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JPH11351738A - 高純度酸素製造方法及び装置 - Google Patents

高純度酸素製造方法及び装置

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JPH11351738A
JPH11351738A JP11123893A JP12389399A JPH11351738A JP H11351738 A JPH11351738 A JP H11351738A JP 11123893 A JP11123893 A JP 11123893A JP 12389399 A JP12389399 A JP 12389399A JP H11351738 A JPH11351738 A JP H11351738A
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low
column
pressure
fraction
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コルデュアン ホルスト
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ロットマン ディートリッヒ
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Linde GmbH
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高圧塔と低圧塔による空気の深冷分離設備に
おいて、高圧窒素の製造だけでなく、追加ないしは後続
の精留塔を付加すること無しに、高純度酸素と、補足的
に高圧高純度窒素も製造可能とする方法及び装置を提供
する。 【解決手段】 高圧塔（４）と低圧塔（５）とを有する
精留塔設備で空気を深冷分離する。原料空気（１，３）
を高圧塔（４）に導入し、酸素含有液体留分（４１１）
を高圧塔（４）から導出して低圧塔（５）に導入する。
低圧塔（５）からの気体窒素（１８）を塔頂凝縮器（１
７）内で蒸発液（４５７）との間接的交換により凝縮す
る。酸素含有液体留分（４１１）は高圧塔（４）の塔底
よりも上方の少なくとも理論段数１に相当する理論ステ
ージ又は実ステージから抽出し、高圧塔（４）の塔底溜
液（４５７）を低圧塔（５）の塔頂凝縮器（１７）の蒸
発室に導入する。低圧塔（５）の下部領域から高純度酸
素製品流（４５９，４６０，４６１，５６３，５６４）
が取り出される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高圧塔と低圧塔と
を有する精留塔設備によって空気を深冷分離することに
より高純度酸素を製造する方法及び装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】高圧塔と低圧塔による複数の工程で空気
を深冷分離する方法はドイツ公開特許公報ＤＥ３５２８
３７４Ａ１により公知である。この複塔プロセスでは低
圧塔が塔頂凝縮器を備えており、この塔頂凝縮器内で塔
頂の気体窒素が凝縮されて再び低圧塔内に還流として導
入される。このようにして低圧塔のための還流を生成す
ることで、複塔設備で生成された窒素の一部を高圧製品
流として取り出すことが可能となる。酸素は濃縮されて
低圧塔の塔底に溜り、この塔底溜液は低圧塔の塔頂凝縮
器の蒸発側にそっくり導入され、残留ガスとして排出さ
れる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
に記載した種類の方法及び装置において、特に高圧窒素
製品流だけでなく高純度酸素製品流も製造可能な方法と
装置を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明においては、低圧
塔内に導入すべき酸素含有液体留分を高圧塔の塔底より
上方の少なくとも理論段数１に相当する理論ステージ又
は実ステージから導出すると共に、高圧塔の塔底溜液を
