JPH11245149A - 両頭平面研削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークの形状・肉厚にかかわらずワークの強
制回転駆動を確保して、高い研削精度を確保できる両頭
平面研削装置を提供する。 【解決手段】 キャリア部１０に、ワークＷを収納保持
するワーク保持治具１１と、このワーク保持治具１１を
回転駆動する回転駆動部１２とが配置される。ワーク保
持治具１１は、ワークＷを収納保持するワークポケット
２０を備えるとともに、その外周に従動歯車２１が設け
られてなる円形歯車部材の形態とされ、回転駆動部１２
は、ワーク保持治具１１の従動歯車２１に挟持状に噛合
する一対の駆動歯車３０，３１と、駆動歯車３０，３１
を同期して回転駆動する駆動機構３２とを備えてなる。
これにより、ワーク保持治具１１は、一対の駆動歯車３
０，３１によって、定位置に回転支持されつつ強制的に
回転駆動される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は両頭平面研削装置
に関し、さらに詳細には、両頭平面研削盤を用いて、特
にＯＡ機器のハードディスク用基板や電子部品用ウェハ
などの極薄の工作物の両面を同時研削する場合に適した
研削技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に工作物（以下、ワークと称する）
の平面仕上げ加工法としては、ラップ仕上やポリッシン
グ等の研磨加工（精密加工）が行われているが、これら
の精密加工は、その加工メカニズムから加工能率はあま
り良くなく、迅速な加工が要求されるワークには不向き
な加工法である。このため、迅速な加工を必要とするワ
ークに対しては、専ら平面研削盤による研削加工が一般
に行われている。

【０００３】例えばワークの両面を研削する場合に用い
られる立形両頭平面研削盤においては、上下一対の砥石
車間を通過するキャリア円板に、ワークを収納保持する
ポケットが円周方向へ所定間隔をもって複数設けられて
なり、このキャリア円板が所定の速度で回転駆動するこ
とにより、上記各ポケットに収納保持されたワークが、
高速で回転駆動する上記両砥石車間を順次連続的に通し
送り（スルーフィード）されながら、その両面が研削さ
れるように構成されている。

【０００４】ところで、近時はＯＡ機器等の急速な発展
に伴って、その構成部品であるハードディスク用基板や
電子部品用ウェハなどの極薄でかつ高い研削精度が要求
されるワークについての両面研削の需要が高まってお
り、この要求に応えるべく、例えば特開平３−２２１３
６８号公報および特開平６−３０４８５４号公報に開示
されるような両頭平面研削盤が開発・提案されている。

【０００５】特開平３−２２１３６８号公報に開示され
る両頭平面研削盤は、図６に示すように、対向して設け
られた３組の上下一対の砥石車（図面においては上側砥
石車を省略）ａ，ａ，ａの砥石面間において、ワークＷ
を保持したキャリアｂが回転可能に配置されてなる。

【０００６】このキャリアｂは、その中心から偏心した
位置にワークＷを収納保持するワークポケットｃが設け
られるとともに、その外周縁に外歯車ｄを備えてなり、
この外歯車ｄが、各組の上下砥石車ａ，ａ，ａ間に配さ
れた３つのガイド歯車ｅ，ｅ，ｅにより噛合支持されて
いる。

【０００７】そして、キャリアｂが、３つのガイド歯車
ｅ，ｅ，ｅを介して回転駆動されることにより、このキ
ャリアｂに偏心して保持されたワークＷは、自転しなが
ら公転して、３組の上下砥石車ａ，ａ，ａによりワーク
Ｗの両面が研削加工される構成とされている。

【０００８】一方、特開平６−３０４８５４号公報に開
示される両頭平面研削盤は、本出願人が先に提案したも
のであって、図７に示すように、対向して設けられた上
下一対の砥石車（図面においては上側砥石車を省略）ａ
の砥石面間に、ワークＷを保持したキャリアｆが通過ま
たは挿入可能に配置されてなる。

【０００９】上記キャリアｆは、ワークＷを収納保持す
るワーク保持治具ｇを備え、このワーク保持治具ｇは、
キャリアｆの回転支持部ｈに回転可能に支持されるとと
もに、その外周面が摩擦車ｉ，ｉの外周摩擦面に当接係
合とされている。

