを同時に焼成して誘電体層および隔壁を形
成するプラズマディスプレイの製造方法によって達成さ
れる。[0010] It is another object of the present invention to provide a method in which a glass powder having a total content of alkali metals of 5% by weight or less and a dielectric paste comprising an organic component and a glass substrate are coated with a glass powder and a photosensitive organic compound. After forming a partition pattern through the steps of applying a photosensitive glass paste composed of components, exposing and developing, a dielectric paste layer and a partition pattern are simultaneously fired to form a dielectric layer and a partition. Achieved.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】本発明のPDP用基板に用いるガ
ラス基板としては、ソーダガラス基板や旭硝子社製の”
PD−200”などのPDP用耐熱ガラス基板を用いる
ことができる。このガラス基板上に、電極を形成する場
合、電極材質としては、銀を50重量%以上、より好ま
しくは、銀を90〜99重量%含む材質を用いることが
抵抗値・ガラス基板との接着性の点から好ましい。電極
中に1〜10重量%のガラス成分を含有させることによ
り、基板ガラスとの接着性に優れた電極層を得ることが
できる。この電極を形成する方法としては、スクリーン
印刷法や感光性ペースト法が用いられる。感光性ペース
ト法では平均粒子径1〜4ミクロンの銀粉末と平均粒子
径0.1〜2ミクロンのガラスフリットを感光性有機成
分と混練して得られる感光性銀ペーストをガラス基板上
に塗布、乾燥後、露光、現像、焼成の工程を経ることに
より形成することができる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As a glass substrate used for the PDP substrate of the present invention, a soda glass substrate or an Asahi Glass
A heat-resistant glass substrate for PDP such as PD-200 "can be used. When an electrode is formed on this glass substrate, silver is used as an electrode material in an amount of 50% by weight or more, more preferably 90 to 99%. It is preferable to use a material containing 1% by weight in terms of resistance value and adhesion to a glass substrate, and an electrode layer having excellent adhesion to a substrate glass by containing a glass component of 1 to 10% by weight in an electrode. As a method for forming this electrode, a screen printing method or a photosensitive paste method is used, in which a silver powder having an average particle diameter of 1 to 4 microns and an average particle diameter of 0.1 to 4 are used. To form a photosensitive silver paste obtained by kneading a 2 micron glass frit with a photosensitive organic component on a glass substrate, drying, exposing, developing, and firing It can be.
【0012】電極層を形成したガラス基板上に、絶縁体
からなる誘電体層を形成する。電極層の上に誘電体層を
形成することによって、隔壁を形成する場合に、剥がれ
や倒れが生じにくくなる。特に、隔壁を感光性ペースト
法で形成した場合には、隔壁上部と下部の重合硬化の差
に起因する剥がれが生じやすく、隔壁層の下に、誘電体
層を形成することは、歩留まり向上のために有効であ
る。A dielectric layer made of an insulator is formed on the glass substrate on which the electrode layer has been formed. By forming a dielectric layer on the electrode layer, peeling or falling down hardly occurs when a partition is formed. In particular, when the partition is formed by a photosensitive paste method, peeling due to a difference in polymerization curing between the upper part and the lower part of the partition is likely to occur, and forming a dielectric layer under the partition layer improves yield. It is effective for.
【0013】誘電体層の厚みは、3〜20μm、より好
ましくは6〜15μmであることが均一な誘電体層の形
成のために好ましい。厚みが20μmを越えると、焼成
の際、脱媒が困難でありクラックが生じやすく、またガ
ラス基板へかかる応力が大きいために基板がそる等の問
題が生じる。また、3μm未満では厚みの均一性を保持
するのが困難である。誘電体材料の誘電率は7〜13の
ものを用いることができるが、7〜10が好ましい。誘
電率7以下の材料はガラス基板上への焼き付けが難し
く、13以上の材料はPDPを表示する場合に放電電圧
が高くなるため好ましくない。The thickness of the dielectric layer is preferably 3 to 20 μm, more preferably 6 to 15 μm, in order to form a uniform dielectric layer. If the thickness exceeds 20 μm, during baking, it is difficult to remove the solvent and cracks are likely to occur, and the stress applied to the glass substrate is large, causing problems such as warping of the substrate. If the thickness is less than 3 μm, it is difficult to maintain uniformity of the thickness. The dielectric constant of the dielectric material can be 7 to 13, but is preferably 7 to 10. A material having a dielectric constant of 7 or less is difficult to print on a glass substrate, and a material having a dielectric constant of 13 or more is not preferable because a discharge voltage increases when displaying a PDP.
【0014】誘電体層は、50〜400℃の範囲の熱膨
張係数α50〜400の値が、70〜85×10-7/°K、
より好ましくは72〜80×10-7/°Kであるガラス
からなることが、基板ガラスの熱膨張係数と整合し、焼
成の際にガラス基板にかかる応力を減らすので好まし
い。85×10-7/°Kを越えると、誘電体層の形成面
側に基板が反るような応力がかかり、70×10-7/°
K未満では誘電体層のない面側に基板が反るような応力
がかかる。このため、基板の加熱、冷却を繰り返すと基
板が割れる場合がある。また、前面基板との封着の際、
基板のそりのために両基板が平行にならず封着できない
場合もある。The dielectric layer has a coefficient of thermal expansion α 50 to 400 in the range of 50 to 400 ° C., 70 to 85 × 10 −7 / ° K,
It is more preferable to use a glass having a temperature of 72 to 80 × 10 −7 / ° K. This is because it matches the thermal expansion coefficient of the substrate glass and reduces the stress applied to the glass substrate during firing. If it exceeds 85 × 10 −7 / ° K., a stress such that the substrate is warped is applied to the surface on which the dielectric layer is formed, and 70 × 10 −7 / ° K.
If it is less than K, a stress is applied to the surface without the dielectric layer such that the substrate warps. Therefore, the substrate may be cracked when the substrate is repeatedly heated and cooled. Also, when sealing with the front substrate,
In some cases, both substrates may not be parallel and cannot be sealed due to the warpage of the substrates.
【0015】基板にそりが生じている場合、前面板と背
面板の封着の際、隔壁頭部と前面板表面との間に隙間が
生じることで、各セル間で誤放電が生じたり、封着時に
基板が破損したりする。これらの問題が生じないために
は、反り量の絶対値を3×10-3m-1以下にする必要が
ある。すなわち、基板のそり量を次式の範囲内にする必
要がある。 −3×10-3m-1≦1/R≦3×10-3m-1(Rは基板
の曲率半径を表す)When the substrate is warped, a gap is formed between the head of the partition and the surface of the front plate when the front plate and the rear plate are sealed, causing erroneous discharge between the cells, The substrate may be damaged during sealing. In order to avoid these problems, the absolute value of the amount of warpage needs to be 3 × 10 −3 m −1 or less. That is, the amount of warpage of the substrate needs to be within the range of the following equation. -3 × 10 −3 m −1 ≦ 1 / R ≦ 3 × 10 −3 m −1 (R represents the radius of curvature of the substrate)
【0016】誘電体層中に含まれるアルカリ金属の合計
含有量を5重量%以下、より好ましくは3重量%以下に
することによって、焼成時の基板のそりや割れを抑制す
ることができる。熱膨張係数が基板ガラスと整合してい
ても、アルカリ金属、具体的には、ナトリウム、リチウ
ム、カリウムを合計5重量%より多く含有する場合は、
焼成時にガラス基板や電極中のガラス成分とイオン交換
が起こるため、基板ガラスの表面部分や誘電体ガラスの
特性が変化するため、基板ガラスの熱特性と一致しなく
なり熱変形が生じる。By controlling the total content of alkali metals contained in the dielectric layer to 5% by weight or less, more preferably 3% by weight or less, warpage and cracking of the substrate during firing can be suppressed. Even if the coefficient of thermal expansion matches that of the substrate glass, when the alkali metal, specifically, sodium, lithium, and potassium is contained in more than 5% by weight in total,
Since ion exchange occurs with the glass components in the glass substrate and the electrodes during firing, the properties of the surface portion of the substrate glass and the dielectric glass change, and the thermal properties do not match the thermal characteristics of the substrate glass, resulting in thermal deformation.
【0017】特に、リチウムを含有する場合に生じやす
く、誘電体層に含まれるリチウムの合計含有量を3重量
%以下にすることが好ましい。誘電体層には、酸化ビス
マス、酸化鉛、酸化亜鉛のうち少なくとも1種類を10
〜60重量%含むガラスを用いることによって熱軟化温
度、熱膨張係数のコントロールが容易になる。特に、酸
化ビスマスを10〜60重量%含有するガラスを用いる
ことは、ペーストの安定性などの利点がある。 酸化ビ
スマス、酸化鉛、酸化亜鉛の添加量は60重量%を越え
るとガラスの耐熱温度が低くなり過ぎてガラス基板上へ
の焼き付けが難しくなる。具体的なガラス組成の例とし
ては、酸化物換算表記で以下のものがあげられるが、本
発明は、このガラス組成に限定されるものではない。In particular, this is likely to occur when lithium is contained, and it is preferable that the total content of lithium contained in the dielectric layer be 3% by weight or less. In the dielectric layer, at least one of bismuth oxide, lead oxide, and zinc oxide is used for 10 times.
The use of glass containing 60% by weight facilitates control of the thermal softening temperature and the coefficient of thermal expansion. In particular, the use of glass containing 10 to 60% by weight of bismuth oxide has advantages such as stability of the paste. If the added amount of bismuth oxide, lead oxide, or zinc oxide exceeds 60% by weight, the heat resistance temperature of the glass becomes too low, and it becomes difficult to bake the glass substrate. Specific examples of the glass composition include the following in terms of oxides, but the present invention is not limited to this glass composition.
