JPH11290801A - 洗浄槽 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄液の吐出量を増やさずに、槽本体内での
循環量を増加させる。 【解決手段】 洗浄槽２０は、被洗浄物２を内部に収容
し、供給される洗浄液１により被洗浄物２を洗浄するた
めの槽本体１１と、槽本体１１の内部下方に配置され、
洗浄液１を吐出するための吐出孔を長手方向に沿って形
成した吐出パイプ１２と、吐出パイプ１２の外周面と所
定の間隔を介して吐出パイプ１２の前記吐出孔側の外周
面を囲むとともに、前記吐出孔近傍の一定範囲を開口さ
せた一対のガイド板２１とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、槽本体内で洗浄液
を噴射し、槽本体内に収容したウェーハや基板等の被洗
浄物を洗浄する乱流式の洗浄槽に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５及び図６は、従来の乱流式の洗浄槽
の一例を示す正面の断面図であり、それぞれ薬液循環型
及び水洗型を示す。洗浄槽１０、１０Ａにおいて、槽本
体１１の内部下方の両側には、洗浄液１を吐出するため
の吐出パイプ１２が設けられており、この吐出パイプ１
２には、管路１３によってポンプ１４及びフィルタ１５
（図５）又はＤＩＷ１７（図６）が連結されている。

【０００３】槽本体１１内に被洗浄物２を収容するとと
もに、ポンプ１４又はＤＩＷ１７で洗浄液１（薬液又は
水）を吐出パイプ１２から噴射して被洗浄物２を洗浄す
る。被洗浄物２は、シリコンウェーハや液晶ディスプレ
イのガラス基板等であり、槽本体１１の内部底面に設置
された受け台（図示せず）により支持されている。な
お、図５の例では、槽本体１１の開口面からあふれ出た
洗浄液１は、槽本体１１の外周に設けられた貯留槽１６
に流れ込み、再度ポンプ１４によって槽本体１１内に供
給される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来の
洗浄槽１０、１０Ａでは、吐出パイプ１２からの洗浄液
１の吐出量が不十分であると、槽本体１１内で洗浄液１
が十分に循環することができないので、槽本体１１内で
洗浄液１の停滞部が増加し、被洗浄物２の表面に付着し
ているパーティクルを十分に除去できずに残存する場合
があるという問題があった。ここで、吐出パイプ１２か
らの洗浄液１の吐出量をさらに増加させることが考えら
れるが、洗浄液１の供給量を増加させなければならず、
コストアップになるという問題がある。

【０００５】したがって、本発明が解決しようとする課
題は、従来と同等の洗浄液の吐出量で、槽本体内の洗浄
液の循環量を増加させることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、請求項１の発明は、被洗浄物を内部に収容し、供
給される洗浄液により前記被洗浄物を洗浄するための槽
本体と、前記槽本体の内部下方に配置され、洗浄液を吐
出するための吐出孔を長手方向に沿って形成した吐出パ
イプと、前記吐出パイプの外周面と所定の間隔を介して
前記吐出パイプの前記吐出孔側の外周面を囲むととも
に、前記吐出孔近傍の一定範囲を開口させた一対のガイ
ド板とを備えることを特徴とする。請求項２の発明は、
請求項１に記載の洗浄槽において、前記ガイド板の前記
吐出孔近傍の先端部は、前記吐出パイプと反対方向に突
出することを特徴とする。

【０００７】

【作用】本発明においては、吐出パイプの吐出孔から噴
射された洗浄液は、一対のガイド板により形成される開
口部分を通過する。このときに、洗浄液の流速が速くな
った部分が負圧となるので、吐出パイプの外周面側とガ
イド板の内周面側との間に存在する洗浄液が同時に吐出
されるので、吐出量が増加する。したがって、槽本体内
の洗浄液の循環量が増加する。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図面等を参照して、本発明
の一実施形態について説明する。以下の実施形態では、
従来例と同様の部分には同一符号を付している。図１
は、本発明による洗浄槽の一実施形態を示す正面の断面
図である。この洗浄槽２０は、乱流式の薬液循環型のも
のである。図１において、槽本体１１の内部下方の両側
には、ポンプ１４とフィルタ１５を介して管路１３で連
結された筒状体（中空円筒状体）の吐出パイプ１２が設
けられている。図２に示すように、吐出パイプ１２には
吐出孔１２ａが設けられている。吐出孔１２ａは、吐出
パイプ１２の円周方向の一定位置において、吐出パイプ
１２の長手方向（中心軸方向）に所定間隔で複数形成さ
れている。

