JPH1134324A - インクジェット記録装置及びインクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 金属材料で振動板を形成した場合に金属イオ
ンの溶出が生じる。 【解決手段】 振動板４２は突出部４２ａを介してノズ
ルカバー３に電気的に接続し、更にノズルカバー３を介
してＧＮＤに電気的に接続して接地した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェット記録
装置及びインクジェットヘッドに関し、特に振動板を用
いるインクジェットヘッド及びこのヘッドを備えたイン
クジェット記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、プリンタ、ファクシミリ、複写
装置等に用いられるインクジェット記録装置の記録ヘッ
ドを構成するインクジェットヘッドとして、インク滴を
吐出する複数のノズル孔と、各ノズル孔に対応するイン
ク液室（「加圧液室」ともいう。）と、このインク液室
内のインクを加圧する圧電素子等の電気機械変換素子や
ヒータ等の電気熱変換素子などのエネルギー発生手段を
備え、エネルギー発生手段を記録信号に応じて駆動する
ことで所要のインク液室内のインクを加圧してノズル孔
からインク滴を噴射させるものである。

【０００３】このようなインクジェットヘッドとして、
従来、例えば特開平９−７６５３４号公報に記載されて
いるように、絶縁性基板上に積層型圧電素子を配列し、
この圧電素子上にダイアフラム部を有する振動板を積層
し、この振動板上に圧電素子でダイアフラム部を介して
加圧されるインク液室及びこのインク液室にインクを供
給するインク供給路等を形成する液室隔壁部材を積層
し、更にこの液室隔壁部材上にノズルを形成したノズル
形成部材を積層したものが知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、積層型圧電
素子は圧電体の積層界面に電極層として銀−パラジウム
等の合金を介して積層され、且つこれらの金属が層間の
圧電体を接合する役割を持っている。このような構成は
金属板からなる振動板を接合した積層型圧電素子の最上
層でも同様なことが言え、振動板は１つの電極層となっ
て容量結合により電気的なイオンが蓄積される。

【０００５】この場合、振動板がインクを介して電気的
な低い電位差のあるところと接合されていると電流が流
れることになる。具体的には、振動板とノズル形成部材
とが絶縁状態であって、且つノズル形成部材がノズルカ
バーなどを通じて接地されている（アースに落とされて
いる）状態である。このとき、容量結合によって振動板
に誘起された電圧で、振動板からインクを介してノズル
板を経てノズルカバーを介してアースに電流が流れる。
これによって、振動板の金属イオン、例えば振動板をニ
ッケルで形成している場合にはＮiイオンが流れ出すこ
とになる。

【０００６】ところが、振動板には効率的に圧電素子の
変位をインク液室に伝達するため、数μｍ程度の薄層の
ダイアフラム部を形成しているので、イオン流出が起こ
るとダイアフラム部には簡単に穴が明くことになる。こ
のように振動板に穴が明くと、インク液室内のインクが
圧電素子の周囲に浸入して圧電機能を減殺し、その結果
吐出不良が発生する。

【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、金属製の振動板の溶解を防止して長期的に安定し
た印写を行えるインクジェット記録装置及びインクジェ
ットヘッドを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェット記録装置は、電気機械変
換素子による変位で振動板を介してインク液室内のイン
クを加圧してノズルからインク滴を吐出させるインクジ
ェットヘッドを備えたインクジェット記録装置におい
て、前記インクジェットヘッドの振動板を電気的に接地
している構成とした。

【０００９】請求項２のインクジェット記録装置は、上
記請求項１のインクジェット記録装置において、前記イ
ンクジェットヘッドには電気的に接地したノズルカバー
を備え、このノズルカバーに前記振動板を電気的に接続
している構成とした。

【００１０】請求項３のインクジェット記録装置は、上
記請求項１のインクジェット記録装置において、前記電
気機械変換素子を配設した絶縁基板上に電気的に接地さ
れる導通パターンを形成し、この導通パターンに前記振
動板を電気的に接続している構成とした。

【００１１】請求項４のインクジェットヘッドは、電気
機械変換素子による変位で振動板を介してインク液室内
のインクを加圧してノズルからインク滴を吐出させるイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記ノズルを形成したノ
ズル形成部材と前記振動板とを電気的に導通状態にして
いる構成とした。

