JPH11330011A - 切削装置 - Google Patents
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- JPH11330011A JPH11330011A JP13820398A JP13820398A JPH11330011A JP H11330011 A JPH11330011 A JP H11330011A JP 13820398 A JP13820398 A JP 13820398A JP 13820398 A JP13820398 A JP 13820398A JP H11330011 A JPH11330011 A JP H11330011A
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 106
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/12—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine
- B23Q11/126—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine for cooling only
- B23Q11/127—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine for cooling only for cooling motors or spindles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/04—Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto
-
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/02—Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Dicing (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 切削装置における切削水供給経路が複数のチ
ューブによって構成され、スピンドルユニットのＹ軸方
向、Ｚ軸方向の送り精度が悪かったこと、及びスピンド
ルユニットの先端部の見栄えが悪かったことを解消させ
る。 【解決手段】 本発明に係る切削装置は、少なくとも、
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテ
ーブル上に保持された被加工物を切削するスピンドルユ
ニットと、該スピンドルユニットの端部に固定された円
形ブレード及び被加工物を含む領域に切削水を供給する
切削水供給ノズルと、該切削水供給ノズルに切削水を送
る切削水供給経路と、を備えた切削装置であって、該切
削水供給経路はスピンドルユニットと一体に形成され、
該スピンドルユニットの端部に固定された切削水供給ノ
ズルに連通している構成としたことにより、従来切削水
供給経路としてスピンドルユニットの先端側に連結して
いた複数本のチューブの取り付けがなくなって、特に、
スピンドルユニットのＹ軸方向の送りを精度良く遂行で
きる。
ューブによって構成され、スピンドルユニットのＹ軸方
向、Ｚ軸方向の送り精度が悪かったこと、及びスピンド
ルユニットの先端部の見栄えが悪かったことを解消させ
る。 【解決手段】 本発明に係る切削装置は、少なくとも、
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテ
ーブル上に保持された被加工物を切削するスピンドルユ
ニットと、該スピンドルユニットの端部に固定された円
形ブレード及び被加工物を含む領域に切削水を供給する
切削水供給ノズルと、該切削水供給ノズルに切削水を送
る切削水供給経路と、を備えた切削装置であって、該切
削水供給経路はスピンドルユニットと一体に形成され、
該スピンドルユニットの端部に固定された切削水供給ノ
ズルに連通している構成としたことにより、従来切削水
供給経路としてスピンドルユニットの先端側に連結して
いた複数本のチューブの取り付けがなくなって、特に、
スピンドルユニットのＹ軸方向の送りを精度良く遂行で
きる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェーハ等
の被加工物を切削・切断するためのダイシング装置等の
切削装置に関するものである。
の被加工物を切削・切断するためのダイシング装置等の
切削装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の切削装置としては、例えば、図
６〜７に示した構成のものが一般的に従来技術として知
られている。そして、被加工物である半導体ウェーハ１
は、支持テープ２によりフレーム３に支持させた状態で
切削・切断のために供給されるものである。
