JPH11242168A - Light switch - Google Patents
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- JPH11242168A JPH11242168A JP4381698A JP4381698A JPH11242168A JP H11242168 A JPH11242168 A JP H11242168A JP 4381698 A JP4381698 A JP 4381698A JP 4381698 A JP4381698 A JP 4381698A JP H11242168 A JPH11242168 A JP H11242168A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信装置その他
に利用する光スイッチに関する。本発明は、光信号が通
過する光ファイバを機械的な動きにより切替える光スイ
ッチの改良に関する。The present invention relates to an optical switch used for an optical communication device or the like. The present invention relates to an improvement in an optical switch that switches an optical fiber through which an optical signal passes by mechanical movement.
【0002】[0002]
【従来の技術】一方の光ファイバにより到来する光信号
を他方の光ファイバのいずれかに切替えて接続するため
のスイッチとして、光ファイバの先端を物理的に突き合
わせ、その位置を機械的に変位させる光スイッチが知ら
れている。このような構造の光スイッチは、切替えによ
り突き合わされる二つの光ファイバの光軸がちょうど一
致するような構造とすることが必要である。このための
光スイッチとして、特開平7−43625号公報(フジ
クラ)に記載されたものは、固定側の光ファイバをV溝
の中に固定させ、可動側の光ファイバをこの溝に沈める
ようにして移動させることにより、光軸を一致させるよ
うになっている。2. Description of the Related Art As a switch for switching an optical signal arriving from one optical fiber to one of the other optical fibers for connection, the ends of the optical fibers are physically butted and the position thereof is mechanically displaced. Optical switches are known. The optical switch having such a structure needs to have a structure in which the optical axes of two optical fibers abutted by switching just coincide with each other. An optical switch described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-43625 (Fujikura) has a fixed optical fiber fixed in a V-groove and a movable optical fiber is sunk in this groove. By moving the optical axis, the optical axes are aligned.
【0003】また、特開平7−13090号公報に開示
のものは、可動側の光ファイバを螺旋溝を形成した軸に
より駆動することにより、二つの光ファイバの位置関係
を微細に変位させることができるように工夫されてい
る。[0003] Further, in the device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-13090, the movable optical fiber is driven by a shaft having a spiral groove, whereby the positional relationship between the two optical fibers can be minutely displaced. It is devised so that it can be done.
【0004】特開平7−56097号公報(NTT)に
開示されたものは、固定側の光ファイバの先端をきわめ
て小さい内径の管体にそれぞれ内壁に接するようにして
収容し、可動側の光ファイバがどの位置にあってもその
管体の内壁に接する構造として二つの異なる光ファイバ
の光軸を一致させるように工夫されている。Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-56097 (NTT) discloses an optical fiber on the movable side in which the tip of an optical fiber on the fixed side is housed in a tube having an extremely small inner diameter so as to be in contact with the inner wall. No matter where it is located, it is designed so that the optical axes of two different optical fibers coincide with each other as a structure in contact with the inner wall of the tube.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このような構造の装置
は、精密なものであるほど光軸の一致精度は向上する
が、その製造工数が大きくなり、多数の機械部品を必要
とすることになるから高価になる。また、構造の簡単な
ものは長期間にわたり高い精度で光軸を正しく一致させ
ることができず、また振動などの影響を受けやすい。In a device having such a structure, the precision of the optical axis coincides with the precision of the device. However, the number of manufacturing steps is increased and a large number of mechanical parts are required. Because it becomes expensive. In addition, a simple structure cannot accurately align the optical axes with high accuracy over a long period of time, and is easily affected by vibration and the like.
【0006】本発明はこのような背景に行われたもので
あって、光軸を高い精度で一致させることができる、光
ファイバの端部の反射が少ない、製造工数が小さい、長
期間にわたり性能の変化がない、振動や衝撃に対しても
変化が少ない、などの優れた特徴を有する光スイッチを
提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such a background, and enables the optical axes to be aligned with high accuracy, has little reflection at the end of an optical fiber, has a small number of manufacturing steps, and has a long-term performance. It is an object of the present invention to provide an optical switch having excellent features such as no change in the optical switch and little change even in response to vibration or impact.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、光信号が通過
する光ファイバを機械的な動きにより切替えたときにそ
の光軸を高い精度で一致させることを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is characterized in that when an optical fiber through which an optical signal passes is switched by mechanical movement, the optical axes thereof are aligned with high accuracy.
【0008】すなわち、本発明の第一の観点は、光スイ
ッチの構造であって、固定の光ファイバの先端が端面に
表れる固定駒と、可動の光ファイバの先端が端面に表れ
る可動駒と、前記固定駒と固着され前記固定駒の端面と
前記可動駒の端面とを摺接させながら前記可動駒が移動
できるようにその可動駒を保持する函体と、この函体に
対して前記可動駒を変位させる駆動手段とを備えたこと
を特徴とする。That is, a first aspect of the present invention is a structure of an optical switch, wherein a fixed piece in which the tip of a fixed optical fiber appears on an end face, and a movable piece in which the tip of a movable optical fiber appears on an end face; A box fixed to the fixed piece and holding the movable piece so that the movable piece can move while sliding the end face of the fixed piece and the end face of the movable piece; and displacing the movable piece with respect to the box. And a driving means for driving.
