JPH11212249A - フォトマスクの洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 エアーブローによりフォトマスク表面の洗浄
およびフォトマスクケースの内部も清掃できると共に、
洗浄後のフォトマスク表面の異物検査も効率良く行える
洗浄装置を提供する。 【解決手段】 所定の位置に載置したフォトマスクケー
ス２よりフォトマスク１を取り出し、第１のエアーブロ
ーノズル１０により付着した異物を除去するフォトマス
ク洗浄手段と、フォトマスク洗浄手段により洗浄された
フォトマスク１の面上の異物を検査するために洗浄され
たフォトマスク１を所定の状態に設定するフォトマスク
検査位置設定手段と、エアーブローのためにフォトマス
クが取り出された状態のフォトマスクケース２の内部を
第２のエアーブローノズル１１により清掃するケース内
部清掃手段と、異物検査の終了したフォトマスク１を内
部が清掃されたフォトマスクケース１に収納する収納手
段とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路の
製造工程、特にリソグラフィ工程で用いるフォトマスク
（例えば、レチクル単体あるいはペリクル付きのレチク
ル等）の表面に付着した異物を除去するためのフォトマ
スクの洗浄装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図４は、例えば特開平８ー１９３９５６
号公報に示された従来の異物除去部を含むフォトマスク
（レチクル単体あるいはペリクル付きのレチクル）の異
物検査装置の構成を示す斜視図である。この従来の異物
検査装置は、作業者の手に頼ることなく、フォトマスク
上の異物を好適に除去することができるフォトマスクの
異物検査装置を提供することを目的としたものであり、
所定の搬送経路に従ってフォトマスク１を搬送するマス
ク搬送機構４０〜９０と、そのマスク搬送機構によって
規定の検査位置に搬送されたフォトマスク１上の異物の
有無を検査する異物検査部２０と、フォトマスク１を収
容し、フォトマスク１上の異物をエアー吹き出し部１０
０からのエアー吹き出しにより除去（即ち、洗浄）する
異物除去部３０とを備えたものである。

【０００３】尚、マスク搬送機構は、昇降可能（上下動
可能）なフォトマスクカセットキャリア４０と、フォト
マスクカセットキャリア４０によって所定位置に搬送さ
れたフォトマスクカセットからその内部に収納されてい
たフォトマスク１を１個ずつ受け取って搬出するマスク
搬出ハンド５０と、未使用フォトマスクと使用済みフォ
トマスクの位置を反転させる回転機能を備えたフォトマ
スク交換ハンド６０と、フォトマスク検査用の直動ステ
ージ７０と、ステッパ本体（図示せず）との間でフォト
マスク１の授受を行うフォトマスク送り込みハンド８０
とから構成されている。また、異物検査部２０は所定の
検査位置に搬送されたフォトマスク１に対して検査用の
レーザ光等をマスク表面に斜めに照射する光射出部と、
そのマスク表面に照射された光の散乱反射を利用してフ
ォトマスク１上に異物が存在しているか否かを判定する
検査機能を備えている。また、異物除去部３０は異物検
査部２０に隣接して設けられ、その底部にはエアー吹出
部１００が架設されている。さらに直動ステージ７０の
移動方向を案内するガイドシャフト９０が延出してお
り、これによって直動ステージ７０が異物検査部２０と
異物除去部３０との間を自由に往復移動できる構成とな
っている。