【００１０】そして、キャリアｆの回動により、ワーク
保持治具ｇが回転駆動する上下両砥石車ａ間を通し送り
されながら、ワークＷの両面に上下両砥石車ａの砥石面
による平面研削が施され、この際、ワーク研削時に生じ
る研削抵抗力により、ワーク保持治具ｇの外周面が、摩
擦車ｉ，ｉの外周摩擦面に押し付けられて、この摩擦車
ｉ，ｉとワークＷ間の摩擦抵抗力によりワークＷが強制
回転される構成とされている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
従来の両頭平面研削盤においては、それぞれ以下のよう
な不具合ないしは問題があり、さらなる改良が要望され
ていた。

【００１２】(1) 前者の図６に示される両頭平面研削盤
にあっては、装置全体の構造が複雑かつ大型で、装置コ
ストの上昇を招いていた。また、キャリアｂおよびガイ
ド歯車ｅ，ｅ，ｅと、３組の上下砥石車ａ，ａ，ａとの
配置関係も複雑であるため、キャリアｂのワークポケッ
トｃに対するワークＷの搬入・搬出が困難であるととも
に、キャリアｂのオシレート運動等も不可能な構成であ
り、研削精度の向上にも限界があった。

【００１３】(2) 後者の図７に示される両頭平面研削盤
にあっては、キャリアｆの回転支持部ｈに回転支持され
たワーク保持治具ｇが、これに摩擦係合する一対の摩擦
車ｉ，ｉにより強制回転される構成であるところ、ワー
ク保持治具ｇと回転支持部ｈとの間に生じる摩擦力の作
用によって、摩擦車ｉ，ｉとワーク保持治具ｇが相対的
にスリップしてしまう結果、ワークＷの安定した強制回
転が得られないという不具合が生じる可能性もあり、や
はり研削精度の向上に限界があった。また、上記摩擦車
ｉ，ｉの駆動機構等の構成が複雑で、構成部品点数も多
くて、装置コストの低減下にも限界があった。

【００１４】本発明はかかる従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは、両頭平面
研削において、ワークの形状および肉厚のいかんにかか
わらずワークの強制的な回転駆動を確保することによ
り、高い研削精度を確保することができる両頭平面研削
装置を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の両頭平面研削装置は、上下に対向して設け
られた一対の砥石車の砥石面間に、ワークを保持したキ
ャリア手段が水平方向へ通過または挿入可能とされた立
軸両頭平面研削装置であって、上記キャリア手段に、ワ
ークを収納保持するワーク保持治具と、このワーク保持
治具を回転駆動する回転駆動部とが配置され、上記ワー
ク保持治具は、ワークを収納保持するワークポケットを
備えるとともに、その外周に従動歯車が設けられてなる
円形歯車部材の形態とされ、上記回転駆動部は、上記ワ
ーク保持治具の従動歯車に挟持状に噛合する一対の駆動
歯車と、これら駆動歯車を同期して回転駆動する駆動機
構とを備えてなることを特徴とする。

【００１６】好適な実施態様として、上記ワーク保持治
具の回転中心と上記一対の駆動歯車の回転中心とを結ん
だ直線のなす角度は、上記ワーク保持治具が上記両駆動
歯車により水平方向の定位置に回転可能に位置決め保持
される大きさに設定されており、より具体的には、上記
角度は、１８０°よりも小さく設定されて、上記ワーク
保持治具がワーク研削位置にあるとき、上記一対の駆動
歯車が上記砥石車の外側位置に位置するように構成され
る。

【００１７】本発明の両頭平面研削装置にあっては、ワ
ーク保持治具は、キャリア手段の水平方向への移動によ
り、回転駆動する上下一対の砥石車の砥石面間を通過ま
たは挿入されるとともに、回転駆動部により回転駆動さ
れ、このワーク保持治具に収納保持されたワークは、強
制的に回転駆動されながら、その両面に上下両砥石車の
砥石面による平面研削を施される。