【0009】前記固定駒の幅はdであり、前記可動駒の
幅がd−δdであり、前記端面は、前記光ファイバに垂
直であって前記幅方向の直線を軸に角度αだけ傾斜して
形成され、前記固定駒、前記可動駒、および前記函体は
いずれもシリコンウエーハの板材を積層して形成され、
前記駆動手段は、前記可動駒に取付けられた磁性片と、
前記函体の外に配置されこの磁性片に作用する電磁手段
とを含むことが望ましい。The width of the fixed piece is d, the width of the movable piece is d-δd, and the end face is formed perpendicular to the optical fiber and inclined at an angle α about a straight line in the width direction as an axis. The fixed piece, the movable piece, and the box are each formed by laminating a silicon wafer plate material,
The driving means, a magnetic piece attached to the movable piece,
It is desirable to include electromagnetic means disposed outside the box and acting on the magnetic piece.
【0010】函体に固定駒を固着し、可動駒をその端面
が固定駒の端面に摺接するように配置する。これにより
可動駒は函体に保持された状態で幅方向に摺接しながら
固定駒に対し変位することができる。[0010] A fixed piece is fixed to the box, and the movable piece is arranged so that its end face is in sliding contact with the end face of the fixed piece. Thus, the movable piece can be displaced with respect to the fixed piece while sliding in the width direction while being held by the box.
【0011】固定駒の幅をdに形成し、可動駒の幅を固
定駒の幅より小さいd−δdに形成した場合には、可動
駒は函体に保持された状態で幅方向に固定駒に対しδd
だけ変位することができる。When the width of the fixed piece is d and the width of the movable piece is smaller than the width of the fixed piece, d-δd, the movable piece is held by the box in the width direction with respect to the fixed piece by δd.
Can only be displaced.
【0012】固定駒には複数(例えば2本)の光ファイ
バを幅dの端面にその先端が表れるように固定し、可動
駒には1本の光ファイバが幅d−δdの端面にその先端
が表れるように固定する。これにより、可動駒が駆動手
段により函体の一方に摺動したときには、可動駒に固定
された光ファイバの端面と固定駒に固定された一方の光
ファイバの端面との軸心が一致する。また可動駒が駆動
手段によりδdだけその反対側に摺動したときには、可
動駒に固定された光ファイバの端面と固定駒に固定され
た他方の光ファイバの端面との軸心が一致する。A plurality of (for example, two) optical fibers are fixed to the fixed piece so that the tip thereof appears on the end face of the width d, and one optical fiber is fixed to the movable piece by the end face of the width d-δd. Fix so that appears. Thus, when the movable piece slides on one side of the box by the driving means, the axis of the end face of the optical fiber fixed to the movable piece and the end face of the one optical fiber fixed to the fixed piece coincide. When the movable piece slides to the opposite side by δd by the driving means, the axis of the end face of the optical fiber fixed to the movable piece coincides with the axis of the other optical fiber fixed to the fixed piece.
【0013】固定駒の端面と可動駒の端面とは光ファイ
バの軸に垂直な面に対して角度αだけ傾斜して形成し、
可動駒は固定駒とその傾斜した端面で摺接しながら変位
させる。これにより、光ファイバ内を通過する光がこの
接続面に入光する際に反射光が発生しても、その反射光
は入光側に戻らず反射による通信光との干渉を小さくす
ることができ、かつ接続位置の上下方向の機械的な浮き
を防止することができる。The end face of the fixed piece and the end face of the movable piece are formed to be inclined by an angle α with respect to a plane perpendicular to the axis of the optical fiber,
The movable piece is displaced while slidingly contacting the fixed piece at its inclined end face. As a result, even if reflected light is generated when light passing through the optical fiber enters this connection surface, the reflected light does not return to the light incident side and interference with communication light due to reflection can be reduced. It is possible to prevent the mechanical floating of the connection position in the vertical direction.
【0014】固定駒、可動駒および函体はシリコンウエ
ーハの板材を積層して形成することにより、半導体製造
において開発されたすぐれた加工技術を利用することが
できるとともに、一枚のウエーハから多数の素子を均一
に製造することができる。さらに、これにともなって製
品の信頼性を向上させるとともに、製造コストを低減す
ることができる。The fixed piece, the movable piece and the box can be formed by laminating silicon wafer plates, so that the excellent processing technology developed in semiconductor manufacturing can be used and a large number of wafers can be formed from a single wafer. The element can be manufactured uniformly. Further, the reliability of the product can be improved and the manufacturing cost can be reduced.