【０００４】このような従来の異物検査装置において
は、異物検査部２０にて異物ありと判定されたフォトマ
スク１を異物除去部３０に収容し、そこでエアー吹出部
１００からのエアー吹き付けにより異物の除去を自動的
に行うので、人為的ミスによるフォトマスク１の破損は
無くなる。また、エアーの吹き付けによりフォトマスク
１上の異物を除去する場合は、シャッター部１１０を閉
じることで、異物除去部３０から異物検査部２０への異
物の侵入を阻止することができるため、異物検査部２０
における清掃雰囲気が汚染されることも防止できる。さ
らに、異物除去部３０に排出部１２０を設けることによ
ってもフォトマスク１上から除去した異物をエアーと共
に排出部１２０から外部に排出するように構成されてい
るので、エアーの吹き付けにより舞い上がった異物がフ
ォトマスク１に再付着することも防げる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】一般的に、半導体工場
のクリーンルームの中には１ラインあたり数千〜数万枚
のフォトマスクが動いており、たとえクリーンルームの
中であっても作業者や物が動いているので、クリーンル
ーム内部では浮遊塵となった異物が発生しており、フォ
トマスクを保護するためにフォトマスク１個毎にフォト
マスクケース（フォトマスクカセット）が必要である。
また、保管庫と生産装置の間でフォトマスクのハンドリ
ング作業があり、作業者からフォトマスクへ異物が付着
する可能性があるためケースによるハンドリングが必要
である。このような理由により、半導体工場内では必ず
フォトマスク１個に対してフォトマスクケース１個が一
対となって動いており、フォトマスクケースの内部には
半導体工場内の微細な浮遊塵等が付着している。従っ
て、フォトマスクケースの内部に付着していた浮遊塵等
が異物としてフォトマスクの表面に付着する可能性があ
る。

【０００６】近年の高集積化され極微細化されたパター
ンを有する半導体集積回路の製造環境は益々クリーン化
が要求されており、フォトマスクの洗浄と共にフォトマ
スクケースの内部も洗浄する必要が生じてきている。し
かしながら、上記のような従来のフォトマスクの異物検
査装置の異物除去部２０はフォトマスク１の表面に付着
した異物を除去するだけであり、フォトマスクカセット
キャリア４０に載置されているフォトマスクケース（フ
ォトマスクカセット）の内部を清掃することはできな
い。また、容易に検査環境を最適に設定することによ
り、洗浄後のフォトマスク表面の異物除去工程における
異物の検査品質も更なる改善を図って行かなければなら
ない。また、フォトマスクおよびフォトマスクケース内
部の清掃（即ち、異物除去）工程およびフォトマスク表
面の異物検査工程は一連の作業として自動化され、作業
効率の高いものでなければならない。

【０００７】本発明は、上述のような課題を解決するた
めになされたもので、第１の目的はフォトマスクケース
の内部も清掃することのできる装置を実現することにあ
る。また、第２の目的はフォトマスクおよびフォトマス
クケース内部の清掃機能およびフォトマスク表面の異物
検査機能を一体的に備え、自動化された作業性の高い装
置を実現することにある。また、第３の目的は洗浄後の
フォトマスク表面の異物検査を最適な状態で容易に実施
できる装置を実現することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明に係るフォトマ
スクの洗浄装置は、所定の位置に載置したフォトマスク
ケースよりフォトマスクを取り出し、第１のエアーブロ
ーノズルにより付着した異物を除去するフォトマスク洗
浄手段と、上記フォトマスク洗浄手段により洗浄された
フォトマスクの面上の異物を検査するために、上記洗浄
されたフォトマスクを所定の状態に設定するフォトマス
ク検査位置設定手段と、エアーブローのためにフォトマ
スクが取り出された状態の上記フォトマスクケースの内
部を第２のエアーブローノズルにより清掃するケース内
部清掃手段と、異物検査の終了したフォトマスクを上記
ケース内部清掃手段により内部が清掃されたフォトマス
クケースに収納する収納手段とを備えたものである。

【０００９】また、この発明に係るフォトマスクの洗浄
装置は、フォトマスク洗浄手段、フォトマスク検査位置
設定手段および収納手段による作業は、それぞれ自動的
にその作業が処理されるように構成されていることを特
徴とするものである。

