JPH11283718A

JPH11283718A - 異方導電性シートの製造方法及びその製造装置

Info

Publication number: JPH11283718A
Application number: JP10058198A
Authority: JP
Inventors: Terukazu Kokubo; 輝一小久保
Original assignee: JSR Corp
Current assignee: JSR Corp
Priority date: 1998-03-27
Filing date: 1998-03-27
Publication date: 1999-10-15

Abstract

(57)【要約】【課題】大量生産が可能で、かつ製造コストを下げる
ことができる異方導電性シートの製造装置を提供するこ
とである。【解決手段】下地シート３８に印刷された導電性磁性
体粒子ペースト１２は、回転ドラム１８、２０によって
形成された移動空間３０へ送られる。回転ドラム１８、
２０表面の磁性体領域２６は、導電性磁性体粒子ペース
ト１２の移動と同期するように移動し、磁力線を供給さ
れてきた導電性磁性体粒子ペースト１２にあてて、導電
性磁性体粒子を導通部のパターンに局在化して異方導電
性シートを製造する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、電気回路部品、
電気回路基板等の端子と電気的に接続される異方導電性
シートの製造方法及びその製造装置に関するものであ
る。

【０００２】

【背景技術】図６は、異方導電性シートの斜視図であ
り、図７は、図６で示す異方導電性シートをＡ−Ａ線に
沿って切った断面図である。図６、７を用いて、異方導
電性シートについて説明する。異方導電性シート１２０
は、例えばシリコーンゴムからなる絶縁性シート１２２
に、例えばニッケル粒子のような導電性磁性体粒子を積
層したものである導通部１２４を局所的に形成した構造
をしている。異方導電性シートの用途として、例えば次
のような用途がある。電極として半田ボールが用いられ
る半導体製品の電気的特性の検査をする際、検査用の探
針を半田ボールに直接接触させると、半田ボールが欠け
たり、凹んだりして、実装上の問題が生じる場合があ
る。よって、探針の代わりに異方導電性シートを用いて
半田ボールに接触させることにより、電極の破損や変形
を防いでいる。異方導電性シートの従来の製造方法を、
図８を用いて説明する。金型１２６の主表面には、金型
磁極部１３６と非磁性体部１３８とが交互に設けられて
おり、金型１２８の主表面にも同様に、金型磁極部１３
７と非磁性体部１３９とが交互に設けられている。金型
１２６の主表面と金型１２８の主表面とが対向するよう
に、金型１２６、１２８が配置され、そして周囲にスペ
ーサ１３４を配置することにより、成形空間１４０が形
成される。成形空間１４０に、例えば液状のシリコーン
ゴムにニッケル粒子を分散した成形材料を入れる。そし
て金型１２６、１２８を挟むように、平板型の電磁石１
３０、１３２を配置し、成形空間１４０に磁力を加え、
ニッケル粒子１４２が金型磁極部１３６と金型磁極部１
３７との間に集まるように、ニッケル粒子１４２を局在
化させ、その状態で成形材料を加熱硬化させて異方導電
性シートを製造していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の異方導電性シー
トの製造は、バッチ方式であるため、生産性が悪かっ
た。また、平板型の磁石の表面のうち、金型の主表面と
対向する面の面積が、金型の主表面の面積より小さい
と、金型に均等に磁力が作用せず、ニッケル粒子の局在
化に問題を生じる。よって、平板型の磁石の前記面積
は、金型の主表面の面積以上でなければならない。異方
導電性シートの面積が大きくなると、平板型の磁石の前
記面積もこれに対応して大きくせざるおえない。したが
って、面積の大きい異方導電性シートを作製する場合、
磁場強度を保持しつつ前記面積を大きくするので、大型
の磁石が必要となる。大型の磁石は高価であり、異方導
電性シートの製造コストを引き上げていた。さらに、従
来の異方導電性シートの製造には、金型を用いていた。
金型は、磁性体板を切削して磁極を形成したり、また
は、金型基板上にメッキ等で磁極を形成したりすること
により製造されるので、製造コストがかかり、その分だ
け異方導電性シートの製造コストを引き上げていた。