低圧塔の塔頂凝縮器の蒸発室に導入し、低圧塔の下部領
域から高純度酸素製品流を取り出すことによって上述の
課題を達成したものである。
【０００５】高純度酸素の製造においては、酸素製品流
中の窒素含量およびアルゴン含量の低減は比較的困難で
はなく、これは低圧塔の下部領域におけるステージの段
数をそれ相応に増やすことによって解決することができ
る。但し、酸素製品流中のすべての難揮発性不純物、即
ち、その沸点が酸素の沸点よりも高く、精留塔設備への
導入部よりも上流側における予備精製では除去できなか
った不純物気体成分が酸素製品流中に残留することは、
この一般的措置ではさけることができない。このような
難揮発性気体成分とは、例えばクリプトン、キセノン及
び炭化水素である。公知の方式では、このような不純物
は一段階又は複数段階の後続の精留工程によって除去し
ているのが実状である（例えば欧州特許公報ＥＰ−２９
９３６４−Ｂ１参照）。
【０００６】これに対して本発明による解決策では、追
加ないしは後続の精留塔を付加すること無く、難揮発性
不純物を分離するのに高圧塔の下部領域若しくは高圧塔
下部領域内の付加的な物質移動部を利用する。このた
め、低圧塔に導入すべき酸素含有液体留分は高圧塔の塔
底から抽出するのではなく、塔底より上方、特に原料空
気導入部よりも上方に位置する中間部領域から導出す
る。この中間部領域には少なくとも理論段数１に相当す
る理論ステージ又は実ステージによる物質移動部が形成
される。この物質移動部は好ましくは理論段数１〜１
０、より好ましくは理論段数２〜５までの理論ステージ
又は実ステージを含み、これらのステージは空気導入部
若しくは高圧塔の塔底と酸素含有液体留分導出部との間
に配置されている（上記の段数の値は、この領域内で専
ら実ステージを物質移動要素として利用する場合は実際
のステージ段数が、また充填物、充填材、或いは各種の
物質移動要素の組合せからなる理論ステージを利用する
場合はその理論段数の値が適用される）。
【０００７】低圧塔に導入すべき酸素含有液体留分を高
圧塔の空気導入部よりも上方から取り出すことによっ
て、炭化水素、クリプトン、キセノン等の難揮発性空気
成分が低圧塔に導入されることが回避される。これによ
り、低圧塔の塔底から高純度の酸素製品流（酸素純度９
９．５〜９９．９９９ｖｏｌ％、好適例では９９．８〜
９９．９９９ｖｏｌ％、難揮発性成分の濃度１〜１０ｐ
ｐｍ、好適例では３〜５ｐｐｍ）を取り出すことが可能
である。この高純度酸素は低圧塔の塔底で液状態及び／
又は気体状態で直接に抽出可能であることは述べるまで
もない。
【０００８】本発明による方法では、塔作動圧力は高圧
塔内を例えば６〜２０ｂａｒ、好ましくは７〜１６ｂａ
ｒとし、低圧塔内を例えば３〜８ｂａｒ、好ましくは３
〜６ｂａｒとすることができる。低圧塔の塔頂凝縮器
は、高圧塔の塔底溜液を少なくとも部分的な冷媒として
作動する。高圧塔のための還流は、通常は低圧塔の塔底
と高圧塔の塔頂との間で熱交換を行うように接続された
凝縮／蒸発器によって生成される。
【０００９】特にアルゴンを除去するためには、低圧塔
の中間部領域から残留留分を抽出することができる。こ
の残留留分は好ましくは不純窒素留分によって形成さ
れ、酸素含有液体留分の導入部より上方で高圧塔から取
り出される。
【００１０】プロセス深冷却は、単数又は複数の下記留
分の仕事遂行に伴う膨張によって生成することができ
る。即ち、低圧塔の塔頂凝縮器の蒸発室からの残留ガス
低圧塔の中間部領域からの蒸気（例えば上記残留留分）
原料空気の部分流高圧塔又は低圧塔からの窒素留分
【００１１】空気を仕事遂行と共に膨張させる場合、膨
張タービン排ガスは好ましくは高圧塔に供給し、或いは
例えば他の残留ガス流と混合することによってプロセス
から排出する。いずれにせよ、膨張空気を低圧塔に供給
してはならず、その理由は、それに含まれる難揮発性成
分によって再汚染を生じる恐れがあるからである。
【００１２】内部圧縮により酸素製品流の少なくとも一
部を低圧塔から液状態で取り出し、さらに低圧塔の作動
圧力よりも高い圧力で蒸発させることによって高純度酸
素製品流を低圧塔の圧力よりも高い圧力にすることがで