【００１２】請求項５のインクジェットヘッドは、上記
請求項４のインクジェットヘッドにおいて、電気的に接
地されるノズルカバーを備え、このノズルカバーと前記
ノズル形成部材とを電気的に接続している構成とした。

【００１３】請求項６のインクジェットヘッドは、上記
請求項４のインクジェットヘッドにおいて、前記電気機
械変換素子を配設した絶縁基板上に電気的に接地される
導通パターンを形成し、この導通パターンに前記振動板
を電気的に接続している構成とした。

【００１４】請求項７のインクジェットヘッドは、上記
請求項４のインクジェットヘッドにおいて、前記ノズル
形成部材及び前記振動板が導通状態のまま電気的に浮い
ている状態にある構成とした。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明を適用するイン
クジェットヘッドの一例を示す分解斜視図、図２は同ヘ
ッドのチャンネル方向（ノズル配列方向）と直交する方
向の要部拡大断面図、図３は同ヘッドのチャンネル方向
の要部拡大断面図である。

【００１６】このインクジェットヘッドは、駆動ユニッ
ト１と、液室ユニット２と、ヘッドカバー３とを備えて
いる。駆動ユニット１は、セラミックス基板、例えばチ
タン酸バリウム、アルミナ、フォルステライトなどの絶
縁性の基板１１上に、エネルギー発生手段である複数の
積層型圧電素子１２を列状に２列配置して接合し、これ
ら２列の各圧電素子１２の周囲を取り囲む樹脂、セラミ
ック等からなるフレーム部材１３を接着剤１４によって
接合している。

【００１７】複数の圧電素子１２は、インクを液滴化し
て飛翔させるための駆動パルスが与えられる圧電素子
（これを「駆動部」という。）１７，１７…と、駆動部
１７，１７間に位置し、駆動パルスが与えられずに単に
液室ユニット２を基板１１に固定する液室支柱部材とな
る圧電素子（これを「非駆動部」という。）１８，１８
…とを交互に構成している。

【００１８】ここで、圧電素子１２としては１０層以上
の積層型圧電素子を用いている。この積層型圧電素子
は、例えば図２に示すように、厚さ１０〜５０μｍ／１
層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）２０と、厚さ数μ
ｍ／１層の銀・パラジューム（ＡgＰd）からなる内部電
極２１とを交互に積層したものであるが、圧電素子とし
て用いる材料は上記に限られるものでなく、その他の電
気機械変換素子を用いることもできる。

【００１９】各圧電素子１２の内部電極２１は１層おき
にＡgＰdからなる左右の端面電極２２，２３（２つの圧
電素子列の対向する面側を端面電極２２とし、対向しな
い面側を端面電極２３とする。）に接続している。一
方、基板１１上には、図１に示すようにＮi・Ａu蒸着、
Ａuメッキ、ＡgＰtペースト印刷、ＡgＰdペースト印刷
等によって共通電極２４及び個別電極２５の各パターン
を設けている。

【００２０】そして、各列の各圧電素子１２の対向する
端面電極２２を導電性接着剤２６を介して共通電極２４
に接続し、他方、各列の各圧電素子１２の対向しない端
面電極２３を同じく導電性接着剤２６を介してそれぞれ
個別電極２５に接続している。これにより、駆動部１７
に駆動電圧を与えることによって、積層方向に電界が発
生して、駆動部１７には積層方向の伸びの変位（ｄ３３
方向の変位）が生起される。なお、共通電極２４は、図
２にも示すように、フレーム部材１３に設けた穴１３ａ
内に導電性接着剤２６を充填することで各圧電素子に接
続されたパターンの導通を取っている。

【００２１】一方、液室ユニット２は、金属材料からな
る振動板３１と、ドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）か
らなる感光性樹脂層で形成した２層構造の液室隔壁部材
３２と、金属材料からなるノズルプレート３３とを順次
を積層し、熱融着して形成している。これらの各部材に
よって、１つの圧電素子１２（駆動部１７）と、この１
つの圧電素子１２に対応するダイアフラム部３４と、各
ダイアフラム部３４を介して加圧される加圧液室３５
と、この加圧液室３５の両側に位置して加圧液室３５に
供給するインクを導入する共通液室３６，３６と、加圧
液室３５と共通液室３６，３６とを連通するインク供給
路３７，３７と、加圧液室３５に連通するノズル３８と
によって１つのチャンネルを形成し、このチャンネルを
複数個２列設けている。