【０００４】この発明は、かかる従来の問題点を解決す
るためになされたものであり、この発明の目的は、大量
生産が可能で、かつ製造コストを下げることができる異
方導電性シートの製造方法及びその製造装置を提供する
ことである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明に従う異方導電
性シートの製造装置は、絶縁性シートと、絶縁性シート
に局所的に形成され、電気的接点となる導通部と、を備
えた異方導電性シートを製造する装置であって、材料移
動手段及び局在化手段を備える。材料移動手段とは、絶
縁性シートとなる硬化可能な流動性絶縁物質及び流動性
絶縁物質中に分散され、導通部となる導電性磁性体粒子
を含む材料を移動させる手段である。局在化手段とは、
導通部のパターンに対応するように発生している磁力線
を、材料の移動と同期して移動させながら、導電性磁性
体粒子を導通部のパターンに局在化する手段である。こ
の発明は、導通部のパターンに対応するように発生して
いる磁力線を、供給されてきた材料の移動と同期して移
動させながら、磁力線を供給されてきた材料にあてて、
導電性磁性体粒子を導通部のパターンに局在化し、続け
て磁力線を新たに供給されてきた材料の移動と同期して
移動させながら、磁力線を新たに供給されてきた材料に
あてて、導電性磁性体粒子を導通部のパターンに局在化
し、この動作を繰り返すことにより、異方導電性シート
を製造する。よって、磁石を大型化することなく、大型
の異方導電性シートを製造することができる。また、材
料の供給を連続的に行うことにより、異方導電性シート
を大量に製造することができる。さらに、金型が不要な
ので、金型のコスト分だけ異方導電性シートの製造コス
トを引き下げることができる。

【０００６】局在化手段としては、磁性体領域が導通部
のパターンに対応するように設けられ、材料の移動と同
期して移動する第１及び第２の局在化手段を含み、第１
の局在化手段と第２の局在化手段とを対向して配置する
ことにより、材料が移動する移動空間を形成し、材料が
移動空間を移動する際、磁性体領域からの磁力により導
電性磁性体粒子を導通部のパターンに局在化する、手段
が好ましい。磁力線を発生させる手段としては、例えば
電磁石や永久磁石がある。

【０００７】この発明に従う異方導電性シートの製造方
法は、絶縁性シートと、絶縁性シートに局所的に形成さ
れ、電気的接点となる導通部と、を備えた異方導電性シ
ートの製造方法であって、絶縁性シートとなる硬化可能
な流動性絶縁物質及び流動性絶縁物質中に分散され、導
通部となる導電性磁性体粒子を含む材料を供給し、かつ
移動させ、導通部のパターンに対応するように発生して
いる磁力線を、材料の移動と同期して移動させながら、
導電性磁性体粒子を導通部のパターンに局在化する、異
方導電性シートの製造方法である。この発明に従う異方
導電性シートの製造装置の場合と同じ理由により、磁石
を大型化することなく、大型の異方導電性シートを製造
することができる。また、材料の供給を連続的に行うこ
とにより、異方導電性シートを大量に製造することがで
きる。さらに、金型が不要なので、金型のコスト分だけ
異方導電性シートの製造コストを引き下げることができ
る。

【０００８】この発明において使用される硬化可能な流
動性絶縁物質としては、弾性を有する絶縁体が好まし
い。かかる弾性を有する絶縁体としては、ゴム状重合体
が好ましい。ゴム状重合体としては、ポリブタジエン、
天然ゴム、ポリイソプレン、ＳＢＲ，ＮＢＲなどの共役
ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレンブタ
ジエンジエンブロック共重合体、スチレンイソプレンブ
ロック共重合体などのブロック共重合体およびこれらの
水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステ
ル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、
エチレンプロピレン共重合体、エチレンプロピレンジエ
ン共重合体などが挙げられる。耐候性の必要な場合は共
役ジエン系ゴム以外のゴム状重合体が好ましく、特に成
形加工性および電気特性の点からシリコーンゴムが好ま
しい。