【００１０】また、この発明に係るフォトマスクの洗浄
装置のケース内部清掃手段は、フォトマスク洗浄手段に
よるフォトマスクの取り出し方向に対してフォトマスク
ケースを略９０度回転する回転駆動機構と、略９０度回
転された上記フォトマスクケースの開口部より第２のエ
アーブローノズルを上記フォトマスクケースの内部の所
定の位置まで挿入させる機構と、上記第２のエアーブロ
ーノズルが上記フォトマスクケース内に挿入されると自
動的にエアーブローを開始させる機構とを有したもので
ある。

【００１１】また、この発明に係るフォトマスクの洗浄
装置のフォトマスク検査位置設定手段は、投光器からの
照射光に対するフォトマスクの面の角度を所定の値に設
定できるように構成されているものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】実施の形態１．本発明の一実施の
形態を図面に基づいて説明する。尚、図において従来と
同一符号は従来のものと同一あるいは相当のものを表
す。図１はこの発明の実施の形態１であるフォトマスク
の洗浄装置の全体構成を示す斜視図、図２は要部の概略
構成を示す側面図、図３はフォトマスク内部の清掃動作
を説明するための図である。図１乃至図３において、１
はフォトマスク、２はこのフォトマスク１を収納するフ
ォトマスクケース、３はこのフォトマスクケース２から
フォトマスクを出し入れする際に開閉自在なフォトマス
クケース２の蓋、４はこのフォトマスクケース２を載置
するケース載せ台、５はこのケース載せ台４に取り付け
られ、フォトマスクケースを固定するためのフォトマス
クケース固定部、６はケース載せ台４に取り付けられ、
ケース載せ台を回転するための回転用シリンダー、７は
直線移動および昇降自在で、かつフォトマスクケース２
を着脱自在に挟持するフォトマスクチャックである。

【００１３】また、８はこのフォトマスクチャック７を
保持するフォトマスクハンド、９はこのフォトマスクハ
ンド８を直線移動および昇降駆動するフォトマスクハン
ド駆動部、１０はフォトマスクハンド８の上下にそれぞ
れ配置され、複数の小径のエアー吹き出し孔を有し、フ
ォトマスクハンド８の直線移動方向に平行移動自在な一
対のエアーブローノズル（１０Ａおよび１０Ｂ）からな
る第１のエアーブローノズルである。また、１１はフォ
トマスクケース２の内部を清掃するための第２のエアー
ブローノズル、１２は第１のエアーブローノズル１０に
よるフォトマスク１の表面に付着した異物を除去する異
物除去工程後のフォトマスク表面の残存異物の有無を目
視検査するための投光器である。また、１３はフォトマ
スクケース２が載置されたケース載せ台４を回転用シリ
ンダー６により回転駆動してフォトマスクケース２を所
定の角度に設定するフォトマスクケース傾斜機構部とフ
ォトマスクケース２を所定の位置まで上下方向に移動さ
せるフォトマスクケース上下機構部とを備えたフォトマ
スクケース駆動部である。

【００１４】以下、本実施の形態によるフォトマスクの
洗浄装置の詳細な構成と動作を作業手順に従って時系列
的に説明する。 （１）フォトマスクケースのセット ａ．まず、図示しないケースワゴン（従来装置のフォト
マスクカセットキャリア４０に相当するもの）からフォ
トマスク１が収納されているフォトマスクケース２をケ
ース載せ台４（このケース載せ台４はフォトマスクケー
ス２を位置決めクランプするためのケースホルダーの役
目を有する。）ヘ作業者がセットし、装置前面に設置さ
れた操作スイッチ『スタート』ボタン（図示せず）を押
す。これによりこれ以降はオートモードにより自動運転
を始める。

