JPH11242864A

JPH11242864A - ヘッドアクチュエータ機構とその製造法

Info

Publication number: JPH11242864A
Application number: JP36778698A
Authority: JP
Inventors: Katsumi Imada; 勝巳今田; Tetsuo Ootsuchi; 哲郎大土; Katsunori Moritoki; 克典守時; Osamu Kawasaki; 修川▲さき▼
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1997-12-25
Filing date: 1998-12-24
Publication date: 1999-09-07

Abstract

(57)【要約】【課題】書き込み素子と読みとり素子を個別に構成し
た磁気ヘッドをロータリアクチュエータにより駆動する
と、書き込み時と読みとり時でトラックずれが生じ、読
みとり出力が低下するという問題がある。【解決手段】先端にヘッド３を取り付けたサスペンシ
ョン２と、支持アーム１とを、１対の圧電素子６で結合
し、同時に前記圧電素子６に異なる方向の伸縮振動を励
振する事により、前記サスペンション２を支持アーム１
に対して偏向させて、ヘッドを移動させ、微小位置調整
を行う。これによって、トラックずれを起こさず、記録
再生ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、情報記録媒体とし
てディスクを用いるハードディスク装置等のディスク装
置に用いられるヘッドアクチュエータ機構に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】ハードディスク装置やフロッピーディス
ク装置などの磁気ディスク装置においては、従来より情
報の書き込みと読み取りに同一の磁気ヘッドを共用して
いる。これに対し、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）を用
いた、いわゆる磁気抵抗型磁気ヘッドをはじめとする高
感度の読み取り専用ヘッドが磁気ディスク装置にも注目
され始めている。こうした読み取り専用ヘッドを用いる
場合、当然のことながら書き込み用の磁気ヘッドを別に
用意しなければならない。

【０００３】図４０は、このような磁気ヘッドの一例で
あり、書き込み素子と読み取り素子を薄膜構造で一体化
した磁気ヘッドの例を示す。これはｐｉｇｇｙｂａｃｋ
と呼ばれる方式のヘッドであり、ヘッドスライダ２０上
に絶縁層２１を介して読み取り素子としてのＭＲ素子２
２およびこれに接続されるリード導体２３を積層し、そ
の上に絶縁層２４を介して、下部コア２５と上部コア２
６間に書き込み用ギャップ２７およびコイル導体２８を
設けてなる書き込み素子を積層して構成される。この磁
気ヘッドが図のように磁気ディスク２９に対向して配置
される。

【０００４】一方、磁気ディスク装置における磁気ヘッ
ドの駆動方式として、最近ではリニアモータ方式に代わ
って、小型で高速に磁気ヘッドを移動できるロータリア
クチュエータ方式が多く採用されている。これは図４１
に示すように、先端部に磁気ヘッド３０を取り付けたア
ーム３１を回転軸３２を支点にして回転運動させること
により、磁気ヘッド３０を磁気ディスク２９の内外周間
で半径方向に移動させてシークを行う方式である。この
方式では、各トラックにおいてトラック方向と磁気ヘッ
ド３０の相対角度が一定とならない。換言すれば、磁気
ヘッド３０のアジマス角（磁気ヘッド３０のギャップ方
向とトラック幅方向のなす角度）が各トラックで異な
る。磁気ヘッド３０が書き込み／読み取り兼用ヘッドで
ある場合は、このように各トラックでトラック方向と磁
気ヘッドの相対が異なっても、特に問題は生じない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、磁気ヘッド３
０が図４０に示したような書込み素子と読み取り素子を
個別に構成して同一スライダ上に平行に配置したもので
ある場合は、各トラックで相対角度が異なると、図４２
に示すように積層された書き込み素子４０と読み取り素
子４１のトレース位置が常には同じにならなくなってし
まう。図４２は、トラック方向と磁気ヘッドの相対角度
の違いによる書き込み素子４０および読み取り素子４１
のトレース位置の変化を示している。図４２（ａ）に示
すように、トラック方向と書き込み素子４０および読み
取り素子４１の相対角度が９０°の状態（アジマス角が
０°の状態に相当する）では、書き込み素子４０と読み
取り素子４１は同一トラック４２の同一位置（矢印４３
で示す位置）をトレースする。これに対し、トラック方
向と書き込み素子４０および読み取り素子４１の相対角
度が９０°からずれた場合、例えば図４２（ｂ）に示す
ように、図４２（ａ）の状態から外周側に寄ったトラッ
ク４４上に位置した場合には、書き込み素子４０は矢印
４５の位置をトレースし、読み取り素子４１はこれより
内周側に少しずれた矢印４６の位置をトレースすること
になり、書き込み時と読み取り時とでトラック４４をト
レースする際の位置ずれ（これをトラックずれという）
が生じる。この結果、トラック幅に対するトラックずれ
の割合だけ、読み取り素子４１からの読み取り出力が低
下する。このトラックずれによる読み取り出力の低下
は、トラック密度の高密度化のためにトラック幅を狭く
するに従って顕著となり、エラーレートの増大などの問
題を引き起こす。

【０００６】上述したように、従来では書き込み素子と
読み取り素子を個別に構成した磁気ヘッドをロータリア
クチュエータにより駆動すると、書き込み時と読み取り
時でトラックずれが生じ、読み取り出力が低下するとい
う問題があった。

【０００７】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
ので、書き込み素子と読み取り素子を個別に構成した磁
気ヘッドをロータリアクチュエータにより駆動する場合
においても、書き込み時と読み取り時とでトラックずれ
を生じない磁気ディスク装置を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、データの記録
再生を行うヘッドと、そのヘッドを保持するサスペンシ
ョンと、支持アームと、その支持アームを移動させる駆
動手段と、前記支持アームと前記サスペンションを、前
記ヘッドが前記支持アームに対して相対的に移動可能
に、連結する連結部と、前記支持アームと前記サスペン
ションとを連結し、前記ヘッドを前記支持アームに対し
て相対的に移動させて微調整を行うための、少なくとも
一個の圧電素子とを備え、前記圧電素子は、その両端で
前記支持アームと前記サスペンションに固定されている
ことを特徴とするヘッドアクチュエータ機構である。

【０００９】

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）以下、本発
明の第１の実施の形態について、図面を参照しながら説
明する。

【００１０】図１は、本発明の第１の実施の形態のヘッ
ドアクチュエータ機構の斜視図である。図２は、本発明
の第１の実施の形態のヘッドアクチュエータ機構の平面
図である。本発明のヘッドアクチュエータは、ボイスコ
イルモータからなる粗動用アクチュエータと微動用アク
チュエータから構成されている。

