JPH11296234A - モータ類の位置制御時の加重制御方法およびその装置 - Google Patents
モータ類の位置制御時の加重制御方法およびその装置Info
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- JPH11296234A JPH11296234A JP9861698A JP9861698A JPH11296234A JP H11296234 A JPH11296234 A JP H11296234A JP 9861698 A JP9861698 A JP 9861698A JP 9861698 A JP9861698 A JP 9861698A JP H11296234 A JPH11296234 A JP H11296234A
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Abstract
な加重制御ができる信頼性の高いものとする。 【解決手段】 作業対象14に位置制御負荷1bを当接
させる位置制御時に、指令トルクTeによって前記位置
制御負荷1bから作業対象14へ与える加重の制御を行
うのに、用いるモータ1類および位置制御負荷1bなど
につき実測して得た、各種指令トルクTeとそれによる
駆動時の加重特性Lの結果を対向させたキャリブレーシ
ョンテーブルCTから、目標の加重値Lに対応する指令
トルクTeを選択し、選択した指令トルクTeによりモ
ータ1類を駆動して加重制御を行い、実測した加重特性
が反映されるようにして、上記のような目的を達成す
る。
Description
の各種モータ類を、指令トルクにより駆動して位置制御
負荷を目標位置へ移動させて作業対象に当接させる位置
制御時に、指令トルクによって前記位置制御負荷から作
業対象へ与える加重の制御を行うモータ類の加重制御方
法に関するものである。
高い位置精度および作業性が必要な、例えば電子部品を
取り扱う技術分野で用いられている。
を回路基板に装着したり実装したりするときの、電子部
品を取り扱う吸着ノズルなどの位置制御、特に、電子部
品の高さ寸法の違いに対応した装着高さの制御、あるい
は、ベアICチップの電極部に金属バンプを形成すると
きの、ボンディングツールの位置制御、特に金属線のボ
ンディング位置への押しつけ高さの制御などがある。
れぞれ加重の許容範囲の異なる電子部品を回路基板に装
着したり、金属線をICチップの電極部に押しつけた状
態で超音波振動などによってそれを溶融させて溶着させ
た後、金属線を前記溶着部から引きちぎって前記電極部
上にバンプを形成したりするとき、これらの作業を行う
部品取り扱いツールやボンディングツールを作業対象で
ある回路基板やICチップなどに電子部品や金属線を押
しつけさせる制御がある。
は、部品取り扱いツールやボンディングツールないしは
これらに連結されるネジ軸などの動作部材を、図6に示
すような位置制御の対象、つまり位置制御負荷1a1と
し、ACサーボモータやボイスコイルモータ等のモータ
1aを駆動源として行われる。モータ1aは、その時々
に必要な方向および速度での移動、停止や当接、および
当接時の加重を行わせるべき指令トルクTeを電流制御
部としてのドライバ6aに与えて駆動制御する。
ル部7aの制御機能によって行われる。追値制御の場
合、制御負荷1a1を目標位置に向かわせる指令位置b
と位置検出部2aで検出される現在位置cとの差分から
位置制御部4aで指令速度dを生成し、この指令速度d
と速度検出部3aで検出される現在速度eとの差分から
速度制御部5aで、前記指令位置bに到達させるために
必要な指令トルクTeを生成する。指令トルクTeは制
御のオン、オフスイッチ10aを介してドライバ6aに
与えられ、ドライバ6aは受けた指令トルクTeに対応
した出力電流によりモータ1aを駆動して制御負荷1a
1を位置制御し、これの連続で目標位置、例えば電子部
品を装着する回路基板、あるいは金属バンプを形成する
ベアICなどの図6に示すような作業対象14aに当接
する位置に到達させる。
たときに現在速度が0になるのに対応して、速度制御部
5aから出力される指令トルクTeが増大する変化によ
って、あたり検出部8aはその当接を検出する。あたり
検出部8aは当接を検出すると位置決めコントロール部
7aの制御を停止させて、加重コントロール部9aを働
かせる。加重コントロール部9aは目標加重値に対応し
た所定の指令トルクTe′をドライバ6aに入力してモ
ータ1aがさらに駆動力を得て、作業対象14aに当接
している制御負荷1a1をさらに押しつけ所定の加重が
達成されるようにする。
細化も手伝って、前記位置制御や加重制御のさらなる高
