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JPH11308856A - チャージポンプ回路装置 - Google Patents

チャージポンプ回路装置

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Publication number
JPH11308856A
JPH11308856A JP11161998A JP11161998A JPH11308856A JP H11308856 A JPH11308856 A JP H11308856A JP 11161998 A JP11161998 A JP 11161998A JP 11161998 A JP11161998 A JP 11161998A JP H11308856 A JPH11308856 A JP H11308856A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
potential
charge pump
back gate
unit booster
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11161998A
Other languages
English (en)
Inventor
Takao Nano
隆夫 名野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP11161998A priority Critical patent/JPH11308856A/ja
Publication of JPH11308856A publication Critical patent/JPH11308856A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 昇圧トランジスタを複数のグループに分離し
てバックゲート電位を徐々に高くすることにより倍増率
の大きなチャージポンプ回路を得る。 【解決手段】 ゲートとドレインとを短絡した1つのN
型MOSトランジスタT1〜T7と、前記短絡点に接続
した1つの容量C1〜C7を単位昇圧回路として構成
し、該単位昇圧回路を多数縦列接続してチャージポンプ
回路を構成すると共に、複数の単位昇圧回路を複数のグ
ループに分離し、各グループに異なるバックゲートバイ
アスを与える。少なくとも出力段を含むグループには、
その前段のグループで昇圧された電圧をバックゲートバ
イアスとして印加する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、低い電源電圧から
高い電圧を発生させるチャージポンプ回路に関し、低い
電源電圧から相当に高い電位に昇圧し且つ昇圧した電位
での駆動能力が高いチャージポンプ回路装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、メモリセルが単一のトランジス
タからなる電気的に消去可能なプログラマブルROM
(EEPROM : Electricaly Erasable Programmable ROM)
においては、情報を書き込み/消去する際に12〜14
V程度の高い電位を必要とする。通常の電子機器の電源
電位は3V程度にまで低下してきており、前記高い電位
を外部から供給する事は電子機器のコストアップにつな
がる。そこで、半導体チップ内部にチャージポンプ回路
を内蔵し、電源電位Vccから必要な高い電位を発生さ
せている(例えば、特開昭62−190746号)。加
えて、近年のシステムLSIの構想では、同一チップ内
に外部の負荷を駆動する高出力素子をも集積化し、この
高出力素子専用の高電圧電源とするために、同一チップ
内で電源電位より高い電位を発生させる様な要求も生ま
れてきている。
【0003】図3(A)に従来のチャージポンプ回路の
一例を示した。このチャージポンプ回路は、ゲートとド
レインとを短絡したNチャンネル型MOSトランジスタ
M1〜M7(個数は任意)を、ソースとドレインを接続
して直列接続し、ソースとドレインとの接続点に容量C
1〜C7を接続したものである。各容量素子C1〜C7
の他端には、図3(B)に示すような、クロック信号C
LK及びこれとは相補のクロック信号*CLKを印加
し、N型MOSトランジスタM1のソースと容量C1と
の接続点にN型MOSトランジスタM0を介して電源電
位VDDを印加して、最終段のN型MOSトランジスタ
M7のソースに出力電圧Voutとして電源電位VDD
より昇圧された電位を得るものである。
【0004】図3(C)はチャージポンプ回路の1段目
の回路図(N型MOSトランジスタT1に相当する箇
所)を示したものである。以下にチャージポンプ回路の
回路動作を説明する。
【0005】初期状態において、クロックCLKがLレ
ベル(0V)であるとき、ノードCの電位は電流i1に
よって上昇し、N型MOSトランジスタT0のしきい値
Vthを考慮して、(VDD−Vth−△Vth)まで
チャージされる。但し、△VthはN型MOSトランジ
スタT0のバックゲートバイアス効果によるしきい値の
変動幅を表す。
【0006】その後、クロック信号CLKがHレベル
(3V)に変化すると、ノードCの電位は押し上げられ
て上昇する。このときの上昇する電位Vupは、容量C
1の容量値をCp1、ノードCでの寄生容量をCnodeと
した時に、(1)式で表すことができる。 Vup=VDD・(Cp1/(Cp1+Cnode))・・・・・・(1) このとき、ノードAの電位をVa、ノードCの電位をV
cとして、(Vc−Va>Vth+△Vth)が成り立
つのであれば、N型MOSトランジスタT1のソース・
ドレイン電流i2によってノードAの電位Vaは(2)
式に従った電位にまでチャージされる。 Va=Vc−Vth−△Vth・・・・・・・・・・・・・・・(2) このように、チャージポンプ回路の1段毎に(1)式に
従った電位Vupの分だけ上昇し、これが繰り返されて
昇圧された出力電位Voutを得るものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】チャージポンプ回路の
各段のN型MOSトランジスタT1〜T7は、P型の半
導体領域の表面にN型のソース・ドレイン領域を形成
し、1つのソース領域を隣のドレイン領域と共用するよ
うな形態で構成される。このとき、前記P型の半導体領
域にN型MOSトランジスタT1〜T7のバックゲート
バイアスとして接地電位(GND)を印加することか
ら、出力段に近くなるほどソース電位とバックゲート電
位との電位差(−Vbs)が開き、バックゲートバイア
ス効果によってしきい値の変動幅△Vthが増大する。
変動幅△Vthが一定以上になると、式(2)に従う電
流i2が流れなくなり、昇圧電圧の限界となる。すなわ
ち、ある段数以上はトランジスタの段数を増大しても昇
圧する事ができない。
【0008】この様に、従来のチャージポンプ回路は昇
圧電圧に限界があると言う欠点があった。加えて、最終
段のトランジスタでバックゲートバイアス効果の影響が
最も大きくなるために、このトランジスタのソース・ド
レイン電流も低下し、その駆動能力が低いという欠点が
あった。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の従来の課