【0018】 酸化ビスマス 10〜40重量部 酸化珪素 3〜50重量部 酸化ホウ素 10〜40重量部 酸化バリウム 5〜20重量部 酸化亜鉛 10〜20重量部 誘電体層は、無機粉末と有機バインダーからなる誘電体
ペーストをガラス基板上に塗布し、焼成することによっ
て形成できる。誘電体層用ペーストに用いるガラス粉末
の量は、ガラス粉末と有機成分の和に対して50〜90
重量%であるのが好ましい。50重量%未満では、誘電
体層の緻密性、表面の平坦性が欠如し、90重量%を越
えるとペースト粘度が上昇し、塗布時の厚みムラが大き
くなる。この場合、ガラス基板の変形を抑制するため
に、500〜600℃で焼成する必要がある。このた
め、誘電体用ペーストに用いる無機粉末としては、ガラ
ス転移温度(Tg)430〜500℃、荷重熱軟化温度
(Ts)470〜580℃のガラス粉末を30重量%以
上、さらには、60重量%以上含有することが好まし
い。ガラス転移温度(Tg)が430℃よりも低い場合
や荷重熱軟化温度(Ts)が470℃よりも低い場合
は、後の工程中にガラスが溶融して、誘電体の厚み均一
性や特性が低下する。また、ガラス転移温度(Tg)が
500℃よりも低い場合や荷重熱軟化温度(Ts)が5
80℃よりも高い場合は、ガラス基板上での焼成が不十
分になり、誘電体層の剥離や欠落を生じやすくなる。Bismuth oxide 10 to 40 parts by weight Silicon oxide 3 to 50 parts by weight Boron oxide 10 to 40 parts by weight Barium oxide 5 to 20 parts by weight Zinc oxide 10 to 20 parts by weight The dielectric layer comprises an inorganic powder and an organic binder. It can be formed by applying a dielectric paste on a glass substrate and firing it. The amount of the glass powder used for the dielectric layer paste is 50 to 90 with respect to the sum of the glass powder and the organic component.
Preferably, it is weight%. If the amount is less than 50% by weight, the denseness of the dielectric layer and the flatness of the surface are lacking. If the amount exceeds 90% by weight, the paste viscosity increases, and the thickness unevenness during coating increases. In this case, in order to suppress deformation of the glass substrate, it is necessary to bake at 500 to 600 ° C. For this reason, as an inorganic powder used for the dielectric paste, a glass powder having a glass transition temperature (Tg) of 430 to 500 ° C. and a heat-softening temperature under load (Ts) of 470 to 580 ° C. is 30% by weight or more, and further 60% by weight. % Is preferable. When the glass transition temperature (Tg) is lower than 430 ° C. or when the heat-softening temperature under load (Ts) is lower than 470 ° C., the glass is melted in a later process, and the thickness uniformity and characteristics of the dielectric are reduced. descend. Further, when the glass transition temperature (Tg) is lower than 500 ° C. or when the heat softening temperature under load (Ts) is 5
When the temperature is higher than 80 ° C., the firing on the glass substrate becomes insufficient, and the dielectric layer is liable to be peeled or missing.
【0019】また、誘電体ペーストの塗布後、隔壁用ペ
ーストを用いて隔壁パターンを形成し、誘電体層と隔壁
パターンを同時に焼成することによって、剥がれや倒れ
のない均一な隔壁層を形成することができる。隔壁を無
機粉末と感光性有機成分からなる感光性ペーストを用い
て形成することは、PDPの高精細化および作製工程の
低減に有効である。Further, after applying the dielectric paste, a partition pattern is formed using the partition paste, and the dielectric layer and the partition pattern are simultaneously fired to form a uniform partition layer without peeling or falling. Can be. Forming the partition using a photosensitive paste composed of an inorganic powder and a photosensitive organic component is effective in increasing the definition of the PDP and reducing the number of manufacturing steps.
【0020】感光性ペースト法は、主としてガラス粉末
からなる無機成分と感光性を持つ有機成分からなる感光
性ペーストをガラス基板上に塗布し、露光によりフォト
マスクのパターンを焼き付け、現像により、隔壁パター
ンを形成し、その後焼成して隔壁を得る方法である。塗
布する方法として、感光性ペーストをフィルム上に塗布
した感光性シート(グリーンテープ)をガラス基板上に
転写する方法を用いることもできる。感光性ペースト法
によって形成した隔壁パターンは、厚み方向に光硬化の
不均一による歪み応力が生じやすいため、焼成の際に剥
がれが生じやすい。隔壁の剥がれが生じると剥がれた箇
所で色の混色が起こり、また剥がれた隔壁がパネル上に
残り画素をつぶしてしまい歩留まりが低下する。これを
抑制するために、隔壁パターンを未焼成の誘電体層上で
形成し、該隔壁パターンと誘電体層を同時に焼成するこ
とにより、剥がれが抑制され、歩留まりが向上する。In the photosensitive paste method, a photosensitive paste mainly composed of an inorganic component composed of glass powder and an organic component having photosensitivity is applied onto a glass substrate, a photomask pattern is baked by exposure, and a partition pattern is developed by development. Is formed and then fired to obtain partition walls. As a method of applying, a method of transferring a photosensitive sheet (green tape) in which a photosensitive paste is applied on a film onto a glass substrate can also be used. Since the partition wall pattern formed by the photosensitive paste method is liable to generate strain stress due to uneven photocuring in the thickness direction, the partition pattern is likely to be peeled off during firing. When the partition is peeled off, color mixing occurs at the place where the partition is peeled off, and the peeled partition crushes the remaining pixels on the panel, lowering the yield. In order to suppress this, a partition pattern is formed on the unfired dielectric layer, and the partition pattern and the dielectric layer are fired simultaneously, whereby peeling is suppressed and the yield is improved.
【0021】隔壁に用いる場合は、ガラス転移点、熱軟
化点の低いガラス基板上にパターン形成するため、隔壁
用材料として、ガラス転移点が430〜500℃、熱軟
化温度が470〜580℃のガラス材料を用いることが
好ましい。また、平均屈折率1.5〜1.7のガラスを
用いることにより、ペースト中のガラス粉末の屈折率を
有機成分の屈折率と近づけて、ペースト中の光散乱を抑
制し、塗布・露光回数を減らすことができる。ガラス基
板上に焼き付け可能な熱軟化温度を有し、平均屈折率を
1.5〜1.7のガラスを得るためには、酸化リチウ
ム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのうち少なくとも1
種類を3〜20重量%含むガラス微粒子を用いることが
簡便な方法である。酸化ナトリウム、酸化リチウム、酸
化カリウム等のアルカリ金属の酸化物を合計で2〜20
重量%含有するガラスを用いることによって、熱軟化温
度、熱膨張係数のコントロールが容易になるだけでな
く、ガラスの平均屈折率を低くすることができるため、
有機物との屈折率差を小さくすることが容易になる。2
%より小さい時は、熱軟化温度の制御が難しくなる。2
0%より大きい場合は、ペーストの安定性が低下する。
しかし、隔壁材料にアルカリ金属を含有する場合、誘電
体層にアルカリ金属やその酸化物を含有すると、隔壁層
/誘電体層/ガラス基板の3層間でイオン交換反応が生
じて、基板のそりや割れ、また、銀電極との反応による
基板の黄着色が生じる。しかし、誘電体層に含まれるア
ルカリ金属の合計含有量を5重量%以下、好ましくは
0.5重量%以下にすることによって、黄色化や基板の
そりや割れを抑制できる。When used for a partition, a pattern is formed on a glass substrate having a low glass transition point and thermal softening point. Therefore, the partition wall material has a glass transition point of 430 to 500 ° C. and a thermal softening temperature of 470 to 580 ° C. It is preferable to use a glass material. Further, by using glass having an average refractive index of 1.5 to 1.7, the refractive index of the glass powder in the paste is made close to the refractive index of the organic component, light scattering in the paste is suppressed, and the number of coating / exposure times is reduced. Can be reduced. In order to obtain a glass having a heat softening temperature that can be baked on a glass substrate and having an average refractive index of 1.5 to 1.7, at least one of lithium oxide, sodium oxide, and potassium oxide is required.
It is a simple method to use glass fine particles containing 3 to 20% by weight of the kind. A total of 2 to 20 alkali metal oxides such as sodium oxide, lithium oxide and potassium oxide
By using the glass containing by weight, not only the control of the thermal softening temperature and the coefficient of thermal expansion becomes easy, but also the average refractive index of the glass can be lowered,
It becomes easy to reduce the difference in the refractive index from the organic substance. 2
%, It becomes difficult to control the thermal softening temperature. 2
If it is more than 0%, the stability of the paste will decrease.
However, when the partition wall material contains an alkali metal and the dielectric layer contains an alkali metal or an oxide thereof, an ion exchange reaction occurs between the three layers of the partition wall layer / dielectric layer / glass substrate, thereby causing warpage of the substrate. Cracking and yellowing of the substrate due to reaction with the silver electrode occur. However, by setting the total content of alkali metals contained in the dielectric layer to 5% by weight or less, preferably 0.5% by weight or less, yellowing, warping and cracking of the substrate can be suppressed.
【0022】隔壁材質の組成としては、酸化珪素はガラ
ス中に、3〜60重量%の範囲で配合することが好まし
く、3重量%未満の場合はガラス層の緻密性、強度や安
定性が低下し、また熱膨張係数が所望の値から外れ、ガ
ラス基板とのミスマッチが起こりやすい。また60重量
%以下にすることによって、熱軟化点が低くなり、ガラ
ス基板への焼き付けが可能になるなどの利点がある。As the composition of the material of the partition walls, silicon oxide is preferably incorporated in the glass in the range of 3 to 60% by weight, and if less than 3% by weight, the denseness, strength and stability of the glass layer are reduced. In addition, the coefficient of thermal expansion deviates from a desired value, and a mismatch with a glass substrate is likely to occur. Further, when the content is set to 60% by weight or less, there is an advantage that the heat softening point is lowered and baking on a glass substrate becomes possible.
【0023】酸化ホウ素はガラス中に、5〜50重量%
の範囲で配合することによって、電気絶縁性、強度、熱
膨張係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的
特性を向上することができる。50重量%を越えるとガ
ラスの安定性が低下する。Boron oxide is 5 to 50% by weight in the glass.
The electrical, mechanical and thermal properties such as electrical insulation, strength, coefficient of thermal expansion, and denseness of the insulating layer can be improved by blending in the range. If it exceeds 50% by weight, the stability of the glass will decrease.
【0024】また、ガラス微粒子中に、酸化アルミニウ
ム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウ
ム、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなど、特に酸化アルミ
ニウム、酸化バリウム、酸化亜鉛を添加することによ
り、硬度や加工性を改良することができるが、熱軟化
点、熱膨張係数、屈折率の制御の点からは、その含有量
は40重量%以下が好ましく、より好ましくは25重量
%以下である。The hardness and workability can be improved by adding aluminum oxide, barium oxide, calcium oxide, magnesium oxide, zinc oxide, zirconium oxide, etc., particularly aluminum oxide, barium oxide and zinc oxide to the glass fine particles. However, from the viewpoint of controlling the thermal softening point, the coefficient of thermal expansion, and the refractive index, the content is preferably 40% by weight or less, more preferably 25% by weight or less.
【0025】酸化リチウムを含むガラス組成としては、
酸化物換算表記で 酸化リチウム 2〜15重量部 酸化珪素 15〜50重量部 酸化ホウ素 15〜40重量部 酸化バリウム 2〜15重量部 酸化アルミニウム 6〜25重量部 の組成を含むものを50重量%以上含有することが好ま
しい。As the glass composition containing lithium oxide,
In terms of oxide, lithium oxide 2 to 15 parts by weight Silicon oxide 15 to 50 parts by weight Boron oxide 15 to 40 parts by weight Barium oxide 2 to 15 parts by weight Aluminum oxide 6 to 25 parts by weight 50% or more by weight It is preferred to contain.