きる。蒸発時の熱媒としては例えば適切に強圧縮した空
気を利用することが可能である。
【００１３】高圧窒素を製造するためには、低圧塔又は
その塔頂凝縮器から窒素留分を液状態で取り出すことが
好ましく、液状態の窒素留分の圧力は低圧塔の作動圧力
よりも高い値に加圧する。このように、場合によっては
高圧塔から窒素を直接に取り出すのに加えて、気体窒素
を低圧塔の作動圧力よりも高い圧力で製造することがで
きる。この液状態の高圧窒素は高圧塔に送り戻すことが
でき、或いは高圧塔を迂回して間接的熱交換で蒸発させ
ることもできる。
【００１４】この高圧窒素を特に高純度で製造する場
合、窒素留分は低圧塔の塔頂より下方で少なくとも理論
段数１に相当する理論ステージ又は実ステージから導出
し、液状態の窒素留分の少なくとも一部を低圧塔の作動
圧力よりも高い圧力で間接的熱交換によって蒸発し、高
純度の高圧窒素製品流として取り出す。間接的熱交換時
の熱媒として、例えば高圧塔の上部領域から導出したガ
ス及び／又は低圧塔の下部領域から導出したガスを利用
することができる。この熱交換工程の詳細は、先願であ
るドイツ特許公開公報ＤＥ１９７３５１５４または国際
公開公報ＷＯ９８／１９１２２に述べてある。ここで高
純度高圧窒素とは、例えば総不純物濃度が１ｐｐｍ以
下、特に１ｐｐｍ〜１０−３ｐｐｂの特に３ｂａｒを超
える加圧窒素を意味する。
【００１５】低圧塔において、窒素留分導出部よりも上
方にある領域は易揮発性不純物を分離するのに利用され
る。この領域は、それらの物質移動作用が少なくとも理
論段数１に相当する充填物又は充填材による理論ステー
ジ、或いは１段以上の従来型の精留ステージ、例えば篩
ステージ又は充填材ステージで形成しておくことがで
き、好ましくは理論段数１０以下、更に好ましくは理論
段数２〜５までの理論ステージ若しくは実ステージで構
成することができる。易揮発性不純物は低圧塔の塔頂凝
縮器の液化室から気体残留留分として抽出される。
【００１６】特に高純度の窒素留分を低圧塔から得るた
めには、これらステージから抽出された窒素留分を高圧
塔に導入する必要はなく、間接的熱交換によって蒸発し
てそのままの濃度で高純度高圧窒素製品流として取り出
すことができる。この場合の間接的熱交換による液状態
の高圧窒素の蒸発も前述の塔頂凝縮器からの窒素流の場
合と同様にして行うことができる。
【００１７】高圧塔内で製造された窒素の一部を低圧塔
のための還流として利用する場合、その窒素流の必要量
を通常は高圧塔の塔頂で抽出する。高圧塔の塔頂より下
方で少なくとも理論段数１に相当する理論ステージ又は
実ステージから液状態の粗窒素留分を抽出し、液状態の
窒素留分導出部より上方で少なくとも理論段数１に相当
する理論ステージ又は実ステージ上の１箇所で低圧塔に
導入することにより、最早、高圧塔は易揮発性不純物の
分離に利用したことになる。これにより、高純度の高圧
窒素製品流の純度に関しても顕著な利点が得られる。
【００１８】本発明は、更に上述の方法を実施するため
の高純度酸素製造装置も提供するものである。この装置
は、高圧塔（４）内に連通する原料空気導管（１，３）
と、酸素含有液体留分を高圧塔（４）から低圧塔（５）
に導入する粗酸素導管（４１１）と、低圧塔（５）から
導出される気体窒素（１８）を蒸発液（４５７）との間
接的熱交換によって少なくとも一部凝縮させる塔頂凝縮
器（１７）とを有し、特に前述の課題を達成するため
に、高圧塔（４）内で粗酸素導管（４１１）よりも下方
で且つ原料空気導管（３）よりも上方に配置された少な
くとも理論段数１に相当する理論ステージ又は実ステー
ジを含む物質移動部（４５８）と、高圧塔（４）の塔底
溜液を低圧塔（５）の塔頂凝縮器（１７）の蒸発室に導
入する溜液導管（４５７）と、低圧塔（５）の下部領域
から高純度酸素製品流（４５９，４６０，４６１，５６
３，５６４）を取り出す製品導管とを備え、好ましくは
低圧塔（５）の中間部領域に接続された残留留分抽出導
管（４６２、４３２）を備えている。
【００１９】
【発明の実施の形態】図面に示した実施形態に基づいて
本発明の特徴とその他の詳細を以下に詳しく説明する。
