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JPH11288087A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

Info

Publication number
JPH11288087A
JPH11288087A JP9113098A JP9113098A JPH11288087A JP H11288087 A JPH11288087 A JP H11288087A JP 9113098 A JP9113098 A JP 9113098A JP 9113098 A JP9113098 A JP 9113098A JP H11288087 A JPH11288087 A JP H11288087A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
epoxy
photosensitive resin
photosensitive
acid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9113098A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takao Hirayama
隆雄 平山
Toshizumi Yoshino
利純 吉野
Kuniaki Sato
邦明 佐藤
Toshihiko Ito
敏彦 伊藤
Hiroaki Hirakura
裕昭 平倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP9113098A priority Critical patent/JPH11288087A/en
Publication of JPH11288087A publication Critical patent/JPH11288087A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Epoxy Resins (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a photosensitive resin compsn. capable of forming a hardened film excellent in heat resistance, wet heat resistance, adhesion and mechanical characteristics and suitable for use in the production of a printed circuit board, a high density multilayered sheet, a semiconductor package, etc. SOLUTION: A photosensitive resin compsn. contains a photosensitive resin (A) having carboxyl groups obtd. by allowing the esterification product of an epoxy compd. and an unsatd. monocarboxylic acid to react with a satd. or unsatd. polybasic acid anhydride, at least one photosensitive resin (B) selected from a photosensitive polyamide resin having carboxyl groups and a photosensitive polyamidoimide resin having carboxyl groups, an elastomer (C), an epoxy hardening agent (D) and a photopolymn. initiator (E).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リジッド及びフレ
キシブルプリント配線板、あるいはBGA(ボール グ
リッド アレイ)、CSP(チップ サイズ パッケー
ジ)、TCP(テープ キャリアー パッケージ)等の
LSIパッケージの製造に使用されるソルダーレジスト
組成物、あるいは多層配線板の感光性層間絶縁材料とし
て好適に用いられる感光性樹脂組成物に関する。
The present invention relates to a solder used for manufacturing rigid and flexible printed wiring boards, or LSI packages such as BGA (ball grid array), CSP (chip size package), and TCP (tape carrier package). The present invention relates to a resist composition or a photosensitive resin composition suitably used as a photosensitive interlayer insulating material of a multilayer wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】ソルダーレジストはプリント配線板製造
において使用されているが、近年はBGAやCSPとい
った新しいLSIパッケージにも使用されるようになっ
てきた。ソルダーレジストはソルダリング工程で半田が
不必要な部分に付着するのを防ぐ保護膜として、また永
久マスクとして必要不可欠な材料である。ソルダーレジ
ストとしては熱硬化型のものをスクリーン印刷法で印刷
して施す方法がある。本発明もこのような方法に適用で
きるが、近年、配線の高密度化に伴いスクリーン印刷法
では解像度の点で限界があり、写真法でパターン形成す
るフォトソルダーレジストが盛んに用いられるようにな
っている。中でも炭酸ソーダ溶液等の弱アルカリ溶液で
現像可能なアルカリ現像型のものが作業環境保全、地球
環境保全の点から主流になっている。このようなものと
して特開昭61−243869号公報、特開平1−14
1904号公報に示されるものが知られている。しかし
アルカリ現像型のフォトソルダーレジストは、耐久性の
点ではまだまだ問題がある。すなわち従来の熱硬化型、
溶剤現像型のものに比べて耐薬品性、耐水性、耐熱性等
が劣る。これはアルカリ現像型フォトソルダーレジスト
はアルカリ現像可能にするために親水性基を有するもの
が主成分となっており、薬液、水、水蒸気等が浸透しや
すく、これらがレジスト皮膜と銅との密着性を低下させ
るためである。特にBGAやCSP等の半導体パッケー
ジにおいては特に耐湿熱性ともいうべき耐PCT性(耐
プレッシャークッカーテスト性)が必要であるがこのよ
うな厳しい条件下においては数時間〜十数時間程度しか
もたないのが現状である。
2. Description of the Related Art Solder resist is used in the manufacture of printed wiring boards, but has recently been used in new LSI packages such as BGA and CSP. Solder resist is an indispensable material as a protective film for preventing solder from adhering to unnecessary parts in a soldering process and as a permanent mask. As a solder resist, there is a method of printing and applying a thermosetting type by a screen printing method. The present invention can also be applied to such a method, but in recent years, with the increase in wiring density, there is a limit in terms of resolution in the screen printing method, and a photo solder resist for forming a pattern by a photographic method has been actively used. ing. Among them, an alkali developing type, which can be developed with a weak alkali solution such as sodium carbonate solution, has become mainstream from the viewpoint of working environment conservation and global environment conservation. Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 61-243869 and 1-14
What is shown by 1904 gazette is known. However, alkali development type photo solder resist still has a problem in durability. That is, the conventional thermosetting type,
Chemical resistance, water resistance, heat resistance, etc. are inferior to those of the solvent development type. This is because the alkali-developable photosolder resist has a hydrophilic group as the main component so that it can be alkali-developed, and chemicals, water, water vapor, etc. easily penetrate, and these adhere to the resist film and copper. This is to reduce the property. In particular, semiconductor packages such as BGA and CSP require PCT resistance (pressure cooker test resistance), which can be referred to as moisture resistance, but under such severe conditions, they have only several hours to several tens of hours. Is the current situation.

【0003】更に、実装方法が挿入実装から表面実装に
変わることにより実装時における温度が高くなる傾向が
ある。具体的には表面実装の場合、予めクリームはんだ
を必要部分に印刷し、全体を赤外線で加熱しはんだをリ
フローして固定するのでパッケージの温度は220℃〜
240℃と著しく高くなり、従来の液状感光性レジスト
では、熱衝撃で塗膜にクラックが発生したり、基板や封
止材から剥離してしまうという、いわゆる耐リフロー性
低下の問題があり、その改良が求められている。
[0003] Further, as the mounting method changes from insertion mounting to surface mounting, the temperature during mounting tends to increase. Specifically, in the case of surface mounting, cream solder is printed in advance on necessary parts, the whole is heated with infrared rays, and the solder is reflowed and fixed.
The temperature rises significantly to 240 ° C., and in the conventional liquid photosensitive resist, there is a problem of so-called reflow resistance reduction, in which a crack is generated in the coating film by thermal shock or the coating film is peeled off from the substrate or the sealing material. Improvements are required.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、これらの問
題を解決するものであり、耐熱性、耐湿熱性、密着性、
機械特性に優れた硬化膜を得ることができ、プリント配
線板、高密度多層板、半導体パッケージ等の製造に好適
に用いられる感光性樹脂組成物を提供することを目的と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves these problems, and provides heat resistance, wet heat resistance, adhesion, and the like.
It is an object of the present invention to provide a photosensitive resin composition which can provide a cured film having excellent mechanical properties and is suitably used for manufacturing a printed wiring board, a high-density multilayer board, a semiconductor package, and the like.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、エポキシ化合
物(a)と不飽和モノカルボン酸とのエステル化物に飽
和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られたカル
ボキシル基を有する感光性樹脂(A)、カルボキシル基
を有する感光性ポリアミド樹脂及びカルボキシル基を有
する感光性ポリアミドイミド樹脂から選ばれる少なくと
も1種の感光性樹脂(B)、エラストマー(C)、エポ
キシ硬化剤(D)及び光重合開始剤(E)を含有する感
光性樹脂組成物を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a photosensitive compound having a carboxyl group obtained by reacting an esterified product of an epoxy compound (a) and an unsaturated monocarboxylic acid with a saturated or unsaturated polybasic anhydride. At least one photosensitive resin (B), an elastomer (C), an epoxy curing agent (D) selected from a photosensitive resin (A), a photosensitive polyamide resin having a carboxyl group, and a photosensitive polyamideimide resin having a carboxyl group; It is intended to provide a photosensitive resin composition containing a photopolymerization initiator (E).

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】本発明において、カルボキシル基
を有する感光性樹脂(A)としては、エポキシ化合物
(a)と不飽和モノカルボン酸のエステル化物に飽和又
は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られた反応物が
用いられる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, as the photosensitive resin (A) having a carboxyl group, a saturated or unsaturated polybasic anhydride is reacted with an esterified product of an epoxy compound (a) and an unsaturated monocarboxylic acid. The reaction product obtained by the reaction is used.

【0007】エポキシ化合物(a)としては例えばフェ
ノール、クレゾール、ハロゲン化フェノール又はアルキ
ルフェノール類とホルムアルデヒド類とを酸性触媒下で
反応させて得られるノボラック類とエピクロルヒドリン
とを反応させて得られるノボラック型エポキシ化合物が
あり、東都化成社製YDCN−701、704、YDP
N−638、602、ダウケミカル社製DEN−43
1、439、チバ・ガイギ社製EPN−1299、大日
本インキ化学工業社製N−730、770、865、6
65、673、VH−4150、4240、日本化薬社
製EOCN−120、BREN等が挙げられる。この他
にナフトール変性ノボラックエポキシ化合物としてNC
7000(日本化薬社製)、ESN170、185(新
日鐵化学社製)EXΑ4700(大日本インキ化学社
製)等が挙げられる。
The epoxy compound (a) is, for example, a novolak type epoxy compound obtained by reacting novolaks obtained by reacting phenol, cresol, halogenated phenol or alkylphenols with formaldehyde in the presence of an acidic catalyst and epichlorohydrin. YDCN-701, 704, YDP manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.
N-638, 602, DEN-43 manufactured by Dow Chemical Company
1,439, EPN-1299 manufactured by Ciba Geigy Corporation, N-730, 770, 865, 6 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.
65, 673, VH-4150, 4240, Nippon Kayaku Co., Ltd. EOCN-120, BREN and the like. In addition, as a naphthol-modified novolak epoxy compound, NC
7000 (manufactured by Nippon Kayaku), ESN 170, 185 (manufactured by Nippon Steel Chemical) EX # 4700 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals), and the like.

【0008】またノボラック型エポキシ化合物以外に
も、例えばサリチルアルデヒドとフェノール又はクレゾ
ールとの反応物にエピクロルヒドリンを反応させて得ら
れるサリチルアルデヒド型エポキシ化合物(日本化薬社
製EPPN502H、FAE2500等)が好適に用い
られる。また、例えば油化シェル社製エピコート82
8、1007、807、大日本インキ化学工業社製エピ
クロン840、860、3050、ダウ・ケミカル社製
DER−330、337、361、ダイセル化学工業社
製セロキサイド2021、三菱ガス化学社製TETRA
D−X、C、日本曹達社製EPB−13、27、チバ・
ガイギ社製GY−260、255、XB−2615等の
ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、水添ビスフ
ェノールA型、臭素化ビスフェノールA型、アミノ基含
有型、脂環式のグリシジルエーテル型等のエポキシ化合
物も用いられる。
In addition to the novolak type epoxy compound, for example, a salicylaldehyde type epoxy compound obtained by reacting epichlorohydrin with a reaction product of salicylaldehyde and phenol or cresol (EPPN502H, FAE2500, etc., manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) is preferred. Used. Further, for example, Epicoat 82 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.
8, 1007, 807, Epiklon 840, 860, 3050 manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, DER-330, 337, 361 manufactured by Dow Chemical Company, Celoxide 2021 manufactured by Daicel Chemical Industries, TETRA manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company
DX, C, Nippon Soda's EPB-13, 27, Ciba
Bisphenol A type, bisphenol F type, hydrogenated bisphenol A type, brominated bisphenol A type, amino group-containing type, alicyclic glycidyl ether type etc. epoxy compounds such as GY-260, 255, XB-2615 manufactured by Geigy Corporation Is also used.

【0009】また、ジシクロペンタジエン型のエポキシ
化合物ZX1329(東都化成社製)、HP7200
(日本石油社製)、TMH574(日本化薬社製)、テ
クモアVG3101(日本化薬社製)、E1031S
(油化シェル社製)、ZX1063(東都化成社製)も
使用することができる。
Further, dicyclopentadiene type epoxy compound ZX1329 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), HP7200
(Nippon Oil Co., Ltd.), TMH574 (Nippon Kayaku), Techmore VG3101 (Nippon Kayaku), E1031S
(Manufactured by Yuka Shell) and ZX1063 (manufactured by Toto Kasei) can also be used.

【0010】これらの中でノボラック型、サリチルアル
デヒド型、ビスフェノールΑ型及びビスフェノールF型
エポキシ化合物が好適に用いられる。
Among these, novolak type, salicylaldehyde type, bisphenol Α type and bisphenol F type epoxy compounds are preferably used.

【0011】前記不飽和モノカルボン酸としては、(メ
タ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸及び飽和又は不飽
和多塩基酸無水物と1分子中に1個の水酸基を有する
(メタ)アクリレート類あるいは飽和又は不飽和二塩基
酸と不飽和モノグリシジル化合物との半エステル化合物
類との反応物、例えばフタル酸、テトラヒドロフタル
酸、ヘキサヒドロフタル酸、マレイン酸、コハク酸とヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロ
ピル(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチ
ル)イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート、グリシ
ジル(メタ)アクリレートを常法により等モル比で反応
させて得られる反応物が挙げられる。これらの不飽和モ
ノカルボン酸は単独又は混合して用いることができる。
これらの中でアクリル酸が好ましい。
The unsaturated monocarboxylic acid includes (meth) acrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid and a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride and a (meth) acrylate having one hydroxyl group in one molecule or Reaction products of half-ester compounds of saturated or unsaturated dibasic acids with unsaturated monoglycidyl compounds, such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid, succinic acid and hydroxyethyl (meth) acrylate, A reaction product obtained by reacting hydroxypropyl (meth) acrylate, tris (hydroxyethyl) isocyanurate di (meth) acrylate, and glycidyl (meth) acrylate in an equimolar ratio by a conventional method is exemplified. These unsaturated monocarboxylic acids can be used alone or in combination.
Of these, acrylic acid is preferred.

【0012】前記飽和又は不飽和多塩基酸無水物として
はフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタ
ル酸、マレイン酸、コハク酸、トリメリット酸等の無水
物が用いられる。
As the above-mentioned saturated or unsaturated polybasic acid anhydride, anhydrides such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid, succinic acid and trimellitic acid are used.

【0013】上記のカルボキシル基を有する感光性樹脂
に更に、イソシアネートエチル(メタ)アクリレート、
あるいはトリレンジイソシアネート又はイソホロンジイ
ソシアネートと1分子中に水酸基を1個以上有する(メ
タ)アクリレート類、例えばヒドロキシエチル(メタ)
アクリレートとの等モル反応物を反応させてウレタン結
合を介して不飽和結合を導入して得られる化合物もカル
ボキシル基を有する感光性樹脂(A)として用いられ
る。
The above-mentioned photosensitive resin having a carboxyl group is further provided with isocyanate ethyl (meth) acrylate,
Or (meth) acrylates having at least one hydroxyl group in one molecule with tolylene diisocyanate or isophorone diisocyanate, for example, hydroxyethyl (meth)
A compound obtained by reacting an equimolar reactant with an acrylate to introduce an unsaturated bond via a urethane bond is also used as the photosensitive resin (A) having a carboxyl group.