題に鑑み成されたもので、チャージポンプ回路を構成す
る複数のトランジスタを少なくとも2つのグループに分
割し、出力段を含むグループのトランジスタには当該グ
ループの初段に印加される、他のグループによって昇圧
された電圧をバックゲートバイアスとして印加すること
により、昇圧電圧の限界を解消できるチャージポンプ回
路を提供するものである。
【0010】
【発明の実施の形態】以下に本発明の1実施の形態を、
図1を参照しながら詳細に説明する。このチャージポン
プ回路は、ゲートとソースとを短絡してダイオード接続
したNチャンネル型MOSトランジスタM1〜M7(個
数は任意)と、該ゲートとドレインとの接続点に接続し
た容量C1〜C7とを具備し、1つのN型MOSトラン
ジスタT1〜T7と1つの容量C1〜C7とを単位昇圧
回路として、1つのトランジスタのソースとその隣のト
ランジスタのドレインとを接続するように縦列接続して
いる。容量C1〜C7の他端には図3(B)に示すよう
な、クロック信号CLK及びこれとは相補のクロック信
号*CLKを印加し、N型MOSトランジスタM1のソ
ースと容量C1との接続点にN型MOSトランジスタM
0を介して電源電位VDDを印加して、最終段のN型M
OSトランジスタM7のソースに出力電圧Voutとし
て電源電位VDDより昇圧された電位を出力するもので
ある。
【0011】縦列接続された単位昇圧回路は、N型MO
SトランジスタT1〜T4(個数は任意)までの第1の
グループ10と、N型MOSトランジスタT5〜T7ま
で(個数は任意)の第2のグループ11とに分割され
る。分割された第1のグループ10のN型MOSトラン
ジスタT1〜T4は、N型MOSトランジスタT4のソ
ース(接続点12)に単位昇圧回路の段数に応じた昇圧
電圧を出力し、分割された第2のグループ11のN型M
OSトランジスタT5に伝達する。第2のグループ11
は接続点12に伝達された電圧を更に昇圧して出力電圧
Voutを出力する。
【0012】そして、分割された第1のグループのN型
MOSトランジスタT1〜T4にはバックゲートバイア
スとして接地電位(GND)を印加し、第2のグループ
11には接続点12に出力される昇圧された電圧をバッ
クゲートバイアスとして印加する。例えば、電源電位V
DD(3V)を第1のグループ10で昇圧して接続点1
2に6Vの電位を出力し、第2のグループ11が更に昇
圧して12Vの出力電圧Voutを得る場合、第2のグ
ループ11にはバックゲートバイアスとして6Vの電圧
を印加することになる。
【0013】図2は、上記のチャージポンプ回路を具現
化した半導体集積回路の一例を示す断面図である。グル
ープ毎に異なるバックゲート電位を与えるために、2重
ウェル構造を採用した。
【0014】すなわち、P型の半導体基板21の表面に
N+型のソース・ドレイン領域22とゲート電極23を
形成してN型MOSトランジスタT1〜T4を形成し、
基板21表面のN型のウェル領域24に重ねてP型ウェ
ル領域25を形成してこれを電気的に独立させ、該P型
ウェル領域25の表面にN+型のソース・ドレイン領域
22とゲート電極23とを形成してN型MOSトランジ
スタT5〜T7を形成したものである。隣り合うトラン
ジスタのソースとドレインは、1つのソース・ドレイン
領域22を共通の領域として形成され、そして回路図に
従いアルミ電極配線によって各トランジスタ間の電気的
接続が成されている。P型基板21にはN+領域26に
よって接地電位(GND)が印加されており、P型ウェ
ル領域25にはN+領域27によって第1のグループ1
0と第2のグループ11との接続点12の電位が印加さ
れている。これは、バックゲート電位とソース電位との
逆バイアス条件を維持するためである。尚、P型ウェル
領域25を電気的に独立させるため、N型ウェル領域2
4にも前記接続点12の電位が印加されている。28は
素子分離用のLOCOS酸化膜である。また、容量C1
〜C7はソース・ドレインを短絡して一方の電極としゲ
ートを他方の電極としたMOS容量素子で構成した。
【0015】図1(B)に更に他の実施の形態を示し
た。図1(A)が各容量C1〜C7にクロック信号CL
K、*CLKを印加しているのに対し、この例ではリン
グオシレータ回路を用いたものである。すなわち、各容
量C1〜C7の間にインバータ40を接続し、NAND
ゲート41の出力を容量C7に接続し、容量C1をNA
NDゲート41の入力の一方に接続し、NANDゲート
41の入力の他方にクロック信号CLKを印加したもの
である。インバータ40の個数を奇数にすることで自己
発振させ、個々の単位昇圧回路に対して図3(B)の相
補クロック信号と同様の信号を印加することができる。
【0016】このように、各グループ毎にバックゲート
となる領域を電気的に分離することにより、各グループ
毎に異なるバックゲートバイアスを与えることが可能に
なる。そして、最終段付近のトランジスタに対して接続
点12の昇圧された電位をバックゲートバイアスとする
ことにより、第2のグループ11のN型MOSトランジ
スタT5〜T7のバックゲート電位とソース電位との差
(−Vbs)を従来より小さくする事ができる。従っ
て、第2のグループ11のトランジスタに生じるバック
ゲートバイアス効果を小さくでき、しきい値の変動量△
Vthを小さくできる。このことは、グループの数を3
個、4個と増大することにより、極めて高い電位まで昇
圧できることを意味する。また、最終出力段のトランジ
スタT7のバックゲートバイアス効果によるしきい値の
変動量△Vthを小さく抑えられるので、出力電圧Vo
utとして大電流を取り出すことが可能になる。更に、
バックゲート電位とソース電位との電位差を拡大せずに
すむので、全トランジスタを同じ設計耐圧で製造するこ
とができる。
【0017】尚、グループの数を2つとして説明してき
たが、求める出力電圧に応じてグループの数を増やして
いけばよく、また1つのグループに内蔵するトランジス
タの個数も任意である。更に、Nチャネル型に代えてP
チャネル型のトランジスタで構成する事も可能である。
【0018】
【発明の効果】以上に説明したとおり、本発明によれ
ば、昇圧した電位でバックゲートバイアスを与えること
により、バックゲートバイアス効果を抑制して、倍増率
の大きなチャージポンプ回路を提供できる利点を有す
る。このとき、バックゲートに印加する電位(昇圧され
た電位)はほぼ任意に選択できるので、最終トランジス
タに生じるバックゲートバイアス効果を抑制して、出力
トランジスタとしての駆動能力を倍増できる。これによ
り、例えば電源電位Vddが2V程度しかないような低
電源電圧LSIであっても、その内部で12〜20Vも
の高電圧を発生させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を説明するための回路図である。
【図2】本発明を説明するための断面図である。
【図3】従来例を説明するための図である。
【符号の説明】
T0〜T7 N型MOSトランジスタ C1〜C7 容量素子 10 第1のグループ 11 第2のグループ 12 接続点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 27/115 H01L 27/10 434 27/10 481