【００２０】図１に示す実施例では、浄化され圧縮され
た空気１が主熱交換器２内で冷却され、１４ｂａｒの圧
力で導管３から高圧塔４に導入されている。この精留塔
設備は作動圧力５ｂａｒの低圧塔５も備えており、この
低圧塔は、共通の凝縮／蒸発器（主凝縮器）６を介して
熱交換のために高圧塔と接続されている。即ち、高圧塔
の塔頂で取り出された窒素７の一部は主凝縮器６内で液
化され、導管９，１０を介して還流として高圧塔に導入
される。ヘリウム、ネオン及び／又は水素等の特に易揮
発性の不純物を含有する残留蒸気は、主凝縮器６で導管
５７から取り出すことができる。高圧塔から導出される
酸素含有液体留分４１１は、熱交換器１５で過冷後に低
圧塔５に絞り弁４１２を介して導入される。
【００２１】低圧塔５は塔頂凝縮器１７を有しており、
低圧塔５の塔頂から導出される気体窒素１８がこの塔頂
凝縮器の液化室内で凝縮される。凝縮された液留分１９
は、少なくともその一部が低圧塔に戻される。ヘリウ
ム、ネオン及び／又は水素等の特に易揮発性の不純物を
含有する残留蒸気は、図示したように凝縮器出口箇所５
１で塔頂凝縮器１７から取り出され、或いはまた選択的
に塔頂凝縮器内で凝縮した留分１９から取り出される。
【００２２】本発明によれば、低圧塔５の塔頂凝縮器１
７は、低圧塔の塔底溜液で作動されるのではなく、高圧
塔４の塔底溜液４５７で作動される。低圧塔５に絞り弁
４１２を介して導入される酸素含有液体留分４１１は、
高圧塔の下部領域における付加的な物質移動部分４５８
よりも上方の中間部から得ている。付加的な物質移動部
分４５８は、例えば理論段数５に相当する理論ステージ
または実ステージからなっている。低圧塔５の塔底内に
純度９９．９９ｖｏｌ％の高純度の製品酸素が生成さ
れ、その液体製品流（４５９）及び／又は気体製品流
（４６０，４６１）は低圧塔の作動圧力で取り出され
る。低圧塔５から導出される残留留分（不純窒素留分）
４６２からは後続設備でアルゴンが取り出されることに
なる。好ましくはこの不純窒素留分には残りの残留流３
１，５７，５１，５３が合流される。
【００２３】この実施例は、更に高純度高圧窒素の製造
にも適応している。この目的で高圧塔内の例えば理論段
数３に相当する理論ステージまたは実ステージからなる
物質移動部分５４の下方から塔内の流下液の一部が液体
粗窒素留分５５として取り出され、低圧塔５の塔頂内に
絞り弁５６を介して導入される。
【００２４】低圧塔からは、例えば理論段数３に相当す
る理論ステージまたは実ステージからなる物質移動部分
５２を通過した直後の位置で低圧塔５内の流下液の一部
が窒素留分２０として取り出され、ポンプ２１により液
状態で加圧（例えば１４ｂａｒに）されたのち、導管２
２により過冷用熱交換器１５を通して製品蒸発器２３に
送られる。この蒸発器において例えば１３．４ｂａｒの
圧力で蒸発された窒素２４は主熱交換器２内で暖めら
れ、高純度高圧窒素製品流２５として取り出される。こ
の窒素製品流は場合によっては気体状態で更に圧縮して
もよい。この高純度高圧窒素製品流２５の総不純物濃度
（一酸化炭素も含む）は約１０ｐｐｂ以下である。尚、
高圧塔の塔頂からの気体窒素７の一部を必要に応じて主
熱交換器２内で暖めて別の低純度高圧窒素製品流として
取り出してもよい（図示せず）。この場合、高圧塔４か
ら低圧塔５への液体窒素５５の送給を省略することが可
能である。
【００２５】高圧塔４の塔頂から導出される気体窒素７
の別の一部３５は製品蒸発器２３の液化側で凝縮され
る。その際に発生する凝縮液３６は付加的な還流として
高圧塔４に戻される。本実施例では、製品蒸発器２３は
部分的蒸発が起きるだけの流下膜式蒸発器として構成さ
れている。低圧塔から導管２２を介して凝縮器２３に送
られてきた液体のままの窒素４５は凝縮器２３から低圧
塔５に送り戻される。この製品凝縮器２３においても、
ヘリウム、ネオン及び／又は水素等の特に易揮発性の不
純物を含む残留蒸気が導管５３から取り出される。
【００２６】低圧塔の物質移動部分５２の下部から導出
された液体窒素留分２０の一部を必要に応じて液体製品
流３０として取り出すこともできる。また、高圧塔５の