【0026】また、上記組成で、酸化リチウムの代わり
に、酸化ナトリウム、酸化カリウムを用いても良いが、
ペーストの安定性の点で、酸化リチウムが好ましい。In the above composition, sodium oxide or potassium oxide may be used instead of lithium oxide.
Lithium oxide is preferred from the viewpoint of paste stability.
【0027】感光性ペースト法に用いるガラス粉末の量
は、ガラス粉末と有機成分の和に対して65〜85重量
%であるのが好ましい。65重量%より小さいと、焼成
時の収縮率が大きくなり、隔壁の断線、剥がれの原因と
なるため、好ましくない。またパターン太り、現像時の
残膜の発生が起こりやすい。85重量%より大きいと、
感光性成分が少ないことにより、パターンの形成性が悪
くなる。The amount of the glass powder used in the photosensitive paste method is preferably 65 to 85% by weight based on the sum of the glass powder and the organic component. If it is less than 65% by weight, the shrinkage ratio during firing becomes large, which causes disconnection and peeling of the partition walls, which is not preferable. In addition, the pattern tends to be thick and a residual film is likely to be generated during development. If it is greater than 85% by weight,
When the amount of the photosensitive component is small, pattern formability is deteriorated.
【0028】本発明の隔壁材料にガラス軟化点が650
〜850℃であるフィラーを10〜50重量%含ませて
もよい。これにより、感光性ペースト法において、パタ
ーン形成後の焼成時の収縮率が小さくなり、パターン形
成が容易になる。フィラーとしては、熱軟化温度が60
0℃以上の高融点ガラスやセラミックスなどを用いるこ
とができる。The partition wall material of the present invention has a glass softening point of 650.
A filler having a temperature of 8850 ° C. may be contained in an amount of 105050% by weight. Thereby, in the photosensitive paste method, the shrinkage ratio at the time of baking after pattern formation becomes small, and pattern formation becomes easy. As the filler, the heat softening temperature is 60
High melting point glass or ceramics of 0 ° C. or higher can be used.
【0029】高融点ガラス粉末としては、酸化珪素、酸
化アルミニウムを15重量%以上含有するガラス粉末が
好ましく、これらの含有量合計がガラス粉末中50重量
%以上であることが、必要な熱特性を持たせるためには
有効である。一例としては、以下の組成を含有するガラ
ス粉末を用いることが好ましい。As the high melting point glass powder, a glass powder containing 15% by weight or more of silicon oxide and aluminum oxide is preferable, and the total content of these should be 50% by weight or more in the glass powder. It is effective to have. As an example, it is preferable to use a glass powder containing the following composition.
【0030】 酸化珪素 :15〜50重量% 酸化ホウ素 : 5〜20重量% 酸化アルミニウム:15〜50重量% 酸化バリウム : 2〜10重量% 誘電体層用ペーストおよび隔壁ペーストに用いる有機成
分には、一般的な有機バインダー、可塑剤、溶媒などを
添加できる。有機バインダーの具体的な例としては、ポ
リビニルアルコール、セルロース系ポリマー、シリコン
ポリマー、ポリエチレン、ポリビニルピロリドン、ポリ
スチレン、ポリアミド、高分子量ポリエーテル、ポリビ
ニルブチラール、メタクリル酸エステル重合体、アクリ
ル酸エステル重合体、アクリル酸エステル−メタクリル
酸エステル共重合体、α−メチルスチレン重合体、ブチ
ルメタクリレート樹脂などがあげられる。また、ペース
トの粘度を調整する際には溶媒として、メチルセロソル
ブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルエチ
ルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、
シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピ
ルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォ
キシド、γ−ブチロラクトン、ブロモベンゼン、クロロ
ベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロ
モ安息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの1種
以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。Silicon oxide: 15 to 50% by weight Boron oxide: 5 to 20% by weight Aluminum oxide: 15 to 50% by weight Barium oxide: 2 to 10% by weight The organic components used for the dielectric layer paste and the partition wall paste include: General organic binders, plasticizers, solvents and the like can be added. Specific examples of the organic binder include polyvinyl alcohol, cellulosic polymer, silicon polymer, polyethylene, polyvinylpyrrolidone, polystyrene, polyamide, high molecular weight polyether, polyvinyl butyral, methacrylate polymer, acrylate polymer, and acrylic. Acid ester-methacrylic acid ester copolymer, α-methylstyrene polymer, butyl methacrylate resin, and the like. When adjusting the viscosity of the paste, as a solvent, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone,
Contains cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, bromobenzene, chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid, and one or more of these. An organic solvent mixture is used.
【0031】また、ペースト中に可塑剤を含むこともで
きる。可塑剤の具体的な例としては、ジブチルフタレー
ト、ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコール、
グリセリンなどがあげられる。The paste may contain a plasticizer. Specific examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, polyethylene glycol,
Glycerin and the like.
【0032】誘電体ペーストおよび隔壁ペーストに感光
性を付与することにより、パターン加工が容易になるこ
とや溶媒や現像液に対する溶解性を制御できる利点があ
る。ペースト中に、感光性モノマー、感光性オリゴマ
ー、感光性ポリマーのうち少なくとも1種類から選ばれ
る感光性成分を含有し、さらに必要に応じて、光重合開
始剤、紫外線吸収剤、増感剤、増感助剤、重合禁止剤な
どの添加剤成分を加えることで感光性が付与される。こ
の場合、ペーストをガラス基板上に塗布後に、乾燥を行
った後、露光して光硬化できる。また、パターン露光後
に不要部分を現像して取り除き、パターン形成すること
ができる。By imparting photosensitivity to the dielectric paste and the partition paste, there are advantages that pattern processing becomes easy and solubility in a solvent or a developing solution can be controlled. The paste contains a photosensitive component selected from at least one of a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer, and a photosensitive polymer, and further includes a photopolymerization initiator, an ultraviolet absorber, a sensitizer, Photosensitivity is imparted by adding additive components such as a sensitizer and a polymerization inhibitor. In this case, after the paste is applied on the glass substrate, the paste is dried, exposed to light, and cured. After pattern exposure, unnecessary portions can be developed and removed to form a pattern.
【0033】感光性成分としては、光不溶化型のものと
光可溶化型のものがあり、光不溶化型のものとして、 (A)分子内に不飽和基などを1つ以上有する官能性の
モノマー、オリゴマー、ポリマーを含有するもの (B)芳香族ジアゾ化合物、芳香族アジド化合物、有機
ハロゲン化合物などの感光性化合物を含有するもの (C)ジアゾ系アミンとホルムアルデヒドとの縮合物な
どいわゆるジアゾ樹脂といわれるもの等がある。The photosensitive component includes a photo-insolubilizing type and a photo-solubilizing type. The photo-insolubilizing type includes: (A) a functional monomer having at least one unsaturated group or the like in the molecule. (B) those containing photosensitive compounds such as aromatic diazo compounds, aromatic azide compounds, and organic halogen compounds. (C) So-called diazo resins such as condensates of diazo amines and formaldehyde. And others.
【0034】また、光可溶型のものとしては、 (D)ジアゾ化合物の無機塩や有機酸とのコンプレック
ス、キノンジアゾ類を含有するもの (E)キノンジアゾ類を適当なポリマーバインダーと結
合させた、例えばフェノール、ノボラック樹脂のナフト
キノン−1,2−ジアジド−5−スルフォン酸エステル
等がある。Examples of the photo-soluble type include: (D) a complex of a diazo compound with an inorganic salt or an organic acid, and a compound containing a quinone diazo compound; and (E) a quinone diazo compound combined with an appropriate polymer binder. For example, phenol, naphthoquinone-1,2-diazide-5-sulfonic acid ester of a novolak resin, and the like.
【0035】本発明において用いる感光性成分は、上記
のすべてのものを用いることができる。感光性ペースト
として、無機微粒子と混合して簡便に用いることができ
る感光性成分は、(A)のものが好ましい。As the photosensitive component used in the present invention, all of the above can be used. As the photosensitive component which can be easily used as a photosensitive paste by being mixed with inorganic fine particles, (A) is preferred.
【0036】感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽
和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、メ
チルアクリレート、エチルアクリレート、n−プロピル
アクリレート、イソプロピルアクリレート、n−ブチル
アクリレート、sec−ブチルアクリレート、イソブチ
ルアクリレート、tert−ブチルアクリレート、n−
ペンチルアクリレート、アリルアクリレート、ベンジル
アクリレート、ブトキシエチルアクリレート、ブトキシ
トリエチレングリコールアクリレート、シクロヘキシル
アクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、ジシ
クロペンテニルアクリレート、2−エチルヘキシルアク
リレート、グリセロールアクリレート、グリシジルアク
リレート、ヘプタデカフロロデシルアクリレート、2−
ヒドロキシエチルアクリレート、イソボニルアクリレー
ト、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、イソデキシ
ルアクリレート、イソオクチルアクリレート、ラウリル
アクリレート、2−メトキシエチルアクリレート、メト
キシエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチ
レングリコールアクリレート、オクタフロロペンチルア
クリレート、フェノキシエチルアクリレート、ステアリ
ルアクリレート、トリフロロエチルアクリレート、アリ
ル化シクロヘキシルジアクリレート、1,4−ブタンジ
オールジアクリレート、1,3−ブチレングリコールジ
アクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ジ
エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリ
コールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアク
リレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアク
リレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレー
ト、グリセロールジアクリレート、メトキシ化シクロヘ
キシルジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアク
リレート、プロピレングリコールジアクリレート、ポリ
プロピレングリコールジアクリレート、トリグリセロー
ルジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、アクリルアミド、アミノエチルアクリレート、
フェニルアクリレート、フェノキシエチルアクリレー
ト、ベンジルアクリレート、1−ナフチルアクリレー
ト、2−ナフチルアクリレート、ビスフェノールAジア
クリレート、ビスフェノールA−エチレンオキサイド付
加物のジアクリレート、ビスフェノールA−プロピレン
オキサイド付加物のジアクリレート、チオフェノールア
クリレート、ベンジルメルカプタンアクリレート等のア
クリレート、また、これらの芳香環の水素原子のうち、
1〜5個を塩素または臭素原子に置換したモノマー、も
しくは、スチレン、p−メチルスチレン、o−メチルス
チレン、m−メチルスチレン、塩素化スチレン、臭素化
スチレン、α−メチルスチレン、塩素化α−メチルスチ
レン、臭素化α−メチルスチレン、クロロメチルスチレ
ン、ヒドロキシメチルスチレン、カルボキシメチルスチ
レン、ビニルナフタレン、ビニルアントラセン、ビニル
カルバゾール、および、上記化合物の分子内のアクリレ
ートを一部もしくはすべてをメタクリレートに変えたも
の、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、
1−ビニル−2−ピロリドンなどが挙げられる。本発明
ではこれらを1種または2種以上使用することができ
る。The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond, and specific examples thereof include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, and sec-butyl. Acrylate, isobutyl acrylate, tert-butyl acrylate, n-
Pentyl acrylate, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycerol acrylate, glycidyl acrylate, heptadecafluorodecyl acrylate, 2-
Hydroxyethyl acrylate, isobonyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isodexyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, octafluoropentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, Stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, allylated cyclohexyl diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate Acrylate, dipen Erythritol hexaacrylate, dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, glycerol diacrylate, methoxylated cyclohexyl diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, triglycerol diacrylate, triglycol Methylolpropane triacrylate, acrylamide, aminoethyl acrylate,
Phenyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, benzyl acrylate, 1-naphthyl acrylate, 2-naphthyl acrylate, bisphenol A diacrylate, diacrylate of bisphenol A-ethylene oxide adduct, diacrylate of bisphenol A-propylene oxide adduct, thiophenol acrylate , Acrylates such as benzyl mercaptan acrylate, and among the hydrogen atoms of these aromatic rings,
A monomer in which 1 to 5 are substituted with chlorine or bromine atoms, or styrene, p-methylstyrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, chlorinated styrene, brominated styrene, α-methylstyrene, chlorinated α- Methyl styrene, brominated α-methyl styrene, chloromethyl styrene, hydroxymethyl styrene, carboxymethyl styrene, vinyl naphthalene, vinyl anthracene, vinyl carbazole, and some or all acrylates in the molecules of the above compounds were changed to methacrylates , Γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane,
1-vinyl-2-pyrrolidone and the like. In the present invention, one or more of these can be used.