６〜７に示した構成のものが一般的に従来技術として知
られている。そして、被加工物である半導体ウェーハ１
は、支持テープ２によりフレーム３に支持させた状態で
切削・切断のために供給されるものである。
【０００３】この従来例における切削装置は、所謂ダイ
シング装置４であり、該ダイシング装置４は、前進後退
及び上下動が精密且つ任意に行えるスピンドルユニット
５を備えており、該スピンドルユニット５の先端側端部
には円形のブレード６が取り付けられ、該ブレード６に
よってチャックテーブル７上に載置された被加工物であ
る半導体ウェーハ１を個々のチップ状に切削または切断
分割するものである。この場合に、スピンドルユニット
５とチャックテーブル７とは、相対的にＸ軸、Ｙ軸及び
Ｚ軸方向に移動することによって、精密切削が遂行され
る。
シング装置４であり、該ダイシング装置４は、前進後退
及び上下動が精密且つ任意に行えるスピンドルユニット
５を備えており、該スピンドルユニット５の先端側端部
には円形のブレード６が取り付けられ、該ブレード６に
よってチャックテーブル７上に載置された被加工物であ
る半導体ウェーハ１を個々のチップ状に切削または切断
分割するものである。この場合に、スピンドルユニット
５とチャックテーブル７とは、相対的にＸ軸、Ｙ軸及び
Ｚ軸方向に移動することによって、精密切削が遂行され
る。
【０００４】被加工物の半導体ウェーハ１をブレード６
により切削加工する場合に、被加工物を含む切削領域に
切削水を供給する必要があり、そのために、図７に示し
たように、切削水供給ノズル８が配設されている。この
切削水供給ノズル８は、一般的にはスピンドルユニット
５の先端側に取り付けられたホイルカバー９を介してブ
レード６の両側に対向させて配設されるものである。
により切削加工する場合に、被加工物を含む切削領域に
切削水を供給する必要があり、そのために、図７に示し
たように、切削水供給ノズル８が配設されている。この
切削水供給ノズル８は、一般的にはスピンドルユニット
５の先端側に取り付けられたホイルカバー９を介してブ
レード６の両側に対向させて配設されるものである。
【０００５】そして、これら切削水供給ノズル８には、
切削水供給経路としての切削水供給チューブ１０が夫々
接続され、該切削水供給チューブ１０を介して所定量の
切削水が所定圧をもって供給されるようになっている。
切削水供給経路としての切削水供給チューブ１０が夫々
接続され、該切削水供給チューブ１０を介して所定量の
切削水が所定圧をもって供給されるようになっている。
【０００６】切削水供給ノズル８の配設は、一般的にブ
レード６の両側であるが、仮想線で示したように、ブレ
ード６の切削方向前面側にも付加して切削水供給ノズル
８ａが取り付けられる場合もある。この場合でも、切削
水供給経路としての切削水供給チューブ１０ａが連結さ
れる。
レード６の両側であるが、仮想線で示したように、ブレ
ード６の切削方向前面側にも付加して切削水供給ノズル
８ａが取り付けられる場合もある。この場合でも、切削
水供給経路としての切削水供給チューブ１０ａが連結さ
れる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、切削水供給
経路としての切削水供給チューブ１０、１０ａが、スピ
ンドルユニット５の先端側に集中し、且つ露出した状態
で取り付けられていることから、装置としての見栄えが
良くないばかりでなく、チューブ１０、１０ａにも剛性
があって、スピンドルユニット５のＹ軸方向及びＺ軸方
向の速やかな動きに追従できず、特にＹ軸方向の送り精
度を阻害するという問題点を有している。
経路としての切削水供給チューブ１０、１０ａが、スピ
ンドルユニット５の先端側に集中し、且つ露出した状態
で取り付けられていることから、装置としての見栄えが
良くないばかりでなく、チューブ１０、１０ａにも剛性
があって、スピンドルユニット５のＹ軸方向及びＺ軸方
向の速やかな動きに追従できず、特にＹ軸方向の送り精
度を阻害するという問題点を有している。
【０００８】また、切削水供給経路としての切削水供給
チューブが複数本バラバラの状態でスピンドルユニット
の先端側に配設されることから、それらチューブの配管
作業とその纏めが厄介であるという問題点を有してい
る。
チューブが複数本バラバラの状態でスピンドルユニット
の先端側に配設されることから、それらチューブの配管
作業とその纏めが厄介であるという問題点を有してい
る。
【０００９】従って、従来技術においては、切削水供給
経路のスピンドルユニットのＹ軸方向の送り精度を阻害
しないようにすること、切削水供給経路のバラバラに配
管されることによる作業性の悪さと見栄えの悪さとを回
避することに解決しなければならない課題を有してい
る。
経路のスピンドルユニットのＹ軸方向の送り精度を阻害
しないようにすること、切削水供給経路のバラバラに配
管されることによる作業性の悪さと見栄えの悪さとを回
避することに解決しなければならない課題を有してい
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記従来例の課題を解決