【0015】可動駒を幅方向に変位させる駆動手段は、
例えば可動駒に取付けた磁性片を函体の外側に配置した
電磁手段の電磁力により駆動し、供給する電源の極性を
変えることによってスイッチングを行うことができる。
ばねあるいは重力を利用する変位も可能である。The driving means for displacing the movable piece in the width direction includes:
For example, switching can be performed by driving the magnetic piece attached to the movable piece by the electromagnetic force of an electromagnetic means arranged outside the box and changing the polarity of the supplied power.
Displacements using springs or gravity are also possible.
【0016】本発明の第二の観点は、光スイッチの製造
方法であって、固定の光ファイバの先端が端面に表れる
固定駒と、可動の光ファイバの先端が端面に表れる可動
駒とが互いにその端面を接して摺動する構造を有する光
スイッチの製造方法において、光ファイバが貫通する1
個の部材を製造する工程と、その部材を前記光ファイバ
を横切る面で切断することにより前記固定駒および前記
可動駒を製造する工程とを含み、その切断面をそれぞれ
前記端面とすることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an optical switch, wherein a fixed piece in which the tip of a fixed optical fiber appears on an end face and a movable piece in which the tip of a movable optical fiber appears on an end face are mutually separated. In a method for manufacturing an optical switch having a structure in which an end face thereof slides, an optical fiber through which an optical fiber penetrates is provided.
Manufacturing the fixed piece and the movable piece by cutting the member at a plane crossing the optical fiber, and making the cut surfaces the end faces, respectively. And
【0017】前記部材の内部を貫通する前記光ファイバ
は複数であり、前記部材はシリコンウエーハの板材を積
層して形成されることが望ましい。Preferably, the optical fiber penetrates through the inside of the member, and the member is formed by laminating silicon wafer plates.
【0018】光ファイバが貫通する1個の部材を形成
し、その部材を光ファイバを横切る面で切断して固定駒
および可動駒とし、その切断面で固定駒および可動駒を
摺動させる。One member through which the optical fiber penetrates is formed, and the member is cut along a plane crossing the optical fiber to form a fixed piece and a movable piece, and the fixed piece and the movable piece are slid on the cut surface.
【0019】例えば、二枚の板材の間に複数の光ファイ
バを挟んだ積層板を形成し、その積層板に挟持された光
ファイバを横切る面で切断する。この切断は板材の幅方
向の直線を軸に角度αだけ傾斜させて行う。この切断に
より分離した一方の切断片を固定駒とし、他方の切断片
はその片側を幅δdだけ削除して複数の光ファイバのう
ちの1本だけ残し可動駒とする。このようにして形成し
た固定駒は函体に固着し、可動駒はその端面と固定駒の
端面とが摺接しながら移動するように函体に収容する。For example, a laminated plate having a plurality of optical fibers sandwiched between two plate members is formed, and cut at a plane crossing the optical fibers sandwiched between the laminated plates. This cutting is performed by inclining by an angle α about a straight line in the width direction of the plate as an axis. One of the cut pieces separated by this cutting is used as a fixed piece, and one of the other cut pieces is removed by a width δd and one of the plurality of optical fibers is left as a movable piece. The fixed piece thus formed is fixed to the box, and the movable piece is housed in the box so that its end face and the end face of the fixed piece move while sliding.
【0020】これにより、小さい製造工数で、光信号が
通過する光ファイバを機械的な動きにより切替えたとき
にその光軸が高い精度で一致する光スイッチを実現する
ことができる。さらに、光ファイバの接続面の傾斜が入
光する通信光の反射を少なくするとともに、可動駒の機
械的な浮きをなくすことができ、長期間にわたる性能の
変化、および摺動や衝撃に対する変化を少なくし信頼性
を高めることができる。Thus, an optical switch whose optical axis coincides with high accuracy when the optical fiber through which the optical signal passes is switched by mechanical movement can be realized with a small number of manufacturing steps. Furthermore, the inclination of the connection surface of the optical fiber reduces the reflection of communication light that enters, and also eliminates the mechanical lifting of the movable piece, thereby reducing changes in performance over a long period of time and changes in sliding and impact. Reliability can be improved.
【0021】[0021]
【0022】[0022]
【実施例】次に、本発明実施例を図面に基づいて説明す
る。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
【0023】(第一実施例)図1は本発明第一実施例の
要部の構成を示す斜視図、図2は本発明第一実施例のス
イッチ部の構成を示す分解斜視図である。(First Embodiment) FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a main part of a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view showing a configuration of a switch section of the first embodiment of the present invention.