精度化が望まれるなか、上記従来のような制御では、加
重制御で特に精度不足を招き、十分な信頼性が得られな
くなっている。
討を重ねたところ、精度不足に影響する要因は、図8の
駆動電流と加重との関係で見られるようなモータA、
B、Cごとの推力のバラツキ、指令トルクに対する電流
制御部、つまりドライバ6aでの出力電流のバラツキ、
制御負荷1a1などの可動部の摩擦負荷のバラツキなど
がある。また、前記金属バンプを形成するとき、図9に
示すように、位置制御負荷1a1にて金属線を所定の加
重状態で電極に当接させて加重する過程で、指令トルク
Teを徐々に増大させていき、所定の加重状態で金属線
の加重当接部が溶融されるのを待って、指令トルクTe
を徐々に減少させていき最終的に解除する制御が行われ
るが、このように指令トルクを増大させていくときと、
減少させていくときの加重特性の変化には図10に示す
ようなヒステリシス特性があり、指令トルクTeを増大
させていくときの変化特性Te1nと、減少させていく
ときの変化特性Te2nとの差も前記精度不足に影響す
る。上記従来の制御ではこれらに対応できていない。
に基づき、実測した加重特性を制御に反映させた高精度
な加重制御ができる信頼性の高いモータ類の位置制御時
の加重制御方法およびその装置を提供することにある。
するため、本発明のモータ類の位置制御時の加重制御方
法は、サーボモータなどのモータ類を指令トルクにより
駆動して位置制御負荷を、目標位置へ移動させて作業対
象に当接させる位置制御時に、指令トルクによって前記
位置制御負荷から作業対象へ与える加重の制御を行うの
に、用いるモータ類および位置制御負荷などにて実測し
て得た、各種指令トルクとそれによる駆動時の加重特性
結果を対応させたキャリブレーションテーブルから、目
標の加重値に対応する指令トルクを選択し、選択した指
令トルクによりモータ類を駆動して加重制御を行うこと
を1つの特徴としている。
位置制御負荷が、作業対象に当接して以降、加重制御を
行うのに、加重制御のための指令トルクを、用いるモー
タ類および位置制御対象などにて実測して得た、各種指
令トルクとそれによる駆動時の加重特性結果を対応させ
たキャリブレーションテーブルから、目標の加重値に対
応するものを選択して適用するので、モータから位置制
御負荷に至るまでの、認識できる、できないに係わらな
いあらゆるバラツキ要素を含む実績データに基づき、目
標通りの加重値が高精度に得られる。
クを増大させていくときの加重特性に対応する第1の変
化分と、指令トルクを減少させていくときの加重特性に
対応する第2の変化分とを備え、指令トルクが増大する
ときの加重制御は第1の変化分のデータによって、指令
トルクが減少するときの加重制御は第2の変化分のデー
タによって、それぞれ加重制御を行うようにすると、指
令トルクを増大させていくときと、減少させていくとき
との加重特性にヒステリシス特性があっても、指令トル
クを増大させていく加重制御と、指令トルクを減少させ
ていく加重制御とをそのようなヒステリシス特性の影響
に対処したより正確な加重制御を達成することができ
る。
装置は、サーボモータなどのモータ類を、指令トルクに
より駆動して位置制御負荷を目標位置へ移動させて作業
対象に当接させる位置制御手段に加え、指令トルクによ
ってモータ類を駆動し、前記位置制御負荷からこれが当
接した作業対象へ与える加重を制御する加重制御手段
と、加重制御の目標の加重値を設定する加重値設定手段
と、用いるモータ類および位置制御負荷などにて実測し
て得た、各種指令トルクとそれによる駆動時の加重特性
結果を対応させたキャリブレーションテーブルから、設
定された目標の加重値に対応する指令トルクを選択して
これを加重制御手段に与える指令トルク設定手段と、前
記位置制御負荷の作業対象への当接を検出する当接検出
手段と、当接検出手段による当接の検出があったときモ
ータの制御を位置制御手段による位置制御から加重制御
手段による加重制御に切り替える切換手段とを備えたこ
とを1つの特徴とし、上記本発明の加重制御方法を自動
的に達成することができる。
憶手段を備え、指令トルク設定手段は設定された目標の
加重値に対応した指令トルクを記憶手段に格納されたキ
ャリブレーションテーブルから読みだし、指令トルクを
設定するようにすると、その装置につき実測して得たキ
ャリブレーションテーブルを一旦記憶手段に記憶してお
けば、その後何らかの変化によりデータ変更が必要にな
るまで、その時々に必要な加重値の設定を行うだけで自
動的に対応できる。
荷を当接されて、そのときの圧力状態から前記駆動を行
っている指令トルクに対応した加重特性を検出する加重
特性検出手段と、モータ類を各種の指令トルクにて駆動