する具体的手段として本発明は、少なくとも、被加工物
を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブル上
に保持された被加工物を切削するスピンドルユニット
と、該スピンドルユニットの端部に固定された円形ブレ
ード及び被加工物を含む領域に切削水を供給する切削水
供給ノズルと、該切削水供給ノズルに切削水を送る切削
水供給経路と、を備えた切削装置であって、該切削水供
給経路はスピンドルユニットと一体に形成され、該スピ
ンドルユニットの端部に固定された切削水供給ノズルに
連通していることを特徴とする切削装置を提供するもの
である。
する具体的手段として本発明は、少なくとも、被加工物
を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブル上
に保持された被加工物を切削するスピンドルユニット
と、該スピンドルユニットの端部に固定された円形ブレ
ード及び被加工物を含む領域に切削水を供給する切削水
供給ノズルと、該切削水供給ノズルに切削水を送る切削
水供給経路と、を備えた切削装置であって、該切削水供
給経路はスピンドルユニットと一体に形成され、該スピ
ンドルユニットの端部に固定された切削水供給ノズルに
連通していることを特徴とする切削装置を提供するもの
である。
【００１１】前記スピンドルユニットは、円形のブレー
ドが装着される回転スピンドルと、該回転スピンドルを
回転可能に支持するスピンドルハウジングとから構成さ
れ、切削水供給経路は、スピンドルハウジングの内部に
形成されていて、スピンドルユニットの端部に固定され
た切削水供給ノズルに連通していること；切削水供給経
路を通過する切削水の温度は、所定温度に制御されてい
ること；を付加的な要件として含むものである。
ドが装着される回転スピンドルと、該回転スピンドルを
回転可能に支持するスピンドルハウジングとから構成さ
れ、切削水供給経路は、スピンドルハウジングの内部に
形成されていて、スピンドルユニットの端部に固定され
た切削水供給ノズルに連通していること；切削水供給経
路を通過する切削水の温度は、所定温度に制御されてい
ること；を付加的な要件として含むものである。
【００１２】本発明に係る切削装置においては、切削水
供給経路をスピンドルユニットと一体に形成したことに
より、切削水供給経路となるチューブの取り付けがなく
なって、スピンドルユニットのＹ軸方向及びＺ軸方向の
速やかな送りが阻害されなくなり、特にＹ軸方向の送り
を精度良く遂行できると共に、スピンドルユニットの先
端周りがスッキリして見栄えの良いものとなる。
供給経路をスピンドルユニットと一体に形成したことに
より、切削水供給経路となるチューブの取り付けがなく
なって、スピンドルユニットのＹ軸方向及びＺ軸方向の
速やかな送りが阻害されなくなり、特にＹ軸方向の送り
を精度良く遂行できると共に、スピンドルユニットの先
端周りがスッキリして見栄えの良いものとなる。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に本発明を図示の実施例により
更に詳しく説明する。なお、前記従来例と同一部分には
同一符号を付してその詳細は省略する。図１は本発明の
切削装置であるダイシング装置４を示すものであり、該
ダイシング装置４は、従来例と同様に前進後退及び上下
動が精密且つ任意に行えるスピンドルユニット５を備え
ており、該スピンドルユニット５の先端側端部には円形
のブレード６が取り付けられ、該円形のブレード６によ
ってチャックテーブル７上に載置された被加工物である
半導体ウェーハ１を個々のチップ状に切削または切断分
割するものである。この場合に、スピンドルユニット５
とチャックテーブル７とは、相対的にＸ軸、Ｙ軸及びＺ
軸方向に移動することによって、精密切削が遂行され
る。
更に詳しく説明する。なお、前記従来例と同一部分には
同一符号を付してその詳細は省略する。図１は本発明の
切削装置であるダイシング装置４を示すものであり、該
ダイシング装置４は、従来例と同様に前進後退及び上下
動が精密且つ任意に行えるスピンドルユニット５を備え
ており、該スピンドルユニット５の先端側端部には円形
のブレード６が取り付けられ、該円形のブレード６によ
ってチャックテーブル７上に載置された被加工物である
半導体ウェーハ１を個々のチップ状に切削または切断分
割するものである。この場合に、スピンドルユニット５
とチャックテーブル７とは、相対的にＸ軸、Ｙ軸及びＺ
軸方向に移動することによって、精密切削が遂行され
る。
【００１４】また、被加工物である半導体ウェーハ１
は、支持テープ２によりフレーム３に支持させた状態で
切削・切断のために供給されるものであり、従来から行
っている支持形状及び供給の仕方については略同じであ
る。
は、支持テープ２によりフレーム３に支持させた状態で
切削・切断のために供給されるものであり、従来から行
っている支持形状及び供給の仕方については略同じであ