【0024】本発明第一実施例は、固定の光ファイバ1
の先端が幅dの端面に表れる固定駒2と、可動の光ファ
イバ1の先端が幅d−δdの端面に表れる可動駒4と、
固定駒2と固着されその固定駒2の端面と可動駒4の端
面とを摺接させながら可動駒4が幅方向にδdだけ動け
るようにその可動駒4を保持する函体5と、この函体5
に対して可動駒4を幅方向に変位させる駆動手段6とが
備えられる。In the first embodiment of the present invention, the fixed optical fiber 1
A fixed piece 2 whose tip appears on an end face of width d, a movable piece 4 whose tip of a movable optical fiber 1 appears on an end face of width d-δd,
A box 5 fixed to the fixed piece 2 and holding the movable piece 4 so that the movable piece 4 can move in the width direction by δd while sliding the end face of the fixed piece 2 and the end face of the movable piece 4; Body 5
And a driving means 6 for displacing the movable piece 4 in the width direction.
【0025】固定駒2および可動駒4の端面は、光ファ
イバ1の軸に垂直な面に対して角度αだけ傾斜して形成
され、固定駒2、可動駒4、および函体5はいずれもシ
リコンウエーハの板材を積層して形成され、駆動手段6
には、可動駒4に取付けられた磁性片7と、函体5の外
に配置されこの磁性片7に作用する電磁手段8とが含ま
れる。The end faces of the fixed piece 2 and the movable piece 4 are formed so as to be inclined by an angle α with respect to a plane perpendicular to the axis of the optical fiber 1, and the fixed piece 2, the movable piece 4 and the box 5 are all formed. The driving means 6 is formed by laminating silicon wafer plates.
Includes a magnetic piece 7 attached to the movable piece 4 and electromagnetic means 8 arranged outside the box 5 and acting on the magnetic piece 7.
【0026】この種の光スイッチは、例えば、図2に示
す寸法Dが3〜5mm、Wが3〜5mm、Tが0.8〜
1.2mmの大きさに形成され、可動駒4の移動寸法δ
dは125〜250μmに設定される。An optical switch of this type has, for example, a dimension D shown in FIG.
It is formed in a size of 1.2 mm, and the moving dimension δ of the movable piece 4
d is set to 125 to 250 μm.
【0027】ここで、本発明第一実施例光スイッチの製
造方法について説明する。まず、幅d、長さWのシリコ
ンウエーハの板材二枚を準備し、その一枚の一方の面に
ピッチ寸法δdの二条のV溝3をエッチングにより精度
0.1μmで形成する。Here, a method of manufacturing the optical switch according to the first embodiment of the present invention will be described. First, two silicon wafer plate members having a width d and a length W are prepared, and two V grooves 3 having a pitch dimension δd are formed on one surface of one of the silicon wafers with an accuracy of 0.1 μm by etching.
【0028】形成された二条のV溝3それぞれに光ファ
イバ1を収容し、エポキシ系の光硬化樹脂で固定し、そ
の上面にシリコンウエーハの他の一枚を接合する。この
状態で函体5に摺接する底面および両側面を平行度0.
1〜0.2μm、平面度0.5〜0.6μmの精度でラ
ッピング加工する。The optical fiber 1 is accommodated in each of the formed two V-grooves 3 and fixed with an epoxy-based photocurable resin, and another surface of the silicon wafer is joined to the upper surface thereof. In this state, the bottom surface and both side surfaces that are in sliding contact with the box 5 have a parallelism of 0.
Lapping is performed with an accuracy of 1 to 0.2 μm and a flatness of 0.5 to 0.6 μm.
【0029】このようにして二本の光ファイバを固定し
た基材を図3に示すように角度α(望ましくは5度〜4
5度)で切断し、その切断面が下向きになる基材を固定
駒2とし、その切断面が上向きになる基材を可動駒4と
して、可動駒4に固定された二本の光ファイバ1のうち
の一本を端面で切断する。図4は二条のV溝3を設けた
固定駒2の切断面を示す部分拡大図である。光ファイバ
1は、図5に示すように一条のV溝3に二本収容して固
定することもできる。この場合には光ファイバ1のピッ
チ間隔δdをきわめて小さくし可動駒4の摺動距離を極
端に短くすることができる。As shown in FIG. 3, the substrate on which the two optical fibers are fixed is angled α (preferably 5 ° to 4 °).
5 °), the base material having the cut surface facing downward is defined as a fixed piece 2, and the base material having the cut surface facing upward is defined as a movable piece 4, and the two optical fibers 1 fixed to the movable piece 4 One of them is cut at the end face. FIG. 4 is a partially enlarged view showing a cut surface of the fixed piece 2 provided with two V grooves 3. As shown in FIG. 5, two optical fibers 1 can be accommodated and fixed in one V-groove 3. In this case, the pitch distance δd of the optical fiber 1 can be made extremely small, and the sliding distance of the movable piece 4 can be made extremely short.
【0030】次に、可動駒4の片側端面をδd(125
〜250μm)だけ平行度0.1〜0.2μmでラッピ
ング加工し、その上面に磁性片7を接着する。Next, one end face of the movable piece 4 is set to δd (125
(Up to 250 μm) with a parallelism of 0.1 to 0.2 μm, and the magnetic piece 7 is adhered to the upper surface thereof.