【００１１】同図において、１は支持アーム、２はサス
ペンション、３はヘッド、４はボイスコイルモータ（Ｖ
ＣＭ）用のコイル、５は軸及び軸受け、６ａ、６ｂは圧
電体よりなる圧電素子で、一端が支持アーム１に、また
他端がサスペンション２に接着剤等で固定されている。
この圧電素子６ａと６ｂには同じ向きに厚さ方向に分極
処理が施され、それぞれの表裏面の一部に電極が形成さ
れており、表裏面の電極間に電界を印加することによ
り、圧電素子６ａ、６ｂは長さ方向の伸縮振動を励振す
る。

【００１２】本実施の形態では、圧電素子の分極方向を
規定したが、実際には、分極の方向と印加電界の方向と
の関係で素子の伸縮方向が決定される。従って、駆動時
に素子の分極方向を考慮し、適切な方向の電界を印加す
れば十分である。

【００１３】図３は、サスペンション２が偏向する原理
を示す図である。

【００１４】図３ａが電界印加前の微動用アクチュエー
タ周辺の図、図３ｂが電界印加後の微動用アクチュエー
タ周辺の図である。

【００１５】圧電素子６ａ、６ｂの表裏の電極間に、異
なる方向で、同じ強さの電界を印加する事により、図３
ｂに示すように圧電素子６ａ、６ｂには同量の伸縮を同
時に励振することが出来る。加えて、支持アーム１は軸
５に軸受けを介して固定されているため、サスペンショ
ン２には回転運動が発生する。この回転運動がサスペン
ション２の長さで拡大され、図１、２中の矢印の方向に
先端に取付られたヘッド３を移動する事が出来る。

【００１６】この機構により、圧電素子６に印加する電
界の強さを変化させる事で、ボイスコイルモータで粗動
されたヘッド３を目標の位置に正確に位置決めすること
が出来る。

【００１７】尚、サスペンション２の回転をより効率的
に起こすには、サスペンション２と圧電素子６間の接着
部が回動を許す必要がある。従って、サスペンション２
と圧電素子６間の接着にはシリコン系の接着剤等の比較
的剛性の低い接着剤を使用することが望ましい。

【００１８】さらに、ヘッド３の移動分解能を向上させ
るには圧電素子の僅かな非線形をも考慮する必要があ
る。図４は、圧電セラミックによる圧電素子に正弦波信
号を電圧を変えて印加したときの、素子先端の変位量を
プロットした実験結果である。たとえ小さい印加電圧で
も、印加電圧と変位量の関係には非線形性が観察され
る。ところが、同様にプロットした圧電単結晶材料によ
る圧電素子の場合は、低電圧から高電圧までの間で、線
形性を示している。従って、圧電単結晶材料による圧電
素子を用いて、本実施の形態を構成する事により、ヘッ
ド３の移動分解能（精密制御性）を容易に向上させるこ
とができる。

【００１９】さらに、圧電セラミックからなる圧電素子
には図５に示すような変位クリープ（電位をかけっぱな
しにすると変位が変わってしまう現象）が見られる（圧
電単結晶材料による圧電素子では、変位クリープ現象は
観察されない）。これは、ＤＣ駆動時の時間的な変位量
変化であり、図５からもわかるように、高電圧になれば
なるほど大きくなり、本発明のような高精度位置制御用
途には大きな問題となる。その解決法は、印加電圧（印
加電界）を小さくすることと、変位量をモニターし変位
量を一定にする制御をかけることである。

【００２０】特に、後者は圧電素子表面の電極の一部を
検出電極とすることで比較的容易に実現することができ
る。図６に電極構造の一例を示す。ここでは、素子長さ
方向について電極を分割したが、分割方向は長さ方向に
任意の角度を持つように決定しても同等の効果が得られ
る。但し、圧電素子６ａと６ｂについては、第１の実施
の形態の中心線を対称軸とする電極構成が望ましい。原
理的には、素子の駆動電極に印加された電界によって、
逆圧電効果により圧電素子には歪みが生じる。その歪み
を圧電効果を用いて電荷に変換し、素子の歪み変化を電
圧変化として検出するものであり、クリープ現象により
素子に発生する歪みが増加した場合は、検出電極からの
出力電圧が増加する。従って、図７に示した駆動ブロッ
ク図に類するフィードバック回路によりフィードバック
制御をかけることにより、素子のクリープ現象をなくす
ことが可能である。なお、圧電単結晶材料を用いた圧電
素子は、変位クリープ現象を示さないため、考慮する必
要がない。

【００２１】また、圧電単結晶材料は圧電定数の温度特
性も圧電セラミックに比べて優れているため、前記材料
で構成した圧電素子は変位の温度特性も優れている。

【００２２】従って、前記圧電素子を用いたヘッドアク
チュエータ機構は、優れた変位量の温度特性を持ち、容
易により高精度な精密制御が可能となる。

【００２３】図８〜１０は、図１に示したヘッドアクチ
ュエータ機構の応用構成を示した図である。

【００２４】図８に示した応用構造は、ヘッドを複数化
しながらも、ＶＣＭ用のコイルを１つにする事により、
粗動用アクチュエータを簡略化していることが特徴であ
る。

【００２５】また、図９に示すように、１組の圧電素子
で、２つのサスペンションを駆動する構成にする事によ
り、ヘッドアクチュエータ機能をも簡略化することがで
きる。さらに、図１０に示すように、複数個のサスペン
ションを一体化し、それを１組の圧電素子で駆動する構
成にする事によって、さらにヘッドアクチュエータ機構
を簡略化することが出来る。

【００２６】（第２の実施の形態）以下、本発明の第２
の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

【００２７】図１１は、本発明の第２の実施の形態のヘ
ッドアクチュエータ機構の斜視図である。

【００２８】図１２は、本発明の第２の実施の形態のヘ
ッドアクチュエータ機構の平面図である。

【００２９】同図において、１は支持アーム、２はサス
ペンション、３はヘッド、４はボイスコイルモータ（Ｖ
ＣＭ）用のコイル、５は軸及び軸受け、６ａ、６ｂは圧
電体よりなる圧電素子、７は弾性体で構成されたヒンジ
である。

【００３０】この圧電素子６ａと６ｂは、一端が支持ア
ーム１に、また他端がサスペンション２に接着剤等で固
定されている。

【００３１】さらに、圧電素子６ａと６ｂには、それぞ
れの表裏面の一部に電極が形成されており、同じ向きに
厚さ方向に分極処理が施されている。

【００３２】本実施の形態では、圧電素子の分極方向を
規定したが、実際には、分極の方向と印加電界の方向と
の関係で素子の伸縮方向が決定される。従って、駆動時
に素子の分極方向を考慮し、適切な方向の電界を印加す
れば十分である。