しながら、その都度前記位置制御負荷を加重特性検出手
段に当接させるとともに、そのときどきに加重特性検出
手段が出力する加重特性を、それらに対応する指令トル
クと対をなしたキャリブレーションデータとして記憶手
段に記憶していき、キャリブレーションテーブルを作成
するテーブル作成手段とを備えたものとすると、キャリ
ブレーションテーブルがこれを利用する作業機そのもの
の動作機能によって自動的に得られるので、人がいちい
ち試験操作してデータを収集し、データ設定するような
必要がなく便利である。また、何らかの変化があったと
きや、定期的に、キャリブレーションテーブルを作成し
直すことで、ときどきの変化に対応することが自動的に
行える。
説明および図面によって明らかになる。
御時の加重制御方法およびその装置に係る実施の形態に
ついて、図1〜図5を参照しながら説明する。
に示す位置制御および加重制御を行う加重制御装置21
に基づき説明すると、ACサーボモータなどの各種のモ
ータ1を、指令トルクTeにより駆動して目標位置へ移
動させて作業対象14に位置制御負荷1bを当接させる
位置制御時に、指令トルクTeによって前記位置制御負
荷1bからこれが当接した作業対象14へ与える加重の
制御を行うのに、用いるモータ1および位置制御負荷1
bなどにつき実測して得た、表1に示すような各種指令
トルクTe1〜Tenそれぞれによる駆動時の加重特性
結果L1〜Lnを対応させたキャリブレーションテーブ
ルCT(図1)から、目標の加重値Lに対応する指令ト
ルクTeを選択し、選択した指令トルクTeによりモー
タ1を駆動して加重制御を行う。モータ1の位置制御
は、図2に示す位置制御手段22によって従来と同様に
行われればよい。しかし、別の方法であってもよい。
置制御においてその負荷1bが作業対象14に当接して
以降加重制御を行うのに、加重制御のための指令トルク
Teを、前記のように用いるモータ1および位置制御負
荷1bなどにつき実測して得た、各種指令トルクTe1
〜Tenとそれによる駆動時の加重特性結果L1〜Ln
を対応させたキャリブレーションテーブルCTから、目
標の加重値Lに対応するものを選択して適用するので、
モータ1から位置制御負荷1bに至るまでの、認識でき
る、できないに係わらないあらゆるバラツキ要素を含む
実績データに基づき、目標通りの加重値Lが高精度に達
成される。
は、表2に示すように、指令トルクTeをTe11〜T
e1nへと増大させていくときの加重特性L1〜Lnに
対応する第1の変化分と、指令トルクをTe21〜Te
2nと減少させていくときの加重特性L1〜Lnに対応
する第2の変化分とも備え、指令トルクが増大するとき
の加重制御は第1の変化分のデータTe11〜Te1n
によって、指令トルクが減少するときの加重制御は第2
の変化分のデータTe21〜Te2nによって、それぞ
れ加重制御を行うようにする。
ときと、減少させていくときとの加重特性に記述したよ
うなヒステリシス特性があっても、指令トルクを増大さ
せていく加重制御と、指令トルクを減少させていく加重
制御とをそのようなヒステリシス特性の影響に対処した
より正確な加重制御を達成することができ、前記した金
属バンプを形成するようなときの位置制御時の加重制御
に好適である。
ンテーブルCTの双方を備え選択使用するのが好適であ
る。しかし、これに限られることはなくその一方を利用
するだけでも有効である。
御装置21は、上記のような制御を行うため、モータ1
を、指令トルクTeにより駆動して位置制御負荷1bを
目標位置へ移動させて作業対象に当接させる位置制御手
段22に加え、指令トルクTeによってモータ1を駆動
し、前記位置制御負荷1bからこれが当接した作業対象
14へ与える加重を制御する加重制御手段としての加重
コントロール部9と、加重制御での目標の加重値を手入
力または動作制御プログラムに従い自動で入力して設定
する加重値設定手段23と、前記のように用いるモータ
1および位置制御負荷1bなどにて実測して得た、ある
いはさらに、ヒステリシス特性をも実測した各種指令ト
ルクTeとそれによる駆動時の加重特性結果を対応させ
たキャリブレーションテーブルCTから、設定された目
標の加重値に対応する指令トルクTeを選択してこれを
加重コントロール部9に与える指令トルク設定手段24
と、前記位置制御負荷1bを作業対象14への当接を検
出する当接検出手段であるあたり検出部8と、あたり検
出部8による当接の検出があったときモータ1の制御を
位置制御手段22による位置制御から加重制御手段21
による加重制御に切り替える切換手段25とを備え、上
記のような方法を自動的に達成することができる。
ものであり、位置制御負荷1bを作業対象14に当接さ