【0031】一方、これとは別に複数(本実施例では、
三枚)のシリコンウエーハを用いて凹字形の函体5を形
成し、その凹字形の両側面および底面を平行度0.1〜
0.2μm、平面度0.5〜0.6μmの精度でラッピ
ング加工する。シリコンウエーハの接着はエポキシ系の
光硬化樹脂によって行う。On the other hand, apart from this, a plurality (in this embodiment,
A concave box 5 is formed using (three) silicon wafers, and both sides and the bottom surface of the concave are formed with a parallelism of 0.1 to 0.1.
Lapping is performed with an accuracy of 0.2 μm and a flatness of 0.5 to 0.6 μm. The bonding of the silicon wafer is performed with an epoxy-based photocurable resin.
【0032】このようにして形成された函体5の凹部の
片側に、図1および図2に示すように、固定駒2を嵌め
込み接着剤を用いて固定し、その反対側に可動駒4を収
容する。可動駒4は函体5の凹部の幅dに対し隙間δd
をもった状態で収容される。As shown in FIGS. 1 and 2, a fixed piece 2 is fitted into one side of the recess of the box 5 thus formed and fixed using an adhesive, and the movable piece 4 is fixed on the opposite side. To accommodate. The movable piece 4 has a gap δd with respect to the width d of the concave portion of the box 5.
It is housed in a state having
【0033】このようにして形成されたスイッチ部に駆
動手段6を配置し、電源端子9に電源を供給すると、電
磁手段8の作用により磁性片7が一方に吸引され、可動
駒4が函体5の凹部の一方の端面に摺動し当接する。こ
の摺動により可動駒4に固定された光ファイバ1の端面
が固定駒2に固定された一方の光ファイバ1の端面に接
続する。電源端子9から供給する電源の極性を転換する
ことによって可動駒4は反対側に摺動し、可動駒4の光
ファイバ1の端面は固定駒2の別の光ファイバ1の端面
に接続する。When the driving means 6 is arranged on the switch thus formed and power is supplied to the power supply terminal 9, the magnetic piece 7 is attracted to one side by the action of the electromagnetic means 8, and the movable piece 4 is moved to the box. 5 slides into contact with one end face of the recess. By this sliding, the end face of the optical fiber 1 fixed to the movable piece 4 is connected to the end face of one optical fiber 1 fixed to the fixed piece 2. The movable piece 4 slides to the opposite side by changing the polarity of the power supplied from the power supply terminal 9, and the end face of the optical fiber 1 of the movable piece 4 is connected to the end face of another optical fiber 1 of the fixed piece 2.
【0034】可動駒4に固定された光ファイバ1の端面
と、固定駒2に固定された光ファイバ1の端面とは、一
体に形成された基材を切断し分割したものであるので、
光ファイバ1は軸心が一致した状態で接続される。The end face of the optical fiber 1 fixed to the movable piece 4 and the end face of the optical fiber 1 fixed to the fixed piece 2 are obtained by cutting and dividing an integrally formed base material.
The optical fibers 1 are connected with their axes aligned.
【0035】光ファイバ1内を通過する通信光はその接
続端面から再度対向する光ファイバ1内に入光するが、
端面が角度αの傾斜をもって形成されているので反射光
がきわめて少なく、高い伝送効率を得ることができる。
また、固定駒2により可動駒4の上下方向の浮きが抑制
されるので、経時的にあるいは振動や衝撃による性能の
変化はきわめて少ない。The communication light passing through the optical fiber 1 enters the opposing optical fiber 1 again from the connection end face.
Since the end face is formed with an inclination of the angle α, reflected light is extremely small, and high transmission efficiency can be obtained.
In addition, since the movable piece 4 is prevented from floating in the vertical direction by the fixed piece 2, a change in performance over time or due to vibration or impact is extremely small.
【0036】(第二実施例)図6は本発明第二実施例の
要部の構成を示す斜視図、図7は本発明第二実施例のス
イッチ部の構成を示す斜視図である。(Second Embodiment) FIG. 6 is a perspective view showing a configuration of a main part of a second embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a perspective view showing a configuration of a switch section of the second embodiment of the present invention.