【０００９】ここでシリコーンゴムについてさらに詳細
に説明する。シリコーンゴムとしては、液状シリコーン
ゴムを架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコ
ーンゴムはその粘度が歪速度10^-1secで10⁵ポアズ以下の
ものが好ましく、縮合型、付加型、ビニル基やヒドロキ
シル基含有型などのいずれであってもよい。具体的には
ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビニルシリコーン生
ゴム、メチルフェニルビニルシリコーン生ゴムなどを挙
げることができる。これらのうちビニル基含有シリコー
ンゴムとしては、通常、ジメチルジクロロシランまたは
ジメチルジアルコキシシランを、ジメチルビニルクロロ
シランまたはジメチルビニルアルコキシシランの存在下
において、加水分解および縮合反応させ、例えば引き続
き溶解−沈澱の繰り返しによる分別を行うことにより得
ることができる。

【００１０】また、ビニル基を両末端に含有するもの
は、オクタメチルシクロテトラシロキサンのような環状
シロキサンを触媒の存在下においてアニオン重合し、末
端停止剤を用いて重合を停止して重合体を得る際に、末
端停止剤として例えばジメチルジビニルシロキサンを使
用し、反応条件（例えば、環状シロキサンの量および末
端停止剤の量）を適宜選ぶことにより、得ることができ
る。ここで、触媒としては、水酸化テトラメチルアンモ
ニウムおよび水酸化ｎ−ブチルホスホニウムなどのアル
カリまたはこれらのシラノレート溶液などが挙げられ、
反応温度としては例えば80〜130 ℃が挙げられる。ま
た、ヒドロキシル基含有シリコーンゴムは、通常、ジメ
チルジクロロシランまたはジメチルジアルコキシシラン
を、ジメチルヒドロクロロシラン、メチルジヒドロクロ
ロシランまたはジメチルヒドロアルコキシシランなどの
ヒドロシラン化合物の存在下において、加水分解および
縮合反応させ、例えば引き続き溶解−沈澱の繰り返しに
よる分別を行うことにより得ることができる。また、
環状シロキサンを触媒の存在下にアニオン重合し、末端
停止剤を用いて重合を停止して重合体を得る際に、反応
条件（例えば、環状シロキサンの量および末端停止剤の
量）を選び、末端停止剤としてジメチルヒドロクロロシ
ラン、メチルジヒドロクロロシランまたはジメチルヒド
ロアルコキシシランを使用することによって得ることが
できる。ここで、触媒としては、水酸化テトラメチルア
ンモニウムおよび水酸化ｎ−ブチルホスホニウムなどの
アルカリまたはこれらのシラノレート溶液などが挙げら
れ、反応温度としては例えば80〜130 ℃が挙げられる。

【００１１】ゴム状重合体の分子量（標準ポリスチレン
換算重量平均分子量）は10,000〜40,000であるものが好
ましい。なお、ゴム状重合体成分の分子量分布指数（標
準ポリスチレン換算重量平均分子量と標準ポリスチレン
換算数平均分子量との比（以下「Ｍw／Ｍn」と記す）
は、得られる異方導電性シートの耐熱性の点から2.0 以
下が好ましい。

【００１２】この発明において使用される導電性磁性体
粒子としては、例えば鉄、コバルト、ニッケルなどの磁
性体の単体導電性金属粒子および磁性体と銅、金、亜
鉛、クロム、銀、アルミニウムなどの公知の金属元素か
らなる合金導電性金属粒子を挙げることができる。これ
らのうち、表面が金などの良導体により被覆されたニッ
ケル、鉄、コバルトなどの単体導電性金属粒子が、磁気
特性や経済性と導電性の面から好ましく、特に好ましく
は表面が金により被覆されたニッケル粒子である。ま
た、硬化可能な流動性絶縁物質としてシリコーンゴムを
用いる場合は、導電性磁性体粒子のシランカップリング
剤の被覆率が５％以上であることが好ましく、さらに好
ましくは７〜１００％、より好ましくは１０〜１００
％、特に好ましくは２０〜１００％である。また、導電
性磁性体粒子の粒子径は1〜1000μｍであることが好ま
しく、さらに好ましくは2〜500μｍ、より好ましくは5
〜300μｍ、特に好ましくは10〜200μｍである。また、
導電性磁性体粒子の粒子径分布（Dw/Dn）は１〜１０で
あることが好ましく、さらに好ましくは1.01〜7、より
好ましくは1.05〜5、特に好ましくは1.1〜4である。ま
た、導電性磁性体粒子の含水率は５％以下が好ましく、
さらに好ましくは３％以下、より好ましくは２％以下、
特に好ましくは１％以下である。このような範囲の粒径
を有する導電性磁性体粒子によれば、得られる異方導電
性シートにおいて、使用時導電性磁性体粒子間に十分な
電気的接触が得られるようになる。