【0037】これら以外に、不飽和カルボン酸等の不飽
和酸を加えることによって、パターン露光後の現像性を
付与することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例
としては、アクリル酸、メタアクリル酸、イタコン酸、
クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、また
はこれらの酸無水物などがあげられる。In addition, by adding an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid, the developability after pattern exposure can be imparted. Specific examples of unsaturated carboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid,
Examples thereof include crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.
【0038】これらモノマーの含有率は、ガラス粉末と
感光性成分の和に対して、5〜30重量%が好ましい。
これ以外の範囲では、パターンの形成性の悪化、硬化後
の硬度不足が発生するため好ましくない。The content of these monomers is preferably 5 to 30% by weight based on the sum of the glass powder and the photosensitive component.
Outside of this range, the pattern formability deteriorates and the hardness becomes insufficient after curing.
【0039】バインダーとしては、ポリビニルアルコー
ル、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合
体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル−
メタクリル酸エステル共重合体、α−メチルスチレン重
合体、ブチルメタクリレート樹脂などがあげられる。As the binder, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, methacrylate polymer, acrylate polymer, acrylate ester
Examples include methacrylate copolymers, α-methylstyrene polymers, and butyl methacrylate resins.
【0040】また、前述の炭素−炭素二重結合を有する
化合物のうち少なくとも1種類を重合して得られたオリ
ゴマーやポリマーを用いることができる。重合する際
に、これら光反応性モノマーの含有率が、10重量%以
上、さらに好ましくは35重量%以上になるように、他
の感光性のモノマーと共重合することができる。An oligomer or polymer obtained by polymerizing at least one of the compounds having a carbon-carbon double bond described above can be used. During the polymerization, the copolymer may be copolymerized with another photosensitive monomer so that the content of the photoreactive monomer is 10% by weight or more, more preferably 35% by weight or more.
【0041】共重合するモノマーとしては、不飽和カル
ボン酸等の不飽和酸を共重合することによって、隔壁パ
ターンを形成する場合の現像性を向上することができ
る。不飽和カルボン酸の具体的な例としては、アクリル
酸、メタアクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイ
ン酸、フマル酸、ビニル酢酸、またはこれらの酸無水物
などがあげられる。こうして得られた側鎖にカルボキシ
ル基等の酸性基を有するポリマーもしくはオリゴマーの
酸価(AV)は50〜180、さらには70〜140の
範囲が好ましい。酸価が50未満であると、現像許容幅
が狭くなる。また、酸価が180を越えると未露光部の
現像液に対する溶解性が低下するようになるため現像液
濃度を濃くすると露光部まで剥がれが発生し、高精細な
パターンが得られにくい。As a monomer to be copolymerized, an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid can be copolymerized to improve developability in forming a partition pattern. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof. The acid value (AV) of the polymer or oligomer having an acidic group such as a carboxyl group in the side chain thus obtained is preferably in the range of 50 to 180, more preferably 70 to 140. When the acid value is less than 50, the allowable development width becomes narrow. On the other hand, if the acid value exceeds 180, the solubility of the unexposed portion in the developing solution decreases, so that if the developing solution concentration is increased, peeling occurs up to the exposed portion, making it difficult to obtain a high-definition pattern.
【0042】以上示した、ポリマーもしくはオリゴマー
に対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させ
ることによって、感光性を持つ感光性ポリマーや感光性
オリゴマーとして用いることができる。好ましい光反応
性基は、エチレン性不飽和基を有するものである。エチ
レン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリ
ル基、メタクリル基などがあげられる。By adding a photoreactive group to a side chain or a molecular end of the polymer or oligomer described above, it can be used as a photosensitive polymer or a photosensitive oligomer having photosensitivity. Preferred photoreactive groups are those having an ethylenically unsaturated group. Examples of the ethylenically unsaturated group include a vinyl group, an allyl group, an acryl group, and a methacryl group.
【0043】このような側鎖をオリゴマーやポリマーに
付加させる方法は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ
基、水酸基やカルボキシル基に対して、グリシジル基や
イソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やア
クリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたはア
リルクロライドを付加反応させて作る方法がある。A method for adding such a side chain to an oligomer or a polymer is to use an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group or an acrylic acid for a mercapto group, an amino group, a hydroxyl group or a carboxyl group in the polymer. There is a method in which chloride, methacrylic chloride or allyl chloride is added to make an addition reaction.
【0044】グリシジル基を有するエチレン性不飽和化
合物としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グ
リシジル、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル
酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロト
ン酸グリシジルエーテル、イソクロトン酸グリシジルエ
ーテルなどがあげられる。Examples of the ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, glycidyl ether crotonic acid, glycidyl ether isocrotonic acid, and the like. .
【0045】イソシアネート基を有するエチレン性不飽
和化合物としては、(メタ)アクリロイルイソシアネー
ト、(メタ)アクリロイルエチルイソシアネート等があ
る。Examples of the ethylenically unsaturated compound having an isocyanate group include (meth) acryloyl isocyanate and (meth) acryloylethyl isocyanate.
【0046】また、グリシジル基やイソシアネート基を
有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライ
ド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライド
は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカ
ルボキシル基に対して0.05〜1モル当量付加させる
ことが好ましい。The ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group, acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride is used in an amount of from 0.05 to 0.05 to the mercapto group, amino group, hydroxyl group and carboxyl group in the polymer. It is preferable to add one molar equivalent.
【0047】感光性ペースト中の感光性ポリマー、感光
性オリゴマーおよびバインダーからなるポリマー成分の
量としては、パターン形成性、焼成後の収縮率の点で優
れていることから、ガラス粉末と感光性成分の和に対し
て、5〜30重量%であることが好ましい。この範囲外
では、パターン形成が不可能もしくは、パターンの太り
がでるため好ましくない。The amount of the polymer component consisting of the photosensitive polymer, the photosensitive oligomer and the binder in the photosensitive paste is excellent in terms of pattern formability and shrinkage after baking. Is preferably 5 to 30% by weight based on the sum of Outside this range, it is not preferable because pattern formation is impossible or the pattern becomes thick.
【0048】光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾ
フェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビ
ス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジクロロ
ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルジフェニ
ルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,2−
ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−
フェニル−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキ
シ−2−メチルプロピオフェノン、p−t−ブチルジク
ロロアセトフェノン、チオキサントン、2−メチルチオ
キサントン、2−クロロチオキサントン、2−イソプロ
ピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジ
ルジメチルケタノール、ベンジルメトキシエチルアセタ
ール、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インブチルエーテル、アントラキノン、2−t−ブチル
アントラキノン、2−アミルアントラキノン、β−クロ
ルアントラキノン、アントロン、ベンズアントロン、ジ
ベンゾスベロン、メチレンアントロン、4−アジドベン
ザルアセトフェノン、2,6−ビス(p−アジドベンジ
リデン)シクロヘキサノン、2,6−ビス(p−アジド
ベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサノン、2−フ
ェニル−1,2−ブタジオン−2−(o−メトキシカル
ボニル)オキシム、1−フェニル−プロパンジオン−2
−(o−エトキシカルボニル)オキシム、1,3−ジフ
ェニル−プロパントリオン−2−(o−エトキシカルボ
ニル)オキシム、1−フェニル−3−エトキシ−プロパ
ントリオン−2−(o−ベンゾイル)オキシム、ミヒラ
ーケトン、2−メチル−[4−(メチルチオ)フェニ
ル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、ナフタレン
スルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロライ
ド、N−フェニルチオアクリドン、4,4−アゾビスイ
ソブチロニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベンズチ
アゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、カン
ファーキノン、四臭素化炭素、トリブロモフェニルスル
ホン、過酸化ベンゾインおよびエオシン、メチレンブル
ーなどの光還元性の色素とアスコルビン酸、トリエタノ
ールアミンなどの還元剤の組み合わせなどがあげられ
る。本発明ではこれらを1種または2種以上使用するこ
とができる。Specific examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, and 4,4-dichlorobenzophenone. , 4-benzoyl-4-methyldiphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2,2-
Diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-
Phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, pt-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyldimethylketanol Benzylmethoxyethyl acetal, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone, benzanthrone, dibenzosuberone, methyleneanthrone, 4-azidoben Zalacetophenone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene)- - methylcyclohexanone, 2-phenyl-1,2-butadione-2-(o-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl - propane dione -2
-(O-ethoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenyl-propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-ethoxy-propanetrione-2- (o-benzoyl) oxime, Michler's ketone, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, naphthalenesulfonyl chloride, quinoline sulfonyl chloride, N-phenylthioacridone, 4,4-azobisisobutyronitrile, diphenyl disulfide, Photoreducing dyes such as benzothiazole disulfide, triphenylphosphine, camphorquinone, carbon tetrabromide, tribromophenylsulfone, benzoin peroxide and eosin, and methylene blue, and reduction of ascorbic acid and triethanolamine Such as a combination of the like. In the present invention, one or more of these can be used.