【００３３】圧電素子６ａと６ｂの表裏の電極間に互い
に異なる向きで、同じ強さの電界を印加する事により、
圧電素子６ａ、６ｂには同量の伸縮が同時に励振され
る。

【００３４】支持アーム１は軸５に軸受けを介して固定
されているため、サスペンション２には回転運動が発生
する。この回転運動がサスペンション２の長さで拡大さ
れ、図１１、１２中の矢印の方向に先端に取付られたヘ
ッド３を移動する構成となっている。

【００３５】さらに、ヒンジ機構７を設けることにより
サスペンション２の回転運動に回転中心を与えることが
出来るため、圧電素子６ａ、６ｂの伸び縮みが効率的に
サスペンション２の回転運動に変換することが出来き、
より大きなヘッド３の移動量を確保することが出来る。
このヒンジ機構７は、図１のサスペンション２を構成す
る板の支持アーム１側を支持アーム１側へ延長し、細い
部分Ｐのところで、、支持アーム１に連結させたもので
ある。加えて、ヒンジ機構７を設けることにより、微動
用アクチュエータの強度を向上することが出来るため、
応答周波数を向上させることが出来る。

【００３６】この機構により、圧電素子６に印加する電
界の強さを変化させる事で、ボイスコイルモータで粗動
されたヘッド３を目標の位置に正確に位置決めすること
が出来る。

【００３７】尚、サスペンション２の回転をより効率的
に起こすには、サスペンション２と圧電素子６間の接着
部が回転を許す必要がある。従って、サスペンション２
と圧電素子６間の接着にはシリコン系の接着剤等の比較
的剛性の低い接着剤を使用することが望ましい。

【００３８】さらに、圧電単結晶材料による圧電素子を
用いて、本実施の形態を構成する事により、ヘッド３の
移動分解能（精密制御性）を向上させることができる事
は言うまでもない。

【００３９】また、本実施の形態では、ヒンジ７を支持
アーム１側に形成した場合について述べたが、図１３の
様に、支持アーム１側の板をサスペンション２側へ延ば
してサスペンション２側に形成しても、同様の効果が得
られる。また、ヒンジを支持アーム１側とサスペンショ
ン２側の両側に形成する事により、１個当たりのヒンジ
に生じる応力を削減することが出来、信頼性を向上する
こともできる。

【００４０】さらに、第２の実施の形態の別構造を図１
４に示す。本構造は図１１に示した実施の形態の２個あ
った圧電素子を１個にしたことが特徴である構造で、こ
れにより構造が容易になることや、図１１に示した構成
では、位相が１８０°ずれた２種類の駆動信号が必要で
あったが、本構成では単一信号のみで良いなどの効果が
ある。

【００４１】第１の実施の形態と同様に、圧電素子に検
出電極を構成することにより、第１の実施の形態と同等
の効果が得られることは、言うまでもない。

【００４２】（第３の実施の形態）以下、本発明の第３
の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

【００４３】図１５は、本発明の第３の実施の形態のヘ
ッドアクチュエータ機構の微動用アクチュエータ部の平
面図である。

【００４４】同図において、１は支持アーム、２はサス
ペンション、６ａ、６ｂは圧電体よりなる圧電素子、７
は弾性体で構成されたヒンジ、８ａ、８ｂは圧電素子６
ａ、６ｂをサスペンション２に固定するためのヒンジで
ある。

【００４５】尚、粗動用アクチュエータ、及びヘッドな
どは第１の実施の形態と同様である。圧電素子６ａと６
ｂは、一端が支持アーム１に、また他端が素子固定用ヒ
ンジ８ａ、８ｂを介して、サスペンション２に接着剤等
で固定されている。

【００４６】ところで、支持アーム１は軸５に軸受けを
介して固定されているため、サスペンション２には回転
運動が発生する。この回転運動がサスペンション２の長
さで拡大され、先端に取付られたヘッド３を移動する。

【００４７】さらに、ヒンジ機構７を設けることにより
サスペンション２の回転運動に回転中心を与えることが
出来るため、圧電素子６ａ、６ｂの伸び縮みが効率的に
サスペンション２の回転運動に変換することが出来き、
ヘッド３のより大きな移動量を確保することが出来る。
加えて、ヒンジ機構７を設けることにより、微動用アク
チュエータの強度を向上することが出来るため、応答周
波数を向上させることが出来る。

【００４８】また、サスペンション２を回転運動させる
ためには、圧電素子６ａ、６ｂとサスペンション２との
接着部に回転モーメントが作用する。実施の形態１〜２
では、圧電素子６ａ、６ｂとサスペンション２の接着に
はシリコン系の接着剤等の比較的弾性強度の低い接着剤
を使用し、接着部に発生する回転モーメントを緩和して
いた。ところが、低弾性強度の接着剤では、素子６ａ、
６ｂの伸縮をサスペンション２の回転に変換する際に、
大きな損失を発生してしまう問題点があった。

【００４９】そこで、本実施の形態では、接着部に発生
する回転モーメントを緩和し、素子６ａ、６ｂの伸び縮
みをサスペンション２の回転に変換する際の損失を限り
なく小さくする構造の素子固定用ヒンジ８ａ、８ｂを設
けた。このヒンジ８ａ、８ｂで更にサスペンション２は
回転可能となり、これにより、ヘッド部はさらにより大
きな移動量を確保出来るようになった。また、接着剤に
比べるとヒンジ機構は曲げ変形に対するバネ係数が一定
しているため、圧電素子の歪み量とヘッド部の移動量と
の関係は線形性を示す。従って、圧電素子６ａ、６ｂに
印加した電界とヘッド部の移動量の関係は、圧電素子の
歪みと印加電界の間に僅かな非線形性があるだけで、線
形性に近い特性を示し、精密制御性も向上する。

【００５０】さらに、圧電単結晶材料による圧電素子を
用いて、本実施の形態を構成する事により、第１、２の
実施の形態と同様に、ヘッド３の移動分解能（精密制御
性）を向上させることができる事は言うまでもない。

【００５１】また、本実施の形態では、ヒンジ７を支持
アーム１側に形成した場合について述べたが、第２の実
施の形態の図１３と同様に、サスペンション２側に形成
しても、同様の効果が得られる。また、ヒンジを支持ア
ーム１側とサスペンション２側の両側に形成する事によ
り、１個当たりのヒンジに生じる応力を削減することが
出来、信頼性を向上することもできる。