【００１３】この導電性磁性体粒子の形状は特に限定さ
れるものではないが、上記（ａ）成分および（ｂ）成分
またはそれらの混合物に対する分散の容易性から球状あ
るいは星形状であることが好ましい。この発明において
導電性磁性体粒子として特に好ましく用いられる表面が
金により被覆されたニッケル粒子は、例えば無電解メッ
キなどによりニッケル粒子の表面に金メッキを施したも
のである。このように、表面が金被覆を有するニッケル
粒子は接触抵抗がきわめて小さいものとなる。メッキに
より金を被覆する場合の膜厚は10オングストローム以上
であることが好ましく、さらに好ましくは、５０オング
ストローム以上である。また、メッキ量としては粒子の
１重量％以上が好ましく、さらに好ましくは２〜１０重
量％、特に好ましくは３〜７重量％である。

【００１４】この発明において使用されるシリコーンゴ
ムには必要に応じて、通常のシリカ粉、コロイダルシリ
カ、エアロゲルシリカ、アルミナなどの無機充填材を含
有させることができる。このような無機充填材を含有さ
せることにより、未硬化時におけるチクソ性が確保さ
れ、粘度が高くなり、しかも導電性磁性体粒子の分散安
定性が向上すると共に、硬化後におけるエラストマーの
強度が向上する。この無機充填材の使用量は特に限定さ
れるものではないが、あまり多量に使用すると、導電性
磁性体粒子の磁場による配向を十分に達成できなくなる
ので好ましくない。なお、この発明の異方導電性シート
用組成物の粘度は、温度25℃において 10,000〜1,000,0
00 ｃｐの範囲内であることが好ましい。

【００１５】この発明の異方導電性シート用組成物は、
架橋もしくは縮合反応が行われて弾性の大きいエラスト
マーが形成され、しかも特定な導電性磁性体粒子成分が
含有されていることにより異方導電性シートとしての機
能を有するものとなる。この発明の異方導電性シート用
組成物は、硬化させるために硬化触媒を用いることがで
きる。このような硬化触媒としては、有機過酸化物、脂
肪酸アゾ化合物、ヒドロキシル化触媒、放射線などが挙
げられる。有機過酸化物としては、過酸化ベンゾイル、
過酸化ビスジシクロベンゾイル、過酸化ジクミル、過酸
化ジターシャリーブチルなどが挙げられる。また、脂肪
酸アゾ化合物としてはアゾビスイソブチロニトリルなど
が挙げられる。ヒドロシリル化反応の触媒として使用し
得るものとしては、具体的には、塩化白金酸およびその
塩、白金−不飽和基含有シロキサンコンプレックス、ビ
ニルシロキサンと白金とのコンプレックス、白金と１,3
−ジビニルテトラメチルジシロキサンとのコンプレック
ス、トリオルガノホスフィンあるいはホスファイトと白
金とのコンプレックス、アセチルアセトネート白金キレ
ート、環状ジエンと白金とのコンプレックスなどの公知
のものを挙げることができる。硬化触媒の添加方法も特
に限定されるものではないが、保存安定性、成分混合時
の触媒の偏在防止などの観点から、主剤である（ａ）成
分に予め混合しておくことが好ましい。硬化触媒の使用
量は、実際の硬化速度、可使時間とのバランスなどを考
慮して適量使用するのが好ましい。また、硬化速度、可
使時間を制御するために通常用いられる、アミノ基含有
シロキサン、ヒドロキシ基含有シロキサンなどのヒドロ
シリル化反応制御剤を併用することもできる。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１は、この発明に従う異方導電
性シートの製造装置の一実施例を示す模式図である。こ
の発明に従う異方導電性シートの製造装置の一実施例の
動作を説明しながら、この装置の原理構造を説明してい
く。送出しロール１０には、下地シート３８がロール状
に巻かれている。送出しロール１０と後で説明する巻き
取りロール５０が、材料移動手段の一例である。送出し
ロール１０から矢印Ａ方向に送られた下地シート３８
は、まず、導電性磁性体粒子ペースト印刷ロール１６へ
送られる。導電性磁性体粒子ペースト印刷ロール１６と
対向するように下地シート支持ロール１７が配置されて
いる。導電性磁性体粒子ペースト印刷ロール１６と下地
シート支持ロール１７とが矢印方向に回転しながら、か
つ下地シート３８を挟み、下地シート３８を矢印Ａ方向
へ送り出す。