【００２２】振動板３１は、金属材料、例えば電鋳工法
によるＮiメッキ膜等で形成したもので、駆動部１７に
対応する前記ダイアフラム部３４と、非駆動部１８に接
合する梁４１及びフレーム部材１３に接合するベース４
２とを形成している。ダイアフラム部３４は、駆動部１
７に接合する島状凸部４３と、この凸部４３の周囲に形
成した厚み３〜１０μｍ程度の最薄膜部分（ダイアフラ
ム領域）４４とからなる。

【００２３】液室隔壁部材３２は、振動板３１側に予め
ドライフィルムレジストをラミネートして所要のマスク
を用いて露光し、現像して所定の液室パターンを形成し
た第１感光性樹脂層４５と、ノズルプレート３３側に予
めドライフィルムレジストをラミネートして所要のマス
クを用いて露光し、現像して所定の液室パターンを形成
した第２感光性樹脂層４６とを熱圧着で接合してなる。

【００２４】ノズルプレート３３は金属材料、例えば電
鋳工法によるＮiメッキ膜等で形成したもので、インク
滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル３８を
多数を形成している。このノズル３８の内部形状（内側
形状）は、ホーン形状（略円柱形状又は略円錘台形状で
もよい。）に形成している。また、このノズル３８の径
はインク滴出口側の直径で約２５〜３５μｍである。

【００２５】このノズルプレート３３のインク吐出面
（ノズル表面側）は、図１に示すように撥水性の表面処
理を施した撥水処理面４７としている。例えば、ＰＴＦ
Ｅ−Ｎi共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性の
あるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着コー
トしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布
後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理
膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高
品位の画像品質を得られるようにしている。なお、ノズ
ルプレート３３の周縁部は撥水処理膜を形成しない非撥
水処理面４８としている。

【００２６】なお、駆動ユニット１の基板１１と圧電素
子１２及びフレーム部材１３とは接着剤４９で接合して
組付け、また、液室ユニット２も駆動ユニット１とは別
個に加工、組立を行なった後、液室ユニット２の振動板
３１と駆動ユニット１の圧電素子１２及びフレーム部材
１３とを接着剤５０で接合してインクジェットヘッドと
している。

【００２７】そして、基板１１をヘッド支持部材である
スペーサ部材（ヘッドホルダ）５１上に支持して保持
し、このスペーサ部材５１内に配設したヘッド駆動用Ｉ
Ｃ等を有するＰＣＢ５２と駆動ユニット１の各圧電素子
１２（駆動部１７）に接続した各電極２４，２５とをＦ
ＰＣケーブル５３，５３を介して接続している。

【００２８】また、ノズルカバー（ヘッドカバー）３
は、ノズルプレート３３の周縁部及びヘッド側面を覆う
箱状に形成した金属材料からなり、ノズルプレート３３
の撥水処理面４７に対応して開口部を形成し、ノズルプ
レート３３の周縁部に残した非撥水処理面４８に接着剤
にて接着接合している。さらに、このインクジェットヘ
ッドには、図示しないインクカートリッジからのインク
を液室に供給するため、スペーサ部材５１、基板１１、
フレーム部材１３及び振動板３１にそれぞれインク供給
穴５４〜５７を設けている。

【００２９】このように構成したインクジェットヘッド
においては、記録信号に応じて駆動部１７に駆動波形
（１０〜５０Ｖのパルス電圧）を印加することによっ
て、駆動部１７に積層方向の変位が生起し、振動板３１
のダイアフラム部３４を介して加圧液室３５が加圧され
て圧力が上昇し、ノズル３８からインク滴が吐出され
る。このとき、加圧液室３５から共通液室３６へ通じる
インク供給路３７，３７方向へもインクの流れが発生す
るが、インク供給路３７，３７の断面積を狭小にするこ
とで流体抵抗部として機能させて共通液室３６，３６側
へのインクの流れを低減し、インク吐出効率の低下を防
いでいる。