【0014】カルボキシル基を有する感光性樹脂(A)
の酸価(KOH mg/g)は、アルカリ現像性と電気
特性他の特性バランス上、40〜250、好ましくは5
0〜150である。
Photosensitive resin having carboxyl group (A)
The acid value of KOH (KOH mg / g) is 40 to 250, preferably 5 in view of the balance between alkali developability and electric characteristics and other characteristics.
0 to 150.

【0015】本発明において、感光性樹脂(B)として
はカルボキシル基を有する感光性ポリアミド樹脂及びカ
ルボキシル基を有する感光性ポリアミドイミド樹脂から
選ばれる少なくとも1種の樹脂が用いられる。このよう
な樹脂はエポキシ基含有ポリアミド樹脂及び/又はエポ
キシ基含有ポリアミドイミド樹脂(b)と不飽和モノカ
ルボン酸とのエステル化物に更に飽和又は不飽和多塩基
酸無水物を反応させて得られた樹脂が好適に用いられ
る。エポキシ基含有ポリアミド樹脂及び/又はエポキシ
基含有ポリアミドイミド樹脂(b)としては、ジカルボ
ン酸、トリカルボン酸、テトラカルボン酸二無水物等の
多価カルボン酸成分と有機ジイソシアネート若しくはジ
アミンから縮合反応により合成できるカルボキシル基末
端ポリアミド樹脂又はカルボキシル基末端ポリアミドイ
ミド樹脂(c)(以下、カルボキシル基末端ポリアミド
(イミド)樹脂(c)ということがある。)とエポキシ
樹脂(d)とを、(d)のエポキシ基/(c)のカルボ
キシル基のモル比を1より大きくして反応させて得られ
るエポキシ基含有ポリアミド樹脂又はエポキシ基含有ポ
リアミドイミド樹脂(以下、エポキシ基含有ポリアミド
(イミド)樹脂ということがある。)が好適に用いられ
る。
In the present invention, as the photosensitive resin (B), at least one resin selected from a photosensitive polyamide resin having a carboxyl group and a photosensitive polyamideimide resin having a carboxyl group is used. Such a resin is obtained by further reacting an esterified product of an epoxy group-containing polyamide resin and / or an epoxy group-containing polyamideimide resin (b) with an unsaturated monocarboxylic acid with a saturated or unsaturated polybasic anhydride. Resins are preferably used. The epoxy group-containing polyamide resin and / or epoxy group-containing polyamideimide resin (b) can be synthesized by a condensation reaction from a polycarboxylic acid component such as dicarboxylic acid, tricarboxylic acid, tetracarboxylic dianhydride and an organic diisocyanate or diamine. A carboxyl group-terminated polyamide resin or a carboxyl group-terminated polyamide-imide resin (c) (hereinafter sometimes referred to as a carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c)) and an epoxy resin (d) are combined with an epoxy group of (d). The epoxy group-containing polyamide resin or the epoxy group-containing polyamide imide resin (hereinafter, sometimes referred to as an epoxy group-containing polyamide (imide) resin) obtained by causing the reaction by making the molar ratio of the carboxyl group of / (c) greater than 1. Is preferably used.

【0016】上記カルボキシル基末端ポリアミド(イミ
ド)樹脂(c)の製造に使用される多価カルボン酸成分
としては、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、アゼラ
イン酸、セバシン酸、デカン二酸、ドデカン二酸、ダイ
マー酸等の脂肪族ジカルボン酸、イソフタル酸、テレフ
タル酸、フタル酸、ナフタレンジカルボン酸、ジフェニ
ルスルホンジカルボン酸、オキシジ安息香酸等の芳香族
ジカルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ジフ
ェニルスルホンテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテト
ラカルボン酸等の芳香族多価カルボン酸及びこれらの酸
無水物などが挙げられる。これらは、単独又は2種類以
上を組み合わせて使用することができる。
The polycarboxylic acid component used in the production of the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c) includes succinic acid, glutaric acid, adipic acid, azelaic acid, sebacic acid, decandioic acid, dodecane diacid. Acids, aliphatic dicarboxylic acids such as dimer acid, isophthalic acid, terephthalic acid, phthalic acid, naphthalenedicarboxylic acid, aromatic dicarboxylic acids such as diphenylsulfonedicarboxylic acid, oxydibenzoic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, diphenylsulfonetetra Examples thereof include aromatic polycarboxylic acids such as carboxylic acid and benzophenonetetracarboxylic acid, and acid anhydrides thereof. These can be used alone or in combination of two or more.

【0017】上記カルボキシル基末端ポリアミド(イミ
ド)樹脂(c)の製造に使用される有機ジイソシアネー
トとしては4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネー
ト、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリ
レンジイソシアネート、1,5−ナフタレンジイソシア
ネート、3,3′−ジメチル−4,4′−ジフェニルメ
タンジイソシアネート、p−フェニレンジイソシアネー
ト、m−キシレンジイソシアネート、m−テトラメチル
キシレンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネー
ト、ヘキサメチレンジイソシアネート、2,2,4−ト
リメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロン
ジイソシアネート、4,4′−ジシクロヘキシルメタン
ジイソシアネート、トランスシクロヘキサン−1,4−
ジイソシアネート、水添m−キシレンジイソシアネー
ト、リジンジイソシアネート等の脂肪族イソシアネート
などが挙げられる。これらのうちでは耐熱性の点から芳
香族ジイソシアネートが好ましく、4,4′−ジフェニ
ルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート
が特に好ましい。これらは単独で使用してもよいが、結
晶性が高くなるので2種類以上を組み合わせて使用する
ことが好ましい。
The organic diisocyanate used in the production of the carboxyl-terminated polyamide (imide) resin (c) is 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, Aromatic diisocyanates such as 2,5-naphthalene diisocyanate, 3,3'-dimethyl-4,4'-diphenylmethane diisocyanate, p-phenylene diisocyanate, m-xylene diisocyanate, m-tetramethyl xylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, 2,2 , 4-trimethylhexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, 4,4'-dicyclohexylmethane diisocyanate, transcyclohexane-1,4-
Examples thereof include aliphatic isocyanates such as diisocyanate, hydrogenated m-xylene diisocyanate, and lysine diisocyanate. Of these, aromatic diisocyanates are preferred from the viewpoint of heat resistance, and 4,4'-diphenylmethane diisocyanate and tolylene diisocyanate are particularly preferred. These may be used alone, but it is preferable to use two or more kinds in combination because the crystallinity is increased.

【0018】上記有機ジイソシアネートの代わりにジア
ミンも使用できる。ジアミンとしてはフェニレンジアミ
ン、ジアミノジフェニルプロパン、ジアミノジフェニル
メタン、ベンジジン、4,4′−ジアミノジフェニルス
ルホン、4,4′−ジアミノジフェニルスルファイド、
ジアミノジフェニルエーテル等が挙げられる。有機溶剤
に対する可溶性を向上させるために2,2−ビス(3−
アミノフェノキシフェニル)プロパン、2,2−ビス
(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、ビス[3
−(3−アミノフェノキシフェニル)]スルホン、ビス
[4−(3−アミノフェノキシフェニル)]スルホン、
ビス[3−(4−アミノフェノキシフェニル)]スルホ
ン、ビス[4−(4−アミノフェノキシフェニル)]ス
ルホン、2,2−ビス(3−アミノフェノキシフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミ
ノフェノキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、1,
4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−
ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4−(p
−フェニレンジイソプロピリデン)ビスアニリン、4,
4−(m−フェニレンジイソプロピリデン)ビスアニリ
ン等のジアミンを用いることが好ましい。
Diamines can be used in place of the above organic diisocyanates. Examples of the diamine include phenylenediamine, diaminodiphenylpropane, diaminodiphenylmethane, benzidine, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfide,
And diaminodiphenyl ether. To improve the solubility in organic solvents, 2,2-bis (3-
Aminophenoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, bis [3
-(3-aminophenoxyphenyl)] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxyphenyl)] sulfone,
Bis [3- (4-aminophenoxyphenyl)] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxyphenyl)] sulfone, 2,2-bis (3-aminophenoxyphenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis ( 4-aminophenoxyphenyl) hexafluoropropane, 1,
4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-
Bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4- (p
-Phenylenediisopropylidene) bisaniline, 4,
It is preferable to use a diamine such as 4- (m-phenylenediisopropylidene) bisaniline.

【0019】これら有機ジイソシアネート及びジアミン
は単独で使用してもよいが、2種類以上を組み合わせて
使用してもよい。ただし有機ジイソシアネートとジアミ
ンは同時に用いると反応し耐熱性の劣る尿素結合ができ
るので好ましくない。
These organic diisocyanates and diamines may be used alone or in combination of two or more. However, when organic diisocyanate and diamine are used at the same time, they react with each other to form a urea bond having poor heat resistance, which is not preferable.

【0020】上記カルボキシル基末端ポリアミド(イミ
ド)樹脂(c)としては、ポリアルキレンオキサイドユ
ニット及びポリカーボネートユニットから選ばれる少な
くとも1種のポリマーユニットを分子構造中に有する樹
脂が好ましく用いられる。
As the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c), a resin having at least one polymer unit selected from a polyalkylene oxide unit and a polycarbonate unit in its molecular structure is preferably used.

【0021】分子構造中に導入されるポリアルキレンオ
キサイドユニット、ポリカーボネートユニットは、前記
カルボキシル基末端ポリアミド(イミド)樹脂(c)を
製造する際に、ポリアルキレングリコール又はポリカー
ボネートジオールの両末端にカルボキシル基を導入した
ジカルボン酸を多価カルボン酸成分として用い、ジイソ
シアネート又はジアミンと反応させポリアミド(イミ
ド)骨格に導入する。ポリアルキレングリコールとして
は、ポリテトラメチレンエーテルグリコール、ポリプロ
ピレングリコール、ポリエチレングリコール、ビスフェ
ノールAあるいは水添ビスフェノールAとこれらポリア
ルキレングリコールとの反応物が挙げられ、これらによ
り導入されるポリアルキレンオキサイドユニットは一分
子中に2種以上存在していてもよい。ポリカーボネート
ジオールとしては直鎖状脂肪族ポリカーボネートジオー
ルが挙げられ、プラクセルCDシリーズ(ダイセル化学
工業社製)ニッポラン980、981(日本ポリウレタ
ン工業社製)などが挙げられる。ポリカーボネートジオ
ールの化学構造については、例えば次式で表されるもの
が挙げられる。
The polyalkylene oxide unit and the polycarbonate unit to be introduced into the molecular structure have carboxyl groups at both ends of the polyalkylene glycol or the polycarbonate diol when the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c) is produced. The introduced dicarboxylic acid is used as a polyvalent carboxylic acid component, and is reacted with diisocyanate or diamine to be introduced into a polyamide (imide) skeleton. Examples of the polyalkylene glycol include polytetramethylene ether glycol, polypropylene glycol, polyethylene glycol, bisphenol A or a reaction product of hydrogenated bisphenol A with these polyalkylene glycols, and the polyalkylene oxide unit introduced by these is one molecule. Two or more kinds may be present therein. Examples of the polycarbonate diol include straight-chain aliphatic polycarbonate diols, such as Placcel CD series (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), Nipporan 980, 981 (manufactured by Nippon Polyurethane Industry). The chemical structure of the polycarbonate diol includes, for example, those represented by the following formula.

【0022】HO(ROCOO)nR−OH (式中、Rは2価アルコール残基を表し、nは1〜10
の整数である。) 特に、2価アルコール残基が、炭素数1〜100のも
の、例えば、1,5−ペンタンジオール残基、メチルペ
ンタンジオール残基、シクロヘキサノンジメタノール残
基、1,6−ヘキサンジオール残基、1,9−ノナンジ
オール残基、2−メチル−1,8−オクタンジオール残
基を有し、常温で液状のものが好適に用いられる。
HO (ROCOO) n R-OH (wherein R represents a dihydric alcohol residue, and n represents 1 to 10)
Is an integer. In particular, when the dihydric alcohol residue has 1 to 100 carbon atoms, for example, a 1,5-pentanediol residue, a methylpentanediol residue, a cyclohexanone dimethanol residue, a 1,6-hexanediol residue, Those which have a 1,9-nonanediol residue and a 2-methyl-1,8-octanediol residue and are liquid at room temperature are preferably used.

【0023】ポリアルキレングリコール、ポリカーボネ
ートジオールの両末端にカルボキシル基を導入した両末
端カルボン酸にするには、前記した多価カルボン酸成分
と同様の多価カルボン酸、好ましくはジカルボン酸を、
ポリアルキレングリコール、ポリカーボネートジオール
あるいは末端にアミノ基が導入されたポリアルキレング
リコールジアミン、ポリカーボネートジアミンに反応さ
せればよい。
In order to obtain a carboxylic acid having carboxyl groups at both ends of a polyalkylene glycol or polycarbonate diol, a polycarboxylic acid similar to the above-mentioned polycarboxylic acid component, preferably a dicarboxylic acid, is used.
The reaction may be carried out with polyalkylene glycol, polycarbonate diol, or polyalkylene glycol diamine or polycarbonate diamine having an amino group introduced into a terminal.

【0024】また、末端にアミノ基が導入されたポリア
ルキレングリコールジアミン、ポリカーボネートジアミ
ンをジアミン成分として使用しても、又はこれらをトリ
メリット酸と反応させたイミドジカルボン酸を多価カル
ボン酸成分として使用してもカルボキシル基末端ポリア
ミド(イミド)樹脂(c)中に導入することができる。
Further, polyalkylene glycol diamine or polycarbonate diamine having an amino group introduced into the terminal may be used as the diamine component, or imidodicarboxylic acid obtained by reacting them with trimellitic acid may be used as the polyvalent carboxylic acid component. It can also be introduced into the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c).

【0025】ポリアルキレンオキサイドユニット又はポ
リカーボネートユニットの含有量の合計は、接着性の点
からカルボキシル基末端ポリアミド(イミド)樹脂
(c)中に10重量%以上、耐熱性の点から90重量%
以下使用することが好ましい。更に接着性、耐吸水性の
点からポリテトラメチレンエーテルグリコール、ポリプ
ロピレングリコール及びこれらの(水添)ビスフェノー
ルAとの反応物を用いて導入することが好ましい。使用
できるこれらのジオールの分子量(水酸価からの算出
値)は200〜4,000が好ましい。
The total content of the polyalkylene oxide units or polycarbonate units is at least 10% by weight in the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c) from the viewpoint of adhesiveness, and 90% by weight from the viewpoint of heat resistance.
It is preferable to use the following. Further, from the viewpoints of adhesiveness and water absorption resistance, it is preferable to introduce polytetramethylene ether glycol, polypropylene glycol and a reaction product thereof with (hydrogenated) bisphenol A. The molecular weight (calculated from the hydroxyl value) of these diols that can be used is preferably from 200 to 4,000.