【００５２】さらに、素子固定用ヒンジ８ａ、８ｂを圧
電素子６ａ、６ｂとサスペンション２との結合部側にの
み形成したが、圧電素子６ａ、６ｂと支持アーム１との
結合部側に形成しても同様の効果が得られる。

【００５３】また、素子固定用ヒンジを圧電素子６ａ、
６ｂとサスペンション２との結合部側と、圧電素子６
ａ、６ｂと支持アーム１との結合部側の両側に形成する
事により、１個当たりのヒンジに生じる応力を削減する
ことが出来、信頼性を向上することもできる。

【００５４】さらに、第３の実施の形態の別構造を図１
６に示す。本構造は前発明で２個あった圧電素子を１個
にしたことが特徴で、これにより構造が容易になること
や、前発明では、位相が１８０°ずれた２種類の駆動信
号が必要であったが、本構成では単一信号で良いなどの
効果がある。

【００５５】第１の実施の形態と同様に、圧電素子に検
出電極を構成することにより、第１の実施の形態と同等
の効果が得られることは、言うまでもない。

【００５６】（第４の実施の形態）以下、本発明の第４
の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

【００５７】図１７は、本発明の第４の実施の形態のヘ
ッドアクチュエータ機構の斜視図である。

【００５８】同図において、１は支持アーム、２はサス
ペンション、３はヘッド、４はボイスコイルモータ（Ｖ
ＣＭ）用のコイル、５は軸及び軸受け、６ａ、６ｂ、６
ｃ、６ｄは圧電体よりなる圧電素子で、一端が支持アー
ム１に、また他端がサスペンション２に接着剤等で固定
されている。

【００５９】圧電素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄは、それ
ぞれの表裏面の一部に電極が形成され、厚さ方向に分極
処理が施されている。

【００６０】さらに、圧電素子６ａ、６ｃと圧電素子６
ｂ、６ｄは互いに逆方向に変位するように、分極方向及
び表裏の電極間に印加する電界の方向を決定している。

【００６１】これにより、圧電素子６ａ、６ｃに伸びが
励振された場合、圧電素子６ｂ、６ｄには同量の縮みが
励振される。その他の部分も図１の実施の形態と同様で
ある。

【００６２】また、圧電素子を４枚使用する事により、
微動用アクチュエータ部の強度が向上し、制御周波数を
高周波数に設定することができる。

【００６３】加えて、圧電素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ
に印加する電界の強さを任意に設定する事により、ヘッ
ド３を３次元的に移動する事も可能である。

【００６４】さらに、第１の実施の形態と同等の効果が
得られることは、言うまでもない。

【００６５】図１８、１９は、図１７に示したヘッドア
クチュエータ機構の応用構成を示した図である。

【００６６】図１８の応用構造では、ヘッドを複数化し
ながらも、ＶＣＭ用のコイルを１つにする事により、粗
動用アクチュエータを簡略化することができる。

【００６７】また、図１９に示すように、複数個のサス
ペンションを一体化し、それを１組の圧電素子で駆動す
る構成にする事によって、さらにヘッドアクチュエータ
機構を簡略化することも出来る。

【００６８】（第５の実施の形態）以下、本発明の第５
の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

【００６９】図２０は、本発明の第５の実施の形態のヘ
ッドアクチュエータ機構の斜視図である。

【００７０】図２１は、本発明の第５の実施の形態のヘ
ッドアクチュエータ機構の平面図である。

【００７１】同図において、１は支持アーム、２はサス
ペンション、３はヘッド、４はボイスコイルモータ（Ｖ
ＣＭ）用のコイル、５は軸及び軸受け、６ａ、６ｂ、６
ｃ、６ｄは圧電体よりなる圧電素子、７は弾性体で構成
されたヒンジである。

【００７２】この圧電素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄは、
一端が支持アーム１に、また他端がサスペンション２に
接着剤等で固定されている。その他は図１の実施の形態
と同様である。

【００７３】圧電素子６ａ、６ｃと圧電素子６ｂ、６ｄ
とに励振された伸縮運動は、支持アームが軸に軸受けを
介して固定されているため、サスペンション２に回転運
動を発生させる。この回転運動がサスペンション２の長
さで拡大され、図２０、２１中の矢印の方向に先端に取
付られたヘッド３を移動する構成である。

【００７４】さらに、ヒンジ機構７を設けることにより
サスペンション２の回転運動に回転中心を与えることが
出来るため、圧電素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄの伸び縮
みが効率的にサスペンション２の回転運動に変換するこ
とが出来き、より大きなヘッド３の移動量を確保するこ
とが出来る。加えて、微動用アクチュエータの強度をも
向上することが出来るため、制御周波数を高周波数に設
定することが出来る。

【００７５】この機構により、圧電素子６に印加する電
界を変化させる事により、ボイスコイルモータで粗動さ
れたヘッド３を目標の位置に正確に位置決めすることが
出来る。

【００７６】サスペンション２の回転をより効率的に起
こすには、サスペンション２と圧電素子６間の接着部が
回転を許す必要がある。従って、サスペンション２と圧
電素子６間の接着にはシリコン系の接着剤等の比較的弾
性強度の低い接着剤を使用することが望ましい。

【００７７】加えて、圧電素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ
に印加する電界の強さが個別に変化した場合でも、ヒン
ジ７がヘッド３の移動方向を規定しているため、ヘッド
３が記録媒体と接触することによる情報の破壊を未然に
防ぐことができ、信頼性の高い磁気ディスク装置を実現
することが出来る。

【００７８】また、圧電素子を４枚使用する事により、
微動用アクチュエータ部の強度が向上し、制御周波数を
高周波数に設定することができる。

【００７９】第２の実施の形態と同等の効果が得られる
ことは、言うまでもない。

【００８０】（第６の実施の形態）以下、本発明の第６
の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

【００８１】本発明のヘッドアクチュエータは、ＶＣＭ
からなる粗動用アクチュエータと微動用アクチュエータ
から構成されている。

【００８２】図２２は、本発明の第６の実施の形態のヘ
ッドアクチュエータ機構の微動用アクチュエータ部の平
面図である。

【００８３】同図において、１は支持アーム、２はサス
ペンション、６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄは圧電体よりなる
圧電素子、７は弾性体で構成されたヒンジ、８ａ、８ｂ
は圧電素子をサスペンション２に固定するためのヒンジ
である。

【００８４】圧電素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄは、一端
が支持アーム１に、また他端が素子固定用ヒンジ８ａ、
８ｂを介して、サスペンション２に接着剤等で固定され
ている。