【００３０】そして、インク滴吐出の終了に伴い、加圧
液室３５内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性
と駆動パルスの放電過程によって加圧液室３４内に負圧
が発生してインク充填行程へ移行する。このとき、イン
クタンクから供給されたインクは共通液室３６，３６に
流入し、共通液室３６，３６からインク供給路３７，３
７を経て加圧液室３５内に充填される。そして、ノズル
３８の出口付近のインクメニスカス面の振動が減衰し、
表面張力によってノズル３８の出口付近に戻されて（リ
フィル）安定状態に至れば、次のインク滴吐出動作に移
行する。

【００３１】次に、このインクジェットヘッドに本発明
を適用した第１実施例について図４及び図５を参照して
説明する。この第１実施例では、図４に示すようにイン
クジェットヘッドの振動板４２の端部にノズルカバー３
を装着したときにその内面に弾性によって圧接される突
出部４２ａを一体形成している。そして、このノズルカ
バー３はインクジェット記録装置本体（以下「プリンタ
本体」という。）のアース（以下「ＧＮＤ」ともい
う。）に電気的に接続している。

【００３２】即ち、図５に示すように、複数の色、例え
ばイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブ
ラック（Ｂｋ）等の各ヘッドＨ…を各色毎にノズル位置
が合わされるヘッド取付け台６１に取付け、各ヘッドＨ
…のノズルカバー３をヘッド取付け台６１上に設けたＧ
ＮＤライン６２に接続端子６３で接続することで、各ヘ
ッドＨのノズルカバー３を一括してプリンタ本体のＧＮ
Ｄに接続する。

【００３３】このように構成したので、振動板４２は突
出部４２ａを介してノズルカバー３に電気的に接続さ
れ、更にこのノズルカバー３を介してプリンタ本体のＧ
ＮＤに電気的に接続されて接地される。

【００３４】この実施例の作用について図６をも参照し
て説明すると、上述したように圧電素子１２に対して同
図に示すように立ち上がりが急峻で、立下がりがなだら
かな波形をなす駆動波形（駆動電圧）を印加した場合、
圧電素子１２の最上層に接合した振動板４２を金属材料
で形成しているので、この振動板４２は一種の電極材と
なって圧電素子１２との容量結合によって電圧が誘起さ
れる。この振動板４２に誘起される誘起電圧も同図に示
すように立ち上がりが急峻で、立下がりがなだらかな波
形をなる。ただし、波高値は、駆動電圧が２５Ｖ程度の
とき誘起電圧は１５Ｖ程度であって約６０％となる。

【００３５】ここで、振動板４２が上述のように電気的
に接地されていない場合でも、振動板４２が電気的に浮
いていれば電荷は流れないが、振動板４２に対向して設
けた金属材料からなるノズルプレート３３があるために
導電性のインクを通じて振動板４２中の金属イオンが溶
出し、これによって振動板４２の最も薄いダイアフラム
部４４に穴が明いてインクが圧電素子１２側に流出する
ことがある。

【００３６】これに対して、この実施例のように振動板
４２に突出部４２ａを設けて、この突出部４２ａを電気
的に接地されたノズルカバー３に圧接させて、ノズルカ
バー３を介して電気的に接地することで、振動板４２の
誘起電圧はアースに流れることになるので、誘起電圧に
よって振動板４２の金属イオンがインク中に溶出するこ
とが防止され、振動板４２が溶解して穴が明くことが防
止される。

【００３７】このように振動板を電気的に接地すること
によって誘起電圧による振動板の溶解が防止されるの
で、振動板の信頼性が向上し、長期的に安定したインク
滴吐出を行うことができて印写品質を確保することがで
きる。そして、この場合、この実施例のように振動板を
ノズルカバーを介して接地することによって、カラーイ
ンクジェット記録装置のように複数のヘッドを備えたと
きに、複数のヘッドの振動板をまとめて同電位に落とす
ことができ、生産性が向上する。