【0037】本発明第二実施例は、固定の光ファイバ1
の先端が幅dの端面に表れる固定駒2と、可動の光ファ
イバ1の先端が幅d−δdの端面に表れる可動駒4と、
固定駒2が固着されこの固定駒2の端面と可動駒4の端
面とを摺接させながら可動駒4が幅方向にδdだけ摺動
するようにその可動駒4を保持する空間が形成された函
体15と、この函体15に対して可動駒4を幅方向に変
位させる駆動手段6とが備えられる。函体15には固定
駒2および可動駒4に固定された光ファイバ1を外部に
取り出し充填材10により固定する逃げ溝11が形成さ
れる。駆動手段6には、可動駒4に取付けられた磁性片
7と、函体15の外に配置されこの磁性片7に作用する
電磁手段8とが含まれる。In the second embodiment of the present invention, the fixed optical fiber 1
A fixed piece 2 whose tip appears on an end face of width d, a movable piece 4 whose tip of a movable optical fiber 1 appears on an end face of width d-δd,
The fixed piece 2 is fixed, and a space for holding the movable piece 4 is formed so that the movable piece 4 slides by δd in the width direction while sliding the end face of the fixed piece 2 and the end face of the movable piece 4. A box 15 and driving means 6 for displacing the movable piece 4 in the width direction with respect to the box 15 are provided. A relief groove 11 is formed in the box 15 to take out the optical fiber 1 fixed to the fixed piece 2 and the movable piece 4 to the outside and fix it with the filler 10. The driving means 6 includes a magnetic piece 7 attached to the movable piece 4 and an electromagnetic means 8 arranged outside the box 15 and acting on the magnetic piece 7.
【0038】本第二実施例の図6および図7に示される
寸法W、D、T、d、δおよび角度αは第一実施例と同
様に設定され、その材料、製造方法およびスイッチング
動作も第一実施例と同様である。The dimensions W, D, T, d, δ and the angle α shown in FIGS. 6 and 7 of the second embodiment are set in the same manner as in the first embodiment, and the material, manufacturing method and switching operation are also the same. This is the same as the first embodiment.
【0039】(第三実施例)図8(a)は本発明第三実
施例の要部の構成を示す平面図、(b)は可動駒が移動
した状態を示す平面図である。(Third Embodiment) FIG. 8A is a plan view showing the structure of a main part of a third embodiment of the present invention, and FIG. 8B is a plan view showing a state where the movable piece has moved.
【0040】本発明第三実施例は、固定駒22および可
動駒24が同一幅dで形成され、函体25に移動量調節
アーム26が形成される。この移動量調節アーム26は
可動駒24が移動したときに光ファイバ1の一方が固定
駒22の他方の光ファイバ1に接続する寸法δdになる
ようにあらかじめ変位させた状態で固定される。移動量
調節アーム26の曲げ角度を変えることにより可動駒2
4の移動量を任意に設定することができる。可動駒24
の移動によって行われるスイッチング動作は第一実施例
同様に行われる。In the third embodiment of the present invention, the fixed piece 22 and the movable piece 24 are formed to have the same width d, and the box 25 is provided with the movement adjusting arm 26. The movement adjustment arm 26 is fixed in a state where it is displaced in advance so that one of the optical fibers 1 has a dimension δd for connecting to the other optical fiber 1 of the fixed piece 22 when the movable piece 24 moves. By changing the bending angle of the moving amount adjusting arm 26, the movable piece 2
4 can be arbitrarily set. Movable piece 24
The switching operation performed by the movement is performed in the same manner as in the first embodiment.
【0041】(第四実施例)図9(a)は本発明第四実
施例の要部の構成を示す平面図、(b)は可動駒が移動
した状態を示す平面図である。(Fourth Embodiment) FIG. 9A is a plan view showing the structure of a main part of a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 9B is a plan view showing a state where a movable piece has moved.
【0042】本発明第四実施例は、第三実施例同様に、
固定駒32および可動駒34が同一幅dで形成され、函
体35には、可動駒24の移動時に光ファイバ1の一方
が固定駒32の他方の光ファイバ1に接続する寸法δd
で停止させる移動量調節フレーム36と、この移動量調
節フレーム36に形成された固定アーム37を接触固定
する凹部38とが形成される。固定アーム37の両側面
および凹部の内面に細かい凹凸を形成することにより、
移動量調節フレーム36の位置決め後のレーザあるいは
接着材による固定を確実にすることができる。本第四実
施例の場合も可動駒34によるスイッチング動作は第一
実施例同様に行われる。The fourth embodiment of the present invention is similar to the third embodiment,
The fixed piece 32 and the movable piece 34 are formed with the same width d, and the box 35 has a dimension δd in which one of the optical fibers 1 is connected to the other optical fiber 1 of the fixed piece 32 when the movable piece 24 moves.
A moving amount adjusting frame 36 to be stopped by the above and a concave portion 38 for contacting and fixing a fixing arm 37 formed on the moving amount adjusting frame 36 are formed. By forming fine irregularities on both side surfaces of the fixed arm 37 and the inner surface of the concave portion,
After the positioning of the moving amount adjusting frame 36, the fixing by the laser or the adhesive can be ensured. In the fourth embodiment, the switching operation by the movable piece 34 is performed in the same manner as in the first embodiment.
【0043】(第五実施例)図10(a)は本発明第五
実施例の要部の構成を示す平面図、(b)は可動駒が移
動した状態を示す平面図である。(Fifth Embodiment) FIG. 10A is a plan view showing the structure of a main part of a fifth embodiment of the present invention, and FIG. 10B is a plan view showing a state where the movable piece has moved.