【0026】カルボキシル基末端ポリアミド(イミド)
樹脂(c)の製造において、多価カルボン酸成分はジイ
ソシアネート成分とジアミン成分の合計に対してモル比
で1以上、好ましくは1〜3、より好ましくは1.1〜
2.2となるように配合し、反応させる。
Carboxyl-terminated polyamide (imide)
In the production of the resin (c), the polycarboxylic acid component has a molar ratio of 1 or more, preferably 1 to 3, more preferably 1.1 to 1 based on the total of the diisocyanate component and the diamine component.
It mixes so that it may become 2.2, and is made to react.

【0027】上記の反応はγ−ブチロラクトン等のラク
トン類、N−メチルピロリドン(NMP)、ジメチルホ
ルムアミド(DMF)等のアミド系溶媒、テトラメチレ
ンスルホン等のスルホン類、ジエチレングリコールジメ
チルエーテル等のエーテル類などの溶媒を使用し50℃
〜250℃で反応させる。反応収率、溶解性及び後工程
での揮散性を考慮するとγ−ブチロラクトンを溶媒の主
成分にすることが好ましい。
The above reaction is carried out using lactones such as γ-butyrolactone, amide solvents such as N-methylpyrrolidone (NMP) and dimethylformamide (DMF), sulfones such as tetramethylene sulfone, and ethers such as diethylene glycol dimethyl ether. 50 ° C using solvent
React at ~ 250 ° C. Considering the reaction yield, solubility, and volatility in the subsequent steps, it is preferable to use γ-butyrolactone as the main component of the solvent.

【0028】次に、カルボキシル基末端ポリアミド(イ
ミド)樹脂(c)と反応させるエポキシ樹脂(d)とし
てはビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノール
F型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、
フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボ
ラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂及び
その変性物、ビキシレニルジグリシジルエーテル、YD
C1312(東都化成社製商品名)、テクモアVG31
01(三井石油化学社製商品名)、TMH574(住友
化学社製商品名)、ESLV−80XY、−90CR、
−120TE、−80DE(新日鉄化学社製商品名)、
エピコート1031S(油化シェル社製商品名)等の芳
香族系エポキシ樹脂、ネオペンチルグリコールジグリシ
ジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジル
エーテル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル
等の脂肪族系エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌ
レート等の複素環式エポキシ化合物などが挙げられる。
これらのうちでは、反応制御の点から2官能エポキシ樹
脂が好ましく、耐熱性の点から芳香族系あるいは複素環
式エポキシ樹脂がよい。また難燃性を付与するためには
臭素化エポキシ樹脂が有用である。これらは単独又は2
種類以上組み合わせて使用される。またこれらのエポキ
シ樹脂(d)はカルボキシル基末端ポリアミド(イミ
ド)樹脂(c)と、(d)のエポキシ基/(c)のカル
ボキシル基のモル比を1より大きくして、好ましくは
1.1〜2.5で反応させる。エポキシ基/カルボキシ
ル基のモル比が1以下では末端エポキシの樹脂が得られ
ない。このようにして得られるエポキシ基含有ポリアミ
ド(イミド)樹脂(c)のエポキシ当量は500〜4
0,000であることが好ましい。500より小さくて
は分子量が低く接着性が劣り、40,000を超えると
分子量が高すぎ現像性に劣る傾向がある。
Next, as the epoxy resin (d) to be reacted with the carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c), bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin,
Phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin and its modified products, bixylenyl diglycidyl ether, YD
C1312 (trade name, manufactured by Toto Kasei), Techmore VG31
01 (trade name of Mitsui Petrochemical Co., Ltd.), TMH574 (trade name of Sumitomo Chemical Co., Ltd.), ESLV-80XY, -90CR,
-120TE, -80DE (brand name by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.),
Aromatic epoxy resins such as Epicoat 1031S (trade name of Yuka Shell Co., Ltd.), aliphatic epoxy resins such as neopentyl glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, diglycidyl tetrahydrophthalate, and triglycidyl isocyanurate And the like.
Of these, bifunctional epoxy resins are preferred from the viewpoint of reaction control, and aromatic or heterocyclic epoxy resins are preferred from the viewpoint of heat resistance. A brominated epoxy resin is useful for imparting flame retardancy. These can be used alone or 2
Used in combination of more than one type. These epoxy resins (d) have a carboxyl group-terminated polyamide (imide) resin (c) with a molar ratio of epoxy group of (d) / carboxyl group of (c) of more than 1, preferably 1.1. React at ~ 2.5. When the molar ratio of epoxy group / carboxyl group is 1 or less, a terminal epoxy resin cannot be obtained. The epoxy equivalent of the epoxy group-containing polyamide (imide) resin (c) thus obtained has an epoxy equivalent of 500 to 4
Preferably it is 000. If it is less than 500, the molecular weight is low and the adhesion is poor. If it exceeds 40,000, the molecular weight is too high and the developability tends to be poor.

【0029】続いて、上記エポキシ基含有ポリアミド
(イミド)樹脂に反応させるエチレン性不飽和カルボン
酸としては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸
及び飽和又は不飽和二塩基酸無水物と1分子中に1個の
水酸基を有する(メタ)アクリレート類あるいは飽和又
は不飽和二塩基酸と不飽和モノグリシジル化合物との半
エステル化合物類、例えばフタル酸、テトラヒドロフタ
ル酸、ヘキサヒドロフタル酸、マレイン酸、コハク酸と
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプ
ロピル(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチ
ル)イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート又はグリ
シジル(メタ)アクリレートとを常法により等モル比で
反応させて得られるものが単独で又は混合して用いられ
る。上記エポキシ基含有ポリアミド(イミド)樹脂
(c)に対するエチレン性不飽和カルボン酸の反応割合
は、エチレン性不飽和カルボン酸のカルボキシル基/
(c)のエポキシ基のモル比で0.5〜2とすることが
好ましい。
Subsequently, the ethylenically unsaturated carboxylic acids to be reacted with the epoxy group-containing polyamide (imide) resin include (meth) acrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid and a saturated or unsaturated dibasic acid anhydride. (Meth) acrylates having one hydroxyl group in the molecule or half-ester compounds of a saturated or unsaturated dibasic acid and an unsaturated monoglycidyl compound, for example, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid , Obtained by reacting succinic acid with hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, tris (hydroxyethyl) isocyanurate di (meth) acrylate or glycidyl (meth) acrylate in an equimolar ratio by a conventional method. These are used alone or as a mixture. The reaction ratio of the ethylenically unsaturated carboxylic acid to the epoxy group-containing polyamide (imide) resin (c) is determined by the ratio of the carboxyl group of the ethylenically unsaturated carboxylic acid /
The molar ratio of the epoxy group (c) is preferably 0.5 to 2.

【0030】更に、樹脂中に残っている水酸基に対し
て、感光特性等を考慮し、イソシアネートエチル(メ
タ)アクリレート、あるいはトリレンジイソシアネート
又はイソホロンジイソシアネートと1分子中に水酸基を
1個以上有する(メタ)アクリレート類例えばヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレートとの等モル反応物を反応
させてウレタン結合を介して不飽和結合を導入してもよ
い。
Further, in consideration of the photosensitivity and the like, hydroxyl groups remaining in the resin are combined with isocyanate ethyl (meth) acrylate, tolylene diisocyanate or isophorone diisocyanate in one molecule to have at least one hydroxyl group (meth A) Acrylates, for example, an equimolar reactant with hydroxyethyl (meth) acrylate may be reacted to introduce an unsaturated bond via a urethane bond.

【0031】上記エポキシ基含有ポリアミド(イミド)
樹脂(c)にエチレン性不飽和モノカルボン酸を反応さ
せた後に反応させる多塩基酸無水物としては、フタル
酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、マ
レイン酸、コハク酸、トリメリット酸等の無水物が用い
られる。更に酸価を上げたい場合、グリシドールを反応
後、更に多塩基酸無水物を反応させてもよい。
The above-mentioned epoxy group-containing polyamide (imide)
Examples of the polybasic acid anhydride to be reacted after the reaction of the resin (c) with the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid include phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid, succinic acid, trimellitic acid and the like. Anhydride is used. When it is desired to further increase the acid value, glycidol may be reacted and then a polybasic anhydride may be further reacted.

【0032】感光性ポリアミド(イミド)樹脂(B)の
酸価(KOH mg/g)は、アルカリ現像性と電気特
性他の特性バランス上、40〜250、好ましくは50
〜150である。
The acid value (KOH mg / g) of the photosensitive polyamide (imide) resin (B) is from 40 to 250, preferably from 50 to 250, in view of the balance between alkali developability and other characteristics such as electric characteristics.
150150.

【0033】本発明の感光性樹脂組成物において、感光
性樹脂(A)及び感光性樹脂(B)の総量の好ましい配
合は、感光性樹脂組成物の総量に対して10〜90重量
%である。また、感光性樹脂(A)は感光性樹脂(A)
及び(B)の総量に対して50〜95重量%であること
が好ましく、感光性樹脂(B)は感光性樹脂(A)及び
(B)の総量に対して5〜50重量%であることが好ま
しい。感光性樹脂(A)が50重量%未満であると現像
性が劣る傾向があり、95重量%を超えるとそりやすく
なる傾向がある。また、感光性樹脂(B)が5重量%未
満であるとそりやすくなる傾向があり、50重量%を超
えると現像性が劣る傾向がある。
In the photosensitive resin composition of the present invention, the preferred amount of the total amount of the photosensitive resin (A) and the photosensitive resin (B) is 10 to 90% by weight based on the total amount of the photosensitive resin composition. . The photosensitive resin (A) is the photosensitive resin (A)
And the total amount of (B) is preferably 50 to 95% by weight, and the photosensitive resin (B) is 5 to 50% by weight based on the total amount of the photosensitive resins (A) and (B). Is preferred. If the amount of the photosensitive resin (A) is less than 50% by weight, the developability tends to be poor, and if it exceeds 95% by weight, the warp tends to occur. If the content of the photosensitive resin (B) is less than 5% by weight, it tends to be warped, and if it exceeds 50% by weight, developability tends to be poor.

【0034】本発明の感光性樹脂組成物には、他にカル
ボキシル基と(メタ)アクリレート基を有する特公平7
−92603号公報あるいは特開昭63−205649
号公報に示されるアクリル系、スチレン系のカルボキシ
ル基を含有する感光性樹脂を配合してもよい。
The photosensitive resin composition of the present invention has a carboxyl group and a (meth) acrylate group.
-92603 or JP-A-63-205649.
Acrylic and styrene-based photosensitive resins containing a carboxyl group as disclosed in JP-A-2003-157, may be blended.

【0035】本発明に用いられるエラストマー(C)と
しては、スチレン系エラストマー、オレフィン系エラス
トマー、ウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラ
ストマー、ポリアミド系エラストマー、アクリル系エラ
ストマー及びシリコーン系エラストマーが挙げられる。
The elastomer (C) used in the present invention includes styrene elastomer, olefin elastomer, urethane elastomer, polyester elastomer, polyamide elastomer, acrylic elastomer and silicone elastomer.

【0036】スチレン系エラストマーとしては、スチレ
ン−ブタジエン−スチレンブロックコポリマー、スチレ
ン−イソプレン−スチレンブロックコポリマー、スチレ
ン−エチレン−ブチレン−スチレンブロックコポリマ
ー、スチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロッ
クコポリマーが挙げられる。スチレン系エラストマーを
構成する部分であるスチレンのほかに、α−メチルスチ
レン、3−メチルスチレン、4−プロピルスチレン、4
−シクロヘキシルスチレン等のスチレン誘導体を用いる
ことができる。具体的には、タフプレン、ソルプレン
T、アサプレンT、タフテック(以上、旭化成工業
(株)製)、エラストマーΑR(アロン化成製)、クレ
イトンG、カリフレックス(以上、シェルジャパン
製)、JSR−TR、TSR−SIS、ダイナロン(以
上、日本合成ゴム(株)製)、デンカSTR(電気化学
製)、クインタック(日本ゼオン製)、TPE−SBシ
リーズ(住友化学(株)製)、ラバロン(三菱化学
(株)製)、セプトン、ハイブラー(以上、クラレ
製)、スミフレックス(住友べークライト(株)製)、
レオストマー、アクティマー(以上、理研ビニル工業
製)等が挙げられる。
Examples of the styrene-based elastomer include a styrene-butadiene-styrene block copolymer, a styrene-isoprene-styrene block copolymer, a styrene-ethylene-butylene-styrene block copolymer, and a styrene-ethylene-propylene-styrene block copolymer. In addition to styrene, which is a part of the styrene elastomer, α-methylstyrene, 3-methylstyrene, 4-propylstyrene,
-Styrene derivatives such as cyclohexylstyrene can be used. Specifically, Tufprene, Solprene T, Asaprene T, Tuftec (all made by Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd.), Elastomer @ R (Aron Kasei), Clayton G, Califlex (all made by Shell Japan), JSR-TR, TSR-SIS, Dynalon (above, manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.), Denka STR (manufactured by Denki Kagaku), Quintac (manufactured by Zeon Corporation), TPE-SB series (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), Lavalon (Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), Septon, High Blur (Kuraray), Sumiflex (Sumitomo Bakelite Co., Ltd.),
Rheostomer, actimer (all, manufactured by Riken Vinyl Industry Co., Ltd.) and the like.

【0037】オレフィン系エラストマーは、エチレン、
プロピレン、1−ブテン、1−ヘキセン、4−メチル−
1−ペンテン等の炭素数2〜20のα−オレフィンの共
重合体であり、例えば、エチレン−プロピレン共重合体
(EPR)、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体
(EPDM)等が挙げられ、また、ジシクロペンタジエ
ン、1,4−ヘキサジエン、シクロオクタジエン、メチ
レンノルボルネン、エチリデンノルボルネン、ブタジエ
ン、イソプレン等の炭素数2〜20の非共役ジエンとα
−オレフィン共重合体が挙げられる。また、ブタジエン
−アクリロニトリル共重合体にメタクリル酸を共重合し
たカルボキシル基変性NBRが挙げられる。具体的に
は、エチレン・α−オレフィン共重合体ゴム、エチレン
・α−オレフィン・非共役ジエン共重合体ゴム、プロピ
レン・α−オレフィン共重合体ゴム、ブテン・α−オレ
フィン共重合体ゴム等が挙げられる。更に、具体的に
は、ミラストマ(三井石油化学製)、EXΑCT(エク
ソン化学製)、ENGΑGE(ダウケミカル製)、水添
スチレン−ブタジエンラバー“DYNABON HSB
R”(日本合成ゴム製)、ブタジエン−アクリロニトリ
ル共重合体“NBRシリーズ”(日本合成ゴム製)、あ
るいは架橋点を有する変性ブタジエン−アクリロニトリ
ル共重合体の“XERシリーズ”(日本合成ゴム製)等
が挙げられる。
The olefin elastomer is ethylene,
Propylene, 1-butene, 1-hexene, 4-methyl-
It is a copolymer of an α-olefin having 2 to 20 carbon atoms such as 1-pentene, for example, ethylene-propylene copolymer (EPR), ethylene-propylene-diene copolymer (EPDM), and the like. A non-conjugated diene having 2 to 20 carbon atoms such as dicyclopentadiene, 1,4-hexadiene, cyclooctadiene, methylene norbornene, ethylidene norbornene, butadiene, isoprene and α
-Olefin copolymers. Further, a carboxyl group-modified NBR obtained by copolymerizing methacrylic acid with a butadiene-acrylonitrile copolymer is exemplified. Specifically, ethylene / α-olefin copolymer rubber, ethylene / α-olefin / non-conjugated diene copolymer rubber, propylene / α-olefin copolymer rubber, butene / α-olefin copolymer rubber, etc. No. More specifically, Mirastoma (manufactured by Mitsui Petrochemical), EX @ CT (manufactured by Exxon Chemical), ENG @ GE (manufactured by Dow Chemical), hydrogenated styrene-butadiene rubber "DYNABON HSB"
R "(manufactured by Nippon Synthetic Rubber), butadiene-acrylonitrile copolymer" NBR series "(manufactured by Japan Synthetic Rubber), or" XER series "of a modified butadiene-acrylonitrile copolymer having a crosslinking point (manufactured by Nippon Synthetic Rubber) Is mentioned.