【００１７】導電性磁性体粒子ペースト印刷ロール１６
の上方には、導電性磁性体粒子ペーストフィードロール
１４が配置されている。導電性磁性体粒子ペーストフィ
ードロール１４を矢印方向に回転させ、その円筒面に導
電性磁性体粒子ペースト１２を付着させる。導電性磁性
体粒子ペースト１２は、硬化可能な流動性絶縁物質中に
導電性磁性体粒子を分散した材料の一例である。導電性
磁性体粒子ペーストフィードロール１４に付着した導電
性磁性体粒子ペースト１２は、導電性磁性体粒子ペース
ト印刷ロール１６に転写させる。導電性磁性体粒子ペー
スト印刷ロール１６に転写された導電性磁性体粒子ペー
スト１２は、下地シート３８へ印刷され、一対の回転ド
ラム１８、２０が配置された場所へ送られる。回転ドラ
ム１８と回転ドラム２０とが対向して配置されることに
より、材料が移動する移動空間３０を形成する。回転ド
ラム１８、２０としては、例えば、補強シート２４の上
に磁極シート２２を重ねた構造がある。図３は、この構
造を示す部分断面図である。磁極シート２２は、非磁性
体領域２８中に異方導電性シートの導通部のパターンに
対応するように、磁性体領域２６を形成したものであ
る。磁性体領域２６は、ニッケル、鉄、セラミック、フ
ェライト等の磁性体により構成され、非磁性体領域２８
は、非磁性ＳＵＳ板、ポリイミドフィルム、銅板、真鍮
板等の非磁性体により構成される。補強シート２４を使
用すると、非磁性体領域２８は、レジスト等の強度が大
きくない非磁性材料としてもよい。補強シート２４は、
磁性材料でも非磁性材料でもよく、例えばＳＵＳ板、ポ
リイミドフィルム、銅板、真鍮板等の強度がある材料に
より構成される。図４に示すように、補強シートなし
で、磁極シート２２のみの回転ドラム１８、２０でもよ
い。図４における磁性体領域２６は、ニッケル、鉄、セ
ラミック、フェライト等の磁性体より構成され、非磁性
体領域２８は、非磁性ＳＵＳ板、ポリイミドフィルム、
銅板、真鍮板等の強度があり、かつ非磁性体の材料によ
り構成される。また、図５に示すように、非磁性ＳＵＳ
板、ポリイミドフィルム、銅板、真鍮板等の強度があ
り、かつ非磁性体の材料の厚さ方向の途中まで、ニッケ
ル、鉄、セラミック、フェライト等の磁性体により構成
される磁性体領域２６を、導通部のパターンに対応する
ように形成したものでもよい。磁極シート２２及び補強
シート２４の厚みは、特に制限がないが、薄くすること
により柔軟性が増し、回転ドラムの製作が容易となる。
磁極の幅（直径）に対する磁極の高さ（シートの厚さ）
の比は、０．２以上が好ましく、さらに好ましくは０．
３以上、特に好ましくは０．５以上である。