【００８５】その他は図２１の場合と同様である。

【００８６】また、サスペンション２を回転運動させる
ためには、圧電素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄとサスペン
ション２との接着部に回転モーメントが作用する。実施
の形態５では、圧電素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄとサス
ペンション２の接着にはシリコン系の接着剤を使用し、
接着部に発生する回転モーメントを緩和していた。とこ
ろが、シリコン系の接着剤の使用では、素子６ａ、６
ｂ、６ｃ、６ｄの伸び縮みをサスペンション２の回転に
する際に、大きな損失を発生してしまう問題点がある。

【００８７】そこで、本実施の形態では、接着部に発生
する回転モーメントを緩和し、素子６ａ、６ｂ、６ｃ、
６ｄの伸び縮みをサスペンション２の回転に変換する際
の損失を限りなく小さくする構造の素子固定用ヒンジ８
ａ、８ｂを設けた。これにより、さらにより大きな移動
量を確保出来るようになった。

【００８８】また、接着剤に比べるとヒンジ機構は曲げ
変形に対するバネ係数が一定しているため、圧電素子の
歪み量とヘッド部の移動量との関係は線形性を示す。従
って、圧電素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄに印加した電界
とヘッド部の移動量の関係は、圧電素子の歪みと印加電
界の間に僅かな非線形性があるだけで、線形性に近い特
性を示し、精密制御性も向上する。

【００８９】加えて、圧電素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ
に印加する電界の強さが個別に変化した場合でも、ヒン
ジ７がヘッド３の移動方向を規定しているため、ヘッド
３が記録媒体と接触することによる情報の破壊を未然に
防ぐことができる。

【００９０】また、圧電素子を４枚使用する事により、
微動用アクチュエータ部の強度が向上し、制御周波数を
高周波数に設定することができる。

【００９１】以上より、信頼性が高い磁気ディスク装
置、さらに精密制御性の優れたヘッドアクチュエータ機
構を実現することが出来る。

【００９２】また、本実施の形態では、ヒンジ７を支持
アーム１側に形成した場合について述べたが、第２の実
施の形態の図１３と同様に、サスペンション２側に形成
しても、同様の効果が得られる。また、ヒンジを支持ア
ーム１側とサスペンション２側の両側に形成する事によ
り、１個当たりのヒンジに生じる応力を削減することが
出来、信頼性を向上することもできる。

【００９３】さらに、素子固定用ヒンジ８ａ、８ｂを圧
電素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄとサスペンション２との
結合部側にのみ形成したが、圧電素子６ａ、６ｂ、６
ｃ、６ｄと支持アーム１との結合部側に形成しても同様
の効果が得られる。

【００９４】また、素子固定用ヒンジ８ａ、８ｂを圧電
素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄとサスペンション２との結
合部側と、圧電素子６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄと支持アー
ム１との結合部側の両側に形成する事により、１個当た
りのヒンジに生じる応力を削減することが出来、信頼性
を向上することもできる（図２３）。

【００９５】さらに、第３の実施の形態と同等の効果が
得られることは、言うまでもない。

【００９６】（第７の実施の形態）以下、本発明の第７
の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

【００９７】図２４は、本発明の第７の実施の形態のヘ
ッドアクチュエータ機構の斜視図である。

【００９８】同図において、１は支持アーム、２はサス
ペンション、３はヘッド、４はボイスコイルモータ（Ｖ
ＣＭ）用のコイル、５は軸及び軸受け、６ａ、６ｂは圧
電体よりなる圧電素子で、一端が支持アーム１に、また
他端がサスペンション２に接着剤等で固定されている。
この圧電素子６ａと６ｂには、それぞれの表裏面の一部
に電極が形成されており、圧電素子６ａと６ｂは同じ向
きに厚さ方向に分極処理が施さている。表裏面の電極間
に電界を印加することにより、圧電素子６ａ、６ｂは長
さ方向の伸縮振動を励振する。

【００９９】ところで、支持アームが軸に軸受けを介し
て固定されているため、サスペンション２に回転運動を
発生させる。この回転運動がサスペンション２の長さで
拡大され、先端に取付られたヘッド３を移動する構成で
ある。

【０１００】本実施の形態は、第１の実施の形態と圧電
素子の取付位置が異なっている。

【０１０１】図１の構成の場合は、ヘッドアクチュエー
タの高さ方向の剛性が、圧電素子の厚みとヤング率で決
定されるため、低駆動電圧化のために、圧電素子厚を薄
くすればするほど、アクチュエータ機構の厚さ方向の耐
衝撃性が著しく低下する。ところが、本構成では、高さ
方向の耐衝撃性が圧電素子の幅とヤング率で決定される
ため、耐衝撃性を確保しながら圧電素子を薄くすること
が出来、低駆動電圧駆動も可能となる。

【０１０２】さらに、それ以外の構成は第１の実施の形
態と同一であるため、本構成においても、図１の構成と
同様の効果が得られる。

【０１０３】図２５は、図２４に示した本発明の構成の
製造方法である。この製造方法では、まず最初に、厚さ
方向に厚いアクチュエータ機構部の、ブロック１３ａ
（サスペンション取り付け部に対応するサスペンション
素材）、ブロック１３ｂ（支持アーム取り付け部に対応
する支持アーム素材）を、切削加工などの適切な加工法
で製造する。次に、幅方向の十分広い圧電素子素材６
ａ、６ｂをブロック１３ａ、１３ｂの所定の位置に接合
する。最後に、適切な厚みに、このブロックをダイサー
やワイヤーソー等を用いてスライスする。このようにし
て出来たものの、サスペンション取り付け部をサスペン
ション本体部へ、また支持アーム取り付け部を支持アー
ム本体部へそれぞれ合体して、ヘッドアクチュエータを
完成する。この製造方法により、比較的安価で、大量に
アクチュエータを製造することが可能である。

【０１０４】また、図２６〜図３０に示すように、実施
の形態２、３と同様にアクチュエータ機構の中央にヒン
ジ７ａ，７ｂを設けたり、圧電素子の取付部にヒンジ８
ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄを設けたりすることにより、実施
の形態２、３に記載の効果が付加されることは言うまで
もない。

【０１０５】図２９の形態は、図２８の形態に付加した
圧電素子取付部のヒンジ機構と同様の役割を圧電素子自
身に持たせるため、図２９の形態では圧電素子の一部に
補強材１４ａ〜１４ｄを取り付けた構成になっている。
これにより、ヒンジ代替部１５ａ〜１５ｄの部分がヒン
ジ機構の役目をするため、図２８と同等の特性を得るこ
とが出来る。