せる位置制御は位置決めコントロール部7の制御機能に
よって行われる。制御は追値制御である。加重値設定手
段23は加重コントロール部9への設定入力手段を示し
ているが、操作パネルや加重コントロール部9などの制
御機器の内部あるいは外部の記憶手段に記憶した動作プ
ログラムによって設定されるものであってもよい。指令
トルク設定手段24は加重コントロール部9の内部機能
を利用したものでもよいが、外部機器を用いたものでも
よい。切換手段25はあたり検出部8の内部機能を利用
したものでもよいが、外部機器を用いたものでもよい。
さらに、図2に示す各機器は、作業機の動作制御を行う
マイクロコンピュータの内部機能で代替できるし、それ
ぞれ、独立の、あるいは各種に組合せ構成した部分的な
機器とすることもできる。要は必要な機能が達成されれ
ばよい。
に、キャリブレーションテーブルCTを格納した記憶手
段としてのキャリブレーションデータテーブル記憶部1
2を備え、指令トルク設定手段24は設定された目標の
加重値に対応した指令トルクTeをキャリブレーション
データテーブル記憶部12に格納されたキャリブレーシ
ョンテーブルCTから読みだし、指令トルクTeを設定
する。これにより、その装置につき実測して得たキャリ
ブレーションテーブルCTを一旦キャリブレーションデ
ータテーブル記憶部12に記憶しておけば、その後何ら
かの変化によりデータ変更が必要になるまで、その時々
に必要な加重値の設定を行うだけで自動的に対応でき
る。
1は、前記キャリブレーションデータテーブル記憶部1
2に格納するキャリブレーションテーブルCTを自ら作
成する機能を持つように、テーブル作成手段としてのキ
ャリブレーションコントロール部11と、作業機の実際
の加重特性を検出するための圧力センサなどよりなる加
重特性検出手段13も備えている。キャリブレーション
コントロール部11は、駆動されるモータ1の位置制御
負荷1bを加重特性検出手段13に当接させて、そのと
きどきの圧力状態から前記駆動を行っている指令トルク
Teに対応した加重特性Lを検出し、それらに対応する
指令トルクTeと対をなしたキャリブレーションデータ
としてキャリブレーションデータテーブル記憶部12に
記憶していき、キャリブレーションテーブルCTを作成
する。これにより、キャリブレーションテーブルCTが
これを利用する作業機そのものの動作機能によって自動
的に得られるので、人がいちいち試験操作してデータを
収集し、データ設定するような必要がなく便利である。
また、何らかの変化があったときや、定期的に、キャリ
ブレーションテーブルCTを作成し直すことで、ときど
きの変化に対応することが自動的に行える。
業対象14が位置決めされる近傍に固定的に設置してお
いて、作業機のキャリブレーションテーブルCT作成動
作時に、位置制御負荷1bをそれに押し当てるようにす
ればよい。もっとも、加重特性検出手段13は必要なと
きに必要な位置に移動されるようにもできる。
CTを活かすには、先ず、エンドユーザーでの作業機の
使用が始まる前に、メーカー側で、あるいはエンドユー
ザーでの使用開始前に、図3に示すキャリブレーション
テーブルCTの作成操作を行うのが好適である。作業機
の動作プログラム中に動作初期だけ、あるいはその後も
所定の稼働時間経過ごとや作業機の稼働開始ごとなど定
期的に、あるいは所定の判断データに基づく自動的な判
定信号や人為的な入力信号によって、キャリブレーショ
ンテーブルCTの作成操作が行われるようにするのが好
適である。
作は、図3に示すように上記のような指定トルクごとの
キャリブレーション動作を必要回数行って、図4に示す
ような実際にモータ1を駆動したときの指令トルクTe
と、そのときどきで検出された加重特性検出手段13の
ロードセル出力とを収集して、キャリブレーションデー
タテーブルを作成する。次いで、これをキャリブレーシ
ョンデータテーブル記憶部12に記憶する。
示すようにまず位置制御手段22により位置決め動作が
行われ、目標位置に到達したかどうかのサーチ動作が行
われる。具体的には、制御負荷1bを目標位置に向かわ
せる指令位置bと位置検出部2で検出される現在位置c
との差分から位置制御部4で速度指令dを生成し、この
速度指令dと速度検出部3で検出される現在速度eとの
差分から速度制御部5で、前記指令位置bに到達させる
ために必要な指令トルクTeを生成する。指令トルクT
eは制御のオン、オフスイッチ10を介してドライバを
含む電流制御部6に与えられ、電流制御部6は受けた指
令トルクTeに従いモータ1を駆動して制御負荷1bを
位置制御し、目標位置、例えば電子部品を装着する回路
基板、あるいは金属バンプを形成するベアICなどの作
業対象14に当接する位置に到達させる。