【0049】光重合開始剤は、感光性成分に対し、0.
05〜20重量%の範囲で添加され、より好ましくは、
0.1〜15重量%である。重合開始剤の量が少なすぎ
ると、光感度が不良となり、光重合開始剤の量が多すぎ
れば、露光部の残存率が小さくなりすぎるおそれがあ
る。The photopolymerization initiator is added to the photosensitive component in an amount of 0.1%.
In the range of 0.5 to 20% by weight, more preferably
0.1 to 15% by weight. If the amount of the polymerization initiator is too small, the photosensitivity becomes poor, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion may be too small.
【0050】紫外線吸収剤を添加することも有効であ
る。紫外線吸収効果の高い化合物を添加することによっ
て高アスペクト比、高精細、高解像度が得られる。紫外
線吸収剤としては有機系染料からなるもの、中でも35
0〜450nmの波長範囲で高UV吸収係数を有する有
機系染料が好ましく用いられる。具体的には、アゾ系染
料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン
系染料、アミノケトン系染料、アントラキノン系、ベン
ゾフェノン系、ジフェニルシアノアクリレート系、トリ
アジン系、p−アミノ安息香酸系染料などが使用でき
る。有機系染料は吸光剤として添加した場合にも、焼成
後の絶縁膜中に残存しないで吸光剤による絶縁膜特性の
低下を少なくできるので好ましい。これらの中でもアゾ
系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。It is also effective to add an ultraviolet absorber. By adding a compound having a high ultraviolet absorption effect, a high aspect ratio, high definition, and high resolution can be obtained. UV absorbers composed of organic dyes, especially 35
Organic dyes having a high UV absorption coefficient in the wavelength range of 0 to 450 nm are preferably used. Specifically, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, aminoketone dyes, anthraquinones, benzophenones, diphenylcyanoacrylates, triazines, p-aminobenzoic acid dyes and the like can be used. . Even when the organic dye is added as a light absorbing agent, it is preferable because deterioration of the insulating film characteristics due to the light absorbing agent can be reduced without remaining in the insulating film after firing. Among these, azo dyes and benzophenone dyes are preferred.
【0051】有機染料の添加量はガラス粉末に対して
0.05〜1重量部が好ましい。0.05重量%以下で
は紫外線吸光剤の添加効果が減少し、1重量%を越える
と焼成後の絶縁膜特性が低下するので好ましくない。よ
り好ましくは0.1〜0.18重量%である。The addition amount of the organic dye is preferably 0.05 to 1 part by weight based on the glass powder. When the content is less than 0.05% by weight, the effect of adding the ultraviolet absorbent is reduced, and when it exceeds 1% by weight, the properties of the insulating film after firing are deteriorated, which is not preferable. More preferably, it is 0.1 to 0.18% by weight.
【0052】有機染料からなる紫外線吸光剤の添加方法
の一例を上げると、有機染料を予め有機溶媒に溶解した
溶液を作製し、それをペースト作製時に混練する方法以
外に、該有機溶媒中にガラス微粒子を混合後、乾燥する
方法があげられる。この方法によってガラス微粒子の個
々の粒子表面に有機の膜をコートしたいわゆるカプセル
状の微粒子が作製できる。An example of the method of adding the ultraviolet light absorber composed of an organic dye is as follows. In addition to the method of preparing a solution in which the organic dye is dissolved in an organic solvent in advance and kneading the solution at the time of preparing the paste, a method of adding a glass in the organic solvent is also used. After mixing the fine particles, a method of drying the fine particles can be used. By this method, so-called capsule-like fine particles in which the surface of each glass fine particle is coated with an organic film can be produced.
【0053】増感剤は、感度を向上させるために添加さ
れる。増感剤の具体例としては、2,4−ジエチルチオ
キサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビ
ス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、
2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘ
キサノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザ
ル)−4−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、
4,4−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、
4,4−ビス(ジメチルアミノ)カルコン、4,4−ビ
ス(ジエチルアミノ)カルコン、p−ジメチルアミノシ
ンナミリデンインダノン、p−ジメチルアミノベンジリ
デンインダノン、2−(p−ジメチルアミノフェニルビ
ニレン)−イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−
ジメチルアミノベンザル)アセトン、1,3−カルボニ
ル−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)アセトン、
3,3−カルボニル−ビス(7−ジエチルアミノクマリ
ン)、N−フェニル−N−エチルエタノールアミン、N
−フェニルエタノールアミン、N−トリルジエタノール
アミン、N−フェニルエタノールアミン、ジメチルアミ
ノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソア
ミル、3−フェニル−5−ベンゾイルチオテトラゾー
ル、1−フェニル−5−エトキシカルボニルチオテトラ
ゾールなどがあげられる。本発明ではこれらを1種また
は2種以上使用することができる。なお、増感剤の中に
は光重合開始剤としても使用できるものがある。増感剤
を本発明の感光性ペーストに添加する場合、その添加量
は感光性成分に対して通常0.05〜10重量%、より
好ましくは0.1〜10重量%である。増感剤の量が少
なすぎれば光感度を向上させる効果が発揮されず、増感
剤の量が多すぎれば露光部の残存率が小さくなりすぎる
おそれがある。A sensitizer is added to improve the sensitivity. Specific examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone,
2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) -4-methylcyclohexanone, Michler's ketone,
4,4-bis (diethylamino) -benzophenone,
4,4-bis (dimethylamino) chalcone, 4,4-bis (diethylamino) chalcone, p-dimethylaminocinnamylideneindanone, p-dimethylaminobenzylideneindanone, 2- (p-dimethylaminophenylvinylene)- Isonaphthothiazole, 1,3-bis (4-
Dimethylaminobenzal) acetone, 1,3-carbonyl-bis (4-diethylaminobenzal) acetone,
3,3-carbonyl-bis (7-diethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethylethanolamine, N
-Phenylethanolamine, N-tolyldiethanolamine, N-phenylethanolamine, isoamyl dimethylaminobenzoate, isoamyl diethylaminobenzoate, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole, 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazole and the like. Can be In the present invention, one or more of these can be used. Some sensitizers can also be used as photopolymerization initiators. When a sensitizer is added to the photosensitive paste of the present invention, the amount is usually 0.05 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 10% by weight, based on the photosensitive component. If the amount of the sensitizer is too small, the effect of improving the photosensitivity is not exhibited, and if the amount of the sensitizer is too large, the residual ratio of the exposed portion may be too small.
【0054】重合禁止剤は、保存時の熱安定性を向上さ
せるために添加される。重合禁止剤の具体的な例として
は、ヒドロキノン、ヒドロキノンのモノエステル化物、
N−ニトロソジフェニルアミン、フェノチアジン、p−
t−ブチルカテコール、N−フェニルナフチルアミン、
2,6−ジ−t−ブチル−p−メチルフェノール、クロ
ラニール、ピロガロールなどが挙げられる。重合禁止剤
を添加する場合、その添加量は、感光性ペースト中に、
通常、0.001〜1重量%である。The polymerization inhibitor is added to improve the thermal stability during storage. Specific examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, monoesterified hydroquinone,
N-nitrosodiphenylamine, phenothiazine, p-
t-butylcatechol, N-phenylnaphthylamine,
2,6-di-t-butyl-p-methylphenol, chloranil, pyrogallol and the like. When adding a polymerization inhibitor, the amount added, in the photosensitive paste,
Usually, it is 0.001 to 1% by weight.
【0055】可塑剤の具体的な例としては、ジブチルフ
タレート、ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコ
ール、グリセリンなどがあげられる。Specific examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, polyethylene glycol, glycerin and the like.
【0056】感光性ペーストの粘度を調整したい場合、
有機溶媒を加えてもよい。このとき使用される有機溶媒
としては、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチ
ルセロソルブ、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセ
トン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチ
ルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロ
フラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチロラクト
ン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼ
ン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香
酸などやこれらのうちの1種以上を含有する有機溶媒混
合物が用いられる。To adjust the viscosity of the photosensitive paste,
An organic solvent may be added. The organic solvent used at this time includes methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, bromobenzene, Chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid, and the like, and an organic solvent mixture containing at least one of these are used.
【0057】また、誘電体層用ペースト中にラジカル重
合性モノマーおよびラジカル重合開始剤を添加すること
によって、熱重合性のペーストを得ることができる。ペ
ーストを塗布後に加熱して架橋構造を得ることができ
る。この場合は、ラジカル重合性モノマーの具体的な例
としては、エチレン、スチレン、ブタジエン、塩化ビニ
ル、酢酸ビニル、アクリル酸、アクリル酸メチル、メチ
ルビニルケトン、アクリルアミド、アクリロニトリル等
がある。ラジカル開始剤としては、過酸化ベンゾイル、
過酸化ラウロイル、過硫酸カリウム、アゾビスイソブチ
ロニトリル、過酸化ベンゾイル−ジメチルアニリン等が
あげられる。By adding a radical polymerizable monomer and a radical polymerization initiator to the dielectric layer paste, a thermopolymerizable paste can be obtained. The crosslinked structure can be obtained by heating after applying the paste. In this case, specific examples of the radical polymerizable monomer include ethylene, styrene, butadiene, vinyl chloride, vinyl acetate, acrylic acid, methyl acrylate, methyl vinyl ketone, acrylamide, and acrylonitrile. Benzoyl peroxide, as a radical initiator,
Examples include lauroyl peroxide, potassium persulfate, azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide-dimethylaniline and the like.
【0058】また誘電体ペースト中に有機染料等の紫外
線吸収剤を添加することによって、隔壁をパターン加工
する際に露光した場合の誘電体表面からの反射・散乱に
よるパターン不良を抑制することができる。つまり、誘
電体用ペーストのg線における全光線透過率T1と隔壁
用感光性ペーストの全光線透過率T2の間に、T1<T
2の関係が成り立つ場合には、隔壁パターンが良好に形
成できる。用いる紫外線吸収剤としては、前述の化合物
を用いることができる。Further, by adding an ultraviolet absorber such as an organic dye to the dielectric paste, it is possible to suppress a pattern defect due to reflection and scattering from the dielectric surface when the partition is exposed during pattern processing. . That is, T1 <T between the total light transmittance T1 of the dielectric paste at the g-line and the total light transmittance T2 of the photosensitive paste for the partition wall.
When the relationship of 2 is satisfied, the partition pattern can be favorably formed. The compounds described above can be used as the ultraviolet absorber to be used.