塔底溜液４５７の蒸発によって低圧塔の塔頂凝縮器１７
内で生じる不純酸素３１は、残留ガス導管４３２を介し
て熱交換器１４，１５，２内で順に暖められ、副生品又
は残留ガス２７として取り出されるが、この酸素は、例
えば原料空気の浄化装置の再生処理に利用することがで
きる。
【００２７】図１に示した実施例では、残留ガス導管４
３２を通して主熱交換器２に送られてくる残留ガスが膨
張機３３で仕事を遂行して膨張することによって寒冷を
生成している。膨張機３３内で獲得される機械的エネル
ギーは、例えば製品蒸発器２３内における蒸発で生成さ
れた高圧窒素製品流２４の再圧縮に利用することがで
き、或いはまた、そして好ましくは、膨張機３３とこの
再圧縮器との直接的な機械的連結によって膨張機３３の
上流で残留ガス中の圧力を高めるのに利用することもで
きる。この場合、残留蒸気５７，５１，５３も残留ガス
導管４３２に合流させることが好ましい。
【００２８】特に液体窒素製品流３０の需要が比較的多
い場合、図１に示した残留ガス膨張機の補足又は代替に
空気タービンを利用することができる。その場合、浄化
および圧縮された原料空気１は主熱交換器２内で中間的
な温度に冷却されるだけであり、引き続き空気タービン
で膨張されて仕事を遂行する。膨張された空気は暖めて
から空気圧縮器の前に送り戻すことができる。空気ター
ビン内で生成される機械的エネルギーは、仕事を遂行す
るための膨張に先だって原料空気を再圧縮するのに利用
することができる。
【００２９】低圧塔の作動圧力よりも高い圧力の高純度
製品酸素を必要とする場合、図２の第２実施例に示すよ
うに、低圧塔から液状で抽出される高純度酸素を導管５
６３により液体加圧ポンプ５６２に供給すればよく、ポ
ンプから送り出される液体製品流は適当な蒸発器内で蒸
発させることができる。図２の実施例では、主熱交換器
２が高純度酸素製品流のための製品蒸発器として利用さ
れ、主熱交換器２内で暖められた高圧高純度酸素製品流
５６４が取り出されている。勿論、これに代えて別の製
品蒸発器を設けておくこともできる。
【００３０】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明によれば、
高圧塔と低圧塔とを有する精留塔設備によって空気を深
冷分離する際に、低圧塔内に導入すべき酸素含有液体留
分を高圧塔の塔底より上方の少なくとも理論段数１に相
当する理論ステージ又は実ステージから導出すると共
に、高圧塔の塔底溜液を低圧塔の塔頂凝縮器の蒸発室に
導入し、低圧塔の下部領域から高純度酸素製品流を取り
出すようにしたので、高圧窒素の製造だけでなく、追加
ないしは後続の精留塔を付加すること無しに、高純度酸
素をも製造することができ、補足的に高圧高純度窒素を
製造することもできるという顕著な効果が得られるもの
である。
【図面の簡単な説明】
【図１】低圧塔から高純度酸素製品流を気状及び／又は
液状で取り出すための本発明の第１実施例による精留塔
設備を示す系統図である。
【図２】酸素製品流を内部圧縮する場合の本発明の第２
実施例による精留塔設備を示す系統図である。
【符号の説明】
１：原料空気 ２：主熱交換器 ４：高圧塔 ５：低圧塔 ６：主凝縮器 １４：熱交換器 １５：過冷用熱交換器 １７：塔頂凝縮器 ２３：製品蒸発器 ２５：高純度高圧窒素製品流 ４５９：高純度酸素製品流（液体） ４６１：高純度酸素製品流（気体）

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 高圧塔（４）と低圧塔（５）とを有する
    精留塔設備内で空気を深冷分離することにより高純度酸
    素を製造する方法であって、原料空気（１，３）を高圧
    塔（４）に導入し、高圧塔（４）から酸素含有液体留分
    （４１１）を導出して低圧塔（５）に供給し、低圧塔
    （５）から導出される気体窒素（１８）を塔頂凝縮器
    （１７）内で蒸発液（４５７）との間接的熱交換により
    少なくとも一部凝縮させる高純度酸素製造方法におい
    て、 低圧塔（５）内に導入すべき酸素含有液体留分（４１