【００１５】ｂ．ここで、このケース載せ台４が回転し
ても、フォトマスクケース２が落下しないように、フッ
クでフォトマスクケース２の端部を係止できるような構
造となっており、セットの際にフォトマスクケース２の
蓋３が奥の方（即ち、フォトマスクハンド８の方向）に
なる向きにセットする。尚、現状ではケースワゴンから
のフォトマスクケース２の取り出し工程とケース載せ台
４の所定の位置に取り出されたフォトマスクケース２を
セットする工程は自動化されておらず、作業者が手作業
で取り出しセットしている。必要に応じてこれらの工程
を自動化することは容易であるが、発明の核心に関する
部分ではないので、この工程の自動化のための説明は省
略する。

【００１６】（２）次に、フォトマスク１の取り出し動
作について説明する。 ａ．まず、図示しないケース固定用シリンダーの駆動に
よりフォトマスクケース２をケース載せ台４の所定の位
置で自動的に固定する。 ｂ．図示しない蓋開用シリンダーの駆動により、自動的
にフォトマスクケース２の蓋３が開く。 ｃ．先端部にフォトマスクチャック７を設けたフォトマ
スクハンド８がフォトマスクハンド駆動部９により後退
端から前進端まで移動し、フォトマスクケース２内ヘ自
動的に挿入される。 ｄ．フォトマスク１をフォトマスクハンド８がチャッキ
ングするための微調整を行うために、フォトマスクハン
ド駆動部９の図示しない下降用シリンダーの駆動により
フォトマスクハンド８が自動的にわずかに下降する。

【００１７】ｅ．フォトマスク１をフォトマスクケース
２より取り出すために、フォトマスクチャック用シリン
ダーの駆動によりフォトマスク１を自動的にセンターリ
ングし、チャッキングする。 ｆ．フォトマスク１をチャックした状態でフォトマスク
ハンド駆動部９の図示しない上昇用シリンダーの駆動に
より自動的に上昇し、フォトマスクケース２からフォト
マスク１を取り出す時の所定の位置にセットされる。 ｇ．所定の位置まで上昇したフォトマスクハンド８は、
フォトマスク１の表面の異物をエアー吹き付けにより除
去するための第１のエアーブローノズル１０によるフォ
トマスクブローの開始位置まで自動的に後退する。以上
で、フォトマスク１の取り出し動作が終了する。

【００１８】（３）次に、フォトマスク１の洗浄（異物
除去）動作について説明する。 ａ．まず、第１のエアーブローノズル１０を構成する一
対の連動する上下２本のエアーブロー用ノズル１０Ａお
よび１０Ｂがフォトマスク１の両面に接近するために、
シリンダーの駆動により待機位置からエアーブローする
ための位置へ移動する。 ｂ．そして、一対のエアーブローノズル１０Ａおよび１
０Ｂからクリーンエアー（露天−６０℃、ダスト５０ヶ
／０．１μｍｃｆ）が自動的に吹出してエアーブロー洗
浄し、フォトマスク１の両面を清掃して異物を除去す
る。ここで、エアーブローノズルのエアー吹き出し用の
穴は複数個あり、フォトマスク１の面に対するノズルか
らのエアー吹き出しの角度は任意に設定可能であるが、
経験的に２０度が最適である。また、エアーブローの流
れがフォトマスク面にあたるのをフォトマスクチャック
７のアームが妨げとならないように、フォトマスク１の
両面をエアーブローする際に、フォトマスクチャック７
のアームがフォトマスク１の両側端面を挟み込むような
構造となっている。（図２参照） ｃ．フォトマスク１のエアーブローが終了する位置まで
フォトマスクハンド８が後退した時点で、第１のエアー
ブローノズル１０の各エアーノズル１０Ａおよび１０Ｂ
からのエアーブローは自動的に停止し、第１のエアーブ
ローノズル１０の各エアーノズル１０Ａおよび１０Ｂは
図示しないシリンダーの作動によって、所定の待機位置
まで移動する。以上で、フォトマスク１の両面の洗浄動
作が終了する。