【００１８】図１を参照して、回転ドラム１８、２０表
面の磁性体領域２６が、導電性磁性体粒子ペースト１２
の矢印Ａ方向への移動と同期移動するように回転ドラム
１８は矢印Ｂ方向に回転し、回転ドラム２０は矢印Ｃ方
向に回転する。回転ドラム１８の内側には、磁極３１が
下を通過する導電性磁性体粒子ペースト１２側を向くよ
うに電磁石３２が配置されている。同様に、回転ドラム
２０の内側にも、磁極３３が上を通過する導電性磁性体
粒子ペースト１２側を向くように電磁石３４が配置され
ている。磁極３１からの磁力により、回転ドラム１８の
磁性体領域２６が磁極として機能し、磁極３３からの磁
力により、回転ドラム２０の磁性体領域２６が磁極とし
て機能する。磁性体領域２６からの磁力により、導電性
磁性体粒子ペースト１２中の導電性磁性体粒子が導通部
のパターンに局在化される。回転ドラム１８及び２０並
びに電磁石３２及び３４が、局在化手段の一例である。
回転ドラム１８及び電磁石３２が、第１の局在化手段の
一例であり、回転ドラム２０及び電磁石３４が、第２の
局在化手段の一例である。電磁石３２、３４の代わり
に、永久磁石等の磁力線を発生するものを用いてもよ
い。

【００１９】この発明の実施の形態では、従来のように
磁極が平板型の電磁石ではなく、磁極が細い電磁石を用
いているので、磁場強度を上げることができ、導電性磁
性体粒子の局在化を良好にすることができる。よって、
導通部の導通抵抗が小さく、かつ導通部間の絶縁性が優
れた異方導電性シートを製造することができる。

【００２０】移動空間３０を通過し、導電性磁性体粒子
が導通部のパターンに局在化された導電性磁性体粒子ペ
ースト１２は、硬化用ヒータ４０、４２が配置された場
所へ送られる。硬化用ヒータ４０は、硬化用ヒータ４２
と対向するように配置され、その空間を下地シート３８
に乗った導電性磁性体粒子ペースト１２が通過してい
く。硬化用ヒータ４０には、小型電磁石４４ａ、４４ｂ
が間隔をあけて設けられている。硬化用ヒータ４２にも
同様に、小型電磁石４６ａ、４６ｂが間隔をあけて設け
られている。局在化手段によって導電性磁性体粒子は導
通部のパターンに局在化させられ、その状態で直ちに硬
化用ヒータ４０及び４２が配置された場所に送られ、流
動性絶縁物質が加熱硬化される。しかし、硬化用ヒータ
４０及び４２で流動性絶縁物質を加熱硬化しても、直ち
に硬化しないので、局在化している導電性磁性体粒子が
再び分散する可能性があり、小型電磁石４４ａ、４４
ｂ、４６ａ及び４６ｂで、加熱硬化の際に再度、導電性
磁性体粒子に磁力を加え、導電性磁性体粒子の分散を防
いでいる。硬化用ヒータ４０、４２で流動性絶縁物質は
加熱硬化され、絶縁性シートとなる。以上により、異方
導電性シート４８が完成し、異方導電性シート４８は、
下地シート３８と共に巻取りロール５０によって巻き取
られる。

【００２１】この発明の実施の形態によれば、導通部の
パターンに対応するように発生している磁性体領域２６
からの磁力を、供給されてきた導電性磁性体粒子ペース
ト１２の移動と同期して移動させながら、磁力線を供給
されてきた導電性磁性体粒子ペースト１２にあてて、導
電性磁性体粒子を導通部のパターンに局在化し、続けて
磁力線を新たに供給されてきた導電性磁性体粒子ペース
ト１２の移動と同期して移動させながら、磁力線を新た
に供給されてきた材料にあてて、導電性磁性体粒子を導
通部のパターンに局在化し、この動作を繰り返すことに
より、異方導電性シートを製造している。よって、磁石
を大型化することなく、大型の異方導電性シートを製造
することができる。また、導電性磁性体粒子ペースト１
２の供給を連続的に行うことにより、異方導電性シート
を大量に製造することができる。さらに、金型が不要な
ので、金型のコスト分だけ異方導電性シートの製造コス
トを引き下げることができる。

【００２２】局在化手段の他の例として、図２に示すベ
ルト５２及び５４がある。ベルト５２及び５４は、図３
に示す磁極シート２２の上に補強シート２４を重ねて、
ベルト状にしたものである。図４又は図５に示す構造の
ものを、ベルト５２及び５４としてもよい。ベルト５２
とベルト５４とが対向して配置されることにより、導電
性磁性体粒子ペースト１２が移動する移動空間５４を形
成する。