【0059】上記の各成分を混合した後、プラネタリー
ミキサーや三本ローラーなどで混練して誘電体および隔
壁用のペーストを作製することができる。After mixing the above components, the mixture is kneaded with a planetary mixer, a three-roller, or the like to prepare a dielectric and a paste for a partition.
【0060】次に、本発明のPDP用基板の作製工程の
例を述べる。ただし、本発明は、これに限定されるもの
ではない。Next, an example of a manufacturing process of the PDP substrate of the present invention will be described. However, the present invention is not limited to this.
【0061】本発明のPDP用基板に用いるペースト
は、上記の無機および有機の各種成分を所定の組成とな
るように調合した後、3本ローラーや混練機で均質に混
合分散し作製する。The paste used for the PDP substrate of the present invention is prepared by mixing the above-mentioned various inorganic and organic components so as to have a predetermined composition, and then uniformly mixing and dispersing the mixture with a three-roller or kneader.
【0062】ペーストの粘度は無機微粒子、増粘剤、有
機溶媒、可塑剤および沈殿防止剤などの添加割合によっ
て適宜調整されるが、その範囲は2000〜20万cp
s(センチ・ポイズ)である。例えばガラス基板への塗
布をスクリーン印刷法以外にスピンコート法で行う場合
は、200〜5000cpsが好ましい。スクリーン印
刷法で1回塗布して膜厚10〜20μmを得るには、4
000〜20万cpsが好ましい。The viscosity of the paste is appropriately adjusted by the addition ratio of inorganic fine particles, a thickener, an organic solvent, a plasticizer, a suspending agent, etc., but the range is from 2000 to 200,000 cp.
s (centipoise). For example, when applying to a glass substrate by a spin coating method other than the screen printing method, 200 to 5000 cps is preferable. To obtain a film thickness of 10 to 20 μm by applying once by the screen printing method,
2,000 to 200,000 cps is preferable.
【0063】電極を形成したガラス基板の上に、誘電体
層用ペーストを5〜40μmの厚みで塗布する。A paste for a dielectric layer is applied to a thickness of 5 to 40 μm on the glass substrate on which the electrodes are formed.
【0064】ここでペーストを基板上に塗布する場合、
基板と塗布膜との密着性を高めるために基板の表面処理
を行うことができる。表面処理液としてはシランカップ
リング剤、例えばビニルトリクロロシラン、ビニルトリ
メトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、トリス−
(2−メトキシエトキシ)ビニルシラン、γ−グリシド
キシプロピルトリメトキシシラン、γ−(メタクリロキ
シプロピル)トリメトキシシラン、γ(2−アミノエチ
ル)アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプ
ロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルト
リメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシ
ランなどあるいは有機金属例えば有機チタン、有機アル
ミニウム、有機ジルコニウムなどである。シランカップ
リング剤あるいは有機金属を有機溶媒、例えばエチレン
グリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモ
ノエチルエーテル、メチルアルコール、エチルアルコー
ル、プロピルアルコール、ブチルアルコールなどで0.
1〜5%の濃度に希釈したものを用いる。次にこの表面
処理液をスピナーなどで基板上に均一に塗布した後に8
0〜140℃で10〜60分間乾燥することによって表
面処理ができる。Here, when applying the paste on the substrate,
Surface treatment of the substrate can be performed to enhance the adhesion between the substrate and the coating film. Examples of the surface treatment liquid include silane coupling agents such as vinyltrichlorosilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, and tris-silane.
(2-methoxyethoxy) vinylsilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ- (methacryloxypropyl) trimethoxysilane, γ (2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane and the like, or organic metals such as organic titanium, organic aluminum and organic zirconium. The silane coupling agent or the organic metal is dissolved in an organic solvent, for example, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl alcohol, ethyl alcohol, propyl alcohol, butyl alcohol or the like.
Use the one diluted to a concentration of 1 to 5%. Next, after applying this surface treatment liquid uniformly on the substrate with a spinner or the like, 8
Surface treatment can be performed by drying at 0 to 140 ° C. for 10 to 60 minutes.
【0065】誘電体層用ペーストの塗布の後、ペースト
中の溶媒を除去するため、乾燥を行う。次に、誘電体層
用ペースト中に、光もしくは熱重合性の成分が含まれる
際は、光、または加熱により硬化し、隔壁パターン形成
の際の現像液による浸食を防ぐ。After the application of the dielectric layer paste, drying is performed to remove the solvent in the paste. Next, when the dielectric layer paste contains a photo- or thermo-polymerizable component, the paste is cured by light or heat to prevent erosion by a developing solution when forming the partition wall pattern.
【0066】形成した誘電体層上に隔壁パターンを塗布
する。この場合、直接感光性ペーストを全面塗布、もし
くは部分的に塗布した後パターニングする方法と、ポリ
マー製フィルムの上に感光性ペーストを塗布、パターニ
ングしたものを誘電体層上に転写する方法がある。塗布
方法としては、スクリーン印刷、バーコーター、ロール
コーター、ダイコーター、ブレードコーター等の方法を
用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、ペースト
の粘度を選ぶことによって調整できる。A partition pattern is applied on the formed dielectric layer. In this case, there are a method in which the photosensitive paste is directly applied over the entire surface or a partial application, followed by patterning, and a method in which the photosensitive paste is applied on a polymer film and patterned, and then transferred onto the dielectric layer. As a coating method, a method such as screen printing, a bar coater, a roll coater, a die coater, and a blade coater can be used. The coating thickness can be adjusted by selecting the number of coatings and the viscosity of the paste.
【0067】塗布した後、露光装置を用いて露光を行
う。露光は通常のフォトリソグラフィーで行われるよう
に、フォトマスクを用いてマスク露光する方法が一般的
である。用いるマスクは、感光性有機成分の種類によっ
て、ネガ型もしくはポジ型のどちらかを選定する。ま
た、フォトマスクを用いずに、赤色や青色のレーザー光
などで直接描画する方法を用いても良い。After application, exposure is performed using an exposure apparatus. The exposure is generally performed by a mask exposure using a photomask, as is performed by ordinary photolithography. As the mask to be used, either a negative type or a positive type is selected depending on the type of the photosensitive organic component. Alternatively, a method of directly drawing with a red or blue laser beam without using a photomask may be used.
【0068】露光装置としては、ステッパー露光機、プ
ロキシミティ露光機等を用いることができる。また、大
面積の露光を行う場合は、ガラス基板などの基板上に感
光性ペーストを塗布した後に、搬送しながら露光を行う
ことによって、小さな露光面積の露光機で、大きな面積
を露光することができる。As an exposure device, a stepper exposure device, a proximity exposure device, or the like can be used. In the case of performing a large-area exposure, after applying a photosensitive paste on a substrate such as a glass substrate, and performing the exposure while transporting, it is possible to expose a large area with an exposure machine having a small exposure area. it can.
【0069】この際使用される活性光源は、たとえば、
可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線、レーザー
光などが挙げられるが、これらの中で紫外線が好まし
く、その光源としてはたとえば低圧水銀灯、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用
できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。
露光条件は塗布厚みによって異なるが、1〜100mW
/cm2 の出力の超高圧水銀灯を用いて0.5〜30分間
露光を行う。The active light source used at this time is, for example,
Visible light, near-ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, laser light, etc. are preferable. Among them, ultraviolet light is preferable. Etc. can be used. Among these, an ultra-high pressure mercury lamp is preferred.
Exposure conditions vary depending on the coating thickness, but 1 to 100 mW
Exposure is performed for 0.5 to 30 minutes using an ultra-high pressure mercury lamp having an output of / cm 2 .
【0070】塗布した感光性ペースト表面に酸素遮蔽膜
を設けることによって、パターン形状を向上することが
できる。酸素遮蔽膜の一例としては、ポリビニルアルコ
ール(PVA)やセルロースなどの膜、あるいは、ポリ
エステルなどのフィルムが上げられる。By providing an oxygen shielding film on the surface of the applied photosensitive paste, the pattern shape can be improved. As an example of the oxygen shielding film, a film of polyvinyl alcohol (PVA) or cellulose, or a film of polyester or the like can be given.
【0071】PVA膜の形成方法は濃度が0.5〜5重
量%の水溶液をスピナーなどの方法で基板上に均一に塗
布した後に70〜90℃で10〜60分間乾燥すること
によって水分を蒸発させて行う。また水溶液中にアルコ
ールを少量添加すると絶縁膜との塗れ性が良くなり蒸発
が容易になるので好ましい。さらに好ましいPVAの溶
液濃度は、1〜3重量%である。この範囲にあると感度
が一層向上する。PVA塗布によって感度が向上するの
は次の理由が推定される。すなわち感光性成分が光反応
する際に、空気中の酸素があると光硬化の感度を妨害す
ると考えられるが、PVAの膜があると余分な酸素を遮
断できるので露光時に感度が向上すると考えられる。The PVA film is formed by uniformly applying an aqueous solution having a concentration of 0.5 to 5% by weight on a substrate by a method such as a spinner, and then drying at 70 to 90 ° C. for 10 to 60 minutes to evaporate water. Let me do it. Further, it is preferable to add a small amount of alcohol to the aqueous solution, since the wettability with the insulating film is improved and the evaporation is facilitated. A more preferred solution concentration of PVA is 1 to 3% by weight. Within this range, the sensitivity is further improved. The reason why the sensitivity is improved by the PVA application is presumed as follows. That is, when the photosensitive component undergoes a photoreaction, the presence of oxygen in the air is considered to hinder the photocuring sensitivity, but the presence of a PVA film is considered to improve the sensitivity during exposure because excess oxygen can be blocked. .
【0072】ポリエステルやポリプロピレン、ポリエチ
レン等の透明なフィルムを用いる場合は、塗布後の感光
性ペーストの上に、これらのフィルムを張り付けて用い
る方法もある。When a transparent film of polyester, polypropylene, polyethylene, or the like is used, there is a method in which the film is attached to the photosensitive paste after application.
【0073】露光後、感光部分と非感光部分の現像液に
対する溶解度差を利用して、現像を行うが、この場合、
浸漬法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法で行う。After the exposure, development is performed utilizing the difference in solubility between the photosensitive portion and the non-photosensitive portion in the developing solution.
The immersion method, the shower method, the spray method, and the brush method are used.