【0038】ウレタンエラストマーは、低分子のエチレ
ングリコールとジイソシアネートからなるハードセグメ
ントと高分子(長鎖)ジオールとジイソシアネートから
なるソフトセグメントとの構造単位からなり、高分子
(長鎖)ジオールとして、ポリプロピレングリコール、
ポリテトラメチレンオキサイド、ポリ(1,4−ブチレ
ンアジペート)、ポリ(エチレン・1,4−ブチレンア
ジペート)、ポリカプロラクトン、ポリ(1,6−ヘキ
シレンカーボネート)、ポリ(1,6−ヘキシレン・ネ
オペンチレンアジペート)等が挙げられる。高分子(長
鎖)ジオールの数平均分子量は、500〜10,000
が好ましい。エチレングリコールの他に、プロピレング
リコール、1,4−ブタンジオール、ビスフェノールΑ
等の短鎖ジオールを用いることができ、短鎖ジオールの
数平均分子量は、48〜500が好ましい。ウレタンエ
ラストマーの具体例として、PΑNDEX T−218
5、T−2983N(大日本インキ製)、シラクトラン
E790等が挙げられる。
The urethane elastomer comprises structural units of a hard segment composed of low molecular weight ethylene glycol and diisocyanate, and a soft segment composed of high molecular weight (long chain) diol and diisocyanate. ,
Polytetramethylene oxide, poly (1,4-butylene adipate), poly (ethylene-1,4-butylene adipate), polycaprolactone, poly (1,6-hexylene carbonate), poly (1,6-hexylene neoate) Pentylene adipate) and the like. The number average molecular weight of the high molecular (long chain) diol is 500 to 10,000.
Is preferred. In addition to ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, bisphenol
And the like, and the number average molecular weight of the short chain diol is preferably from 48 to 500. As a specific example of urethane elastomer, P @ NDEX T-218
5, T-2983N (manufactured by Dainippon Ink), Sylactolan E790, and the like.

【0039】ポリエステル系エラストマーとしては、ジ
カルボン酸又はその誘導体とジオール化合物又はその誘
導体とを重縮合して得られる。ジカルボン酸の具体例と
して、テレフタル酸、イソフタル酸、ナフタレンジカル
ボン酸等の芳香族ジカルボン酸及びこれらの芳香核の水
素原子がメチル基、エチル基、フェニル基等で置換され
た芳香族ジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、ドデ
カンジカルボン酸等の炭素数2〜20の脂肪族ジカルボ
ン酸、及びシクロヘキサンジカルボン酸などの脂環式ジ
カルボン酸などが挙げられる。これらの化合物は2種以
上用いることができる。ジオール化合物の具体例とし
て、エチレングリコール、1,3−プロパンジオール、
1,4−ブタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、
1,10−デカンジオール、1,4−シクロヘキサンジ
オール等の脂肪族ジオール及び脂環式ジオール、又は、
その具体例として、ビスフェノールΑ、ビス−(4−ヒ
ドロキシフェニル)メタン、ビス−(4−ヒドロキシ−
3−メチルフェニル)プロパン、レゾルシン等が挙げら
れる。これらの化合物は2種以上用いることができる。
また、芳香族ポリエステル(例えば、ポリブチレンテレ
フタレート)部分をハードセグメント成分に、脂肪族ポ
リエステル(例えば、ポリテトラメチレングリコール)
部分をソフトセグメント成分にしたマルチブロック共重
合体を用いることができる。ハードセグメントとソフト
セグメントの種類、比率、分子量の違いによりさまざま
なグレードのものがある。具体例として、ハイトレル
(デュポン−東レ製)、ペルプレン(東洋紡績製)、エ
スペル(日立化成工業製)等が挙げられる。
The polyester elastomer is obtained by polycondensing a dicarboxylic acid or a derivative thereof with a diol compound or a derivative thereof. Specific examples of dicarboxylic acids include aromatic dicarboxylic acids such as terephthalic acid, isophthalic acid, and naphthalenedicarboxylic acid, and aromatic dicarboxylic acids in which the hydrogen atoms of these aromatic nuclei are substituted with a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, etc., and adipine Examples thereof include an aliphatic dicarboxylic acid having 2 to 20 carbon atoms such as acid, sebacic acid and dodecanedicarboxylic acid, and an alicyclic dicarboxylic acid such as cyclohexanedicarboxylic acid. Two or more of these compounds can be used. Specific examples of the diol compound include ethylene glycol, 1,3-propanediol,
1,4-butanediol, 1,6-hexanediol,
1,10-decanediol, aliphatic diols such as 1,4-cyclohexanediol and alicyclic diols, or
Specific examples thereof include bisphenolΑ, bis- (4-hydroxyphenyl) methane, and bis- (4-hydroxy-
3-methylphenyl) propane, resorcin and the like. Two or more of these compounds can be used.
Further, an aromatic polyester (for example, polytetramethylene glycol) is used as a hard segment component with an aromatic polyester (for example, polybutylene terephthalate) as a hard segment component.
A multi-block copolymer in which a part is a soft segment component can be used. There are various grades depending on the type, ratio, and molecular weight of the hard segment and the soft segment. Specific examples include Hytrel (manufactured by DuPont-Toray), Perprene (manufactured by Toyobo), Espel (manufactured by Hitachi Chemical), and the like.

【0040】ポリアミド系エラストマーは、ハード相に
ポリアミドを、ソフト相にポリエーテルやポリエステル
を用いたポリエーテルブロックアミド型とポリエーテル
エステルブロックアミド型の2種類に大別され、ポリア
ミドとしては、ポリアミド−6、11、12等が用いら
れ、ポリエーテルとしては、ポリオキシエチレン、ポリ
オキシプロピレン、ポリテトラメチレングリコール等が
用いられる。具体的には、UBEポリアミドエラストマ
ー(宇部興産製)、ダイアミド(ダイセルヒュルス
製)、PEBΑX(東レ製)、グリロンELY(エムス
ジャパン製)、ノバミッド(三菱化学製)、グリラック
ス(大日本インキ製)等が挙げられる。
Polyamide-based elastomers are roughly classified into two types: a polyether block amide type using a hard phase of polyamide and a polyether or polyester as a soft phase, and a polyether ester block amide type. 6, 11, 12 and the like are used, and as polyether, polyoxyethylene, polyoxypropylene, polytetramethylene glycol and the like are used. Specifically, UBE polyamide elastomer (made by Ube Industries), Daiamide (made by Daicel Huls), PEBΑX (made by Toray), Grillon ELY (made by Ms Japan), Novamid (made by Mitsubishi Chemical), Glair (made by Dai Nippon Ink) ) And the like.

【0041】アクリル系エラストマーは、アクリル酸エ
ステルを主成分とし、エチルアクリレート、ブチルアク
リレート、メトキシエチルアクリレート、エトキシエチ
ルアクリレート等が用いられ、また、架橋点モノマーと
して、グリシジルメタクリレート、アリルグリシジルエ
ーテル等が用いられる。更に、アクリロニトリルやエチ
レンを共重合することもできる。具体的には、アクリロ
ニトリル−ブチルアクリレート共重合体、アクリロニト
リル−ブチルアクリレート−エチルアクリレート共重合
体、アクリロニトリル−ブチルアクリレート−グリシジ
ルメタクリレート共重合体等が挙げられる。
The acrylic elastomer is mainly composed of an acrylate ester, and ethyl acrylate, butyl acrylate, methoxyethyl acrylate, ethoxyethyl acrylate and the like are used, and glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether and the like are used as a crosslinking point monomer. Can be Further, acrylonitrile or ethylene can be copolymerized. Specific examples include an acrylonitrile-butyl acrylate copolymer, an acrylonitrile-butyl acrylate-ethyl acrylate copolymer, and an acrylonitrile-butyl acrylate-glycidyl methacrylate copolymer.

【0042】シリコーン系エラストマーとしては、オル
ガノポリシロキサンを主成分したもので、ポリジメチル
シロキサン系、ポリメチルフェニルシロキサン系、ポリ
ジフェニルシロキサン系に分けられる。一部をビニル
基、アルコキシ基等で変性したものがある。具体例とし
て、SYシリーズ(ワッカー社製)、KEシリーズ(信
越化学製)、SEシリーズ、CYシリーズ、SHシリー
ズ(以上、東レダウコーニングシリコーン製)等が挙げ
られる。
The silicone-based elastomer contains an organopolysiloxane as a main component, and is classified into a polydimethylsiloxane-based, a polymethylphenylsiloxane-based, and a polydiphenylsiloxane-based elastomer. Some of them are modified with a vinyl group or an alkoxy group. Specific examples include the SY series (manufactured by Wacker), the KE series (manufactured by Shin-Etsu Chemical), the SE series, the CY series, and the SH series (above, manufactured by Dow Corning Toray Silicone).

【0043】また、上記のエラストマー以外に、ゴム変
性したエポキシ化合物を用いることができる。ゴム変性
エポキシ化合物として以下のものが使用できる。例えば
エポキシ化ポリブタジエンPB3600、PB4700
(ダイセル化学工業社製)、エポキシ化ブタジエン−ス
チレン エポブレンドΑT014等(ダイセル化学工業
社製)、あるいはポリジメチルシロキサンのエポキシ化
合物 X22−163B、KF100T(信越シリコン
社製)が挙げられる。また、両末端カルボン酸のアクリ
ロニトリル−ブタジエンゴムにビスフェノールF型エポ
キシ化合物、ビスフェノールA型エポキシ化合物の一部
を反応させることにより得られる。これらゴム変性エポ
キシ化合物は、前記感光性樹脂(A)のエポキシ化合物
(a)として使用することもできる。
In addition to the above elastomers, rubber-modified epoxy compounds can be used. The following can be used as the rubber-modified epoxy compound. For example, epoxidized polybutadiene PB3600, PB4700
(Daicel Chemical Industry Co., Ltd.), epoxidized butadiene-styrene epoblend @ T014 (Daicel Chemical Industry Co., Ltd.), or epoxy compound X22-163B of polydimethylsiloxane, KF100T (Shin-Etsu Silicon Co., Ltd.). Further, it is obtained by reacting a part of a bisphenol F type epoxy compound or a bisphenol A type epoxy compound with acrylonitrile-butadiene rubber having a carboxylic acid at both terminals. These rubber-modified epoxy compounds can also be used as the epoxy compound (a) of the photosensitive resin (A).

【0044】これらのエラストマーの中で、耐リフロー
性(封止材とのせん断密着性)の点で、ブタジエン−ア
クリロニトリル系エラストマー、ポリエステル系エラス
トマー、シリコーン系エラストマー、ゴム変性エポキシ
化合物を用いた組成物が好ましい。
Among these elastomers, a composition using a butadiene-acrylonitrile-based elastomer, a polyester-based elastomer, a silicone-based elastomer, and a rubber-modified epoxy compound in terms of reflow resistance (shear adhesion to a sealing material). Is preferred.

【0045】エラストマー(C)の配合量は、感光性樹
脂組成物中に、好ましくは1〜50重量%、更に好まし
くは、2〜40重量%用いられる。1重量%未満では、
硬化膜の高温領域での弾性率が低くならない傾向があ
り、50重量部を超えると耐熱性、現像性等劣る傾向が
ある。
The amount of the elastomer (C) is preferably 1 to 50% by weight, more preferably 2 to 40% by weight, in the photosensitive resin composition. If it is less than 1% by weight,
The elastic modulus of the cured film in the high-temperature region does not tend to decrease, and when it exceeds 50 parts by weight, the heat resistance, developability and the like tend to be poor.

【0046】エラストマー(C)を配合してポリマーア
ロイ化することで硬化膜の硬化収縮、可とう性が改質さ
れ、リフロー時の温度とされる180〜260℃の温度
領域における動的粘弾性測定で、組成物の硬化皮膜の弾
性率が0.1〜10MPaと低減でき、封止材とのせん
断接着性を改良することができる。すなわち、弾性率が
0.1MPa未満であると機械的強度が低下する傾向が
あり、10MPaを超えるとせん断接着力が低下する傾
向がある。
The curing shrinkage and flexibility of the cured film are improved by blending the elastomer (C) into a polymer alloy, and the dynamic viscoelasticity in a temperature range of 180 to 260 ° C., which is the temperature at the time of reflow. By measurement, the elastic modulus of the cured film of the composition can be reduced to 0.1 to 10 MPa, and the shear adhesion with the sealing material can be improved. That is, if the elastic modulus is less than 0.1 MPa, the mechanical strength tends to decrease, and if it exceeds 10 MPa, the shear adhesive strength tends to decrease.

【0047】なお本発明において感光性樹脂(A)及び
エラストマー(C)はそれぞれを単独で配合するのみな
らず、エラストマー(C)の化学構造をカルボキシル基
を有する感光性樹脂(A)の分子内に有するカルボキシ
ル基を有する感光性樹脂(AC)を(A)成分及び
(C)成分として用いることができる。このような感光
性樹脂(AC)は、例えば、感光性樹脂(A)を製造す
る際にエポキシ化合物(a)としてエポキシ樹脂をα,
ω−ポリブタジエンジカルボン酸で変性したエポキシ樹
脂を用いることにより製造される樹脂が挙げられる。
In the present invention, not only the photosensitive resin (A) and the elastomer (C) are blended independently, but also the chemical structure of the elastomer (C) can be changed by changing the molecular structure of the photosensitive resin (A) having a carboxyl group. The photosensitive resin (AC) having a carboxyl group can be used as the component (A) and the component (C). Such a photosensitive resin (AC) is, for example, when the photosensitive resin (A) is manufactured, the epoxy resin is α,
A resin produced by using an epoxy resin modified with ω-polybutadiene dicarboxylic acid is exemplified.