業対象14に当接した当たりが検出されると、加重制御
手段21による加重制御に切り替わり、加重動作が行わ
れる。具体的には、制御負荷1bが作業対象14に当接
したときに現在速度が0になるのに対応して、速度制御
部5から出力される指令トルクTeが増大する変化によ
って、あたり検出部8がその当接を検出する。あたり検
出部8が当接を検出すると位置決めコントロール部7の
制御を停止させて、加重コントロール部9を働かせる。
加重コントロール部9はその後の指令位置などの信号に
基づいて所定の指令トルクTe′を電流制御部6に入力
しモータ1がさらなる駆動力を得て、位置制御負荷1b
をそれが当接した作業対象14にさらに押しつけて所定
の加重状態が得られる。加重動作の終了によってリター
ン動作が行われる。
御方法およびその装置の1つの特徴によれば、モータか
ら位置制御負荷に至るまでの、認識できる、できないに
係わらないあらゆるバラツキ要素を含む実績データに基
づき、目標通りの加重値が高精度に得られ、装置では特
にそのような加重制御を自動的に達成することができ
る。
大させていくときと、減少させていくときとの加重特性
にヒステリシス特性があっても、指令トルクを増大させ
ていく加重制御と、指令トルクを減少させていく加重制
御とをそのようなヒステリシス特性の影響に対処したよ
り正確な加重制御を達成することができる。
置につき実測して得たキャリブレーションテーブルCT
を一旦記憶手段に記憶しておけば、その後何らかの変化
によりデータ変更が必要になるまで、その時々に必要な
加重値の設定を行うだけで自動的に対応できる。
ンテーブルCTがこれを利用する実機そのものの動作機
能によって自動的に得られるので、人がいちいち試験操
作してデータを収集し、データ設定するような必要がな
く便利である。また、何らかの変化があったときや、定
期的にキャリブレーションテーブルCTを作成し直し、
そのときどきの変化に対応することが自動的に行える。
タ類の位置決め制御時の加重制御方法および装置を示す
模式図である。
ック図である。
操作の一例を示すフローチャートである。
ンテーブルをグラフ化して示したグラフである。
を利用した場合の位置決め制御およびそれに続く加重制
御の一例を示すフローチャートである。
法および装置を示す模式図である。
ック図である。
のある状態を示すグラフである。
すグラフである。
のヒステリシス特性を示すグラフである。
Claims (5)
- 【請求項1】 サーボモータなどのモータ類を指令トル
クにより駆動して位置制御負荷を、目標位置へ移動させ
て作業対象に当接させる位置制御時に、指令トルクによ
って前記位置制御負荷から作業対象へ与える加重の制御
を行うモータ類の加重制御方法において、 用いるモータ類および位置制御負荷などにて実測して得
た、各種指令トルクとそれによる駆動時の加重特性結果
を対応させたキャリブレーションテーブルから、目標の
加重値に対応する指令トルクを選択し、選択した指令ト
ルクによりモータ類を駆動して加重制御を行うことを特
徴とするモータ類の加重制御方法。 - 【請求項2】 キャリブレーションテーブルは、指令ト
ルクを増大させていくときの加重特性に対応する第1の
変化分と、指令トルクを減少させていくときの加重特性
に対応する第2の変化分とを備え、指令トルクが増大す
るときの加重制御は第1の変化分のデータによって、指
令トルクが減少するときの加重制御は第2の変化分のデ
ータによって、それぞれ加重制御を行う請求項1に記載
のモータ類の位置制御時の加重制御方法。 - 【請求項3】 サーボモータなどのモータ類を、指令ト
ルクにより駆動して位置制御負荷を目標位置へ移動させ
て作業対象に当接させる位置制御手段に加え、指令トル
クによってモータ類を駆動し、前記位置制御負荷からこ
れが当接した作業対象へ与える加重を制御する加重制御
手段と、加重制御の目標の加重値を設定する加重値設定
手段と、用いるモータ類および位置制御負荷などにて実
測して得た、各種指令トルクとそれによる駆動時の加重
特性結果を対応させたキャリブレーションテーブルか
ら、設定された目標の加重値に対応する指令トルクを選
択してこれを加重制御手段に与える指令トルク設定手段
と、前記位置制御負荷の作業対象への当接を検出する当
接検出手段と、当接検出手段による当接の検出があった
ときモータの制御を位置制御手段による位置制御から加
重制御手段による加重制御に切り替える切換手段とを備
えたことを特徴とするモータ類の位置制御時の加重制御
装置。 - 【請求項4】 キャリブレーションテーブルを格納した
記憶手段を備え、指令トルク設定手段は設定された目標
の加重値に対応した指令トルクを記憶手段に格納された