【0044】本発明第五実施例は、幅dの固定駒42
と、この固定駒42よりも大きい幅d1 で形成された可
動駒44とが備えられ、函体45には移動量調節アーム
46が形成される。本第五実施例の場合も第三実施例同
様に可動駒43の移動量が移動量調節アーム46を変位
させることにより設定される。可動駒42の移動による
スイッチング動作は第一実施例同様に行われる。The fifth embodiment of the present invention employs a fixed piece 42 having a width d.
And a movable piece 44 formed with a width d 1 larger than the fixed piece 42, and a movement amount adjusting arm 46 is formed on the box 45. Also in the case of the fifth embodiment, the moving amount of the movable piece 43 is set by displacing the moving amount adjusting arm 46 as in the third embodiment. The switching operation by the movement of the movable piece 42 is performed as in the first embodiment.
【0045】(第六実施例)図11(a)は本発明第六
実施例の要部の構成を示す平面図、(b)は可動駒が移
動した状態を示す平面図である。(Sixth Embodiment) FIG. 11A is a plan view showing the structure of a main part of a sixth embodiment of the present invention, and FIG. 11B is a plan view showing a state where the movable piece has moved.
【0046】本発明第六実施例は、第五実施例同様に、
幅dの固定駒52と、この固定駒52より大きい幅d1
で形成された可動駒54とが備えられ、函体55には、
第四実施例同様に、固定アーム57が形成された移動量
調節フレーム56と、固定アーム37を接触固定する凹
部58とが形成される。可動駒52によるスイッチング
動作は第一実施例同様に行われる。The sixth embodiment of the present invention is similar to the fifth embodiment,
A fixed piece 52 having a width d and a width d 1 larger than the fixed piece 52
And a movable piece 54 formed of
As in the fourth embodiment, a movement amount adjusting frame 56 having a fixed arm 57 formed therein and a recess 58 for contacting and fixing the fixed arm 37 are formed. The switching operation by the movable piece 52 is performed as in the first embodiment.
【0047】[0047]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、小
さい製造工数で、光信号が通過する光ファイバを機械的
な動きにより切替える光スイッチの光軸を高い精度をも
って一致させることができる。さらに、光ファイバの接
続面が傾斜をもって形成されるので、接続端面に生じる
反射を少なくすることができるとともに、可動部の機械
的な浮きを少なくすることができ、これにともなって、
長期間にわたる性能の変化、振動や衝撃に対する変化が
少なくなり、製品の信頼性を高めることができる。As described above, according to the present invention, the optical axes of an optical switch for switching an optical fiber through which an optical signal passes by mechanical movement can be matched with high accuracy with a small number of manufacturing steps. Further, since the connection surface of the optical fiber is formed with an inclination, it is possible to reduce the reflection generated at the connection end surface, and to reduce the mechanical floating of the movable portion.
Changes in performance over a long period of time, changes in vibration and impact are reduced, and product reliability can be improved.
【図1】本発明第一実施例の要部の構成を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a main part of a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明第一実施例のスイッチ部の構成を示す斜
視図。FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of a switch unit according to the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明第一実施例における固定駒および可動駒
の摺接部の角度を示す図1のA矢方向拡大図。FIG. 3 is an enlarged view in the direction of arrow A in FIG. 1 showing the angle of a sliding contact portion between a fixed piece and a movable piece in the first embodiment of the present invention.
【図4】本発明第一実施例における固定駒の光ファイバ
の固定状態を示す図2のB矢方向拡大図。FIG. 4 is an enlarged view in the direction of arrow B in FIG. 2 showing a fixed state of the optical fiber of the fixed piece in the first embodiment of the present invention.
【図5】本発明第一実施例における固定駒の光ファイバ
の別の固定状態を示す部分拡大図。FIG. 5 is a partially enlarged view showing another fixed state of the optical fiber of the fixed piece in the first embodiment of the present invention.
【図6】本発明第二実施例の要部の構成を示す斜視図。FIG. 6 is a perspective view showing a configuration of a main part of a second embodiment of the present invention.
【図7】本発明第二実施例のスイッチ部の構成を示す分
解斜視図。FIG. 7 is an exploded perspective view showing a configuration of a switch unit according to a second embodiment of the present invention.
【図8】(a)は本発明第三実施例の要部の構成を示す
平面図、(b)は可動駒が移動した状態を示す平面図。FIG. 8A is a plan view showing a configuration of a main part of a third embodiment of the present invention, and FIG. 8B is a plan view showing a state where a movable piece has moved.
【図9】(a)は本発明第四実施例の要部の構成を示す
平面図、(b)は可動駒が移動した状態を示す平面図。FIG. 9A is a plan view showing a configuration of a main part of a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 9B is a plan view showing a state where a movable piece has moved.