【０１０６】また、図３０の形態も、図２９の形態と同
様に圧電素子取付部のヒンジ機構と同様の役割を圧電素
子自身に持たせた構成である。具体的には、圧電素子の
両端に板厚の薄い部分を作り、その部分をヒンジ代替部
１５ａ〜１５ｄとして利用するものであり、これによっ
ても図２８と同様の効果が得られることは言うまでもな
い。

【０１０７】（第８の実施の形態）以下、本発明の第８
の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

【０１０８】図３１は、本発明の第８の実施の形態のヘ
ッドアクチュエータ機構の微動用アクチュエータ部の平
面図である。

【０１０９】同図において、６ａ、６ｂは圧電体よりな
る圧電素子、１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３
ｅ、１３ｆは弾性体よりなる胴体ブロック、１６は弾性
体よりなる軸プレートである。本構成は、軸プレート１
６を挟み込むように、胴体ブロック１３ａと１３ｂが、
１３ｃと１３ｄが、１３ｅと１３ｆが対向して接合され
ている。圧電素子６ａは、それぞれの端部を、胴体ブロ
ック１３ａと１３ｃに接合し、圧電素子６ｂは、それぞ
れ端部を、胴体ブロック１３ｂと１３ｄに接合した構成
となっている。

【０１１０】図３２に同アクチュエータ構造の組立行程
図を示す。同図に示すように、本構成のアクチュエータ
は、小さい部材を組み合わせることにより構成されてい
る。

【０１１１】加えて、本組立法は図２５に示したアクチ
ュエータブロックをスライスして、アクチュエータを形
成する製造法にも応用可能である。

【０１１２】同構成は、第７の実施の形態（図２７）と
同様の構成を有し、同様の動作原理、効果を有するが、
部材を組み合わせて構成しているため、バネ性の高い材
料を軸プレート１６に配することにより、ヒンジ部７
ａ，７ｂがプレート１６で作られ、アクチュエータの駆
動時におけるヒンジ部の信頼性を向上し、アクチュエー
タ自身の信頼性を向上することが出来る。

【０１１３】また、ヘッド側に位置する胴体プレート１
３ａと１３ｂに、比重の小さい材料を配することで、ア
クチュエータの重心の位置がサスペンション全体を支え
る軸部に近づき、ヘッドアクチュエータの共振周波数を
向上することが出来る。これにより、アクチュエータの
制御周波数を高周波数に設定することができ、より動作
速度の速い優秀なヘッドアクチュエータを実現すること
が出来る。

【０１１４】さらに、圧電素子として、圧電単結晶材料
を使用する場合にも、圧電単結晶材料と直接接合し易い
材料を胴体ブロック１３の接合部に配することが可能と
なるり、精密制御の妨げとなるファクターである樹脂に
よる接着を排除することが出来、より精密制御が容易な
ヘッドアクチュエータ機構を実現することが出来る。（第９の実施の形態）以下、本発明の第９の実施の形態
について、図面を参照しながら説明する。

【０１１５】図３３は、本発明の第９の実施の形態のヘ
ッドアクチュエータ機構の微動用アクチュエータ部の平
面図である。

【０１１６】本実施の形態は、第７の実施の形態の図２
７と、圧電素子の構成が異なっている。

【０１１７】図３４に、圧電素子の構成を示す。

【０１１８】それぞれの圧電素子６ａ，６ｂは、２つの
圧電体１７ａ、１７ｂが、接合部材１８ａ、１８ｂ挟ん
で、所定距離互いに離れて対向した構造になっている。

【０１１９】また、圧電体１７ａ、１７ｂには、それぞ
れ表面に電極が形成されて、圧電体１７ａ、１７ｂ共に
同じ伸縮変形をするように、それぞれの電極間配線と分
極方向が決定されている。ただし、圧電体１７ａ、１７
ｂ間は、並列に接続されている。

【０１２０】本構成により、駆動電圧を一定にしなが
ら、圧電素子の断面積を容易に増加させることが出来
る。その結果、圧電素子に発生させる発生力を増加させ
ることが出来、より変位量の大きなヘッドアクチュエー
タを実現することが出来る。加えて、素子厚が厚くなる
ため、アクチュエータ機構自体の強度も向上し、耐衝撃
性を飛躍的に向上させることが出来る。

【０１２１】また、逆に圧電素子厚を一定にすることに
より、アクチュエータの剛性を変化させずに、圧電体の
１枚の厚さを薄くすることが出来るため、一定変位量を
確保しながら、駆動電圧を著しく小さくすることが出
来、低電圧駆動のヘッドアクチュエータを実現すること
が出来る。

【０１２２】さらに、それ以外の構成は第１の実施の形
態と同一であるため、本構成においても、図１の構成と
同様の効果が得られる。

【０１２３】また、図３５、図３６も、同様の圧電素子
を実施の形態７の別の構成に適用したものであり、前述
した効果と実施の形態７で述べた効果の両方を得ること
が出来ることは言うまでもない。図３５は図２８のもの
へ、図３６は図２９のものへの応用を示す。

【０１２４】なお、ここでは接合部材を用いて積層した
圧電素子を示したが、そのほかに圧電体を単純に貼り合
わせた積層圧電素子を利用しても同等の効果が得られ
る。

【０１２５】また、圧電体として圧電単結晶材を使用す
る場合においては、通常、同材料の表面に電極がある場
合の直接接合は困難であるが、本圧電素子の構成では、
接合部材と圧電体との接合箇所に電極を設けない構成に
すれば容易に直接接合が可能となり、圧電単結晶材の特
性をフルに引き出すことが可能となる。また、圧電単結
晶材料では、熱膨張係数の差による剥離現象のため異種
材料間の直接接合は困難であるが、接合部材を圧電体と
同じ単結晶材料にすることにより、接合時の剥離問題を
解決することも出来る。

【０１２６】さらに、本アクチュエータの製造法の一例
を図３７に示す。本製造法は、アクチュエータを２つの
ブロックより切り出した部材を接合して構成するもので
ある。まず、アクチュエータ機構部（１３ａ〜１３ｆ、
１６で構成された部分）のブロックを作成し、同ブロッ
クをダイサーなどの加工機を用いて、適当な大きさにス
ライス切断することにより、アクチュエータ機構部を形
成する。さらに、幅方向に十分大きな圧電体１７ａ、１
７ｂを、同様の接合部材１８ａ、１８ｂで接合したブロ
ックを作成し、同ブロックを同様にスライス切断し、圧
電素子６ａ、６ｂを形成する。最後に、これらの部材を
所定の位置で接合し、完成品を得る。