【００１８】この場合、上記ワーク保持治具は、その外
周に従動歯車が設けられてなる円形歯車部材の形態とさ
れるとともに、上記回転駆動部は、上記ワーク保持治具
の従動歯車に噛合する駆動歯車を備えてなり、この駆動
歯車により、ワーク保持治具が強制的に回転駆動される
ように構成されている。したがって、駆動歯車の回転力
は、上記従動歯車との噛合連結によりワーク保持治具に
確実に伝達されて、ワーク保持治具さらにはここに収納
保持されるワークが所定の回転速度をもって安定して強
制回転されることとなり、高い研削精度が確保される。

【００１９】また、一対の駆動歯車がワーク保持治具の
従動歯車に挟持状に噛合しつつ同期回転して、ワーク保
持治具を、定位置に回転支持しつつ強制的に回転駆動す
る構成とされていることにより、ワークを回転駆動する
駆動系が砥石車外部に配置することが可能になり、肉厚
のいかんにかかわらず、極薄のワークから一般的なワー
クまで強制回転方式を用いた両頭平面研削が実現する。
さらに、ワーク保持治具の回転支持構造が簡素化され
て、構成部品点数も少なく、装置全体の構造の簡素化、
小型化も実現する。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る実施例を図面
に基づいて説明する。

【００２１】実施形態１ 本発明に係る立軸両頭平面研削盤を図１および図２に示
し、この研削盤は、具体的には、極薄の異形ワークつま
り非円形ワークＷの両面をオシレートインフィード方式
で同時研削するもので、一対の砥石車１，２が上下に独
立して配されるとともに、これら両砥石車１，２の外側
位置には、ワークＷを両砥石車１，２間に搬入・排出さ
せるためのワーク支持装置３が配置されている。

【００２２】上記両砥石車１，２はいわゆるカップ型砥
石車であって、その砥石面１ａ，２ａがそれぞれ平坦な
平面研削面とされるとともに、相互に対向して平行する
ように配されている。また、両砥石車１，２の回転主軸
４，５は、それぞれ図示しない歯車機構等の動力伝達機
構を介して駆動源に連係されている。上記両砥石面１
ａ，２ａの間隔寸法Ｈ（図２参照）は、ワークＷの最終
仕上げ厚さ寸法に設定されるとともに、上記回転主軸
４，５を軸方向（上下方向）へ移動させることにより、
適宜調整可能とされている。

【００２３】ワーク支持装置３は、キャリア部１０、ワ
ーク保持治具１１および回転駆動部１２などを主要部と
して備える。

【００２４】キャリア部１０は、ワーク保持治具１１を
上記砥石車１，２間に挿入・退避させるとともに、これ
ら砥石車１，２間においてオシレート動作させるキャリ
ア手段として機能するもので、揺動軸１５により所定の
角度範囲内で水平方向へ揺動可能とされている。

【００２５】具体的には、キャリア部１０は、そのキャ
リア本体１６の揺動軸１５が図示しない歯車機構等の動
力伝達機構を介して駆動源に連係されて、水平方向へ揺
動可能とされている。図示の実施形態においては、上記
キャリア本体１６は、ワーク保持治具１１がワーク交換
位置（図１の二点鎖線で示される位置）とワーク研削位
置（図１の実線で示される位置）との間で移動可能なよ
うに、水平揺動する構成とされている。

【００２６】また、上記キャリア本体１６には、上記ワ
ーク保持治具１１と回転駆動部１２が装着されるととも
に、上記揺動軸１５は図２に示すように中空の円筒軸と
されて、この内部に後述する回転駆動部１２の駆動軸４
５が同心状に設けられている。

【００２７】ワーク保持治具１１はワークＷを収納保持
するとともに、上記回転駆動部１２により強制回転され
るもので、具体的には、図３および図４に示すように、
その中央位置にワークＷを収納保持するワークポケット
２０を備えるとともに、その外周に従動歯車２１が設け
られてなる薄肉の円形歯車部材の形態とされ、この従動
歯車２１を介して上記回転駆動部１２に駆動連結されて
いる。