【図10】(a)は本発明第五実施例の要部の構成を示
す平面図、(b)は可動駒が移動した状態を示す平面
図。FIG. 10A is a plan view showing a configuration of a main part of a fifth embodiment of the present invention, and FIG. 10B is a plan view showing a state where a movable piece has moved.
【図11】(a)は本発明第六実施例の要部の構成を示
す平面図、(b)は可動駒が移動した状態を示す平面
図。FIG. 11A is a plan view showing a configuration of a main part of a sixth embodiment of the present invention, and FIG. 11B is a plan view showing a state where a movable piece has moved.
1 光ファイバ 2、22、32、42、52 固定駒 3 V溝 4、24、34、44、54 可動駒 5、15、25、35、45、55 函体 6 駆動手段 7 磁性片 8 電磁手段 9 電源端子 10 充填材 11 逃げ溝 26、46 移動量調節アーム 36、56 移動量調節フレーム 37、57 固定アーム 38、58 凹部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical fiber 2, 22, 32, 42, 52 Fixed piece 3 V groove 4, 24, 34, 44, 54 Movable piece 5, 15, 25, 35, 45, 55 Box 6 Driving means 7 Magnetic piece 8 Electromagnetic means REFERENCE SIGNS LIST 9 power supply terminal 10 filler 11 relief groove 26, 46 moving amount adjusting arm 36, 56 moving amount adjusting frame 37, 57 fixed arm 38, 58 recess
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原 敬一 長野県小県郡東部町大字滋野乙1382番地1 ミマキ電子部品株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Keiichi Hara 1382-1 Shino Otsu, Tobu-cho, Oguni-gun, Nagano Prefecture 1 Mimaki Electronic Components Co., Ltd.
Claims (8)
固定駒と、可動の光ファイバの先端が端面に表れる可動
駒と、前記固定駒と固着され前記固定駒の端面と前記可
動駒の端面とを摺接させながら前記可動駒が移動できる
ようにその可動駒を保持する函体と、この函体に対して
前記可動駒を変位させる駆動手段とを備えたことを特徴
とする光スイッチ。1. A fixed piece in which a tip of a fixed optical fiber appears on an end face, a movable piece in which a tip of a movable optical fiber appears on an end face, and an end face of the fixed piece fixed to the fixed piece and an end face of the movable piece. An optical switch, comprising: a box for holding the movable piece so that the movable piece can move while being slid, and driving means for displacing the movable piece with respect to the box.
の幅がd−δdである請求項1記載の光スイッチ。2. The optical switch according to claim 1, wherein the width of the fixed piece is d, and the width of the movable piece is d−δd.
って前記幅方向の直線を軸に角度αだけ傾斜して形成さ
れた請求項1記載の光スイッチ。3. The optical switch according to claim 1, wherein the end face is formed to be perpendicular to the optical fiber and inclined by an angle α about a straight line in the width direction as an axis.
体はいずれもシリコンウエーハの板材を積層して形成さ
れた請求項3記載の光スイッチ。4. The optical switch according to claim 3, wherein each of the fixed piece, the movable piece, and the box is formed by laminating a silicon wafer plate.
れた磁性片と、前記函体の外に配置されこの磁性片に作
用する電磁手段とを含む請求項1記載の光スイッチ。5. The optical switch according to claim 1, wherein said driving means includes a magnetic piece attached to said movable piece, and electromagnetic means arranged outside said box and acting on said magnetic piece.
固定駒と、可動の光ファイバの先端が端面に表れる可動
駒とが互いにその端面を接して摺動する構造を有する光
スイッチの製造方法において、光ファイバが貫通する1
個の部材を製造する工程と、その部材を前記光ファイバ
を横切る面で切断することにより前記固定駒および前記
可動駒を製造する工程とを含み、その切断面をそれぞれ
前記端面とすることを特徴とする光スイッチの製造方
法。6. A method of manufacturing an optical switch having a structure in which a fixed piece in which the tip of a fixed optical fiber appears on an end face and a movable piece in which the tip of a movable optical fiber appears on an end face slide on the end faces thereof. In one, the optical fiber penetrates
And a step of manufacturing the fixed piece and the movable piece by cutting the member at a surface crossing the optical fiber, wherein the cut surfaces are each the end surface. A method for manufacturing an optical switch.
バは複数である請求項6記載の光スイッチの製造方法。7. The method according to claim 6, wherein a plurality of the optical fibers penetrate the inside of the member.
層して形成される請求項7記載の光スイッチの製造方
法。8. The method for manufacturing an optical switch according to claim 7, wherein said member is formed by laminating plate members of a silicon wafer.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4381698A JPH11242168A (en) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | Light switch |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4381698A JPH11242168A (en) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | Light switch |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11242168A true JPH11242168A (en) | 1999-09-07 |
Family
ID=12674280
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4381698A Pending JPH11242168A (en) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | Light switch |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11242168A (en) |
-
1998
- 1998-02-25 JP JP4381698A patent/JPH11242168A/en active Pending
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