【０１２７】本製造法により、比較的安価に、大量のア
クチュエータを製造することが可能となる。

【０１２８】（第１０の実施の形態）以下、本発明の第
１０の実施の形態について、図面を参照しながら説明す
る。

【０１２９】図３８は、本発明の第１０の実施の形態の
ヘッドアクチュエータ機構の斜視図である。

【０１３０】同図において、６ａ、６ｂは接合部材１８
ａ、１８ｂを挟むように圧電体１７ａ、１７ｂを接合し
てなる圧電素子、１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１
３ｅ、１３ｆは弾性体よりなる胴体ブロック、１６は弾
性体よりなる軸プレートである。本構成は、軸プレート
１６を挟み込むように、胴体ブロック１３ａと１３ｂ
が、１３ｃと１３ｄが、１３ｅと１３ｆが対向して接合
されている。圧電素子６ａはそれぞれの端部を胴体ブロ
ック１３ａと１３ｃに接合し、圧電素子６ｂはそれぞれ
の端部を胴体ブロック１３ｂと１３ｄに接合した。さら
に、圧電素子６ａ、６ｂと胴体ブロック１３ａと１３
ｃ、１３ｂと１３ｄの間には、ヒンジ部８ａ〜８ｄが形
成されている。

【０１３１】本構成により、駆動電圧を一定にしなが
ら、圧電素子の断面積を容易に増加させることが出来
る。その結果、圧電素子に発生させる発生力を増加させ
ることが出来、より変位量の大きなヘッドアクチュエー
タを実現することが出来る。加えて、素子厚が厚くなる
ため、アクチュエータ機構自体の強度も向上し、耐衝撃
性を飛躍的に向上させることが出来る。

【０１３２】また、逆に圧電素子厚を一定にすることに
より、アクチュエータの剛性を変化させずに、圧電体の
１枚の厚さを薄くすることが出来るため、一定変位量を
確保しながら、駆動電圧を著しく小さくすることが出
来、低電圧駆動のヘッドアクチュエータを実現すること
が出来る。

【０１３３】同構成は、第８の実施の形態と同様の動作
原理、効果を有するが、さらに本実施の形態では、ヘッ
ド移動方向の剛性を圧電素子のヤング率と幅サイズで決
定することが出来るため、移動方向の振動の共振周波数
を高く設定することが出来、アクチュエータの制御周波
数の高周波数化が可能となり、高速動作が可能なヘッド
アクチュエータを実現することが出来る。

【０１３４】さらに、本アクチュエータの製造法の一例
を図３９に示す。本製造法は、アクチュエータを２つの
ブロックより切り出した部材を接合して構成するもので
ある。まず、アクチュエータ機構部（１３ａ〜１３ｆ、
１６で構成された部分）のブロックを作成し、同ブロッ
クをダイサーなどの加工機を用いて、適当な大きさにス
ライス切断することにより、アクチュエータ機構部を形
成する。さらに、幅方向に十分大きな圧電体１７ａ、１
７ｂを、同様の接合部材１８ａ、１８ｂで接合したブロ
ックを作成し、同ブロックを同様にスライス切断し、圧
電素子６ａ、６ｂを形成する。最後に、これらの部材と
ヒンジ代替部８ａ〜８ｄになる薄板とを所定の位置で接
合し、完成品を得る。

【０１３５】本製造法により、比較的安価に、大量のア
クチュエータを製造することが可能となる。

【０１３６】さらに、圧電素子として、圧電単結晶材料
を使用した場合は、上記効果と共に実施の形態８記載の
効果も得ることが出来ることは言うまでもない。

【０１３７】なお、上記実施の形態では、回転移動タイ
プのヘッドアクチュエータ機構について述べたが、本発
明は、直線移動タイプのものへでも適用可能である。

【０１３８】

【発明の効果】以上のように本発明は、サスペンション
と支持アームの間に設けられた圧電素子群の伸び振動を
利用する事により、サスペンション先端に取り付けられ
たヘッドの微動を可能とすることが出来た。

【０１３９】これにより、書き込み時と読取り時のトラ
ックずれの問題が解消され、トラック位置による読取り
出力の低下がなくなり、信頼性の高い磁気ディスクを供
給することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の構成を示す斜視図