【００２８】図示の実施形態においては、上記ワーク保
持治具１１のワークポケット２０は、ワークＷの外形に
対応した矩形輪郭を有するとともに、その内面寸法がワ
ークＷの外面輪郭よりも若干大きく設定されている。ま
た、ワーク保持治具１１は、キャリア本体１６から砥石
車１，２側方向へ水平に突出する配置構成とされ、キャ
リア本体１６の揺動により、図１において、砥石車１，
２の外側のワーク交換位置（二点鎖線位置）と、砥石車
１，２間のワーク研削位置（実線位置）との間で旋回動
作されるとともに、このワーク研削位置でオシレート動
作される。

【００２９】この目的のため、ワーク保持治具１１は機
械的強度および耐磨耗性に優れる材料から形成されると
ともに、その厚さ寸法は、両砥石面１ａ，２ａの間隔寸
法ＨつまりワークＷの最終仕上げ厚さ寸法よりも薄く設
定されている（図４参照。

【００３０】またこれに関連して、キャリア本体１６の
下側には、固定側に設けられた定盤２５が設けられてお
り、この平坦な上面２５ａがワーク保持治具１１の下面
を摺動可能に支持している。定盤２５の上面２５ａは、
図４に示すように、下側砥石車２の砥石面２ａとほぼ同
一高さに設定されており、ワーク保持治具１１の補強部
として機能するとともに、このワーク保持治具１１およ
びワークポケット２０に保持されたワークＷの案内面と
して機能する。

【００３１】回転駆動部１２はワーク保持治具１１さら
にはワークＷを一体で強制的に回転駆動するもので、上
記キャリア本体１６上に装着されるとともに、一対の駆
動歯車３０，３１と駆動機構３２を主要部として備えて
なる。

【００３２】一対の駆動歯車３０，３１は、キャリア本
体１６に回転支軸３５，３６を介して回転可能に軸支さ
れるとともに、上記ワーク保持治具１１の従動歯車２１
に挟持状に噛合するように配置されて、これにより、ワ
ーク保持治具１１を、定位置に回転支持しつつ強制的に
回転駆動するように構成されている。

【００３３】換言すれば、図４において、上記ワーク保
持治具１１の回転中心Ｏ₁₁と両駆動歯車３０，３１の回
転中心Ｏ₃₀，Ｏ₃₁とを結ぶ直線のなす角度（ワーク保持
治具１１の中心角）θは、上記ワーク保持治具１１が両
駆動歯車３０，３１により水平方向の定位置（図３の位
置）に回転可能に位置決め保持される大きさに設定され
ている。図示の実施形態においては、この中心角θは、
１８０°よりも小さく設定されて、図１に示すように、
上記ワーク保持治具１１がワーク研削位置（実線位置）
にあるとき、上記一対の駆動歯車３０，３１が上記砥石
車１，２の外側位置において、砥石車１，２の外周縁に
近接して位置するように構成されている。

【００３４】駆動機構３２は、駆動歯車３０，３１を同
期して回転駆動するもので、具体的には、少なくとも駆
動歯車３０，３１とそれぞれ同軸状にかつ一体的に設け
られた一対の従動スプロケット４０ａ，４０ｂと、これ
ら両従動スプロケット４０ａ，４０ｂと駆動源を駆動連
結する伝動チェーン４１とを備えてなるチェーン伝導装
置の形態とされている。

【００３５】図示の実施形態においては、図１および図
２に示すように、５つのスプロケット４０ａ〜４０ｅが
用いられており、これらプロケットのうち、上記従動ス
プロケット４０ａ，４０ｂは、上記駆動歯車３０，３１
の回転支軸３５，３６の上端にそれぞれ取付け固定さ
れ、駆動スプロケット４０ｃは、前記駆動軸４５の上端
に一体的に取付け固定され、および、残りの中間スプロ
ケット４０ｄ，４０ｅは、キャリア本体１６に回転可能
に軸支された回転支軸４２，４３の上端に取付け固定さ
れている。そして、これら５つのスプロケット４０ａ〜
４０ｅに、上記伝動チェーン４１が巻き架けられてい
る。