    １）を高圧塔（４）の塔底より上方の少なくとも理論段
    数１に相当する理論ステージ又は実ステージ下部から導
    出し、 高圧塔（４）の塔底溜液（４５７）の少なくとも一部を
    低圧塔（５）の塔頂凝縮器（１７）の蒸発室に導入し、 低圧塔（５）の下部領域から高純度酸素製品流（４５
    ９，４６０，４６１，５６３，５６４）を取り出すこと
    を特徴とする高純度酸素製造方法。
  2. 【請求項２】 低圧塔の中間部領域から残留留分（４６
    ２）を抽出することを特徴とする請求項１に記載の方
    法。
  3. 【請求項３】 低圧塔の塔頂凝縮器（１７）の蒸発室か
    ら導出した気体留分（３１）及び／又は低圧塔から導出
    した気体留分（４６２）を膨張（３３）させて仕事を遂
    行させることを特徴とする請求項１又は２に記載の方
    法。
  4. 【請求項４】 空気を膨張させて仕事を遂行させること
    を特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の方
    法。
  5. 【請求項５】 高純度酸素製品の少なくとも一部（５６
    ３）を低圧塔（５）から液状で導出し、次いで低圧塔
    （５）の作動圧力よりも高い圧力で蒸発（２）させるこ
    とを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の方
    法。
  6. 【請求項６】 低圧塔（５）又はその塔頂凝縮器（１
    ７）から窒素留分（２０）を液状態で導出し、液状態の
    窒素留分（２０）の圧力を低圧塔（５）の作動圧力より
    も高い値に加圧（２１）することを特徴とする請求項１
    〜５のいずれか１項に記載の方法。
  7. 【請求項７】 低圧塔の塔頂より下方の少なくとも理論
    段数１に相当する理論ステージ又は実ステージ下部から
    液状態の窒素留分（２０）を導出し、液状態の窒素留分
    （２２）の少なくとも一部を低圧塔（５）の作動圧力よ
    りも高い圧力のもとで間接的熱交換（２３）によって蒸
    発して高純度高圧窒素製品流（２４，２５）として取り
    出すことを特徴とする請求項６に記載の方法。
  8. 【請求項８】 高圧塔（４）の塔頂より下方の少なくと
    も理論段数１に相当する理論ステージ又は実ステージか
    ら液状態の粗窒素留分（５５）を導出し、液状態の窒素
    留分（２０）の導出部より上方で少なくとも理論段数１
    に相当する理論ステージ又は実ステージ上の１箇所で低
    圧塔（５）内に導入することを特徴とする請求項１〜７
    のいずれか１項に記載の方法。
  9. 【請求項９】 高圧塔（４）と低圧塔（５）とを有する
    精留塔設備内で空気を深冷分離することにより高純度酸
    素を製造する装置であって、高圧塔（４）内に連通する
    原料空気導管（１，３）と、酸素含有液体留分を高圧塔
    （４）から低圧塔（５）に導入する粗酸素導管（４１
    １）と、低圧塔（５）から導出される気体窒素（１８）
    を蒸発液（４５７）との間接的熱交換によって少なくと
    も一部凝縮させる塔頂凝縮器（１７）とを有する高純度
    酸素製造装置において、 高圧塔（４）内で粗酸素導管（４１１）より下方で且つ
    原料空気導管（３）より上方に配置された少なくとも理
    論段数１に相当する理論ステージ又は実ステージを含む
    物質移動部（４５８）と、 高圧塔（４）の塔底溜液を低圧塔（５）の塔頂凝縮器
    （１７）の蒸発室に導入する溜液導管（４５７）と、 低圧塔（５）の下部領域から高純度酸素製品流（４５
    ９，４６０，４６１，５６３，５６４）を取り出す製品
    導管とを備えたこと特徴とする高純度酸素製造装置。
  10. 【請求項１０】 低圧塔（５）の中間部領域に接続され
    た残留留分抽出導管（４６２、４３２）を備えたことを
    特徴とする請求項９に記載の装置。
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