【００３８】次に、本発明の第２実施例について図７を
参照して説明する。この実施例では、基板１１上に形成
した接地される導通パターンであるＧＮＤライン６５に
対応してフレーム部材１３の外側壁に導電性接着剤を塗
布するための溝部６６を形成して、この溝部６６内にフ
レーム部材１３上に接合する振動板４２と基板１１上の
ＧＮＤライン６５とを電気的に導通させる導電性接着剤
６８を塗布している。そして、この基板１１のＧＮＤラ
イン６５はＦＰＣケーブル５３のＧＮＤライン５３ａを
通じてＰＣＢ基板５２に接続されて、プリンタ本体のＧ
ＮＤにアースされている。

【００３９】これによって、振動板４２は導電性接着剤
６８を介して基板１１上のＧＮＤライン６５に接続さ
れ、更にＧＮＤライン６５からＦＰＣケーブル５３のＧ
ＮＤライン５３ａ、ＰＣＢ基板５２を介してプリンタ本
体にアースされるので、上記第１実施例と同様に、振動
板４２の誘起電圧をアースに落とすことができ、誘起電
圧によって振動板４２の金属イオンがインク中に溶出す
ることが防止される。

【００４０】このように、基板に形成した接地される導
通パターンと振動板とを電気的に接続することによっ
て、ヘッド単体内で振動板を電気的に接地することがで
きるので、カラーインクジェット記録装置のように複数
のヘッドを用いるときでも、インクジェット記録装置に
ヘッドを搭載する前に各ヘッド毎に溶解防止処理の信頼
性を確保することができる。

【００４１】次に、本発明の第３実施例について図８を
参照して説明する。この実施例でも、基板１１上に形成
した導通パターンであるＧＮＤライン６５に対応してフ
レーム部材１３に導電性接着剤を充填するための貫通穴
６７を形成して、この穴部６７内に振動板４２と基板１
１上のＧＮＤライン６５とを電気的に導通させる導電性
接着剤６８を塗布している。

【００４２】したがって、上記第２実施例と同様に、振
動板４２は導電性接着剤６８を介して基板１１上のＧＮ
Ｄライン６５に接続され、更にＧＮＤライン６５からＦ
ＰＣケーブル５３のＧＮＤライン５３ａ、ＰＣＢ基板５
２を介してプリンタ本体にアースされるので、振動板４
２の誘起電圧をアースに落とすことができ、誘起電圧に
よって振動板４２の金属イオンがインク中に溶出するこ
とが防止される。

【００４３】このように、基板に形成した接地される導
通パターンと振動板とを電気的に接続することによっ
て、ヘッド単体内で振動板を電気的に接地することがで
きるので、カラーインクジェット記録装置のように複数
のヘッドを用いるときでも、インクジェット記録装置に
ヘッドを搭載する前に各ヘッド毎に溶解防止処理の信頼
性を確保することができる。そして、この実施例のよう
に導電性接着剤を充填する貫通穴を形成するときには、
振動板を接合する前に貫通穴内に導電性接着剤を盛り上
がるよう塗布することで、振動板をフレーム部材及び圧
電素子とエポキシ接着剤などで接合すると同時に電気的
接続も行うことができて工程を短縮化できる。

【００４４】次に、本発明の第４実施例について図９を
参照して説明する。この実施例では、ノズルプレート３
３及び液室隔壁部材３２に貫通穴７１，７２を形成し
て、これらの貫通穴７１，７２内に導電性接着剤７３を
充填し、振動板４２とノズルプレート３３とを電気的に
接続している。例えば、ノズルプレート３３にディスペ
ンサのニードルを挿入できる程度の穴（約０．８φ）を
形成し、液室隔壁部材３２にも同様の穴を形成する。

【００４５】したがって、振動板４２とノズルプレート
３３との間で電位差を生じないために、ノズルプレート
３３と振動板４２との間に電位差が発生したような場合
でも振動板４２の金属イオンがインク中に溶出すること
が防止され、振動板の信頼性が向上し、長期的に安定し
たインク滴吐出を行うことができて印写品質を確保する
ことができる。