【００３６】これに関連して、上記中間スプロケット４
０ｅが取り付けられた回転支軸４３は、図１に示すよう
に、位置調整部４４を介してキャリア本体１６に装着さ
れている。これにより、位置調整部４４を調整操作する
ことにより、回転支軸４２のキャリア本体１６上での位
置が調整可能とされて、伝動チェーン４１の張力を調整
することができる。

【００３７】なお、図示の実施形態においては、上記位
置調整部４４は、調整基板４４ａが長穴４４ｂ，４４ｂ
の長手方向へ移動可能とされるとともに、締付ネジ４４
ｃ，４４ｃにより締付け固定される構造とされている
が、他の従来周知の調整機構も採用可能である。

【００３８】上記駆動軸４５は、前述したように、キャ
リア本体１６の揺動軸１５の内部に同心状に配されると
ともに、図示しない歯車機構等の動力伝達機構を介して
駆動源に連係されて、垂直軸まわりに回転可能とされて
いる。これにより、上記駆動軸４５が回転駆動される
と、伝動チェーン４１とスプロケット４０ａ〜４０ｅを
介して、二つの駆動歯車３０，３１が同期して回転駆動
されることとなる。

【００３９】しかして、以上のように構成された両頭平
面研削盤において、ワーク保持治具１１のワーク交換位
置（第１図二点鎖線位置）で、ワークＷがワークポケッ
ト２０内に自動でもしくは手作業で収納保持されると、
回転駆動部１２により、ワークＷを収納保持したワーク
保持治具１１が一定の回転速度をもって強制的に回転駆
動されながら、キャリア部１０のキャリア本体１６が矢
符Ｘ方向へ揺動する。これにより、ワークＷは、ワーク
保持治具１１と共に、高速で回転駆動する上下両砥石車
１，２間位置つまりワーク研削位置（第１図二点鎖線位
置）まで旋回されるとともに、この位置でオシレートさ
れて、ワークＷの両面に上記両砥石車１，２の砥石面１
ａ，２ａによる平面研削が施される。

【００４０】この際、ワーク保持治具１１は、その外周
に従動歯車２１が設けられてなる円形歯車部材の形態と
されるとともに、上記回転駆動部１２は、上記ワーク保
持治具１１の従動歯車２１に噛合する駆動歯車３０，３
１を備えてなり、この駆動歯車３０，３１により、ワー
ク保持治具１１が強制的に回転駆動されるように構成さ
れている。したがって、駆動歯車３０，３１の回転力
は、上記従動歯車２１との噛合連結によりワーク保持治
具１１に確実に伝達されて、ワーク保持治具１１さらに
はここに収納保持されるワークＷが、所定の回転速度を
もって安定して強制回転されることとなり、高い研削精
度が確保される。

【００４１】以上のようにして一つのワークＷの研削が
完了すると、キャリア本体１６が矢符Ｙ方向へ揺動し
て、ワーク保持治具１１が上記ワーク交換位置まで旋回
される。そして、ここでワークポケット２０内のワーク
Ｗに代えて後続のワークＷが新たに収納保持されると、
以後同様の動作が再び繰り返される。

【００４２】以上のような構成において、一対の駆動歯
車３０，３１が、ワーク保持治具１１の従動歯車２１に
挟持状に噛合しつつ同期回転して、ワーク保持治具１１
を、定位置に回転支持しつつ強制的に回転駆動する構成
とされていると、ワークＷを回転駆動する駆動系つまり
回転駆動部１２を、砥石車１，２の外部に配置すること
が可能になる。これにより、肉厚のいかんにかかわら
ず、極薄のワークから一般的なワークまで強制回転方式
を用いた両頭平面研削が実現し得る。

【００４３】また、一対の駆動歯車３０，３１がワーク
保持治具１１の従動歯車２１に挟持状に噛合するように
配置されていることにより、ワーク保持治具１１が他の
特別なガイド手段や支持手段を要することなく、一対の
駆動歯車３０，３１のみによる回転支持状態で水平方向
定位置に位置決め保持される。