【0074】用いる現像液は、感光性ペースト中の有機
成分が溶解可能である有機溶媒を使用できる。また該有
機溶媒にその溶解力が失われない範囲で水を添加しても
よい。感光性ペースト中にカルボキシル基等の酸性基を
持つ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像でき
る。アルカリ水溶液として水酸化ナトリウムや炭酸ナト
リウム、水酸化カルシウム水溶液などのような金属アル
カリ水溶液を使用できるが、有機アルカリ水溶液を用い
た方が焼成時にアルカリ成分を除去しやすいので好まし
い。As the developer to be used, an organic solvent in which the organic components in the photosensitive paste can be dissolved can be used. Water may be added to the organic solvent as long as the solvent does not lose its solubility. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive paste, development can be performed with an aqueous alkali solution. As the alkaline aqueous solution, a metallic alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide, sodium carbonate, calcium hydroxide aqueous solution, etc. can be used, but it is preferable to use an organic alkaline aqueous solution since the alkaline component can be easily removed during firing.
【0075】有機アルカリとしては、アミン化合物を用
いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニ
ウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウム
ヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノール
アミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は通常
0.01〜10重量%、より好ましくは0.1〜5重量
%である。アルカリ濃度が低すぎると可溶部が除去され
ず、アルカリ濃度が高すぎると、パターン部を剥離さ
せ、また非可溶部を腐食させるおそれがあり好ましくな
い。また、現像時の現像温度は、20〜50℃で行うこ
とが工程管理上好ましい。As the organic alkali, an amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, diethanolamine and the like. The concentration of the alkaline aqueous solution is usually 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. If the alkali concentration is too low, the soluble portion is not removed, and if the alkali concentration is too high, the pattern portion may be peeled off and the non-soluble portion may be corroded, which is not preferable. The development temperature during development is preferably from 20 to 50 ° C. from the viewpoint of process control.
【0076】次に焼成炉にて焼成を行う。焼成雰囲気
や、温度はペーストや基板の種類によって異なるが、空
気中、窒素、水素等の雰囲気中で焼成する。焼成炉とし
ては、バッチ式の焼成炉やベルト式もしくはローラーハ
ース式の連続型焼成炉を用いることができる。ガラス基
板上にパターン加工する場合は、540〜610℃の温
度で10〜60分間保持して焼成を行う。Next, firing is performed in a firing furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of the paste and the substrate, but firing is performed in an atmosphere of air, nitrogen, hydrogen, or the like. As the firing furnace, a batch type firing furnace or a belt type or roller hearth type continuous firing furnace can be used. When patterning is performed on a glass substrate, baking is performed at a temperature of 540 to 610 ° C. for 10 to 60 minutes.
【0077】また、以上の塗布や露光、現像、焼成の各
工程中に、乾燥、予備反応の目的で、50〜300℃加
熱工程を導入しても良い。A heating step at 50 to 300 ° C. may be introduced for the purpose of drying and preliminary reaction during each of the coating, exposure, development and baking steps.
【0078】次に、赤、青、緑の各色を発光する蛍光体
ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷することによ
り、フルカラー表示可能なPDP用の背面基板を作製す
ることができる。Next, a phosphor paste that emits red, blue, and green light is pattern-printed by screen printing, whereby a back substrate for a PDP capable of full-color display can be manufactured.
【0079】本発明におけるガラス材質の光線透過率お
よび屈折率測定は、感光性ペースト法で露光する光の波
長で測定することが効果を確認する上で正確である。特
に、350〜650nmの範囲の波長の光で測定するこ
とが好ましい。さらには、i線(365nm)もしくは
g線(436nm)での屈折率測定が好ましい。光線透
過率は分光光度計、屈折率測定方法としては、エリプソ
法やVブロック法、ベッケ法を用いることができる。In the present invention, the measurement of the light transmittance and the refractive index of the glass material is accurate at the wavelength of light to be exposed by the photosensitive paste method in order to confirm the effect. In particular, it is preferable to measure with light having a wavelength in the range of 350 to 650 nm. Further, it is preferable to measure the refractive index at the i-line (365 nm) or the g-line (436 nm). The light transmittance can be measured by a spectrophotometer and a refractive index measuring method such as an ellipso method, a V-block method, or a Becke method.
【0080】[0080]
【実施例】以下に、本発明を実施例を用いて、具体的に
説明する。ただし、本発明はこれに限定はされない。な
お、実施例、比較例中の濃度(%)は特にことわらない
限り重量%である。評価方法は、黄色度はスガ試験機社
製のカラーコンピューターを用いて反射法により測定し
た。基板のそり量は東京精密社製の表面粗さ計を用いて
測定した。基板の割れについては、前面基板、背面基板
の封着時に割れた場合は×、割れない場合は○として評
価を行った。The present invention will be specifically described below with reference to examples. However, the present invention is not limited to this. The concentrations (%) in Examples and Comparative Examples are% by weight unless otherwise specified. In the evaluation method, the yellowness was measured by a reflection method using a color computer manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd. The warpage of the substrate was measured using a surface roughness meter manufactured by Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Regarding the cracking of the substrate, the evaluation was made as x when the front substrate and the rear substrate were broken at the time of sealing, and as o when the substrate was not broken.
【0081】基板ガラスの反りについては、以下のよう
に規定した。反り量はガラス基板の曲率半径の逆数によ
って規定することができ、すなわち、反り量は曲率半径
に反比例する。反り量の正負の値は基板の反る方向を表
す。The warpage of the substrate glass was defined as follows. The amount of warpage can be defined by the reciprocal of the radius of curvature of the glass substrate, that is, the amount of warpage is inversely proportional to the radius of curvature. Positive and negative values of the amount of warpage indicate the direction in which the substrate warps.
【0082】ガラス基板の曲率半径は、種々の方法で測
定できるが、表面荒さ計を用い、ガラス基板面のうねり
を測定する方法がもっとも簡便である。測定長さ
(L)、曲線の最大偏差(H)の間にはLがHに対して
十分大きい値の時以下の関係が成り立つ。 R=L2/8HAlthough the radius of curvature of the glass substrate can be measured by various methods, the simplest method is to measure the undulation of the glass substrate surface using a surface roughness meter. The following relationship is established between the measurement length (L) and the maximum deviation (H) of the curve when L is a sufficiently large value with respect to H. R = L2 / 8H
【0083】実施例1 下記に示す各溶媒およびポリマー1を40%溶液となる
ように混合し、攪拌しながら60℃まで加熱し、すべて
のポリマーを均質に溶解させた。Example 1 The following solvents and polymer 1 were mixed to form a 40% solution and heated to 60 ° C. with stirring to dissolve all the polymers homogeneously.
【0084】ポリマー1:40%のメタアクリル酸(M
AA)、30%のメチルメタアクリレート(MMA)お
よび30%のスチレン(St)からなる共重合体のカル
ボキシル基に対して0.4当量のグリシジルメタアクリ
レート(GMA)を付加反応させた重量平均分子量43
000、酸価95の感光性ポリマー。Polymer 1: 40% methacrylic acid (M
AA), a weight average molecular weight obtained by subjecting a copolymer consisting of 30% methyl methacrylate (MMA) and 30% styrene (St) to an addition reaction of 0.4 equivalent of glycidyl methacrylate (GMA) to a carboxyl group. 43
000, a photosensitive polymer having an acid value of 95.
【0085】ついで溶液を室温まで冷却し、以下に示す
有機成分を構成する各成分を下記に示す割合になるよう
に加えて溶解させ有機成分を得た。その後、この溶液を
400メッシュのフィルターを用いて濾過し、有機ビヒ
クルを作製した。Then, the solution was cooled to room temperature, and the components constituting the following organic components were added in the proportions shown below and dissolved to obtain organic components. Thereafter, this solution was filtered using a 400-mesh filter to produce an organic vehicle.
【0086】 有機染料:スダン:アゾ系有機染料(化学式C24H20N4 O) 0.5g モノマー:TMPTA(トリメチロールプロパントリアクリレート)150g ポリマー:ポリマー1 150g 開始剤:チバガイギー社製 イルガキュア369 30g 増感剤:2,4−ジエチルチオキサントン 30g 増感助剤:p−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル 20g 可塑剤:ジブチルフタレート(DBP) 50g 溶媒:γ−BL:ガンマブチロラクトン 300g 得られた有機ビヒクル40gに下記に示すガラス粉末A
60gを添加し、混練機で混練することにより誘電体層
用ペーストを製造した。ガラス粉末は、あらかじめアト
ラクターにて微粉末にしたものを用いた。Organic dye: Sudan: Azo-based organic dye (C 24 H 20 N 4 O) 0.5 g Monomer: TMPTA (trimethylolpropane triacrylate) 150 g Polymer: Polymer 1 150 g Initiator: 30 g of Irgacure 369 manufactured by Ciba Geigy Sensitizer: 2,4-diethylthioxanthone 30 g Sensitizing aid: p-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester 20 g Plasticizer: dibutyl phthalate (DBP) 50 g Solvent: γ-BL: gamma butyrolactone 300 g To 40 g of the obtained organic vehicle Glass powder A shown below
60 g was added and kneaded with a kneader to produce a dielectric layer paste. The glass powder used was finely divided by an attractor in advance.
【0087】上記有機ビヒクル40gにガラス粉末B6
0gを添加し、混練機で混練することにより隔壁用感光
性ペーストを製造した。ガラス粉末は、あらかじめアト
ラクターにて微粉末にしたものを用いた。Glass powder B6 was added to 40 g of the above organic vehicle.
0 g was added and kneaded with a kneader to produce a photosensitive paste for partition walls. The glass powder used was finely divided by an attractor in advance.
【0088】ガラス粉末A:組成 Bi2O3 38%、
SiO2 7%、B2O3 19%、BaO 12%、A
l2O3 3%、ZnO 21%。平均粒径3.4μmの
非球状粉末。Tg 476℃、Ts 525℃。熱膨張
係数 77×10-7/°K。g線(436nm)での屈
折率 1.75。Glass powder A: composition Bi 2 O 3 38%,
SiO 2 7%, B 2 O 3 19%, BaO 12%, A
l 2 O 3 3%, ZnO 21%. Non-spherical powder having an average particle size of 3.4 μm. Tg 476 ° C, Ts 525 ° C. Thermal expansion coefficient 77 × 10 -7 / ° K. Refractive index at g-line (436 nm) 1.75.
【0089】ガラス粉末B:組成 Li2O 9%、Si
O2 20%、B2O3 31%、BaO 4%、Al2O
3 24%、ZnO 2%、MgO 6%、CaO 4
%。平均粒径2.6μmの非球状粉末。Tg(ガラス転
移点)480℃、Ts(軟化点)520℃。熱膨張係数
79×10-7/°K。g線(436nm)での屈折率
1.58。Glass powder B: composition Li 2 O 9%, Si
O 2 20%, B 2 O 3 31%, BaO 4%, Al 2 O
3 24%, ZnO 2%, MgO 6%, CaO 4
%. Non-spherical powder having an average particle size of 2.6 μm. Tg (glass transition point) 480 ° C, Ts (softening point) 520 ° C. Thermal expansion coefficient 79 × 10 -7 / ° K. The refractive index at g-line (436 nm) is 1.58.