【０００９】また、吐出パイプ１２の外側近傍には、一
対のガイド板２１が設けられている。図３及び図４は、
吐出パイプ１２とガイド板２１との位置関係を示す斜視
図及び正面の断面図である。各ガイド板２１は、板状体
を折り曲げて形成した円弧状部２１ａと平面部２１ｂと
から構成されており、吐出パイプ２１の外周面と一定間
隔を介して吐出パイプ１２の吐出孔１２ａ側の外周面を
囲むように配置されている。このときに、吐出パイプ１
２の外周とガイド板２１の円弧状部２１ａとは、略同心
円となるように配置される。

【００１０】さらに、一対のガイド板２１の各平面部２
１ｂ間には、一定の開口部分Ｓが形成されるように配置
される。さらに、この開口部分Ｓが吐出パイプ１２の吐
出孔１２ａと同一方向を向くようにガイド板２１が配置
される。したがって、一対のガイド板２１の平面部２１
ｂにより、吐出パイプ１２の吐出孔１２ａ近傍の一定範
囲が開口され、ガイド板２１の平面部２１ｂは、吐出パ
イプ１２と反対方向に突出する。

【００１１】以上の構成からなる洗浄槽２０において
は、槽本体１１内に被洗浄物２が収容されるとともに、
ポンプ１４が駆動されると、洗浄液（薬液）１は、フィ
ルタ１５を介して管路１３から吐出パイプ１２に供給さ
れ、吐出孔１２ａから高圧となって吐出する。吐出され
た洗浄液１は、一対のガイド板２１により形成される開
口部分Ｓを通過して、被洗浄物２側に向かい、槽本体１
１内の洗浄液１が循環する。

【００１２】ここで、吐出パイプ１２の吐出孔１２ａか
ら洗浄液１が噴射されると、吐出孔１２ａとガイド板２
１の開口部分Ｓとの間の洗浄液１の流速は、非常に速く
なるので、この部分では負圧となる。したがって、吐出
パイプ１２の外周面側とガイド板２１の内周面側との間
に存在する洗浄液１が同時にガイド板２１の開口部分Ｓ
側に流出するので（図４中、矢印方向）、吐出量が増加
する。これにより、ポンプ１４からの洗浄液１の供給量
が従来と同様であっても（ポンプ１４からの洗浄液１の
供給量を増加させることなく）、吐出量を増加させて槽
本体１１内の洗浄液１の循環量を増加させることができ
る。

【００１３】よって、コストアップとならずに槽本体１
１内での洗浄液１及びパーティクルの停滞を少なくし、
被洗浄物２の表面に付着しているパーティクルの除去効
果を高めることができる。また、槽本体１１の上面側か
らあふれ出た洗浄液１は、貯留槽１６によって回収さ
れ、再度管路１３を通ってポンプ１４から槽本体１１内
に供給される。なお、以上の実施形態では、従来例の図
５に相当する薬液循環型のものを示したが、従来例の図
６に相当する水洗型であっても、本発明を同様に適用で
きる。

【００１４】

【発明の効果】本発明によれば、洗浄液の供給量を増加
することなく、吐出量を増加させて槽本体内の洗浄液の
循環量を増加させることができる。これにより、コスト
アップとならずに槽本体内での洗浄液及びパーティクル
の停滞を少なくし、被洗浄物の表面に付着しているパー
ティクルの除去効果を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による洗浄槽の一実施形態を示す正面の
断面図であり、薬液循環型を示す。

【図２】図１の吐出パイプを示す斜視図である。

【図３】図１のガイド板及び吐出パイプを示す斜視図で
ある。

【図４】図１のガイド板及び吐出パイプを詳細に示す正
面の断面図である。

【図５】従来の乱流式の洗浄槽の一例を示す正面の断面
図であり、薬液循環型を示す。

【図６】従来の乱流式の洗浄槽の一例を示す正面の断面
図であり、水洗型をす。

【符号の説明】

１ 洗浄液 ２ 被洗浄物 １１ 槽本体 １２ 吐出パイプ １２ａ 吐出孔 １３ 管路 １４ ポンプ １５ フィルタ １６ 貯留槽 ２０ 洗浄槽 ２１ ガイド板 ２１ａ 円弧状部 ２１ｂ 平面部 Ｓ 開口部分

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被洗浄物を内部に収容し、供給される洗
   浄液により前記被洗浄物を洗浄するための槽本体と、 前記槽本体の内部下方に配置され、洗浄液を吐出するた
   めの吐出孔を長手方向に沿って形成した吐出パイプと、 前記吐出パイプの外周面と所定の間隔を介して前記吐出
   パイプの前記吐出孔側の外周面を囲むとともに、前記吐
   出孔近傍の一定範囲を開口させた一対のガイド板とを備
   えることを特徴とする洗浄槽。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の洗浄槽において、 前記ガイド板の前記吐出孔近傍の先端部は、前記吐出パ
   イプと反対方向に突出することを特徴とする洗浄槽。