【００４４】この結果、ワーク保持治具１１の回転支持
構造が簡素化されて、ワーク保持具１１をワーク交換位
置（図１の二点鎖線位置）で上方へ持ち上げるだけで取
り外すことができ、ワークＷの形状寸法の変更に伴うワ
ーク保持具１１の交換作業や、寿命によるワーク保持具
１１の交換を迅速かつ確実に行うことができる。

【００４５】さらに、構成部品点数も少なく、装置全体
の構造の簡素化や小型化、さらには製品コストの低減下
を図れる。

【００４６】実施形態２ 本例は図５に示されており、ワーク支持装置３のワーク
保持治具１１と回転駆動部１２の構成が若干改変されて
いる。

【００４７】すなわち、上記ワーク保持治具１１の従動
歯車１２１は、薄肉円板１２２の外周に巻付け固定され
た従動チェーンで形成されるとともに、回転駆動部１２
の駆動歯車１３０，１３１が、上記従動チェーン１２１
に噛合する駆動スプロケットで構成されている。

【００４８】ワーク保持治具１１の薄肉円板１２２は、
実施形態１と同様、機械的強度および耐磨耗性に優れる
材料から形成されるとともに、薄肉円板１２２の外周に
対する従動チェーン１２１の一体固定は、溶接等の適宜
の手段により行われる。また、ワーク保持治具１１の最
大厚さ寸法つまり従動チェーン１２１の幅寸法も、実施
形態１と同様、両砥石面１ａ，２ａの間隔寸法Ｈつまり
ワークＷの最終仕上げ厚さ寸法よりも小さくなるように
設定されている。

【００４９】しかして、このような構成とすることによ
り、ワーク支持装置３における消耗部品であるワーク保
持治具１１が安価に構成できるという利点がある。その
他の構成および作用は実施例１と同様である。

【００５０】なお、上記実施形態１および２は、あくま
でも本発明の好適な実施態様を示すものであって、本発
明はこれに限定されることなく、その範囲内において種
々設計変更可能である。

【００５１】例えば、図示の実施形態においては、極薄
の矩形状ワークＷを研削加工しているが、ワーク保持治
具１１のワークポケット２０の形状を適宜変更すること
により、図示例以外の種々の異形ワークＷについても平
面研削を施すことができ、また、本発明は、図示の実施
形態のように、ＯＡ機器のハードディスク用基板や電子
部品用ウェハなどの極薄のワークＷの両面を高精度で研
削する場合に最適であるが、もちろん、従来の一般的な
ワークの研削にも適用可能である。

【００５２】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
立軸両頭平面研削において、キャリア手段に、ワークを
収納保持するワーク保持治具と、このワーク保持治具を
回転駆動する回転駆動部とが配置され、上記ワーク保持
治具は、ワークを収納保持するワークポケットを備える
とともに、その外周に従動歯車が設けられてなる円形歯
車部材の形態とされ、上記回転駆動部は、上記ワーク保
持治具の従動歯車に挟持状に噛合する一対の駆動歯車
と、これら駆動歯車を同期して回転駆動する駆動機構と
を備えてなり、上記一対の駆動歯車により、上記ワーク
保持治具が、定位置に回転支持されつつ強制的に回転駆
動されるように構成されているから、以下に述べるよう
な優れた効果が得られ、ワークの形状および肉厚のいか
んにかかわらずワークの強制的な回転駆動を確保するこ
とにより、高い研削精度を確保することができる。

【００５３】(1) 上記ワーク保持治具は、その外周に従
動歯車が設けられてなる円形歯車部材の形態とされると
ともに、上記回転駆動部は、上記ワーク保持治具の従動
歯車に噛合する駆動歯車を備えてなり、この駆動歯車に
より、ワーク保持治具が強制的に回転駆動されるように
構成されているから、駆動歯車の回転力は、上記従動歯
車との噛合連結によりワーク保持治具に確実に伝達され
て、ワーク保持治具さらにはここに収納保持されるワー
クが所定の回転速度をもって安定して強制回転されるこ
ととなり、高い研削精度が確保される。