【0090】感光性銀ペーストを用いて、ピッチ150
μm、線幅40μmのストライプ状電極を形成した300
mm角のガラス基板(旭硝子社製PD−200)上に、
上記の誘電体ペーストをスクリーン印刷により30μm
の厚みになるように全面塗布し、80℃で30分乾燥
後、超高圧水銀灯で1J/cm2の露光量で、光照射を
行った。Using a photosensitive silver paste, a pitch of 150
300 in which a striped electrode having a line width of 40 μm was formed.
On a mm square glass substrate (PD-200 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.)
30 μm of the above dielectric paste by screen printing
And dried at 80 ° C. for 30 minutes, and then irradiated with light at an exposure of 1 J / cm 2 using an ultra-high pressure mercury lamp.
【0091】次に、上記の隔壁ペーストを350μm厚
み(乾燥後厚み:180μm)になるように塗布した
後、80℃で40分乾燥後、ピッチ150μm、線幅2
0μmのストライプ状のネガマスクを介して、上面から
50mW/cm2 出力の超高圧水銀灯でマスク紫外線露
光した。露光量は1.5J/cm2 であった。Next, the above-mentioned partition wall paste was applied to a thickness of 350 μm (thickness after drying: 180 μm), dried at 80 ° C. for 40 minutes, and then pitch 150 μm, line width 2
Through a 0 μm stripe-shaped negative mask, the mask was exposed to ultraviolet light from an upper surface using a super-high pressure mercury lamp of 50 mW / cm 2 output. The exposure amount was 1.5 J / cm 2 .
【0092】次に、35℃に保持したモノエタノールア
ミンの0.3重量%の水溶液を85秒間(実施例3のみ
70秒間)シャワーすることにより現像し、その後シャ
ワースプレーを用いて水洗浄し、光硬化していないスペ
ース部分を除去してストライプ状の隔壁パターンを形成
した。このようにして誘電体層および隔壁を形成したガ
ラス基板を、空気中で570℃で30分間焼成を行い、
隔壁を作製した。Next, a 0.3% by weight aqueous solution of monoethanolamine kept at 35 ° C. was developed by showering for 85 seconds (only 70 seconds in Example 3), and then washed with water using a shower spray. A space portion that was not photocured was removed to form a stripe-shaped partition pattern. The glass substrate on which the dielectric layer and the partition walls are formed is fired in air at 570 ° C. for 30 minutes,
A partition was prepared.
【0093】次に、RGB各色蛍光体を用いた蛍光体ペ
ーストをスクリーン印刷によって、パターン印刷してプ
ラズマディスプレイ背面基板を作製した。また、ガラス
基板上に、透明電極、バス電極、誘電体層、保護膜(M
gO)を形成した前面基板と封着ガラスを用いて封着を
行った。封着時の温度は450℃である。作製したPD
P用背面基板の評価結果を表1に示す。Next, a phosphor paste using each of the RGB phosphors was pattern-printed by screen printing to produce a plasma display rear substrate. In addition, a transparent electrode, a bus electrode, a dielectric layer, a protective film (M
Sealing was performed using the front substrate formed with gO) and sealing glass. The temperature at the time of sealing is 450 ° C. The fabricated PD
Table 1 shows the evaluation results of the rear substrate for P.
【0094】実施例2 誘電体ペースト用のガラスとして、次に示すガラス粉末
Cを用いて作製した以外は、実施例1と同様に基板を作
製した。作製したPDP用背面基板の評価結果を表1に
示す。Example 2 A substrate was produced in the same manner as in Example 1 except that the following glass powder C was used as a dielectric paste glass. Table 1 shows the evaluation results of the manufactured rear substrate for PDP.
【0095】ガラス粉末C:組成 Bi2O3 27%、
SiO2 14%、B2O3 18%、BaO 14%、
Al2O3 4%、ZnO 21%、Na2O 2%。平
均粒径3.4μmの非球状粉末。Tg 486℃、Ts
531℃。熱膨張係数 74×10-7/°K。g線
(436nm)での屈折率 1.75。Glass powder C: composition Bi 2 O 3 27%,
SiO 2 14%, B 2 O 3 18%, BaO 14%,
Al 2 O 3 4%, ZnO 21%, Na 2 O 2%. Non-spherical powder having an average particle size of 3.4 μm. Tg 486 ° C, Ts
531 ° C. Thermal expansion coefficient 74 × 10 -7 / ° K. Refractive index at g-line (436 nm) 1.75.
【0096】比較例1 誘電体ペースト用のガラスとして、ガラス粉末Bを用い
て作製した以外は、実施例1と同様に基板を作製した。
作製したPDP用背面基板の評価結果を表1に示す。Comparative Example 1 A substrate was produced in the same manner as in Example 1, except that glass powder B was used as the glass for the dielectric paste.
Table 1 shows the evaluation results of the manufactured rear substrate for PDP.
【0097】比較例2 誘電体ペースト用のガラスとして、次に示すガラス粉末
Dを用いて作製した以外は、実施例1と同様に基板を作
製した。作製したPDP用背面基板の評価結果を表1に
示す。Comparative Example 2 A substrate was produced in the same manner as in Example 1 except that glass powder D shown below was used as the glass for the dielectric paste. Table 1 shows the evaluation results of the manufactured rear substrate for PDP.
【0098】ガラス粉末D:組成 Li2O 3%、K2
O 6%、SiO2 21%、B2O3 33%、BaO
4%、Al2O3 20%、ZnO 13%。平均粒径
2.6μmの非球状粉末。Tg(ガラス転移点)473
℃、Ts(軟化点)520℃。熱膨張係数 79×10
-7/°K。g線(436nm)での屈折率1.60。Glass powder D: composition Li 2 O 3%, K 2
O 6%, SiO 2 21%, B 2 O 3 33%, BaO
4%, Al 2 O 3 20%, ZnO 13%. Non-spherical powder having an average particle size of 2.6 μm. Tg (glass transition point) 473
° C, Ts (softening point) 520 ° C. Thermal expansion coefficient 79 × 10
-7 / ° K. Refractive index at g-line (436 nm) 1.60.
【0099】[0099]
【表1】 [Table 1]
【0100】[0100]
【発明の効果】本発明のプラズマディスプレイパネルの
製造方法は、焼成の際の隔壁の剥がれが生じないため、
高精細のPDPを歩留まりよく製造できるようになる。
これにより高精細のプラズマディスプレイを提供するこ
とができる。According to the method for manufacturing a plasma display panel of the present invention, since the partition walls do not peel off during firing,
High-definition PDP can be manufactured with high yield.
Thus, a high-definition plasma display can be provided.
Claims (12)
体からなる誘電体層を設けたプラズマディスプレイ用基
板であり、該誘電体層に含まれるアルカリ金属の合計含
有量が5重量%以下であることを特徴とするプラズマデ
ィスプレイ用基板。1. A plasma display substrate comprising a dielectric layer comprising an insulator provided on an electrode layer formed on a glass substrate, wherein the total content of alkali metals contained in the dielectric layer is 5% by weight. A plasma display substrate characterized by the following.
板上に、電極、誘電体、隔壁および蛍光体の各層を設け
たものであることを特徴とする請求項1記載のプラズマ
ディスプレイ用基板。2. The plasma display substrate according to claim 1, wherein the plasma display substrate comprises a glass substrate provided with respective layers of electrodes, dielectrics, partition walls and phosphors.
合計含有量が0.01〜3重量%であることを特徴とす
る請求項1記載のプラズマディスプレイ用基板。3. The plasma display substrate according to claim 1, wherein the total content of Na, Li, and K elements contained in the dielectric layer is 0.01 to 3% by weight.
重量%以下であることを特徴とする請求項1記載のプラ
ズマディスプレイ用基板。4. The method according to claim 1, wherein the content of lithium in the dielectric layer is 3
2. The substrate for a plasma display according to claim 1, wherein the content is not more than% by weight.
が70〜85×10-7/°Kのガラスからなることを特
徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイ用基板。5. The plasma display substrate according to claim 1, wherein the dielectric layer is made of glass having a thermal expansion coefficient of 50 to 400 ° C. and a thermal expansion coefficient of 70 to 85 × 10 −7 / ° K.
0〜500℃、荷重熱軟化温度(Ts)470〜580
℃のガラスからなることを特徴とする請求項1記載のプ
ラズマディスプレイ用基板。6. The method according to claim 1, wherein the dielectric layer has a glass transition temperature (Tg) of 43.
0-500 ° C, heat-softening temperature under load (Ts) 470-580
2. The substrate for a plasma display according to claim 1, wherein the substrate is made of glass having a temperature of ℃.
量%含むガラスからなることを特徴とする請求項1記載
のプラズマディスプレイ用基板。7. The plasma display substrate according to claim 1, wherein the dielectric layer is made of glass containing 10 to 60% by weight of bismuth oxide.
ことを特徴とする請求項1のプラズマディスプレイ用基
板。8. The plasma display substrate according to claim 1, wherein silver is contained in the electrode layer in an amount of 50% by weight or more.
量が2〜20重量%のガラスからなることを特徴とする
請求項2のプラズマディスプレイ用基板。9. The plasma display substrate according to claim 2, wherein the partition layer is made of glass having a total content of Na, Li and K elements of 2 to 20% by weight.
スからなることを特徴とする請求項2のプラズマディス
プレイ用基板。10. The plasma display substrate according to claim 2, wherein the partition layer is made of glass having a refractive index of 1.5 to 1.7.
下であるガラス粉末またはセラミックス粉末と有機成分
からなる誘電体ペーストを塗布したガラス基板上に、ガ
ラス粉末と感光性有機成分からなる感光性ガラスペース
トを塗布、露光、現像の工程を経て隔壁パターンを形成
した後に、誘電体ペースト層および隔壁パターンを同時
に焼成して誘電体層および隔壁を形成するプラズマディ
スプレイの製造方法。11. A photosensitive composition comprising a glass powder and a photosensitive organic component on a glass substrate coated with a dielectric paste comprising a glass powder or a ceramic powder and an organic component having a total content of alkali metals of 5% by weight or less. A method for manufacturing a plasma display, wherein a dielectric paste layer and a partition pattern are simultaneously fired to form a dielectric layer and a partition after forming a partition pattern through steps of coating, exposing, and developing a glass paste.
末が、g線での屈折率が1.5〜1.7であるガラスか
らなることを特徴とする請求項11のプラズマディスプ
レイの製造方法。12. The method according to claim 11, wherein the glass powder used for the photosensitive glass paste is made of glass having a refractive index at g-line of 1.5 to 1.7.
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