る。
【００１５】更に、被加工物の半導体ウェーハ１をブレ
ード６により切削加工する場合に、被加工物を含む切削
領域に切削水を供給する必要があり、そのために、図２
に示したように、一対の切削水供給ノズル８が配設され
ている。この一対の切削水供給ノズル８は、一般的には
スピンドルユニット５の先端側に取り付けられたホイル
カバー９を介しブレード６の両側に対向させて配設され
るものである。また、ブレード６の切削方向前面側にも
付加して切削水供給ノズル８ａが取り付けられている。
ード６により切削加工する場合に、被加工物を含む切削
領域に切削水を供給する必要があり、そのために、図２
に示したように、一対の切削水供給ノズル８が配設され
ている。この一対の切削水供給ノズル８は、一般的には
スピンドルユニット５の先端側に取り付けられたホイル
カバー９を介しブレード６の両側に対向させて配設され
るものである。また、ブレード６の切削方向前面側にも
付加して切削水供給ノズル８ａが取り付けられている。
【００１６】本発明においては、一対の切削水供給ノズ
ル８及び付加した切削水供給ノズル８ａに対して切削水
を供給するために、切削水供給経路をスピンドルユニッ
ト５の内部に形成したものである。即ち、一対の切削水
供給ノズル８に対しては切削水供給経路１１を、付加し
た切削水供給ノズル８ａに対しては切削水供給経路１１
ａを夫々スピンドルユニット５の内部に一体的に形成し
たものである。
ル８及び付加した切削水供給ノズル８ａに対して切削水
を供給するために、切削水供給経路をスピンドルユニッ
ト５の内部に形成したものである。即ち、一対の切削水
供給ノズル８に対しては切削水供給経路１１を、付加し
た切削水供給ノズル８ａに対しては切削水供給経路１１
ａを夫々スピンドルユニット５の内部に一体的に形成し
たものである。
【００１７】この場合のスピンドルユニット５は、図３
〜５に示したように、エアースピンドルユニットであっ
て、スピンドルハウジング１２の内部にスピンドル１３
が配設されると共に、スピンドルハウジング１２の先端
部にはスラストエアベアリング１４が取り付けられ、ス
ピンドル１３の周側面にはエアーが供給され、該供給さ
れたエアーによってスピンドル１３が非接触の状態で高
速回転する構成になっている。
〜５に示したように、エアースピンドルユニットであっ
て、スピンドルハウジング１２の内部にスピンドル１３
が配設されると共に、スピンドルハウジング１２の先端
部にはスラストエアベアリング１４が取り付けられ、ス
ピンドル１３の周側面にはエアーが供給され、該供給さ
れたエアーによってスピンドル１３が非接触の状態で高
速回転する構成になっている。
【００１８】スピンドルハウジング１２の先端部におい
ては、スラストエアベアリング１４から吹き出すエアー
によってエアーシールがなされ、スピンドルハウジング
１２とスピンドル１３との間にコンタミが侵入しないよ
うになっている。
ては、スラストエアベアリング１４から吹き出すエアー
によってエアーシールがなされ、スピンドルハウジング
１２とスピンドル１３との間にコンタミが侵入しないよ
うになっている。
【００１９】このような構成のエアースピンドルユニッ
トにおいて、スピンドルユニット５の内部といっても、
スピンドルハウジング１２の部分に長さ方向に沿って切
削水供給経路１１、１１ａを設けるものであって、スピ
ンドル１３には悪影響を全く与えないものである。
トにおいて、スピンドルユニット５の内部といっても、
スピンドルハウジング１２の部分に長さ方向に沿って切
削水供給経路１１、１１ａを設けるものであって、スピ
ンドル１３には悪影響を全く与えないものである。
【００２０】これら切削水供給経路１１、１１ａは、ス
ラストエアベアリング１４の外側に形成されると共に、
その先端部分にはノズル部１５が配設されている。そし
て、スピンドルユニット５の後端部側には、切削水供給
経路１１、１１ａに切削水を送入させるための送水口１
６、１６ａが設けられている。
ラストエアベアリング１４の外側に形成されると共に、
その先端部分にはノズル部１５が配設されている。そし
て、スピンドルユニット５の後端部側には、切削水供給
経路１１、１１ａに切削水を送入させるための送水口１
６、１６ａが設けられている。
【００２１】この場合に、送水口１６から送入される切
削水は、分岐して同一圧力で略同一量が各切削水供給経
路１１に供給されるようになっている。また、切削水供
給経路１１ａに関しては、切削水の供給量及び圧力が切
削水供給経路１１と異なる場合があるのでその調整が個
別にできるように別の送水口１６ａが設けられる。な
お、１７はエアーの送気口である。
削水は、分岐して同一圧力で略同一量が各切削水供給経
路１１に供給されるようになっている。また、切削水供
給経路１１ａに関しては、切削水の供給量及び圧力が切
削水供給経路１１と異なる場合があるのでその調整が個
別にできるように別の送水口１６ａが設けられる。な
お、１７はエアーの送気口である。
【００２２】このように切削水供給経路１１、１１ａが