【００４６】そして、このように単に振動板４２とノズ
ルプレート３３とを導通状態にして電気的に浮かせた状
態にすることで、振動板４２に誘起された電荷は流出し
ないので、安価に且つ容易に誘起電圧による振動板４２
の溶解を防止することができる。なお、振動板４２とノ
ズルプレート３３とを導通状態にして電気的に浮かせた
状態にするには、ヘッド取付け台を絶縁材料で形成して
ノズルカバー３を接地しなければよい。

【００４７】次に、本発明の第５実施例について図１０
を参照して説明する。この実施例では、上記第４実施例
のノズルプレート３３にノズルカバー３を圧接して電気
的に接続している。そして、ノズルカバー３は前記第１
実施例と同様にして（図５参照）プリンタ本体のＧＮＤ
に接続している。

【００４８】したがって、振動板４２は導電性接着剤７
３及びノズルカバー３等を介して接地されて、振動板４
２に誘起される電圧はアースに流れることになるので、
誘起電圧によって振動板４２の金属イオンがインク中に
溶出することが防止され、振動板の信頼性が向上し、長
期的に安定したインク滴吐出を行うことができて印写品
質を確保することができる。そして、この場合、複数の
ヘッドのインクに接触する液室構成部品を同電位差にす
ることができ、電気的に安定した状態となって振動板の
みならずノズルプレートからの溶出も防止できて信頼性
が向上する。

【００４９】次に、本発明の第６実施例について図１１
を参照して説明する。この実施例では、フレーム部材１
３に前記第３実施例と同様に基板１１上のＧＮＤパター
ン６５に対応する位置に貫通穴７５を形成し、更に振動
板４２及び液室隔壁部材３２にそれぞれ貫通穴７５に対
応する位置に貫通穴７６，７７を形成して、これらの貫
通穴７５〜７７内に導電性接着剤７８を充填して、ノズ
ルプレート３３及び振動板４２とを導電性接着剤７８を
介して基板１１上のＧＮＤパターン６５に接続し、この
ＧＮＤパターン６５、ＦＰＣケーブル５３、ＰＣＢ基板
５２を介してプリンタ本体のＧＮＤに接続している。

【００５０】これによって振動板４２はノズルプレート
３３と導通されると共に導電性接着剤７８、ＧＮＤパタ
ーン６５等を介して接地されるので、振動板４２に誘起
される電圧はアースに流れ、誘起電圧によって振動板４
２の金属イオンがインク中に流出することが防止され、
振動板の信頼性が向上し、安定した印写品質を確保する
ことができる。また、ノズルプレート３３も接地される
ことで、ノズルプレート３３からの金属イオンの溶出も
防止される。

【００５１】このように振動板とノズルプレートとを導
通状態にした上、各ヘッド毎にそれ自身のＰＣＢ基板内
のＧＮＤに落とすことで、ヘッド単体状態で確実に振動
板をアースに落とすことができ、振動板及びノズルプレ
ートの金属イオンの溶出を防止できる。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェット記録装置によれば、電気機械変換素子による変
位で振動板を介してインク液室内のインクを加圧してノ
ズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを
備え、このヘッドの振動板を電気的に接地しているの
で、振動板中の金属イオンがインク中に流出して穴が明
くことが防止され、振動板の信頼性が向上し、画像品質
が向上する。

【００５３】請求項２のインクジェット記録装置によれ
ば、上記請求項１のインクジェット記録装置において、
インクジェットヘッドには電気的に接地したノズルカバ
ーを備え、このノズルカバーに振動板を電気的に接続し
ているので、複数のヘッドの振動板をまとめて接地する
ことができて生産性が向上する。

【００５４】請求項３のインクジェット記録装置によれ
ば、上記請求項１のインクジェット記録装置において、
電気機械変換素子を配設した絶縁基板上に電気的に接地
される導通パターンを形成し、この導通パターンに振動
板を電気的に接続しているので、記録装置本体にヘッド
を搭載する前にヘッド毎に信頼性を確保することができ
る。

【００５５】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、電気機械変換素子による変位で振動板を介してイン
ク液室内のインクを加圧してノズルからインク滴を吐出
させるインクジェットヘッドにおいて、ノズルを形成し
たノズル形成部材と振動板とを電気的に導通状態にして
いるので、ノズル形成部材に金属片等が接触して振動板
とノズル形成部材との間に電位差が発生しても振動板の
溶出を防止できる。