【００１９】（４）次に、フォトマスク１が取り出さ
れ、空の状態でケース載せ台４に載置されているフォト
マスクケース２の内部をエアー洗浄するための動作につ
いて説明する。 ａ．フォトマスク１の表面洗浄動作が終了し、第１のエ
アーブローノズル１０のエアーノズル１０Ａおよび１０
Ｂが所定の待機位置で停止すると、ケース載せ台４はフ
ォトマスクケース駆動部１３のケース傾斜機構部の回転
用シリンダー６の駆動によりフォトマスクケース２の蓋
３がある方の開口部を下に向けるために水平方向から垂
直方向へ９０度回転する。尚、図１における２’はフォ
トマスクケース２が９０度回転したときの状態を示して
いる。 ｂ．そこで、この垂直方向に回転したケース載せ台４は
フォトマスクケース駆動部１３のケース上下機構部の下
降用エアーシリンダーの駆動により、フォトマスクケー
ス内部清掃用の第２のエアーブローノズル１１の方向に
向かって自動的に下降を開始する。（図３参照） このような構成を採用したことにより、フォトマスク１
の表面に投光器１２から光をあてるスペースができ、か
つ、下の方に配置されたフォトマスクケース２の内部ブ
ロー用の第２のエアーブローノズル１１は、フォトマス
クケース２の蓋３が開いた開口部よりフォトマスクケー
ス２の内部に挿入することが可能となる。

【００２０】ｃ．第２のエアーブローノズル１１は、フ
ォトマスクケース２の内部へ挿入できるようにフォトマ
スクケースの内寸より小さく設計され、かつ、フォトマ
スク検査のための投光器１２の位置よりも下の方に配置
されており、フォトマスクケース駆動部１３のシリンダ
駆動によりフォトマスクケース２の内部へ自動的に挿入
される。なお、この第２のエアーブローノズル１１には
全方向へ吹き出し可能なように複数の穴が設けられてい
る。 ｄ．フォトマスクケース駆動部１３の駆動によりフォト
マスクケース２が下降し、第２のエアーブローノズル１
１がフォトマスクケース２の内部へ挿入し始めると、こ
の状態を検知して第２のエアーブローノズル１１からク
リーンエアーの吹き出しを自動的に開始するようにプロ
グラム設計されている。そして、フォトマスクケース２
が下降中にクリーンエアーがフォトマスクケース２の内
面全体にまんべんなく吹き付けられる。 ｅ．第２のエアーブローノズル１１がフォトマスクケー
ス２の内部の最も奥まで挿入される位置までケース載せ
台４が下降した時に、第２のエアーブローノズル１１の
クリーンエアーの吹出しは自動的に停止するよう設定さ
れている。以上で、フォトマスクケースの洗浄動作が終
了する。

【００２１】（５）次に、フォトマスクの検査工程につ
いて説明する。 ａ．フォトマスクハンド８は、エアーブローによる洗浄
の終了したフォトマスク１をフォトマスクブローが終了
した位置から所定の目視検査位置（例えば、前進端）ま
で自動的に移動する。 ｂ．フォトマスク１が目視検査位置まで移動した時点
で、フォトマスクハンド駆動部９のフォトマスクハンド
回転用モーターによって作業者よりみて時計方向へ４０
度自動的に回転する。尚、この４０度という数値は、投
光器からの光を横からあてた場合に、これに対する被検
査面であるクロム面の水平方向からの角度が４０度前後
が異物の有無の目視検査に最も適した角度であることが
経験的に知られている。また、この角度は、作業者の背
の高さにより多少異なるので、検査角度微調整ボタンを
押すことにより作業者によるパネル操作により３５度と
４５度にもマニュアルで調整できる構成となっている。 ｃ．そして、投光器１２を点灯し、投光器１２の照明光
によってフォトマスク表面（クロム面）の異物の有無を
作業者が目視により検査する。