設けられたスピンドルユニット５の先端部側で、スピン
ドル１３の端部にはブレード６が取り付けられ、スピン
ドルハウジング１２の端部、即ち、スラストエアベアリ
ング１４にはホイルカバー９が取り付けられる。そし
て、ホイルカバー９に装備してある一対の切削水供給ノ
ズル８に対して切削水供給経路１１をそれぞれ接続し、
付加した切削水供給ノズル８ａに対しては切削水供給経
路１１ａを接続するものである。
設けられたスピンドルユニット５の先端部側で、スピン
ドル１３の端部にはブレード６が取り付けられ、スピン
ドルハウジング１２の端部、即ち、スラストエアベアリ
ング１４にはホイルカバー９が取り付けられる。そし
て、ホイルカバー９に装備してある一対の切削水供給ノ
ズル８に対して切削水供給経路１１をそれぞれ接続し、
付加した切削水供給ノズル８ａに対しては切削水供給経
路１１ａを接続するものである。
【００２３】従って、本発明においては、スピンドルユ
ニット５の端部に切削水供給ノズル８、８ａが取り付け
られていること、スピンドルユニット５を構成するスピ
ンドルハウジング１２に、前記切削水供給ノズル８、８
ａにそれぞれ連通する切削水供給経路１１、１１ａが形
成されることが実質的な要件となるものである。
ニット５の端部に切削水供給ノズル８、８ａが取り付け
られていること、スピンドルユニット５を構成するスピ
ンドルハウジング１２に、前記切削水供給ノズル８、８
ａにそれぞれ連通する切削水供給経路１１、１１ａが形
成されることが実質的な要件となるものである。
【００２４】また、切削水供給経路１１、１１ａがスピ
ンドルハウジング１２に形成されていることから、スピ
ンドルハウジング１２内で高速回転するスピンドル１３
との関係で、長時間の使用によりスピンドルハウジング
１２が徐々に熱を帯びてくるようになり、スピンドルユ
ニット５が熱膨張してＹ軸方向の精度に狂いが生ずるよ
うになる。従って、このような現象を回避するために、
スピンドルユニット５を一定の温度に保つようにスピン
ドルユニット５内に冷却水を供給するようにしている。
ンドルハウジング１２に形成されていることから、スピ
ンドルハウジング１２内で高速回転するスピンドル１３
との関係で、長時間の使用によりスピンドルハウジング
１２が徐々に熱を帯びてくるようになり、スピンドルユ
ニット５が熱膨張してＹ軸方向の精度に狂いが生ずるよ
うになる。従って、このような現象を回避するために、
スピンドルユニット５を一定の温度に保つようにスピン
ドルユニット５内に冷却水を供給するようにしている。
【００２５】そこで、切削水がスピンドルユニット５に
熱変化を与えないように、切削水を所定の温度に維持す
べく温度制御手段１８を設けてある。この温度制御手段
１８は切削水を加温したり冷却したりするものであっ
て、切削水供給経路１１、１１ａを通って切削水供給ノ
ズル８、８ａ側から吐出される切削水の温度をスピンド
ルユニット５と略同じ温度に制御するものである。
熱変化を与えないように、切削水を所定の温度に維持す
べく温度制御手段１８を設けてある。この温度制御手段
１８は切削水を加温したり冷却したりするものであっ
て、切削水供給経路１１、１１ａを通って切削水供給ノ
ズル８、８ａ側から吐出される切削水の温度をスピンド
ルユニット５と略同じ温度に制御するものである。
【００２６】いづれにしても、本発明においては、切削
水供給ノズルに切削水を供給する経路をスピンドルユニ
ット内に一体的に設けたことにより、厄介なチューブの
配管作業及び邪魔にならないようにチューブを纏める作
業等も不要になる。そして、何よりも効果的な点は、ス
ピンドルユニットのＹ軸方向及びＺ軸方向の動きを妨げ
るチューブがないことから、特に、Ｙ軸方向及びＺ軸方
向の送りが精度良く速やかに行えることである。
水供給ノズルに切削水を供給する経路をスピンドルユニ
ット内に一体的に設けたことにより、厄介なチューブの
配管作業及び邪魔にならないようにチューブを纏める作
業等も不要になる。そして、何よりも効果的な点は、ス
ピンドルユニットのＹ軸方向及びＺ軸方向の動きを妨げ
るチューブがないことから、特に、Ｙ軸方向及びＺ軸方
向の送りが精度良く速やかに行えることである。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る切削
装置は、少なくとも、被加工物を保持するチャックテー
ブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工物を
切削するスピンドルユニットと、該スピンドルユニット
の端部に固定された円形ブレード及び被加工物を含む領
域に切削水を供給する切削水供給ノズルと、該切削水供
給ノズルに切削水を送る切削水供給経路と、を備えた切
削装置であって、該切削水供給経路はスピンドルユニッ
トと一体に形成され、該スピンドルユニットの端部に固
定された切削水供給ノズルに連通している構成としたこ
とにより、従来切削水供給経路としてスピンドルユニッ
トの先端側に連結していた複数本のチューブの取り付け