【0048】本発明に使用されるエポキシ硬化剤(D)
としてはエポキシ基を有する化合物であればよく、分子
内に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂が好ま
しい。具体的には、ビスフェノールF型エポキシ樹脂が
使用できる。また、ビスフェノールA型、S型エポキシ
樹脂及びその臭素化物等の誘導体、フェノールあるいは
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エ
ポキシ樹脂、例えば「YX4000」(油化シェルエポ
キシ社製)、特殊グリシジルエーテル系エポキシ樹脂、
例えば東都化成社製YDC1312、新日鐵化学社製E
SLV−80XY、ESLV−90DR、また「TAC
TIX742」(ダウケミカル社製)、「ZX125
7」(東都化成社製)、ESLV−120TE、−80
DE(新日鉄化学社製商品名)等のグリシジルエーテル
系エポキシ樹脂;グリシジルエステル系エポキシ樹脂、
例えば「デナコールEX711」(ナガセ化成工業社
製)、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、例えば「YH
434」(東都化成社製)、ナフタレン型エポキシ樹
脂、例えば「エピクロンHP−4032」(大日本イン
キ化学工業社製)、ジシクロ型エポキシ樹脂、例えば
「エピクロンHP−4032」(大日本インキ化学工業
社製)、ジシクロ型エポキシ樹脂、例えば「エピクロン
HP7200H」(大日本インキ化学工業社製)環式脂
肪族エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ヒダントイ
ン型エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート等
の特殊エポキシ樹脂等が挙げられる。好ましくは2〜3
官能のエポキシ樹脂が耐湿熱性、機械特性の点から好適
である。
The epoxy curing agent (D) used in the present invention
May be any compound having an epoxy group, and an epoxy resin having two or more epoxy groups in a molecule is preferable. Specifically, bisphenol F type epoxy resin can be used. Also, bisphenol A type and S type epoxy resins and derivatives thereof such as bromide, phenol or cresol novolak type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, for example, "YX4000" (manufactured by Yuka Shell Epoxy), special glycidyl ether type epoxy resin ,
For example, YDC1312 manufactured by Toto Kasei, E
SLV-80XY, ESLV-90DR, and "TAC
TIX742 "(manufactured by Dow Chemical Company)," ZX125
7 "(manufactured by Toto Kasei), ESLV-120TE, -80
Glycidyl ether epoxy resins such as DE (trade name of Nippon Steel Chemical Co., Ltd.); glycidyl ester epoxy resins,
For example, "Denacol EX711" (manufactured by Nagase Kasei Kogyo Co., Ltd.), a glycidylamine-based epoxy resin such as "YH
434 "(manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), naphthalene-type epoxy resin such as" Epiclon HP-4032 "(manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), and dicyclo-type epoxy resin such as" Epiclon HP-4032 "(manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) Dicyclo-type epoxy resin, for example, "Epiclon HP7200H" (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), cycloaliphatic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, hydantoin-type epoxy resin, special epoxy resin such as triglycidyl isocyanurate, etc. Is mentioned. Preferably 2-3
Functional epoxy resins are preferred in terms of wet heat resistance and mechanical properties.

【0049】エポキシ硬化剤(D)として上記のエポキ
シ硬化剤を用いた場合の一部(50重量%以下)を、他
の感光基を有するエポキシ硬化剤に替えて使用しても良
い。感光基を有するエポキシ硬化剤としてはカルボキシ
ル基を有する感光性樹脂(A)を得る前段階の酸無水物
を反応させないノボラック型エポキシ化合物と不飽和モ
ノカルボン酸のエステル化物であるエポキシアクリレー
ト化合物が好適に用いられる。更にエポキシアクリレー
ト化合物にイソシアネートエチルメタクリレート等をウ
レタン結合を介して導入したウレタン化物なども好適に
用いられる。
A portion (50% by weight or less) of the above epoxy curing agent (D) used as the epoxy curing agent (D) may be used in place of an epoxy curing agent having another photosensitive group. As the epoxy curing agent having a photosensitive group, an epoxy acrylate compound which is an esterified product of a novolak type epoxy compound and an unsaturated monocarboxylic acid which does not react with an acid anhydride in a stage before obtaining a photosensitive resin (A) having a carboxyl group is preferable. Used for Further, urethane compounds in which isocyanate ethyl methacrylate or the like is introduced into an epoxy acrylate compound via a urethane bond are preferably used.

【0050】エポキシ硬化剤(D)の好ましい配合割合
は感光性樹脂組成物に対して0.1〜40重量%、更に
好ましくは1〜30重量%である。
The preferred proportion of the epoxy curing agent (D) is 0.1 to 40% by weight, more preferably 1 to 30% by weight, based on the weight of the photosensitive resin composition.

【0051】本発明に使用される光重合開始剤(E)と
しては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインイソプロピルエーテル等のベンゾイン類、アセト
フェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフ
ェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェ
ノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキ
シシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−
[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプ
ロパン−1−オン、2,2−ジエトキシアセトフェノ
ン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセト
フェノン類、2−メチルアントラキノン、2−エチルア
ントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、
1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノ
ン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン類、
2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチ
オキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジ
イソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類、ア
セトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタ
ール等のケタール類、ベンゾフェノン、メチルベンゾフ
ェノン、4,4′−ジクロロベンゾフェノン、4,4′
−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ミヒラーズ
ケトン、4−ベンゾイル−4′−メチルジフェニルサル
ファイド等のベンゾフェノン類、2−(o−クロロフェ
ニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−
(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフ
ェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェ
ニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−
(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5
−ジフェニルイミダゾール二量体、2,4−ジ(p−メ
トキシフェニル)−5−フェニルイミダゾール二量体、
2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェ
ニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリール
イミダゾール二量体、9−フェニルアクリジン、1,7
−ビス(9,9′−アクリジニル)ヘプタン等のアクリ
ジン誘導体、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェ
ニルホスフィンオキサイド等が挙げられ、これらは単独
であるいは2種以上を組み合わせて用いることができ
る。光重合開始剤(E)の好ましい配合割合は感光性樹
脂組成物に対して0.1〜20重量%、更に好ましくは
1〜10重量%である。
The photopolymerization initiator (E) used in the present invention includes benzoins such as benzoin, benzoin methyl ether and benzoin isopropyl ether, acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2- Diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-1-
Acetophenones such as [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2,2-diethoxyacetophenone, N, N-dimethylaminoacetophenone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, -Tert-butylanthraquinone,
Anthraquinones such as 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone and 2-aminoanthraquinone;
Thioxanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone, ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal, benzophenone, methylbenzophenone, 4,4 '-Dichlorobenzophenone, 4,4'
Benzophenones such as -bis (diethylamino) benzophenone, Michler's ketone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenylsulfide, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer,
(O-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2-
(O-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5
-Diphenylimidazole dimer, 2,4-di (p-methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer,
2,4,5-triarylimidazole dimer such as 2- (2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 9-phenylacridine, 1,7
Acridine derivatives such as -bis (9,9'-acridinyl) heptane; and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide. These can be used alone or in combination of two or more. The preferred blending ratio of the photopolymerization initiator (E) is 0.1 to 20% by weight, more preferably 1 to 10% by weight, based on the photosensitive resin composition.

【0052】更に光重合開始助剤としてN,N−ジメチ
ルアミノ安息香酸エチルエステル、N,N−ジメチルア
ミノ安息香酸イソアミルエステル、ペンチル−4−ジメ
チルアミノベンゾエート、ジメチルエタノールアミン、
トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の3級アミ
ン類がある。これらは、単独あるいは混合して感光性樹
脂組成物中の好ましくは0.1〜20重量%の範囲で用
いることができる。
Furthermore, N, N-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, N, N-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, dimethylethanolamine,
There are tertiary amines such as triethylamine and triethanolamine. These can be used alone or as a mixture, preferably in the range of 0.1 to 20% by weight in the photosensitive resin composition.

【0053】また、必要に応じてその他の硬化剤、熱硬
化促進剤が使用できる。硬化剤としては、三フッ化ホウ
素−アミンコンプレックス、ジシアンジアミド、有機酸
ヒドラジッド、ジアミノマレオニトリル、尿素、また、
ヘキサメトキシメチル化メラミン等のアルキル化メラミ
ン樹脂、ポリアミンの塩類、ジアミノジフェニルメタ
ン、メタフェニレンジアミン、ジアミノジフェニルメタ
ン、メタキシレンジアミン、ジアミノジフェニルスルホ
ン、「ハードナーHT972」(チバ・ガイギ社製)等
の芳香族アミン類、無水フタル酸、無水トリメリット
酸、エチレングリコールビス(アンヒドロトリメリテー
ト)、グリセロールトリス(アンヒドロトリメリテー
ト)、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物等の芳香
族酸無水物、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル
酸等の脂肪族酸無水物類、ポリビニルフェノール、ポリ
ビニルフェノール臭素化物、フェノールノボラック、ア
ルキルフェノールノボラック等のポリフェノール類等が
ある。熱硬化促進剤としては、アセチルアセトナートZ
n等のアセチルアセトンの金属塩、エナミン、オクチル
酸スズ、第4級ホスホニウム塩、トリフェニルホスフィ
ン等の第3級ホスフィン類、トリ−n−ブチル(2,5
−ジヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロマイド、ヘ
キサデシルトリブチルホスホニウムクロライド等のホス
ホニウム塩類、ベンジルトリメチルアンモニウムクロラ
イド、フェニルトリブチルアンモニウムクロライド等の
4級アンモニウム塩類、ジフェニルヨードニウムテトラ
フルオロポロエート、トリフェニルスルホニウムヘキサ
フルオロアンチモネート等のポロエート、アンチモネー
ト類、ジメチルベンジルアミン、1,8−ジアザビシク
ロ[5,4,0]ウンデセン、m−アミノフェノール、
2,4,6−トリス(ジメチルアミノフェノール)、テ
トラメチルグアニジン等の第3級アミン類、2−エチル
−4−メチルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、
1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−フェニル
イミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロ
キシメチルイミダゾール等のイミダゾール類が挙げら
れ、単独あるいは混合系で使用できる。硬化剤、熱硬化
促進剤はそれぞれ感光性樹脂組成物の好ましくは0.0
1重量%から10重量%の範囲で使用できる。
Further, if necessary, other curing agents and heat curing accelerators can be used. As the curing agent, boron trifluoride-amine complex, dicyandiamide, organic acid hydrazide, diaminomaleonitrile, urea,
Alkylated melamine resins such as hexamethoxymethylated melamine, salts of polyamines, aromatic amines such as diaminodiphenylmethane, metaphenylenediamine, diaminodiphenylmethane, metaxylenediamine, diaminodiphenylsulfone, "Hardner HT972" (manufactured by Ciba Geigy) Phthalic anhydride, trimellitic anhydride, ethylene glycol bis (anhydrotrimellitate), glycerol tris (anhydrotrimellitate), aromatic acid anhydrides such as benzophenonetetracarboxylic anhydride, maleic anhydride, Examples thereof include aliphatic acid anhydrides such as tetrahydrophthalic anhydride, polyphenols such as polyvinylphenol, polyvinylphenol bromide, phenol novolak, and alkylphenol novolak. As the thermosetting accelerator, acetylacetonate Z
metal salts of acetylacetone such as n, enamine, tin octylate, quaternary phosphonium salts, tertiary phosphines such as triphenylphosphine, tri-n-butyl (2,5
Phosphonium salts such as -dihydroxyphenyl) phosphonium bromide and hexadecyltributylphosphonium chloride; quaternary ammonium salts such as benzyltrimethylammonium chloride and phenyltributylammonium chloride; and poroates such as diphenyliodonium tetrafluoroporoate and triphenylsulfonium hexafluoroantimonate. , Antimonates, dimethylbenzylamine, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] undecene, m-aminophenol,
Tertiary amines such as 2,4,6-tris (dimethylaminophenol) and tetramethylguanidine, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-methylimidazole,
Examples thereof include imidazoles such as 1-benzyl-2-methylimidazole, 2-phenylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, which can be used alone or in a mixed system. The curing agent and the thermosetting accelerator are each preferably used in the photosensitive resin composition.
It can be used in the range of 1% by weight to 10% by weight.

【0054】本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応
じて光感度、各種特性を向上させる目的で各種感光性モ
ノマーを加えて使用することもできる。例えば、2−ヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレート、トリメチロール
プロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリト
ールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトー
ルヘキサ(メタ)アクリレート、N,N−ジメチル(メ
タ)アクリレート、N−メチロール(メタ)アクリルア
ミド、ウレタン(メタ)アクリレート、あるいはポリエ
チレングリコール、ポリプロピレングリコール、ビスフ
ェノールAのポリエチレングリコールあるいはプロピレ
ングリコール、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシ
アヌル酸等のモノあるいは多官能(メタ)アクリレート
類、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジル
エーテルの(メタ)アクリレート類、ジアリルフタレー
ト等の光重合性モノマーが使用できる。これらは単独あ
るいは混合系で使用できる。
The photosensitive resin composition of the present invention can be used by adding various photosensitive monomers as needed for the purpose of improving photosensitivity and various characteristics. For example, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, N, N-dimethyl (meth) acrylate, N-methylol Mono- or polyfunctional (meth) acrylates such as (meth) acrylamide, urethane (meth) acrylate, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyethylene glycol of bisphenol A or propylene glycol, tris (2-hydroxyethyl) isocyanuric acid, and triglycidyl Photopolymerizable monomers such as glycidyl ether (meth) acrylates such as isocyanurate and diallyl phthalate can be used. These can be used alone or in a mixed system.

【0055】本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応
じてトリアリジン化合物を難燃性、密着性を向上させる
ために使用できる。トリアリジン化合物としては、例え
ばメラミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メ
ラミン−フェノールホルマリン樹脂、四国化成工業社
製;2MZ−AZINE、2E4MZ−AZINE、C
11Z−AZINE、2MΑ−OK等が挙げられる。ある
いはエチルジアミノ−S−トリアジン、2,4−ジアミ
ノ−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−キシリル
−S−トリアジン等のトリアジン誘導体類が挙げられ
る。これらは感光性樹脂組成物に対して0.1〜15重
量%で使用されるのが好ましい。
The photosensitive resin composition of the present invention may contain
Triazine compound to improve flame retardancy and adhesion
Can be used for As triazine compounds, for example
Melamine, acetoguanamine, benzoguanamine,
Lamin-phenol formalin resin, Shikoku Chemicals
2MZ-AZINE, 2E4MZ-AZINE, C
11Z-AZINE, 2MΑ-OK and the like. is there
Or ethyldiamino-S-triazine, 2,4-diamine
No-S-triazine, 2,4-diamino-6-xylyl
Triazine derivatives such as -S-triazine;
You. These are 0.1 to 15 times the photosensitive resin composition.
It is preferably used in the amount%.