【００２２】ｄ．フォトマスク表面の目視検査に合格の
場合は、作業者が装置前面の操作パネルの『合格』ボタ
ンを押す。また、目視検査において再度エアーブローが
必要な場合は、作業者が装置前面の操作スイッチ『再エ
アーブロー』を押すと、フォトマスクハンド８が反時計
方向へ自動的に４０度回転して、水平方向に戻り、前述
のフォトマスク１のエアーブロー（洗浄動作）工程を再
度行う。なお、再エアーブローは表面と裏面とは独立
（連続処理されない）であり、表面の検査する時は、表
面を上にしてエアーブローし、裏面の検査をする時は裏
面を上にしてエアーブローするようなしくみになってい
る。但し、目視検査の結果、明らかに不良と判定され、
再ブローが不要の場合は後述する不良フォトマスクの処
理を行う。

【００２３】ｅ．次に、フォトマスクハンド８が、作業
者よりみて反時計方向へ２２０度（前記４０度に１８０
度を加えた値）自動的に回転し水平となる。作業者は、
この２２０度まで回転している途中の段階においても目
視検査を行う。この後、時計方向へ４０度自動的に回転
する。これらの時点で投光器１２の照明によって（この
フォトマスク検査器の場合、作業者からみて右側より投
光器１２から光が水平方向に当てられる。）フォトマス
ク裏面（ガラス面）の異物を作業者が目視にて検査を行
う。 ｆ．検査合格の場合は、作業者が装置前面の操作スイッ
チ『合格』を押す。以上で、フォトマスク１の裏面の異
物検査が終了する。 ｇ．目視検査において再ブローが必要な場合は、作業者
が装置前面の操作スッチ『再ブロー』を押すと、フォト
マスクハンド８が反時計方向へ４０度自動的に回転して
水平に戻り、再度エアーブローを行う。但し、目視検査
の結果、明らかに不良と判定され、再ブローが不要の場
合は後述する不良フォトマスクの処理を行う。

【００２４】（６）最後に、目視検査終了後の工程につ
いて説明する。 ａ．フォトマスク１の表と裏の両面の異物目視検査が終
了すると、フォトマスクハンド８は時計方向へ１４０度
自動的に回転することにより水平となり、かつ、フォト
マスクハンド８はフォトマスクブローの終了位置まで自
動的に後退して停止する。 ｂ．そして前述したフォトマスクケース２の内部のエア
ー洗浄工程が終了し、下降端にて垂直状態で待機してい
た清掃済みのフォトマスクケース２を載せたケース載せ
台４は自動的に上昇し、所定の位置で停止し、フォトマ
スクケース駆動部１３の回転用シリンダー６の駆動によ
り垂直方向から水平方向へ９０度自動的に回転して待機
する。 ｃ．次に、（４）項の異物検査が終了し、フォトマスク
ハンド８の先端に取付けフォトマスクチャック７に保持
されて待機していたフォトマスク１は、フォトマスクハ
ンド駆動部９のモータ駆動により自動的に前進移動し、
待機していた内部清掃済みのフォトマスクケース２内ヘ
搬送される。

【００２５】ｄ．下降用シリンダーによってフォトマス
クハンドは自動的に下降し、フォトマスクハンド８の先
端にとりつけられたフォトマスクチャック７が保持して
いたフォトマスク１は、図示しないフォトマスクチャッ
ク開放用シリンダーによって、フォトマスク１をフォト
マスクチャック７から自動的に開放し、フォトマスクケ
ース２内の所定の定位置へセットされる。 ｅ．フォトマスクハンド駆動部９の上下動シリンダーに
よってフォトマスクハンド８は自動的に上昇し、モータ
駆動によりフォトマスクハンド８は後退端まで移動して
停止する。 ｆ．フォトマスクの蓋開閉用シリンダーにより、フォト
マスクケースの蓋３が自動的に閉じる。 ｇ．最後に、異物の目視検査が終了して合格と判定され
たフォトマスク１が収納されているフォトマスクケース
２をケース載せ台４から取り出す。