【００５４】(2) 一対の駆動歯車がワーク保持治具の従
動歯車に挟持状に噛合しつつ同期回転して、ワーク保持
治具を、定位置に回転支持しつつ強制的に回転駆動する
構成とされていることにより、ワークを回転駆動する駆
動系が砥石車外部に配置することが可能になり、肉厚の
いかんにかかわらず、極薄のワーク（例えば、０．１ｍ
ｍ〜１．０ｍｍ程度のもの）から一般的な厚さのワーク
（例えば厚さが５ｍｍ〜１０ｍｍ程度のもの）まで、強
制回転方式を用いた両頭平面研削を実現することができ
る。特に、ＯＡ機器のハードディスク用基板や電子部品
用ウェハなどの極薄のワークの両面の高精度研削に顕著
な効果（とりわけ平面度向上に大きく貢献）が発揮され
る。

【００５５】(3) 一対の駆動歯車がワーク保持治具の従
動歯車に挟持状に噛合するように配置されていることに
より、ワーク保持治具が他の特別なガイド手段や支持手
段を要することなく、一対の駆動歯車のみによる回転支
持状態で水平方向定位置に位置決め保持される。この結
果、ワーク保持治具の回転支持構造が簡素化されて、ワ
ーク保持具の交換を迅速かつ確実に行うことができる。

【００５６】(4) ワーク保持治具の回転支持構造が簡素
化されて、構成部品点数も少なく、装置全体の構造の簡
素化、小型化も実現する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る実施形態１である立軸両頭平面研
削盤の上側砥石車を省略して示す概略平面図である。

【図２】同研削盤のキャリア部の主要部を図１のII-II
線に沿った方向から見た状態を示す断面図である。

【図３】同研削盤における回転駆動部とワーク保持治具
との噛合部の構成を拡大して示す平面図である。

【図４】同じく同研削盤における回転駆動部とワーク保
持治具との噛合部の構成を拡大して示す側面断面図であ
る。

【図５】本発明に係る実施形態２である両頭平面研削盤
を示す図３に対応した拡大平面図である。

【図６】従来の両頭平面研削盤の一例を示す概略平面図
である。

【図７】従来の両頭平面研削盤の他の一例を示す概略平
面図である。

【符合の説明】

１，２ 砥石車 １ａ，２ａ 砥石車の砥石面 ３ ワーク支持装置 １０ キャリア部（キャリア手段） １１ ワーク保持治具 １２ 回転駆動部 １６ キャリア本体 ２０ ワークポケット ２１ ワーク保持治具の従動歯車 ３０，３１ 駆動歯車 ３２ 駆動機構 ４０ａ〜４０ｅ スプロケット ４１ 伝動チェーン ４５ 回転駆動部の駆動軸 １１１ ワーク保持治具 １２１ ワーク保持治具の従動歯車 １２２ 薄肉円板 １２３ 従動チェーン（チェーン） １３０，１３１ 駆動スプロケット（駆動歯車） Ｗ ワーク Ｏ₁₁ ワーク保持治具の回転中心 Ｏ₃₀，Ｏ₃₁ 駆動歯車の回転中心 θ 中心角