【００２３】下地シート３８上の導電性磁性体粒子ペー
スト１２の矢印Ａ方向への移動と同期するように、ベル
ト５２は一対の回転子５６ａ、５６ｂにより、矢印Ｂ方
向に回転し、ベルト５４は一対の回転子５８ａ、５８ｂ
により、矢印Ｃ方向に回転する。ベルト５２の内側に
は、フォーク状に枝分かれした磁極が下を通過する導電
性磁性体粒子ペースト１２側を向くように電磁石６０が
配置されている。同様に、ベルト５４の内側にも、フォ
ーク状に枝分かれした磁極が上を通過する導電性磁性体
粒子ペースト１２側を向くように電磁石６２が配置され
ている。電磁石６０の磁極からの磁力により、ベルト５
２の磁性体領域２６が磁極として機能し、電磁石６２の
磁極からの磁力により、ベルト５４の磁性体領域２６が
磁極として機能する。磁性体領域２６からの磁力によ
り、導電性磁性体粒子ペースト１２中の導電性磁性体粒
子が導通部のパターンに局在化される。図２に示すベル
ト５２及び５４によれば、図１に示す回転ドラム１８、
２０よりも、導電性磁性体粒子ペースト１２に磁力が作
用している時間が長いので、より良好に導電性磁性体粒
子を導通部のパターンに局在化することができる。

【００２４】硬化用ヒータ４０、４２の代わりに、回転
ドラム１８、２０やベルト５２、５４をヒータ等で温
め、導電性磁性体粒子の局在化と流動性絶縁物質の加熱
硬化とを、同時に進行させてもよい。また、導電性磁性
体粒子ペースト印刷ロール１６が配置されたチャンバと
回転ドラム１８、２０やベルト５２、５４が配置された
チャンバとを分け、回転ドラム１８、２０やベルト５
２、５４が配置されたチャンバ中の雰囲気を温め、これ
を硬化用ヒータ４０、４２の代わりにしてもよい。

【００２５】なお、下地シート３８として、例えば、シ
ートをロール状に巻き取ったものがある。この場合、下
地シートの厚みは、１ｍｍ以下、望ましくは０．３ｍｍ
以下、さらに望ましくは０．２ｍｍ以下である。下地シ
ートが薄ければロール状に巻き取り易く、また磁力によ
る局在化の際、磁気を通し易いからである。硬化可能な
流動性絶縁物質として、例えば、熱硬化性材料がある。
この場合、上記したようにヒータ等の加熱手段により、
熱硬化性材料を熱硬化させる。加熱手段を用いる場
合、下地シートとして、フッ化樹脂例えば、テフロン
（（商標名））等の高分子材料を含むシートや非磁性金
属からなる金属箔を含むシートが好ましい。これらは耐
熱性があり、熱硬化性材料を熱硬化させる際、下地シー
トの特性が変質しないからである。

【００２６】

【実施例】直径が約０．５ｍｍφの円柱状導通部を１．
０ｍｍピッチで正方格子状に配列した幅（図１の奥行き
方向）４００ｍｍ、厚さ０．５ｍｍの異方導電性シート
を図１に示す装置で連続的に製造した。

【００２７】まず、図４に示す磁極シート２２を製作し
た。長さ１３００ｍｍ、幅４２０ｍｍ、厚さ０．５ｍｍ
の二枚のアルミニウム板のそれぞれの両面に、絶縁性フ
ィルムをコーティングした。これらのアルミニウム板の
長さ１２５６ｍｍ、幅４００ｍｍの領域に、ピッチ１．
０ｍｍ、直径０．５ｍｍφのスルーホールを正方格子状
に、ドリルで形成した。そして、電解メッキによりニッ
ケルをスルーホールに埋め込んだ。これらのアルミニウ
ム板から絶縁性フィルムを剥離し、これらのアルミニウ
ム板の両面を研磨して、ニッケルからなる磁性体領域面
とアルミニウムからなる非磁性体領域面を揃えることに
より磁極シート２２を完成した。