【００２６】（７）異物の目視検査結果が不良の場合の
処置について。前述の（５）項における目視検査作業に
おいて、不良と判定された場合は、作業者が装置前面の
操作スイッチ『ＮＧ』を押すと、自動的に不良品のフォ
トマスクはフォトマスクケース２へ収納され、不良品と
しての所定の処理が施される。

【００２７】以上説明したように、本実施の形態による
フォトマスクの洗浄装置は、ウエハプロセス写真製版工
程におけるフォトマスク検査工程の作業性の改善及びコ
スト削減を図るために、フォトマスク１およびフォトマ
スクケース２の洗浄およびフォトマスク表面に付着して
いる異物検査のために開発されたものである。そして、
この装置は、フォトマスクケース２の内部の清掃作業の
ための機構、異物の目視検査作業前のエアーブローによ
る洗浄作業のための機構および目視検査のための機構を
一体化して構築されており、さらにその操作はタッチパ
ネル操作方式であり、この操作パネルは、初期画面、オ
ート操作画面、マニュアル操作画面、エラーメッセージ
画面の４種類が用意されている。また、フォトマスクケ
ース２の始めのセットと最後の取り外し動作以外は、通
常は全自動であるが、マニュアル操作画面を５秒間押し
続けると自動からマニュアルに切り替えることができ
る。

【００２８】従って、本実施の形態によるフォトマスク
の洗浄装置によれば、フォトマスクケース２の内部も自
動的に清掃されるので、フォトマスクケース２の内部の
壁面等に付着していた微細な塵埃がフォトマスクの表面
に異物として付着するのを確実に防止できると共に、こ
のフォトマスクケース２の内部の清掃作業、異物の目視
検査作業前のエアーブローによる洗浄作業および異物の
目視検査のためのフォトマスク検査位置の設定作業がほ
ぼ自動的に連続して実施することが可能となり、大幅な
作業性の改善を実現することが可能となる。

【００２９】

【発明の効果】この発明のフォトマスクの洗浄装置によ
れば、所定の位置に載置したフォトマスクケースよりフ
ォトマスクを取り出し、第１のエアーブローノズルによ
り付着した異物を除去するフォトマスク洗浄手段と、フ
ォトマスク洗浄手段により洗浄されたフォトマスクの面
上の異物を検査するために上記洗浄されたフォトマスク
を所定の状態に設定するフォトマスク検査位置設定手段
と、エアーブローのためにフォトマスクが取り出された
状態のフォトマスクケースの内部を第２のエアーブロー
ノズルにより清掃するケース内部清掃手段と、異物検査
の終了したフォトマスクをケース内部清掃手段により内
部が清掃されたフォトマスクケースに収納する収納手段
とを備えているので、フォトマスクケースの内部も清掃
できることになり、フォトマスクケースの内部に付着し
ていた微細な塵埃がフォトマスクの表面に異物として付
着するのを確実に防止できると共に、このフォトマスク
ケースの内部の清掃作業、異物の目視検査作業前のエア
ーブローによる洗浄作業および異物の目視検査作業のた
めのフォトマスク検査位置設定作業が一体の装置として
構成されているので作業性の改善を図ることができると
いう効果を奏する。

【００３０】また、この発明のフォトマスクの洗浄装置
によれば、フォトマスク洗浄手段、フォトマスク検査位
置設定手段および収納手段による作業は、それぞれ自動
的にその作業が処理されるように構成されているので、
フォトマスクケースの内部に付着していた微細な塵埃が
フォトマスクの表面に異物として付着するのを確実に防
止できると共に、フォトマスクケースの内部の清掃作
業、異物の目視検査作業前のエアーブローによる洗浄作
業および異物の目視検査作業のためのフォトマスク検査
位置設定作業がほぼ自動的に連続して実施することが可
能となり、大幅な作業性の改善を実現できるという効果
を奏する。