キャリブレーションテーブルから読みだし、指令トルク
を設定する請求項3に記載のモータ類の加重制御装置。 - 【請求項5】 駆動されるモータ類の位置制御負荷を当
接されて、そのときの圧力状態から前記駆動を行ってい
る指令トルクに対応した加重特性を検出する加重特性検
出手段と、モータ類を各種の指令トルクにて駆動しなが
ら、その都度前記位置制御負荷を加重特性検出手段に当
接させるとともに、そのときどきに加重特性検出手段が
出力する加重特性を、それらに対応する指令トルクと対
をなしたキャリブレーションデータとして記憶手段に記
憶していき、キャリブレーションテーブルを作成するテ
ーブル作成手段とを備えた請求項4に記載のモータ類の
位置制御時の加重制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09861698A JP3724948B2 (ja) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | モータ類の位置制御時の加重制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09861698A JP3724948B2 (ja) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | モータ類の位置制御時の加重制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11296234A true JPH11296234A (ja) | 1999-10-29 |
JP3724948B2 JP3724948B2 (ja) | 2005-12-07 |
Family
ID=14224513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09861698A Expired - Fee Related JP3724948B2 (ja) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | モータ類の位置制御時の加重制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3724948B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013008602A1 (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-17 | いすゞ自動車株式会社 | アクチュエータの制御方法及びアクチュエータの制御装置 |
WO2013038856A1 (ja) * | 2011-09-16 | 2013-03-21 | いすゞ自動車株式会社 | アクチュエータの制御方法及びアクチュエータの制御装置 |
-
1998
- 1998-04-10 JP JP09861698A patent/JP3724948B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013008602A1 (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-17 | いすゞ自動車株式会社 | アクチュエータの制御方法及びアクチュエータの制御装置 |
JP2013020464A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Isuzu Motors Ltd | アクチュエータの制御方法及びアクチュエータの制御装置 |
CN103649851A (zh) * | 2011-07-12 | 2014-03-19 | 五十铃自动车株式会社 | 促动器的控制方法及促动器的控制装置 |
US9558897B2 (en) | 2011-07-12 | 2017-01-31 | Isuzu Motors Limited | Actuator control method and actuator control device |
WO2013038856A1 (ja) * | 2011-09-16 | 2013-03-21 | いすゞ自動車株式会社 | アクチュエータの制御方法及びアクチュエータの制御装置 |
JP2013065152A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Isuzu Motors Ltd | アクチュエータの制御方法及びアクチュエータの制御装置 |
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