がなくなって、スピンドルユニットのＹ軸方向及びＺ軸
方向の送りを精度良く遂行できるという優れた効果を奏
する。
装置は、少なくとも、被加工物を保持するチャックテー
ブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工物を
切削するスピンドルユニットと、該スピンドルユニット
の端部に固定された円形ブレード及び被加工物を含む領
域に切削水を供給する切削水供給ノズルと、該切削水供
給ノズルに切削水を送る切削水供給経路と、を備えた切
削装置であって、該切削水供給経路はスピンドルユニッ
トと一体に形成され、該スピンドルユニットの端部に固
定された切削水供給ノズルに連通している構成としたこ
とにより、従来切削水供給経路としてスピンドルユニッ
トの先端側に連結していた複数本のチューブの取り付け
がなくなって、スピンドルユニットのＹ軸方向及びＺ軸
方向の送りを精度良く遂行できるという優れた効果を奏
する。
【００２８】また、切削水供給経路をスピンドルユニッ
トと一体に形成したことにより、切削水供給経路となる
複数本のチューブの取り付けがなくなって、スピンドル
ユニットの先端周りがスッキリして見栄えの良くなると
いう優れた効果を奏する。
トと一体に形成したことにより、切削水供給経路となる
複数本のチューブの取り付けがなくなって、スピンドル
ユニットの先端周りがスッキリして見栄えの良くなると
いう優れた効果を奏する。
【００２９】更に、スピンドルユニット内に設けた切削
水供給経路を通過する切削水の温度は、所定温度に制御
されていることによって、スピンドルユニットの熱膨張
を回避することができ、順次の切削加工においてバラツ
キのない精密切削が遂行できるという優れた効果を奏す
る。
水供給経路を通過する切削水の温度は、所定温度に制御
されていることによって、スピンドルユニットの熱膨張
を回避することができ、順次の切削加工においてバラツ
キのない精密切削が遂行できるという優れた効果を奏す
る。
【図１】本発明に係る切削装置を略示的に示した斜視図
である。
である。
【図２】同切削装置のスピンドルユニットの要部のみを
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図３】同切削装置に適用される一例のスピンドルユニ
ットを略示的に示した側面図である。
ットを略示的に示した側面図である。
【図４】同スピンドルユニットの先端側にスラストエア
ベアリングを取り付けた状態の拡大端面図である。
ベアリングを取り付けた状態の拡大端面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線に沿う略示的断面図である。
【図６】従来例の切削装置を略示的に示した斜視図であ
る。
る。
【図７】同従来例の切削装置におけるスピンドルユニッ
トの要部のみを示す斜視図である。
トの要部のみを示す斜視図である。
１……半導体ウェーハ、 ２……支持テープ、 ３……
フレーム、４……ダイシング装置、 ５……スピンドル
ユニット、 ６……ブレード、７……チャックテーブ
ル、 ８、８ａ……切削水供給ノズル、９……ホイルカ
バー、 １１、１１ａ……切削水供給経路、１２……ス
ピンドルハウジング、 １３……スピンドル、１４……
スラストエアベアリング、 １５……ノズル部、１６、
１６ａ……送水口、 １７……送気口、 １８……温度
制御手段。
フレーム、４……ダイシング装置、 ５……スピンドル
ユニット、 ６……ブレード、７……チャックテーブ
ル、 ８、８ａ……切削水供給ノズル、９……ホイルカ
バー、 １１、１１ａ……切削水供給経路、１２……ス
ピンドルハウジング、 １３……スピンドル、１４……
スラストエアベアリング、 １５……ノズル部、１６、
１６ａ……送水口、 １７……送気口、 １８……温度
制御手段。
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも、被加工物を保持するチャッ
クテーブルと、該チャックテーブル上に保持された被加
工物を切削するスピンドルユニットと、該スピンドルユ
ニットの端部に固定された円形ブレード及び被加工物を
含む領域に切削水を供給する切削水供給ノズルと、該切
削水供給ノズルに切削水を送る切削水経路と、を備えた
切削装置であって、 該切削水供給経路はスピンドルユニットと一体に形成さ
れ、該スピンドルユニットの端部に固定された切削水供
給ノズルに連通していることを特徴とする切削装置。 - 【請求項２】 スピンドルユニットは、円形のブレード
が装着される回転スピンドルと、該回転スピンドルを回
転可能に支持するスピンドルハウジングとから構成さ
れ、 切削水供給経路は、スピンドルハウジングの内部に形成
されていて、スピンドルユニットの端部に固定された切
削水供給ノズルに連通していることを特徴とする請求項
１に記載の切削装置。 - 【請求項３】 切削水供給経路を通過する切削水の温度
は、所定温度に制御されていることを特徴とする請求項