【００５６】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項４のインクジェットヘッドにおいて、電
気的に接地されるノズルカバーを備え、このノズルカバ
ーとノズル形成部材とを電気的に接続しているので、複
数のヘッドのインクに接触する液室構成部品を同電位差
にすることができ、電気的に安定した状態となって振動
板やノズル形成部材の溶出を防止できて信頼性が向上す
る。

【００５７】請求項６のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項４のインクジェットヘッドにおいて、電
気機械変換素子を配設した絶縁基板上に電気的に接地さ
れる導通パターンを形成し、この導通パターンに振動板
を電気的に接続しているので、ヘッド単体で確実に振動
板及びノズル形成部材を接地することができ、振動板や
ノズル形成部材の溶出を防止できて信頼性が向上する。

【００５８】請求項７のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項４のインクジェットヘッドにおいて、ノ
ズル形成部材及び振動板が導通状態のまま電気的に浮い
ている状態にある構成としたので、安価にかつ容易に液
室部分を浮かせることができ、振動板やノズル形成部材
の溶出を防止できて信頼性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用するインクジェットヘッドの一例
を示す分解斜視図

【図２】同ヘッドのチャンネル方向と直交する方向の要
部拡大断面図

【図３】同ヘッドのチャンネル方向の要部拡大断面図

【図４】本発明の第１実施例を示す要部断面図

【図５】同実施例の斜視図

【図６】駆動波形と誘起電圧の関係を説明する説明図

【図７】本発明の第２実施例を示す要部斜視図

【図８】本発明の第３実施例を示す要部斜視図

【図９】本発明の第４実施例を示す要部断面

【図１０】本発明の第５実施例を示す要部断面

【図１１】本発明の第６実施例を示す要部断面

【符号の説明】

１…駆動ユニット、２…液室ユニット、３…ノズルカバ
ー、１１…基板、１２…圧電素子、１３…フレーム部
材、３２…液室隔壁部材、３３…ノズルプレート、４２
…振動板、５３…ＦＰＣケーブル、６５…ＧＮＤパター
ン、６６部…溝、６７…穴部、６８…導電性接着剤、７
１，７２，７５〜７７…貫通穴、７３，７８…導電性接
着剤。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長場 誠治 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 岩瀬 政之 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 牧田 秀行 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 佐々木 勉 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気機械変換素子による変位で振動板を
   介してインク液室内のインクを加圧してノズルからイン
   ク滴を吐出させるインクジェットヘッドを備えたインク
   ジェット記録装置において、前記インクジェットヘッド
   の振動板を電気的に接地したことを特徴とするインクジ
   ェット記録装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のインクジェット記録装
   置において、前記インクジェットヘッドには電気的に接
   地したノズルカバーを備え、このノズルカバーに前記振
   動板を電気的に接続したことを特徴とするインクジェッ
   ト記録装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のインクジェット記録装
   置において、前記電気機械変換素子を配設した絶縁基板
   上に電気的に接地される導通パターンを形成し、この導
   通パターンに前記振動板を電気的に接続したことを特徴
   とするインクジェット記録装置。
4. 【請求項４】 電気機械変換素子による変位で振動板を
   介してインク液室内のインクを加圧してノズルからイン
   ク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記
   ノズルを形成したノズル形成部材と前記振動板とを電気
   的に導通状態にしたことを特徴とするインクジェットヘ
   ッド。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のインクジェットヘッド
   において、電気的に接地されるノズルカバーを備え、こ
   のノズルカバーと前記ノズル形成部材とを電気的に接続
   したことを特徴とするインクジェットヘッド。
6. 【請求項６】 請求項４に記載のインクジェットヘッド
   において、前記電気機械変換素子を配設した絶縁基板上
   に電気的に接地される導通パターンを形成し、この導通
   パターンに前記振動板を電気的に接続したことを特徴と
   するインクジェットヘッド。
7. 【請求項７】 請求項４に記載のインクジェットヘッド
   において、前記ノズル形成部材及び前記振動板が導通状
   態のまま電気的に浮いている状態にあることを特徴とす
   るインクジェットヘッド。