【0056】本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応
じて、難燃剤として臭素化化合物、リン化合物を使用す
ることができる。臭素化化合物としては、上記に挙げた
臭素化エポキシ化合物あるいはこれらで変性した感光性
樹脂が挙げられる。これら以外にテトラブロモビスフェ
ノールΑ(TBA)及びこれらの誘導体例えば、TBA
ブロモエチルエーテルオリゴマー、TBAビス(2,3
ジブロモプロピルエーテル)、TBAビス(アリルエー
テル)、TBAビス(2−ヒドロキシエチルエーテ
ル)、TBA−カーボネートオリゴマー等が挙げられ
る、他にデカブロモビフェニルオキサイド、オクタブロ
モビフェニルオキサイド、ヘキサブロモビフェニルオキ
サイド、ポリジブロモフェニレンオキサイド、ビス(ペ
ンタブロモフェノキシ)エタン、テトラブロモビスフェ
ノールS等が挙げられる。他にトリアジン骨格を有する
ピロガードSR245(第一工業製薬社製)等が挙げら
れる。また臭素化化合物と併用する難燃助剤として五酸
化アンチモンが有用であり、組成物中の10重量%以下
で使用することが好ましい。また五酸化アンチモンはイ
オントラップ剤として電食性試験におけるマイグレーシ
ョンを抑制する効果がある。
In the photosensitive resin composition of the present invention, if necessary, a brominated compound or a phosphorus compound can be used as a flame retardant. Examples of the brominated compound include the above-mentioned brominated epoxy compounds and photosensitive resins modified with these compounds. Besides these, tetrabromobisphenol Α (TBA) and derivatives thereof such as TBA
Bromoethyl ether oligomer, TBA bis (2,3
Dibromopropyl ether), TBA bis (allyl ether), TBA bis (2-hydroxyethyl ether), TBA-carbonate oligomer, and the like, as well as decabromobiphenyl oxide, octabromobiphenyl oxide, hexabromobiphenyl oxide, and polydibromo. Examples include phenylene oxide, bis (pentabromophenoxy) ethane, and tetrabromobisphenol S. Other examples include Pyrogard SR245 having a triazine skeleton (manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.). Also, antimony pentoxide is useful as a flame retardant aid used in combination with the brominated compound, and is preferably used at 10% by weight or less in the composition. Further, antimony pentoxide has an effect of suppressing migration in an electrolytic corrosion test as an ion trapping agent.

【0057】難燃剤としてのリン系化合物としては、例
えば、トリメチルホスフェート、トリエチルホスフェー
ト、トリフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェ
ート、トリキシリルホスフェート、クレジルジフェニル
ホスフェート、クレジル−2,6−キシリルホスフェー
ト、トリス(クロロエチル)ホスフェート、トリス(ク
ロロプロピル)ホスフェート、トリス(ジクロロプロピ
ル)ホスフェート、トリス(トリブロモネオペンチル)
ホスフェート等のホスフェート化合物、あるいはCR−
733S、CR−741、CR−747、PX−200
(以上、大八化学社製)等の芳香族縮合リン酸エステ
ル、CR−505、CR−509、CR−530、CR
504L、CR−570、CR−380、CR−387
(以上、大八化学社製)等の含ハロゲン縮合リン酸エス
テル等が挙げられる。あるいはPPZ(共栄社化学社
製)、SP134(大塚化学社製)等のフォスファゼン
化合物が挙げられる。
Examples of the phosphorus-based compound as a flame retardant include trimethyl phosphate, triethyl phosphate, triphenyl phosphate, tricresyl phosphate, tricylyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, cresyl-2,6-xylyl phosphate, tris (Chloroethyl) phosphate, tris (chloropropyl) phosphate, tris (dichloropropyl) phosphate, tris (tribromoneopentyl)
Phosphate compounds such as phosphate, or CR-
733S, CR-741, CR-747, PX-200
(Above, manufactured by Daihachi Chemical Co., Ltd.), CR-505, CR-509, CR-530, CR
504L, CR-570, CR-380, CR-387
(Above, manufactured by Daihachi Chemical Co., Ltd.). Alternatively, phosphazene compounds such as PPZ (manufactured by Kyoeisha Chemical) and SP134 (manufactured by Otsuka Chemical) can be used.

【0058】本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じ
て有機溶剤で希釈することができる。例えばエチルメチ
ルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、
キシレン等の芳香族炭化水素、メチルセロソルブ、ブチ
ルセロソルブ、メチルカルビトール、ブチルカルビトー
ル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロ
ピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレング
リコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル
類、酢酸エチル、酢酸ブチル、ブチルセロソルブアセテ
ート、カルビトールアセテート等のエステル類、エタノ
ール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレン
グリコール等のアルコール類、オクタン、デカン等の脂
肪族炭化水素、石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナ
フサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等を挙げること
ができる。
The photosensitive resin composition of the present invention can be diluted with an organic solvent, if necessary. For example, ethyl methyl ketone, ketones such as cyclohexanone, toluene,
Aromatic hydrocarbons such as xylene, methyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl carbitol, butyl carbitol, glycol ethers such as propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, and triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate; butyl acetate , Butyl cellosolve acetate, esters such as carbitol acetate, alcohols such as ethanol, propanol, ethylene glycol and propylene glycol, aliphatic hydrocarbons such as octane and decane, petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, solvent naphtha, etc. And other petroleum solvents.

【0059】本発明の感光性樹脂組成物は、密着性、硬
度等の特性を向上する目的で必要に応じて硫酸バリウ
ム、チタン酸バリウム、粉状酸化珪素、無定形シリカ、
タルク、クレー、焼成カオリン、炭酸マグネシウム、炭
酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウ
ム、雲母粉等の無機充填剤が使用できる。その使用量は
好ましくは0〜70重量%である。
The photosensitive resin composition of the present invention may contain, if necessary, barium sulfate, barium titanate, powdered silicon oxide, amorphous silica, or the like for the purpose of improving properties such as adhesion and hardness.
Inorganic fillers such as talc, clay, calcined kaolin, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, mica powder and the like can be used. The amount used is preferably from 0 to 70% by weight.

【0060】更に必要に応じてフタロシアニンブルー、
フタロシアニングリーン、アイオジングリーン、ジスア
ゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カ
ーボンブラック、ナフタレンブラックなどの着色剤等を
用いることができる。更にハイドロキノン、ハイドロキ
ノンモノメチルエーテル、tert−ブチルカテコー
ル、ピロガロール、フェノチアジン等の重合禁止剤、ベ
ントン、モンモリロナイト、エアロジル、アミドワック
ス等のチキソ性付与剤、シリコーン系、フッ素系、高分
子系等の消泡剤、レベリング剤、及びイミダゾール系、
チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤
等の密着性付与剤のような添加剤類を用いることができ
る。
Further, if necessary, phthalocyanine blue,
Colorants such as phthalocyanine green, iodine green, disazo yellow, crystal violet, titanium oxide, carbon black, and naphthalene black can be used. Further, polymerization inhibitors such as hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, tert-butylcatechol, pyrogallol, and phenothiazine; thixotropic agents such as bentone, montmorillonite, aerosil, and amide wax; silicone-based, fluorine-based, and polymer-based antifoaming agents , Leveling agents, and imidazoles,
Additives such as thiazole-based, triazole-based, and silane coupling agents can be used.

【0061】本発明の感光性樹脂組成物は、前記の割合
で配合した配合原料をロールミル、ビーズミル等で均一
に混合し、例えば次のように硬化させて、硬化物を得る
ことができる。即ちプリント配線板等に、スクリーン印
刷法、スプレー法、静電スプレー法、エアレススプレー
法、カーテンコータ法、ロールコート法等の方法により
10〜160μmの膜厚で本発明の組成物を塗布し、塗
膜を60〜110℃で乾燥させた後、ネガフィルムを塗
膜の上に置き、紫外線等の放射線を照射し次いで、未露
光部分を希アルカリ水溶液(例えば0.5〜2重量%炭
酸ソーダ水溶液等)で溶解除去(現像)した後、更に通
常紫外線の照射及び又は加熱(例えば100〜200℃
で0.5〜1.0時間)によって十分な硬化を行い硬化
皮膜を得る。
The photosensitive resin composition of the present invention can be obtained by uniformly mixing the compounding raw materials mixed in the above-mentioned ratio by a roll mill, a bead mill or the like, and then curing, for example, as follows. That is, the composition of the present invention is applied to a printed wiring board or the like with a thickness of 10 to 160 μm by a method such as a screen printing method, a spray method, an electrostatic spray method, an airless spray method, a curtain coater method, and a roll coating method, After the coating film is dried at 60 to 110 ° C., a negative film is placed on the coating film, irradiated with radiation such as ultraviolet rays, and then the unexposed portion is diluted with a dilute alkaline aqueous solution (eg, 0.5 to 2% by weight sodium carbonate carbonate). Aqueous solution, etc.), and then usually irradiation with ultraviolet light and / or heating (for example, 100 to 200 ° C.)
For 0.5 to 1.0 hours) to obtain a cured film.

【0062】本発明の感光性樹脂組成物はリジッド及び
フレキシブルプリント配線板及びBGA、CSP、TC
P等のパッケージ用のソルダーレジスト組成物あるいは
多層材のビルドアップ材として特に有用であるが、その
他にも塗料、ガラス、セラミック、プラスチック、紙等
のコーティング材にも使用できる。
The photosensitive resin composition of the present invention comprises a rigid or flexible printed wiring board, BGA, CSP, TC
It is particularly useful as a solder resist composition for packages such as P or as a build-up material for multilayer materials, but can also be used for coating materials such as paints, glass, ceramics, plastics, and paper.

【0063】[0063]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
するが、本発明はこれに限定されるものではない。
The present invention will be described below in detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0064】[カルボキシル基を有する感光性樹脂(A
−1)の製造例]攪拌機、還流冷却器及び温度計を備え
たフラスコに、α,ω−ポリブタジエンジカルボン酸N
ISSO−PB C−1000(日本曹達社製)48
2.6重量部、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂
YDB−400(東都化成社製)400重量部、カルビ
トールアセテート183重量部、ソルベントナフサ(ソ
ルベッソ150)110重量部を入れ、110℃で8時
間加熱した。これにアクリル酸36.4重量部、メチル
ハイドロキノン0.5重量部、カルビトールアセテート
6重量部を仕込み、70℃で、トリフェニルホスフィン
3重量部、ソルベントナフサ6重量部を仕込み、100
℃に加熱し、固形分酸価が2(KOH mg/g)以下
になるまで反応させた。次に、得られた溶液を50℃ま
で冷却し、テトラヒドロ無水フタル酸100重量部、カ
ルビトールアセテート126重量部、ソルベントナフサ
6重量部を仕込み、80℃で所定時間反応させ、固形分
酸価70(KOH mg/g)、固形分70重量%の不
飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(A−1)を得た。
[Photosensitive resin having carboxyl group (A
-1) Production Example] In a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser and a thermometer, add α, ω-polybutadiene dicarboxylic acid N
ISSO-PB C-1000 (Nippon Soda Co., Ltd.) 48
2.6 parts by weight, 400 parts by weight of brominated bisphenol A type epoxy resin YDB-400 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), 183 parts by weight of carbitol acetate, and 110 parts by weight of solvent naphtha (Solvesso 150) are added, and the mixture is heated at 110 ° C. for 8 hours. Heated. Acrylic acid (36.4 parts by weight), methylhydroquinone (0.5 parts by weight), carbitol acetate (6 parts by weight) were charged. At 70 ° C., triphenylphosphine (3 parts by weight) and solvent naphtha (6 parts by weight) were charged.
C. and reacted until the acid value of the solid content was 2 (KOH mg / g) or less. Next, the obtained solution was cooled to 50 ° C., and 100 parts by weight of tetrahydrophthalic anhydride, 126 parts by weight of carbitol acetate, and 6 parts by weight of solvent naphtha were charged and reacted at 80 ° C. for a predetermined time to obtain a solid acid value of 70%. (KOH mg / g) and an unsaturated group-containing polycarboxylic acid resin (A-1) having a solid content of 70% by weight.

【0065】[カルボキシル基を含有する感光性樹脂
(A−2)の製造例]攪拌機、還流冷却器及び温度計を
備えたフラスコに、ビスフェノールF型エポキシ樹脂
(エポキシ当量526)1,052重量部、アクリル酸
144重量部、メチルハイドロキノン1重量部、カルビ
トールアセテート850重量部及びソルベントナフサ1
00重量部を仕込み、70℃で加熱撹拌して、混合物を
溶解した。次に、溶液を50℃まで冷却し、トリフェニ
ルホスフィン2重量部、ソルベントナフサ75重量部を
仕込み、100℃に加熱し、固形分酸価が1(KOH
mg/g)以下になるまで反応させた。次に、得られた
溶液を50℃まで冷却し、テトラヒドロ無水フタル酸7
45重量部、カルビトールアセテート75重量部及びソ
ルベントナフサ75重量部を仕込み、80℃で所定時間
反応させ、固形分酸価80(KOH mg/g)、固形
分62重量%の不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂(A−
2)を得た。
[Production Example of Photosensitive Resin Containing Carboxyl Group (A-2)] In a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser and a thermometer, 1,052 parts by weight of bisphenol F type epoxy resin (epoxy equivalent 526) was added. 144 parts by weight of acrylic acid, 1 part by weight of methylhydroquinone, 850 parts by weight of carbitol acetate and solvent naphtha 1
Then, the mixture was heated and stirred at 70 ° C. to dissolve the mixture. Next, the solution was cooled to 50 ° C., and 2 parts by weight of triphenylphosphine and 75 parts by weight of solvent naphtha were charged and heated to 100 ° C., and the acid value of the solid content was 1 (KOH
(mg / g) or less. Next, the obtained solution was cooled to 50 ° C., and tetrahydrophthalic anhydride 7
45 parts by weight, 75 parts by weight of carbitol acetate and 75 parts by weight of solvent naphtha were charged and reacted at 80 ° C. for a predetermined time to obtain an unsaturated group-containing poly (acid value 80 (KOH mg / g), solid content 62% by weight). Carboxylic resin (A-
2) was obtained.