【００２８】次に、非磁性体からなる直径約４００ｍ
ｍ、幅４３０ｍｍの一対のドラムに電磁石３２、３４を
配置した。一方のドラムと他方のドラムとを対向して配
置することにより、導電性磁性体粒子ペースト１２が移
動する移動空間３０を形成した。一方のドラムの表面と
他方のドラムの表面とが最も接近する位置で、一方のド
ラムの磁性体領域２６と他方のドラムの磁性体領域２６
とが相対するように、ドラムに磁極シート２２を巻き付
けて一対の回転ドラム１８、２０を完成した。そして、
一方の回転ドラムの表面と他方の回転ドラムの表面とが
最も接近する位置における一方の回転ドラムの表面と他
方の回転ドラムの表面との距離が１．０ｍｍになるよう
に、回転ドラム１８、２０の上下位置を調節した。一方
の回転ドラムに、下地シート３８が接触するように、送
り出しロール１０と巻き取りロール５０を調節した。ニ
ッケル粒子が導電性磁性体粒子であり、シリコーンゴム
が硬化可能な流動性絶縁物質である導電性磁性体粒子ペ
ースト１２を下地シート３８に印刷しながら、移動空間
３０に供給した。導電性磁性体粒子ペースト１２が移動
空間３０を移動中に、１Ｔの磁力を加えて、ニッケル粒
子を導通部のパターンに局在化した。導電性磁性体粒子
ペースト１２の移動速度は、約１０ｃｍ／分である。ニ
ッケル粒子を局在化させた後、長さ５００ｍｍで、温度
が１００度に設定され、小型電磁石４４ａ、４４ｂ、４
６ａ、４６ｂが取り付けられた硬化用ヒータ４０、４２
が配置された空間を通過させ、０．２Ｔの磁力を加えつ
つ、ペーストを硬化させて異方導電性シートを完成し、
巻き取りロールで巻き取った。

【００２９】

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に従う異方導電性シートの製造装置の
一実施例の模式図である。

【図２】この発明に用いられる局在化手段の他の例の模
式図である。

【図３】この発明に用いられる磁極シートの一例の部分
断面図である。

【図４】この発明に用いられる磁極シートの他の例の部
分断面図である。

【図５】この発明に用いられる磁極シートのさらに他の
例の部分断面図である。

【図６】異方導電性シートの一例の斜視図である。

【図７】図６をＡ−Ａ線方向に沿って切断した断面図で
ある。

【図８】従来の異方導電性シートの製造装置の模式図で
ある。

【符号の説明】

１０送り出しロール１２導電性磁性体粒子ペースト１８、２０回転ドラム２２磁極シート２６磁性体領域３０、５４移動空間３２、３４、６０、６２電磁石３８下地シート４８異方導電性シート５０巻き取りロール５２、５４ベルト

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】絶縁性シートと、前記絶縁性シートに局
所的に形成され、電気的接点となる導通部と、を備えた
異方導電性シートの製造装置であって、前記絶縁性シートとなる硬化可能な流動性絶縁物質及び
前記流動性絶縁物質中に分散され、前記導通部となる導
電性磁性体粒子を含む材料を移動させる材料移動手段
と、前記導通部のパターンに対応するように発生している磁
力線を、前記材料の移動と同期して移動させながら、前
記導電性磁性体粒子を前記導通部のパターンに局在化す
る局在化手段と、を備えた異方導電性シートの製造装置。
【請求項２】請求項１において、前記局在化手段は、磁性体領域が前記導通部のパターン
に対応するように設けられ、前記材料の移動と同期して
移動する第１及び第２の局在化手段を含み、前記第１の局在化手段と前記第２の局在化手段とを対向
して配置することにより、前記材料が移動する移動空間
を形成し、前記材料が前記移動空間を移動する際、前記磁性体領域
からの磁力により前記導電性磁性体粒子が前記導通部の
パターンに局在化される、異方導電性シートの製造装
置。
【請求項３】絶縁性シートと、前記絶縁性シートに局
所的に形成され、電気的接点となる導通部と、を備えた
異方導電性シートの製造方法であって、前記絶縁性シートとなる硬化可能な流動性絶縁物質及び
前記流動性絶縁物質中に分散され、前記導通部となる導
電性磁性体粒子を含む材料を供給し、かつ移動させ、前
記導通部のパターンに対応するように発生している磁力
線を、前記材料の移動と同期して移動させながら、前記
導電性磁性体粒子を前記導通部のパターンに局在化す
る、異方導電性シートの製造方法。