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁ゲート型トランジスタ素子と容量素
    子とを組み合わせて一つの単位昇圧回路とし、該単位昇
    圧回路を複数個縦列に接続すると共に、隣り合う単位昇
    圧回路に互いに逆相の同期信号を入力し、初段の単位昇
    圧回路の入力端に所定電位を入力し、最終段の単位昇圧
    回路の出力端から昇圧された出力電圧を出力するチャー
    ジポンプ回路装置において、 前記絶縁ゲート型トランジスタ素子群を少なくとも2つ
    のグループに分割し、一つのグループにはバックゲート
    バイアスとして接地電位を印加し、他のグループには前
    記第1のグループによって昇圧された電位をバックゲー
    トバイアスとして印加した事を特徴とするチャージポン
    プ回路装置。
  2. 【請求項2】 絶縁ゲート型トランジスタ素子と容量素
    子とを組み合わせて一つの単位昇圧回路とし、該単位昇
    圧回路を複数個接続すると共に、隣り合う単位昇圧回路
    に互いに逆相の同期信号を入力し、初段の単位昇圧回路
    の入力端に所定電位を入力し、最終段の単位昇圧回路の
    出力端から昇圧された出力電圧を出力するチャージポン
    プ回路装置において、 前記絶縁ゲートトランジスタ素子は、一導電型の第1の
    領域の表面に形成した第1のグループと、前記第1の領
    域とは電気的に分離された一導電型の第2の領域の表面
    に形成した第2のグループとの少なくとも2つのグルー
    プに分割され、 前記第1の領域に前記第1のグループのバックゲートバ
    イアスとして接地電位を印加し、 前記第1のグループの最終昇圧電位を前記第2のグルー
    プの初段の絶縁ゲート型トランジスタに入力すると共
    に、前記第2の領域に前記第1のグループが昇圧した電
    位のうちいずれかをバックゲートバイアスとして印加し
    た事を特徴とするチャージポンプ回路装置。
JP11161998A 1998-04-22 1998-04-22 チャージポンプ回路装置 Pending JPH11308856A (ja)

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Cited By (9)

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