【0066】[カルボキシル基を含有する感光性樹脂
(A−3)の製造例]攪拌機、還流冷却器及び温度計を
備えたフラスコに、サリチルアルデヒド−フェノール型
エポキシ樹脂(エポキシ当量:168)55.7重量
部、アクリル酸24.1重量部、メチルハイドロキノン
0.1重量部、カルビトールアセテート26重量部及び
ソルベントナフサ(ソルベッソ150)17重量部を仕
込み、70℃で加熱撹拌して、混合物を溶解した。次
に、溶液を50℃まで冷却し、トリフェニルホスフィン
1重量部を仕込み、100℃に加熱し、固形分酸価が1
(KOH mg/g)以下になるまで反応させた。次
に、得られた溶液を50℃まで冷却し、テトラヒドロ無
水フタル酸20.3重量部、カルビトールアセテート5
重量部、ソルベントナフサ4重量部を仕込み、80℃で
所定時間反応させ、固形分酸価80(KOH mg/
g)、固形分67重量%の不飽和基含有ポリカルボン酸
樹脂(A−3)を得た。
[Production Example of Photosensitive Resin (A-3) Containing Carboxyl Group] A salicylaldehyde-phenol type epoxy resin (epoxy equivalent: 168) was placed in a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser and a thermometer. 7 parts by weight, 24.1 parts by weight of acrylic acid, 0.1 part by weight of methylhydroquinone, 26 parts by weight of carbitol acetate and 17 parts by weight of solvent naphtha (Solvesso 150) were charged and heated and stirred at 70 ° C. to dissolve the mixture. did. Next, the solution was cooled to 50 ° C., 1 part by weight of triphenylphosphine was charged and heated to 100 ° C., and the acid value of the solid content was 1
(KOH mg / g) or less. Next, the obtained solution was cooled to 50 ° C., and 20.3 parts by weight of tetrahydrophthalic anhydride and carbitol acetate 5 were added.
Parts by weight and 4 parts by weight of solvent naphtha were charged and reacted at 80 ° C. for a predetermined time, and the solid content acid value was 80 (KOH mg /
g), an unsaturated group-containing polycarboxylic acid resin (A-3) having a solid content of 67% by weight was obtained.

【0067】[カルボキシル基を含有する感光性樹脂
(A−4)の製造例]攪拌機、還流冷却器及び温度計を
備えたフラスコに、クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂(エポキシ当量:200)200重量部、アクリル酸
70重量部、メチルハイドロキノン0.4重量部、カル
ビトールアセテート80重量部及びソルベントナフサ2
0重量部を仕込み、70℃で加熱撹拌して、混合物を溶
解した。次に、溶液を50℃まで冷却し、トリフェニル
ホスフィン1重量部を仕込み、100℃に加熱し、固形
分酸価が1(KOH mg/g)以下になるまで反応さ
せた。次に、得られた溶液を50℃まで冷却し、無水マ
レイン酸51重量部、カルビトールアセテート48重量
部及びソルベントナフサ10重量部を仕込み、80℃で
所定時間反応させ、固形分酸価67(KOH mg/
g)、固形分67重量%の不飽和基含有ポリカルボン酸
樹脂(A−4)を得た。
[Production Example of Photosensitive Resin (A-4) Containing Carboxyl Group] A flask equipped with a stirrer, a reflux condenser and a thermometer was charged with 200 parts by weight of a cresol novolak type epoxy resin (epoxy equivalent: 200). 70 parts by weight of acrylic acid, 0.4 parts by weight of methylhydroquinone, 80 parts by weight of carbitol acetate and solvent naphtha 2
0 parts by weight were charged and heated and stirred at 70 ° C. to dissolve the mixture. Next, the solution was cooled to 50 ° C., 1 part by weight of triphenylphosphine was charged and heated to 100 ° C., and reacted until the acid value of the solid content became 1 (KOH mg / g) or less. Next, the obtained solution was cooled to 50 ° C., charged with 51 parts by weight of maleic anhydride, 48 parts by weight of carbitol acetate and 10 parts by weight of solvent naphtha, and reacted at 80 ° C. for a predetermined time to obtain a solid acid value of 67 ( KOH mg /
g), an unsaturated group-containing polycarboxylic acid resin (A-4) having a solid content of 67% by weight was obtained.

【0068】[PEGPΑ(α,ω−ビス−(3−アミ
ノプロピル)ポリエチレングリコールエーテル)の両末
端カルボン酸物(B−1)の製造例]攪拌機、還流冷却
器、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、
PEGPΑ−1000(広栄化学工業社製:平均分子量
1,000);1,000g、セバシン酸;405gを
仕込み、2時間かけて220℃に昇温し更に4時間反応
させた後冷却し、酸価81.9、分子量1,370のP
EGPΑの両末端カルボン酸物を得た。
[Production Example of Carboxylic Acid Compound (B-1) at Both Terminals of PEGPΑ (α, ω-bis- (3-aminopropyl) polyethylene glycol ether)] Stirrer, reflux condenser, inert gas inlet and temperature In a flask equipped with a meter,
PEGg II-1000 (manufactured by Hiroei Chemical Industry Co., Ltd .: average molecular weight: 1,000); 1,000 g, sebacic acid; 405 g were charged, the temperature was raised to 220 ° C. over 2 hours, and the reaction was further continued for 4 hours, followed by cooling, followed by acidification. 81.9, P with a molecular weight of 1,370
A carboxylic acid compound at both ends of EGPΑ was obtained.

【0069】同様にして、ポリプロピレングリコールの
両末端にアミノ基を導入したポリプロピレングリコール
両末端ジアミン(PPG−NH2:平均分子量900)
の両末端カルボン酸物(B−2)を表1の配合で得た。
Similarly, diamines of both ends of polypropylene glycol having amino groups introduced at both ends of polypropylene glycol (PPG-NH 2 : average molecular weight 900)
(B-2) was obtained with the composition shown in Table 1.

【0070】同様にして、ビスフェノールAのポリプロ
ピレングリコール反応物(Bis−PPG:平均分子量
1,450)の両末端カルボン酸物(B−3)を表1の
配合で得た。
In the same manner, a carboxylic acid compound (B-3) at both ends of a polypropylene glycol reaction product of bisphenol A (Bis-PPG: average molecular weight 1,450) was obtained with the composition shown in Table 1.

【0071】同様にして、ポリカーボネートジオール
(プラクセルCD220:平均分子量2,000;ダイ
セル化学工業社)の両末端カルボン酸物(B−4)を表
1の配合で得た。
In the same manner, a carboxylic acid compound (B-4) at both terminals of a polycarbonate diol (Placcel CD220: average molecular weight: 2,000; Daicel Chemical Industries, Ltd.) was obtained with the composition shown in Table 1.

【0072】得られた両末端カルボン酸物の特性を表1
に示した。
The properties of the obtained carboxylic acid compound at both ends are shown in Table 1.
It was shown to.

【0073】[0073]

【表1】 [感光性ポリアミド樹脂(C−1)の製造例]攪拌機、
還流冷却器、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラ
スコに、γ−ブチロラクトン;100g、NMP;50
gを仕込み、更に上記(B−1);74.6g、アジピ
ン酸;3.3g、セバシン酸;4.6g、イソフタル
酸;7.5g、4,4′−ジフェニルメタンジイソシア
ネート(MDI);4.8g、コロネートT80(トリ
レンジイソシアネート;TDI;日本ポリウレタン工業
社製);13.4gを仕込み、200℃に昇温し、4時
間保温後冷却し、加熱残分40重量%、酸価(固形分)
58.6のポリアミド樹脂を得た。更にビスフェノール
A型エポキシ樹脂エポミックR140(三井石油化学工
業社製)27.6gを仕込み、140℃で2時間保温後
ジメチルホルムアミド(DMF)を加え加熱残分40重
量%にした。120℃でメタクリル酸;3.3gを加え
3時間保温後、テトラヒドロ無水フタル酸(THP
A);37.9gを添加し1時間保温した。次いでDM
Fで希釈し加熱残分55重量%、酸価(固形分)74の
感光性ポリアミド樹脂(C−1)を得た。
[Table 1] [Production Example of Photosensitive Polyamide Resin (C-1)] Stirrer,
In a flask equipped with a reflux condenser, an inert gas inlet and a thermometer, γ-butyrolactone; 100 g, NMP;
7.4.6 g, adipic acid; 3.3 g, sebacic acid; 4.6 g, isophthalic acid; 7.5 g, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate (MDI); 8 g, Coronate T80 (tolylene diisocyanate; TDI; manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.); 13.4 g, heated to 200 ° C., cooled for 4 hours, cooled, heated residue 40% by weight, acid value (solid content) )
A 58.6 polyamide resin was obtained. Further, 27.6 g of bisphenol A type epoxy resin Epomic R140 (manufactured by Mitsui Petrochemical Industries, Ltd.) was charged, and after keeping the temperature at 140 ° C. for 2 hours, dimethylformamide (DMF) was added to make the heating residue 40% by weight. At 120 ° C., 3.3 g of methacrylic acid was added, and after keeping the temperature for 3 hours, tetrahydrophthalic anhydride (THP) was added.
A); 37.9 g was added and the mixture was kept warm for 1 hour. Then DM
After dilution with F, a photosensitive polyamide resin (C-1) having a heating residue of 55% by weight and an acid value (solid content) of 74 was obtained.

【0074】[感光性ポリアミドイミド樹脂(C−2)
の製造例]攪拌機、還流冷却器、不活性ガス導入口及び
温度計を備えたフラスコに、NMP;50gを仕込み、
2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパ
ン(以下BAPPと記す);12.4g(0.030モ
ル)、無水トリメリット酸;11.6g(0.060モ
ル)を仕込み、200℃で2.5時間保温した。これに
上記(B−2);41.0g(0.033モル)、アジ
ピン酸;4.3g(0.029モル)、セバシン酸;
5.9g(0.029モル)、イソフタル酸;4.9g
(0.029モル)、4,4′−ジフェニルメタンジイ
ソシアネート(MDI);18.9g(0.075モ
ル)、コロネートT80(トリレンジイソシアネート;
TDI;日本ポリウレタン工業社製);8.8g(0.
050モル)及びγ−ブチロラクトン100gを仕込
み、200℃に昇温し、4時間保温後冷却した。加熱残
分40重量%、酸価(固形分);32.8のポリアミド
イミド樹脂を得た。更にカルボキシル基の2倍量になる
ようにビスフェノールA型エポキシ樹脂;エピコート1
001;66.8gを仕込み140℃で2時間保温後、
DMFを加え加熱残分40重量%にし、次いで120℃
でアクリル酸;5.0gを加え3時間保温後、THP
A;42.9gを添加し1時間保温した。次いで、DM
Fで希釈し、加熱残分55重量%、酸価(固形分換算)
85の感光性ポリアミドイミド樹脂(B−2)を得た。
[Photosensitive polyamide-imide resin (C-2)
Production Example] NMP; 50 g was charged into a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet, and a thermometer.
12.4 g (0.030 mol) of 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane (hereinafter referred to as BAPP), 11.6 g (0.060 mol) of trimellitic anhydride; Incubated for 2.5 hours. 41.0 g (0.033 mol) of the above (B-2), adipic acid; 4.3 g (0.029 mol), sebacic acid;
5.9 g (0.029 mol), isophthalic acid; 4.9 g
(0.029 mol), 4,4'-diphenylmethane diisocyanate (MDI); 18.9 g (0.075 mol), Coronate T80 (tolylene diisocyanate;
TDI; Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.);
050 mol) and 100 g of γ-butyrolactone, the temperature was raised to 200 ° C., the temperature was kept for 4 hours, and the mixture was cooled. A polyamideimide resin having a heating residue of 40% by weight and an acid value (solid content) of 32.8 was obtained. Bisphenol A type epoxy resin so as to have twice the amount of carboxyl groups; Epicoat 1
001; 66.8 g, and kept at 140 ° C. for 2 hours.
DMF was added to make the heating residue 40% by weight.
After adding 5.0 g of acrylic acid and keeping the temperature for 3 hours, THP
A: 42.9 g was added and the mixture was kept warm for 1 hour. Then DM
Diluted with F, heating residue 55% by weight, acid value (solid content conversion)
As a result, 85 photosensitive polyamideimide resins (B-2) were obtained.

【0075】表2に示すような配合(単位:g)で同様
にポリアミド(イミド)樹脂(C−3〜C−4)を得
た。
Polyamide (imide) resins (C-3 to C-4) were similarly obtained with the composition (unit: g) shown in Table 2.

【0076】[0076]

【表2】 * ポリアミド(イミド)配合:出来高100配合 ** 三井石油化学工業社製:ビスフェノールΑ型エポ
キシ樹脂 [アクリレート基とエポキシ基を含有する樹脂(D−
1)の製造例] (D−1)製造例 攪拌機、還流冷却器及び温度計を備えたフラスコに、ク
レゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量:2
00)200重量部、アクリル酸20重量部、メチルハ
イドロキノン0.4重量部、カルビトールアセテート8
0重量部及びソルベントナフサ20重量部を仕込み、7
0℃で加熱攪拌して、混合物を溶解した。次に、溶液を
50℃まで冷却し、トリフェニルホスフィン0.5重量
部を仕込み、100℃に加熱し、固形分酸価が1(KO
H mg/g)以下になるまで反応させた。ソルベント
ナフサ10重量部を仕込み、固形分67重量%の樹脂
(D−1)を得た。
[Table 2] * Polyamide (imide) compounded: 100 compounded amount ** Made by Mitsui Petrochemical Industries, Ltd .: bisphenol II type epoxy resin [Resin containing acrylate group and epoxy group (D-
Production Example of 1)] (D-1) Production Example A cresol novolak-type epoxy resin (epoxy equivalent: 2) was placed in a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, and a thermometer.
00) 200 parts by weight, acrylic acid 20 parts by weight, methylhydroquinone 0.4 part by weight, carbitol acetate 8
0 parts by weight and 20 parts by weight of solvent naphtha
The mixture was heated and stirred at 0 ° C. to dissolve the mixture. Next, the solution was cooled to 50 ° C., and 0.5 parts by weight of triphenylphosphine was charged and heated to 100 ° C., and the acid value of the solid content was 1 (KO).
H mg / g) or less. 10 parts by weight of solvent naphtha was charged to obtain a resin (D-1) having a solid content of 67% by weight.

【0077】実施例1〜4、比較例1、2、3 表3に示す配合組成(単位:g)に従って組成物を配合
し、3本ロールミルで混練し感光性樹脂組成物を調製し
た。これをスクリーン印刷法により、120メッシュの
テトロンスクリーンを用いて、約30μmの厚さ(乾燥
後)になるように銅張り積層板に塗布し、80℃で30
分間熱風循環式乾燥機で乾燥させた。次に、所定のパタ
ーンを有するネガマスクフィルムを塗膜に密着させ紫外
線露光装置を用いて、500mJ/cm2露光した。そ
の後、1%炭酸ナトリウム水溶液で60秒間、1.8k
gf/cm2の圧力でスプレー現像し、未露光部を溶解
現像した。得られた像を用いて現像性、光感度を評価
し、次に、150℃で1時間加熱し試験板を作製した。
試験板について、後述の密着性、耐溶剤性、耐酸性、耐
アルカリ性、はんだ耐熱性、せん断接着性の試験を行っ
た。また、基板(銅張り積層板)から剥がした塗膜につ
いて、動的粘弾性を測定した。表4に評価結果をまとめ
て示した。尚、試験方法及び評価方法は以下の通りであ
る。図1に、実施例1及び比較例1で作製した塗膜の粘
弾性の測定結果を示す。
Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1, 2, and 3 The compositions were blended according to the blending compositions (unit: g) shown in Table 3 and kneaded with a three-roll mill to prepare a photosensitive resin composition. This was applied to a copper-clad laminate by screen printing using a 120-mesh tetron screen to a thickness (after drying) of about 30 μm.
It was dried in a hot air circulation type dryer for minutes. Next, a negative mask film having a predetermined pattern was brought into close contact with the coating film and exposed to 500 mJ / cm 2 using an ultraviolet exposure apparatus. Then, 1.8k with 1% sodium carbonate aqueous solution for 60 seconds
Spray development was performed at a pressure of gf / cm 2 , and the unexposed portions were developed by dissolution. The developability and the photosensitivity were evaluated using the obtained image, and then heated at 150 ° C. for 1 hour to prepare a test plate.
The test plates were tested for adhesion, solvent resistance, acid resistance, alkali resistance, solder heat resistance, and shear adhesion described below. The dynamic viscoelasticity of the coating film peeled off from the substrate (copper-clad laminate) was measured. Table 4 summarizes the evaluation results. The test method and the evaluation method are as follows. FIG. 1 shows the measurement results of the viscoelasticity of the coating films produced in Example 1 and Comparative Example 1.