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【手続補正書】

【提出日】平成１１年３月４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の両頭平面研削装置は、上下に対向して設け
られた一対の砥石車の砥石面間に、ワークを保持したキ
ャリア手段が通過または挿入可能とされた両頭平面研削
装置であって、上記キャリア手段に、ワークを収納保持
するワーク保持治具と、このワーク保持治具を回転駆動
する回転駆動部とが配置され、上記ワーク保持治具は、
ワークを収納保持するワークポケットを備えるととも
に、その外周に従動歯車が設けられてなる円形歯車部材
の形態とされ、上記回転駆動部は、上記砥石車の外側位
置に配置されて、上記ワーク保持治具の従動歯車に挟持
状に噛合する一対の駆動歯車と、これら駆動歯車を同期
して回転駆動する駆動機構とを備えてなり、これによ
り、上記ワーク保持治具が上記一対の駆動歯車のみによ
る回転支持状態で位置決め保持される構成とされている
ことを特徴とする。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１９】また、一対の駆動歯車がワーク保持治具の
従動歯車に挟持状に噛合しつつ同期回転して、ワーク保
持治具を、定位置に回転支持しつつ強制的に回転駆動す
る構成とされていることにより、ワークを回転駆動する
駆動系が砥石車外部に配置することが可能になり、肉厚
のいかんにかかわらず、極薄のワークから一般的なワー
クまで強制回転方式を用いた両頭平面研削が実現する。
さらに、一対の駆動歯車がワーク保持治具の従動歯車に
挟持状に噛合するように配置されて、ワーク保持治具
が、これら一対の駆動歯車のみによる回転支持状態で位
置決め保持される構造とされることにより、ワーク保持
治具の回転支持構造が簡素化されて、構成部品点数も少
なく、装置全体の構造の簡素化、小型化も実現する。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５２】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
立軸両頭平面研削において、キャリア手段に、ワークを
収納保持するワーク保持治具と、このワーク保持治具を
回転駆動する回転駆動部とが配置され、上記ワーク保持
治具は、ワークを収納保持するワークポケットを備える
とともに、その外周に従動歯車が設けられてなる円形歯
車部材の形態とされ、上記回転駆動部は、上記砥石車の
外側位置に配置されて、上記ワーク保持治具の従動歯車
に挟持状に噛合する一対の駆動歯車と、これら駆動歯車
を同期して回転駆動する駆動機構とを備えてなり、これ
により、上記一対の駆動歯車のみにより、上記ワーク保
持治具が、定位置に回転支持されつつ強制的に回転駆動
されるように構成されているから、以下に述べるような
優れた効果が得られ、ワークの形状および肉厚のいかん
にかかわらずワークの強制的な回転駆動を確保すること
により、高い研削精度を確保することができる。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５６】(4) また、ワーク保持治具の回転支持構造
が上記のごとく簡素化されることにより、構成部品点数
も少なく、装置全体の構造の簡素化、小型化も実現す
る。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下に対向して設けられた一対の砥石車
   の砥石面間に、工作物を保持したキャリア手段が通過ま
   たは挿入可能とされた両頭平面研削装置であって、 前記キャリア手段に、工作物を収納保持するワーク保持
   治具と、このワーク保持治具を回転駆動する回転駆動部
   とが配置され、 前記ワーク保持治具は、工作物を収納保持するワークポ
   ケットを備えるとともに、その外周に従動歯車が設けら
   れてなる円形歯車部材の形態とされ、 前記回転駆動部は、前記ワーク保持治具の従動歯車に挟
   持状に噛合する一対の駆動歯車と、これら駆動歯車を同
   期して回転駆動する駆動機構とを備えてなることを特徴
   とする両頭平面研削装置。
2. 【請求項２】 前記ワーク保持治具を回転駆動する回転
   駆動部は、前記砥石車の外側位置に配置されていること
   を特徴とする請求項１に記載の両頭平面研削装置。
3. 【請求項３】 前記ワーク保持治具の回転中心と前記一
   対の駆動歯車の回転中心とを結ぶ直線のなす角度は、１
   ８０°よりも小さく設定されて、前記ワーク保持治具が
   ワーク研削位置にあるとき、前記一対の駆動歯車が前記
   砥石車の外側位置に位置するように構成されていること
   を特徴とする請求項１または２に記載の両頭平面研削装
   置。
4. 【請求項４】 前記回転駆動部の駆動機構は、前記一対
   の駆動歯車とそれぞれ同軸状にかつ一体的に設けられた
   スプロケットと、これら両スプロケットと駆動源とを駆
   動連結する伝動チェーンとを備えてなるチェーン伝導装
   置の形態とされていることを特徴とする請求項１から３
   のいずれか一つに記載の両頭平面研削装置。
5. 【請求項５】 前記キャリア手段は、前記ワーク保持治
   具をワーク交換位置とワーク研削位置との間で移動可能
   に水平揺動する構成とされていることを特徴とする請求
   項１から４のいずれか一つに記載の両頭平面研削装置。
6. 【請求項６】 前記ワーク保持治具の従動歯車は、薄肉
   円板の外周に巻付け固定されたチェーンにより形成され
   るとともに、前記回転駆動部の駆動歯車は、前記チェー
   ンに噛合するスプロケットであることを特徴とする請求
   項１から５のいずれか一つに記載の両頭平面研削装置。