【００３１】また、この発明のフォトマスクの洗浄装置
によれば、そのケース内部清掃手段は、フォトマスク洗
浄手段によるフォトマスクの取り出し方向に対してフォ
トマスクケースを略９０度回転する回転駆動機構と、略
９０度回転された上記フォトマスクケースの開口部より
第２のエアーブローノズルを上記フォトマスクケースの
内部の所定の位置まで挿入させる機構と、上記第２のエ
アーブローノズルが上記フォトマスクケース内に挿入さ
れると自動的にエアーブローを開始させる機構としたの
で、簡単な構成でケース内部清掃手段を実現できると共
に、フォトマスクの表面に投光器から光をあてるための
スペースが確保できるという効果を奏する。

【００３２】また、この発明に係るフォトマスクの洗浄
装置のフォトマスク検査位置設定手段は、投光器からの
照射光に対するフォトマスクの面の角度を所定の値に設
定できるように構成されているので、最適な状態で目視
による異物検査が容易に可能となり、検査品質の向上と
検査作業の改善が図れるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１によるフォトマスクの
洗浄装置の全体構成を示す斜視図である。

【図２】 本発明の実施の形態１によるフォトマスクの
洗浄装置の要部の概略構成を示す側面図である。

【図３】 本発明の実施の形態１によるフォトマスクの
洗浄装置のフォトマスクケース内部の清掃動作を説明す
るための図である。

【図４】 従来のフォトマスクの異物検査装置の構成を
示す斜視図である。

【符号の説明】

１ フォトマスク ２ フォトマスクケー
ス ３ 蓋 ４ ケース載せ台 ５ フォトマスクケー
ス固定部 ６ 回転用シリンダー ７ フォトマスクチャ
ック ８ フォトマスクハンド ９ フォトマスクハン
ド駆動部 １０ 第１のエアーブローノズル １１ 第２のエアーブローノズル １２ 投光器 １３ フォトマスクケ
ース駆動部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０３Ｇ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の位置に載置したフォトマスクケー
   スよりフォトマスクを取り出し、第１のエアーブローノ
   ズルにより付着した異物を除去するフォトマスク洗浄手
   段と、 上記フォトマスク洗浄手段により洗浄されたフォトマス
   クの面上の異物を検査するために、上記洗浄されたフォ
   トマスクを所定の状態に設定するフォトマスク検査位置
   設定手段と、 エアーブローのためにフォトマスクが取り出された状態
   の上記フォトマスクケースの内部を第２のエアーブロー
   ノズルにより清掃するケース内部清掃手段と、 異物検査の終了したフォトマスクを上記ケース内部清掃
   手段により内部が清掃されたフォトマスクケースに収納
   する収納手段とを備えたことを特徴とするフォトマスク
   の洗浄装置。
2. 【請求項２】 フォトマスク洗浄手段、フォトマスク検
   査位置設定手段および収納手段による作業は、それぞれ
   自動的にその作業が処理されるように構成されているこ
   とを特徴とする請求項１に記載のフォトマスクの洗浄装
   置。
3. 【請求項３】 ケース内部清掃手段は、フォトマスク洗
   浄手段によるフォトマスクの取り出し方向に対してフォ
   トマスクケースを略９０度回転する回転駆動機構と、略
   ９０度回転された上記フォトマスクケースの開口部より
   第２のエアーブローノズルを上記フォトマスクケースの
   内部の所定の位置まで挿入させる機構と、上記第２のエ
   アーブローノズルが上記フォトマスクケース内に挿入さ
   れると自動的にエアーブローを開始させる機構とを有し
   ていることを特徴とする請求項１または２のいずれかに
   記載のフォトマスクの洗浄装置。
4. 【請求項４】 フォトマスク検査位置設定手段は、投光
   器からの照射光に対するフォトマスクの面の角度を所定
   の値に設定できるように構成されていることを特徴とす
   る請求項１または２のいずれかに記載のフォトマスクの
   洗浄装置。