【0078】以下同様に表3に示す組成に従って、それ
ぞれ実施例2、3、4、比較例1、2、3とし、実施例
1と同様に試験に供した。試験結果を表4に示した。
In the same manner, in accordance with the compositions shown in Table 3, Examples 2, 3, and 4 and Comparative Examples 1, 2, and 3 were used, respectively, and subjected to the test in the same manner as in Example 1. The test results are shown in Table 4.

【0079】[0079]

【表3】 注)感光性樹脂、樹脂:配合は全て固形分で示した。 *ポリエステル樹脂(日立化成工業社製) **反応性NBRゴム(日本合成ゴム社製) ***シリコーン−コアのコアシェル型シリコーンゴム
(ワッカー社製) ****エポキシ樹脂(新日鐵化学社製)
[Table 3] Note) Photosensitive resin, resin: All formulations are shown as solids. * Polyester resin (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) ** Reactive NBR rubber (manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.) *** Silicon-core core-shell type silicone rubber (manufactured by Wacker) *** * Epoxy resin (Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) Company)

【0080】[0080]

【表4】 以下の試験法で行った。[Table 4] The following test method was used.

【0081】現像性:以下の評価基準を用いた。 ○・・・・現像後、完全に組成物が除去され、現像でき
た。 △・・・・現像後、わずかに残さあり ×・・・・現像後、現像されない部分あり 密着性:JIS K5400に準じて、試験片に1mm
にごばん目を100ケ作成してセロハンテープにより剥
離試験を行った。ごばん目の剥離状態を観察し、以下の
基準で評価した。 ○・・・・90/100以上剥離なし △・・・・50/100以上〜90/100未満で剥離
なし ×・・・・0/100〜50/100未満剥離あり 耐溶剤性:試験片をイソプロピルアルコールに室温で3
0分間浸漬し、外観に異常がないかを確認後、セロハン
テープにより剥離試験を行った。 ○・・・・塗膜外観に異常がなく、剥離のないもの ×・・・・塗膜外観に異常があるか、あるいは剥離する
もの 耐酸性:試験片を10%塩酸水溶液に室温で30分間浸
漬し、外観に異常がないかを確認後、セロハンテープに
より剥離試験を行った。 ○・・・・塗膜外観に異常がなく、剥離のないもの ×・・・・塗膜外観に異常があるか、あるいは剥離する
もの はんだ耐熱性:試験片にロジン系フラックスを塗布し2
60℃のはんだ槽に10秒間浸漬した。これを1サイク
ルとして、6サイクル繰り返した後、塗膜外観を目視観
察した。 ○・・・・塗膜外観に異常(剥離、フクレ)がなく、は
んだのもぐりのないもの ×・・・・塗膜外観に異常(剥離、フクレ)があるが、
あるいははんだのもぐりのあるもの 耐プレッシャークッカーテスト(PCT):121℃、
2気圧の蒸気中で96時間放置後、塗膜の外観、碁盤目
試験を行った。 ごばん目の剥離状態を観察し、以下の基準で評価した。 ○・・・・90/100以上剥離なし △・・・・50/100以上〜90/100未満で剥離
なし ×・・・・0/100〜50/100未満剥離あり せん断接着性:試験片に直径3.6mm、高さ4mmの
円錐形状に封止材(CEL9200日立化成工業製)を
モールドして、85℃、85%RH、96h吸湿後の密
着性を評価した。使用機器は、ボンドテスタ(DΑGE
社製)、測定温度245℃、単位:kgf/mm2 耐熱衝撃性:試験片を、−55℃/30分、125℃/
30分を1サイクルとして熱履歴を加え、1,000サ
イクル経過後、試験片を目視観察、顕微鏡観察した。 ○・・・・クラック発生なし △・・・・クラック発生あり ×・・・・クラック発生著しい 動的粘弾性:ソリッドアナライザーΑG−100KNE
(レオメトリックス社製)を用い、振動周波数1Hz
(6.28rad/秒)で動的粘弾性を測定した。サン
プルサイズを長さ22.6×幅5.0×厚さ0.05m
mとし、測定温度40〜300℃(昇温4℃/min)
で行い、220℃における粘弾性を調べた。単位:MP
Developability: The following evaluation criteria were used.・ ・ ・: After the development, the composition was completely removed and development was completed. Δ: slight residue after development ×: undeveloped part after development Adhesion: 1 mm on test piece according to JIS K5400
Then, 100 peeling test pieces were prepared and subjected to a peeling test using a cellophane tape. The state of peeling was evaluated by the following criteria. ○: No peeling at least 90/100 △: No peeling at 50/100 or more to less than 90/100 ×: Peeling at 0/100 to less than 50/100 Solvent resistance: Test piece 3 in isopropyl alcohol at room temperature
After immersion for 0 minutes and confirming that there was no abnormality in the appearance, a peeling test was performed using a cellophane tape. ○ ・ ・ ・ ・ No abnormality in the appearance of the coating film and no peeling × ・ ・ ・ ・ No abnormality in the appearance of the coating film or peeling off Acid resistance: The test piece was immersed in a 10% hydrochloric acid aqueous solution at room temperature for 30 minutes. After being immersed and confirming that there was no abnormality in the appearance, a peeling test was performed using a cellophane tape. ○ ・ ・ ・ ・ No abnormalities in the appearance of the coating film and no peeling × ・ ・ ・ ・ No abnormalities in the appearance of the coating film or those which peel off Solder heat resistance: Apply rosin flux to the test piece
It was immersed in a solder bath at 60 ° C. for 10 seconds. This was defined as one cycle, and after six cycles were repeated, the appearance of the coating film was visually observed. ○ ・ ・ ・ ・ There is no abnormality (peeling, blistering) in the appearance of the coating film and there is no burring of the solder. × ・ ・ ・ ・ There is abnormality (peeling, blistering) in the appearance of the coating film.
Or those with solder burrs Pressure Cooker Test (PCT): 121 ° C,
After standing in steam at 2 atm for 96 hours, the appearance of the coating film and a grid test were performed. The state of peeling was evaluated by the following criteria.・ ・ ・: No peeling at least 90/100 △: No peeling at least 50/100 to less than 90/100 ×: Peeling at 0/100 to less than 50/100 Shear adhesion: to the test piece A sealing material (CEL9200 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was molded into a conical shape having a diameter of 3.6 mm and a height of 4 mm, and the adhesion after 85 ° C., 85% RH, and 96 hours of moisture absorption was evaluated. The equipment used is a bond tester (D @ GE
245 ° C, unit: kgf / mm 2 Thermal shock resistance: The test piece was subjected to -55 ° C / 30 minutes, 125 ° C /
The heat history was added with 30 minutes as one cycle, and after 1,000 cycles, the test piece was visually observed and observed with a microscope. ○ ・ ・ ・ No crack generation △ ・ ・ ・ ・ Crack generation × ・ ・ ・ ・ Crack generation is remarkable Dynamic viscoelasticity: Solid analyzerΑG-100KNE
(Manufactured by Rheometrics), vibration frequency 1 Hz
The dynamic viscoelasticity was measured at (6.28 rad / sec). The sample size is length 22.6 x width 5.0 x thickness 0.05m
m, measurement temperature 40 to 300 ° C (heating 4 ° C / min)
The viscoelasticity at 220 ° C. was examined. Unit: MP
a

【0082】[0082]

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は、密着性及
び耐湿熱性に優れ、また封止材との密着性、更には難熱
衝撃性等の機械特性に優れ、LSIパッケージに使用さ
れるソルダーレジスト組成物、あるいは多層配線板の感
光性層間絶縁材料としてとして好適に用いられる。
Industrial Applicability The photosensitive resin composition of the present invention is excellent in adhesiveness and wet heat resistance, and excellent in mechanical properties such as adhesiveness to a sealing material, and further, thermal shock resistance, and is used for LSI packages. It is suitably used as a solder resist composition or a photosensitive interlayer insulating material for a multilayer wiring board.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C09D 179/08 C09D 179/08 B G03F 7/032 G03F 7/032 7/037 7/037 H05K 3/28 H05K 3/28 D 3/46 3/46 T (72)発明者 伊藤 敏彦 茨城県鹿島郡波崎町大字砂山五番壱 日立 化成工業株式会社鹿島工場内 (72)発明者 平倉 裕昭 茨城県鹿島郡波崎町大字砂山五番壱 日立 化成工業株式会社鹿島工場内──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI C09D 179/08 C09D 179/08 B G03F 7/032 G03F 7/032 7/037 7/037 H05K 3/28 H05K 3/28 D 3/46 3/46 T (72) Inventor Toshihiko Ito Okayama, Kajima-gun, Kashima-gun, Ibaraki Pref., Kashima Plant, Hitachi Chemical Co., Ltd. (72) Inventor Hiroaki Hirakura, Oaza-go, Hasaki-cho, Kashima-gun, Ibaraki, Japan Banichi Hitachi Chemical Co., Ltd. Kashima Plant

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 エポキシ化合物(a)と不飽和モノカル
ボン酸とのエステル化物に飽和又は不飽和多塩基酸無水
物を反応させて得られたカルボキシル基を有する感光性
樹脂(A)、カルボキシル基を有する感光性ポリアミド
樹脂及びカルボキシル基を有する感光性ポリアミドイミ
ド樹脂から選ばれる少なくとも1種の感光性樹脂
(B)、エラストマー(C)、エポキシ硬化剤(D)及
び光重合開始剤(E)を含有する感光性樹脂組成物。
1. A photosensitive resin having a carboxyl group (A) obtained by reacting an esterified product of an epoxy compound (a) with an unsaturated monocarboxylic acid with a saturated or unsaturated polybasic anhydride, a carboxyl group At least one photosensitive resin (B), an elastomer (C), an epoxy curing agent (D) and a photopolymerization initiator (E) selected from a photosensitive polyamide resin having a carboxyl group and a photosensitive polyamideimide resin having a carboxyl group. A photosensitive resin composition.
【請求項2】 エポキシ化合物(a)がノボラック型エ
ポキシ化合物、ビスフェノールΑ型エポキシ化合物、ビ
スフェノールF型エポキシ化合物及びサリチルアルデヒ
ド型エポキシ化合物からなる群から選択される少なくと
も1種類のエポキシ化合物である請求項1記載の感光性
樹脂組成物。
2. The epoxy compound (a) is at least one epoxy compound selected from the group consisting of a novolak type epoxy compound, a bisphenol Α type epoxy compound, a bisphenol F type epoxy compound and a salicylaldehyde type epoxy compound. 2. The photosensitive resin composition according to item 1.
【請求項3】 感光性樹脂(B)がエポキシ基含有ポリ
アミド樹脂及び/又はエポキシ基含有ポリアミドイミド
樹脂(b)と不飽和モノカルボン酸とのエステル化物に
更に飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られ
た樹脂である請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。
3. The photosensitive resin (B) further comprises an esterified product of an epoxy group-containing polyamide resin and / or an epoxy group-containing polyamideimide resin (b) and an unsaturated monocarboxylic acid, and further a saturated or unsaturated polybasic anhydride. The photosensitive resin composition according to claim 1, which is a resin obtained by reacting
【請求項4】 エポキシ基含有ポリアミド樹脂及び/又
はエポキシ基含有ポリアミドイミド樹脂(b)が、カル
ボキシル基末端ポリアミド樹脂及び/又はカルボキシル
基末端ポリアミドイミド樹脂(c)とエポキシ樹脂
(d)とを、(d)のエポキシ基/(c)のカルボキシ
ル基のモル比が1より大きいところで反応させて得られ
るエポキシ基含有ポリアミド樹脂及び/又はエポキシ基
含有ポリアミドイミド樹脂である請求項3記載の感光性
樹脂組成物。
4. An epoxy group-containing polyamide resin and / or an epoxy group-containing polyamideimide resin (b), wherein a carboxyl group-terminated polyamide resin and / or a carboxyl group-terminated polyamideimide resin (c) and an epoxy resin (d) are The photosensitive resin according to claim 3, wherein the photosensitive resin is an epoxy group-containing polyamide resin and / or an epoxy group-containing polyamideimide resin obtained by reacting at a molar ratio of (d) epoxy group / (c) carboxyl group greater than 1. Composition.
【請求項5】 カルボキシル基末端ポリアミド樹脂及び
/又はカルボキシル基末端ポリアミドイミド樹脂(c)
がポリアルキレンオキサイドユニット及び/又はポリカ
ーボネートユニットを分子構造中に有する樹脂である請
求項4記載の感光性樹脂組成物。
5. A carboxyl group-terminated polyamide resin and / or a carboxyl group-terminated polyamide-imide resin (c)
Is a resin having a polyalkylene oxide unit and / or a polycarbonate unit in its molecular structure.
【請求項6】 エラストマー(C)がスチレン系エラス
トマー、オレフィン系エラストマー、ウレタン系エラス
トマー、ポリエステル系エラストマー、ポリアミド系エ
ラストマー、アクリル系エラストマー及びシリコーン系
エラストマーからなる群から選択される少なくとも1種
類のエラストマーである請求項1〜5いずれかに記載の
感光性樹脂組成物。
6. The elastomer (C) is at least one elastomer selected from the group consisting of styrene elastomers, olefin elastomers, urethane elastomers, polyester elastomers, polyamide elastomers, acrylic elastomers and silicone elastomers. The photosensitive resin composition according to claim 1.
【請求項7】 180〜260℃領域における動的粘弾
性測定で、組成物の硬化皮膜の弾性率が0.1〜10M
Paである請求項1〜6いずれかに記載の感光性樹脂組
成物。
7. A dynamic viscoelasticity measurement in a range of 180 to 260 ° C., wherein the cured film of the composition has an elastic modulus of 0.1 to 10 M.
The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6, which is Pa.
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