【図２】本発明の第１の実施の形態の構成を示す平面図

【図３】（ａ）同実施の形態の微動用アクチュエータ周
辺部の図（電界印加前）（ｂ）同実施の形態の微動用アクチュエータ周辺部の図
（電界印加後）

【図４】圧電セラミックと圧電単結晶材料の特性図

【図５】圧電セラミックの変位特性図

【図６】本発明の第１の実施の形態における圧電素子の
電極構成を示す平面図

【図７】本発明の第１の実施の形態における駆動ブロッ
ク図

【図８】同実施の形態のヘッドアクチュエータ機構の応
用構造を示す図

【図９】同実施の形態のヘッドアクチュエータ機構の応
用構造を示す図

【図１０】同実施の形態のヘッドアクチュエータ機構の
応用構造を示す図

【図１１】本発明の第２の実施の形態の構成を示す斜視
図

【図１２】本発明の第２の実施の形態の構成を示す平面
図

【図１３】本発明の第２の実施の形態の別構成を示す平
面図

【図１４】本発明の第２の実施の形態の別構成を示す平
面図

【図１５】本発明の第３実施の形態の微動用アクチュエ
ータ周辺部の図

【図１６】本発明の第３実施の形態の別構成の微動用ア
クチュエータ周辺部の図

【図１７】本発明の第４の実施の形態の構成を示す斜視
図

【図１８】同実施の形態のヘッドアクチュエータ機構の
応用構造を示す図

【図１９】同実施の形態のヘッドアクチュエータ機構の
応用構造を示す図

【図２０】本発明の第５の実施の形態の構成を示す斜視
図

【図２１】本発明の第５の実施の形態の構成を示す平面
図

【図２２】本発明の第６実施の形態の微動用アクチュエ
ータ周辺部の図

【図２３】本発明の第６の実施の形態の別構成を示す平
面図

【図２４】本発明の第７実施の形態の構成を示す斜視図

【図２５】本発明の第７実施の形態の製造方法を示す図

【図２６】本発明の第７実施の形態の別構成を示す斜視
図

【図２７】本発明の第７実施の形態の別構成を示す平面
図

【図２８】本発明の第７実施の形態の別構成を示す平面
図

【図２９】本発明の第７実施の形態の別構成を示す平面
図

【図３０】本発明の第７実施の形態の別構成を示す平面
図

【図３１】本発明の第８実施の形態の構成を示す平面図

【図３２】本発明の第８実施の形態の組立を説明する図

【図３３】本発明の第９実施の形態の構成を示す平面図

【図３４】本発明の第９実施の形態の圧電素子の構成を
示す平面図

【図３５】本発明の第９実施の形態の別構成を示す平面
図

【図３６】本発明の第９実施の形態の別構成を示す平面
図

【図３７】本発明の第９実施の形態の製造方法を示す図

【図３８】本発明の第１０実施の形態の構成を示す平面
図

【図３９】本発明の第１０実施の形態の製造方法を示す
図

【図４０】書き込み素子と読み取り素子を一体化した磁
気ヘッドの断面図

【図４１】磁気ディスク装置におけるロータリアクチュ
エータの説明図

【図４２】従来技術におけるトラック方向と磁気ヘッド
の相対角度変化による書き込みと読み取り時のトラック
ずれを説明するための図

【符号の説明】

１支持アーム２サスペンション３ヘッド４ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）用のコイル５軸及び軸受け６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ圧電体よりなる圧電素子７，７ａ，７ｂ弾性体で構成されたヒンジ８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ素子固定用ヒンジ９ａ駆動用電極９ｂ検出用電極１０信号発生回路１１アンプ１２制御回路１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆア
クチュエータ胴体ブロック１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ補強材１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄヒンジ代替部１６軸プレート１７ａ，１７ｂ圧電体１８ａ，１８ｂ接合部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者川▲さき▼ 修大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】データの記録再生を行うヘッドと、そのヘッドを保持するサスペンションと、支持アームと、その支持アームを移動させる駆動手段と、前記支持アームと前記サスペンションを、前記ヘッドが
前記支持アームに対して相対的に移動可能に、連結する
連結部と、前記支持アームと前記サスペンションとを連結し、前記
ヘッドを前記支持アームに対して相対的に移動させて微
調整を行うための、少なくとも一個の圧電素子とを備
え、前記圧電素子は、その両端で前記支持アームと前記サス
ペンションに固定されていることを特徴とするヘッドア
クチュエータ機構。
【請求項２】前記連結部自体が、別の圧電素子であり、
その両端は、前記支持アームと前記サスペンションに固
定されていることを特徴とする請求項１記載のヘッドア
クチュエータ機構。
【請求項３】前記連結部は、前記圧電素子が前記支持ア
ームに連結している位置側に存在することを特徴とする
請求項１記載のヘッドアクチュエータ機構。
【請求項４】前記連結部は、前記圧電素子が前記サスペ
ンションに連結している位置側に存在することを特徴と
する請求項１記載のヘッドアクチュエータ機構。
【請求項５】前記連結部は、前記圧電素子が前記サスペ
ンションに連結している位置側にも存在することを特
徴とする請求項３記載のヘッドアクチュエータ機構。
【請求項６】前記圧電素子と前記サスペンションとの連
結部近傍の、前記圧電素子又は前記サスペンションにヒ
ンジ部が設けられていることを特徴とする請求項１〜５
のいずれかに記載のヘッドアクチュエータ機構。
【請求項７】前記圧電素子と前記支持アームとの連結部
近傍の、前記圧電素子又は前記支持アームにヒンジ部が
設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれ
かに記載のヘッドアクチュエータ機構。
【請求項８】前記圧電素子に前記ヒンジ部が形成される
場合、そのヒンジ部が薄肉化されていることを特徴とす
る請求項６又は７記載のヘッドアクチュエータ機構。
【請求項９】前記圧電素子に前記ヒンジ部が形成される
場合、そのヒンジ部の近傍に堅い部分が存在することを
特徴とする請求項６又は７記載のヘッドアクチュエータ
機構。
【請求項１０】前記圧電素子は板状であり、記録再生の
対象となるディスクの面と平行又は垂直に設けられてい
ることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のヘ
ッドアクチュエータ機構。
【請求項１１】前記圧電素子は、互いに所定間隔をなし
ている２枚の板状圧電素子部材で構成されていることを
特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のヘッドアク
チュエータ機構。
【請求項１２】前記連結部は前記支持アーム及び前記サ
スペンションを構成する部材以外の部材で構成されてい
ることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の
ヘッドアクチュエータ機構。
【請求項１３】前記連結部は長尺部材の一部で構成さ
れ、前記支持アームは、前記圧電素子との連結側に支持アー
ム取り付け部を有し、前記サスペンションは、前記圧電素子との連結側にサス
ペンション取り付け部を有し、それら支持アーム取り付け部と前記サスペンション取り
付け部とはそれぞれ２つに分割されてブロック化されて
おり、前記長尺部材の前記連結部以外の部分の両側面には、前
記分割された支持アーム取り付け部ブロック及び前記分
割されたサスペンション取り付け部ブロックがそれぞれ
固定されていることを特徴とする請求項１２記載のヘッ
ドアクチュエータ機構。
【請求項１４】前記圧電素子に検出電極が設けられ、そ
の検出電極を利用して、クリープ変位を補償することを
特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載のヘッドア
クチュエータ機構。
【請求項１５】前記圧電素子に対して複数のサスペンシ
ョンとヘッドが取り付けられていることを特徴とする請
求項１〜１４のいずれかに記載のヘッドアクチュエータ
機構。
【請求項１６】前記圧電素子の材料として圧電単結晶材
料又は圧電セラミック材料を用いることを特徴とする請
求項１〜１５のいずれかに記載のヘッドアクチュエータ
機構。
【請求項１７】前記支持アームは、支持アーム本体部
と、前記圧電素子との取り付け部と｝を有し、前記サス
ペンションは、サスペンション本体部と、前記圧電素子
との取り付け部と｝を有する、クレーム１〜１６のいず
れかに記載のヘッドアクチュエータ機構の製造方法であ
って、前記支持アームの取り付け部に対応する支持アーム素材
と、前記サスペンションの取り付け部に対応するサスペ
ンション素材とを、前記圧電素子に対応する板状の圧電
素子素材を介して、連結して一体化し、それをスライス
して、前記支持アーム取り付け部と前記圧電素子と前記
サスペンション取り付け部の一体物を複数個作りだし、
その支持アーム取り付け部を前記支持アーム本体部に接
合し、また、前記サスペンション取り付け部を前記サス
ペンション本体部に接合することによって、前記ヘッド
アクチュエータを複数個製造することを特徴とするヘッ
ドアクチュエータ機構の製造方法。