１または２に記載の切削装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13820398A JPH11330011A (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 切削装置 |
| TW89214525U TW441725U (en) | 1998-05-20 | 1999-04-15 | Main shaft unit and cutting device |
| GB9910091A GB2337474B (en) | 1998-05-20 | 1999-04-30 | Cutting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13820398A JPH11330011A (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 切削装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11330011A true JPH11330011A (ja) | 1999-11-30 |
Family
ID=15216502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13820398A Pending JPH11330011A (ja) | 1998-05-20 | 1998-05-20 | 切削装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11330011A (ja) |
| GB (1) | GB2337474B (ja) |
| TW (1) | TW441725U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015079792A (ja) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6410541B2 (ja) * | 2014-09-26 | 2018-10-24 | 株式会社ディスコ | ブレードカバー装置 |
| JP7045212B2 (ja) * | 2018-02-08 | 2022-03-31 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB598585A (en) * | 1942-09-02 | 1948-02-20 | Peugeot Cycles | Spindle mounting for metal trimming or finishing tools |
| DE8435005U1 (de) * | 1984-11-29 | 1986-04-03 | Werkzeugmaschinenfabrik Adolf Waldrich Coburg Gmbh & Co, 8630 Coburg | Werkzeugmaschine mit einer Werkzeugmaschinenspindel mit Kühleinrichtung in einem Spindelstock |
| DE4311431C2 (de) * | 1993-04-07 | 1995-07-13 | Index Werke Kg Hahn & Tessky | Motorspindel für eine Werkzeugmaschine |
-
1998
- 1998-05-20 JP JP13820398A patent/JPH11330011A/ja active Pending
-
1999
- 1999-04-15 TW TW89214525U patent/TW441725U/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-04-30 GB GB9910091A patent/GB2337474B/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015079792A (ja) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB9910091D0 (en) | 1999-06-30 |
| GB2337474B (en) | 2002-11-27 |
| TW441725U (en) | 2001-06-16 |
| GB2337474A (en) | 1999-11-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050421 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070115 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070122 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070528 |