JPH11180767A - 誘電体磁器および積層セラミックコンデンサ - Google Patents
誘電体磁器および積層セラミックコンデンサInfo
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- JPH11180767A JPH11180767A JP9349114A JP34911497A JPH11180767A JP H11180767 A JPH11180767 A JP H11180767A JP 9349114 A JP9349114 A JP 9349114A JP 34911497 A JP34911497 A JP 34911497A JP H11180767 A JPH11180767 A JP H11180767A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】比誘電率が大きく、誘電損失が小さく、かつ低
温焼成できるとともに、CuOの偏析による絶縁抵抗の
低下を防止できる誘電体磁器を提供し、さらに短絡不良
率の低減を図ることができる積層セラミックコンデンサ
を提供する。 【解決手段】Pb、Mg、Nb、Tiと、Inおよび周
期律表第3a族元素のうち少なくとも一種を含有するペ
ロブスカイト型結晶粒子からなり、該ペロブスカイト型
結晶粒子中にCuが固溶していることを特徴とする。
温焼成できるとともに、CuOの偏析による絶縁抵抗の
低下を防止できる誘電体磁器を提供し、さらに短絡不良
率の低減を図ることができる積層セラミックコンデンサ
を提供する。 【解決手段】Pb、Mg、Nb、Tiと、Inおよび周
期律表第3a族元素のうち少なくとも一種を含有するペ
ロブスカイト型結晶粒子からなり、該ペロブスカイト型
結晶粒子中にCuが固溶していることを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、誘電体磁器および
積層セラミックコンデンサに関し、特にCuがペロブス
カイト型結晶粒子中に固溶した誘電体磁器および積層セ
ラミックコンデンサに関する。
積層セラミックコンデンサに関し、特にCuがペロブス
カイト型結晶粒子中に固溶した誘電体磁器および積層セ
ラミックコンデンサに関する。
【0002】
【従来技術】近年、電子機器の小型化、高性能化に伴
い、コンデンサ等の電子部品の小型化、大容量化の要求
が高まってきている。一般に、コンデンサなどに使用さ
れる誘電体材料には、高い比誘電率が要求されることは
もちろんのこと、誘電損失が小さく、温度特性が良好で
あり、直流電圧に対する誘電特性の依存性が小さい等
の、種々の要求を満足させる必要がある。
い、コンデンサ等の電子部品の小型化、大容量化の要求
が高まってきている。一般に、コンデンサなどに使用さ
れる誘電体材料には、高い比誘電率が要求されることは
もちろんのこと、誘電損失が小さく、温度特性が良好で
あり、直流電圧に対する誘電特性の依存性が小さい等
の、種々の要求を満足させる必要がある。
【0003】従来から、この様な要求を満足する誘電体
材料として、チタン酸バリウムBaTiO3 のようなペ
ロブスカイト型の各種酸化物が報告されており、また実
用化されている。
材料として、チタン酸バリウムBaTiO3 のようなペ
ロブスカイト型の各種酸化物が報告されており、また実
用化されている。
【0004】しかしながら、BaTiO3 を主体とする
高誘電率系材料では焼成温度が1300〜1350℃と
高く、内部電極としてAu、Pt、Pdなどの高価な貴
金属が一般に用いられ、積層セラミックコンデンサで
は、生産コストに占める電極材料費の割合が大きいた
め、全体のコストを低減することに限界があった。
高誘電率系材料では焼成温度が1300〜1350℃と
高く、内部電極としてAu、Pt、Pdなどの高価な貴
金属が一般に用いられ、積層セラミックコンデンサで
は、生産コストに占める電極材料費の割合が大きいた
め、全体のコストを低減することに限界があった。
【0005】このため、BaTiO3 を主体とする高誘
電率系材料にB、Bi、Si、Pbなどの酸化物からな
るガラス成分を添加し、焼成温度を1300〜1350
℃から1100〜1150℃に低下させた積層セラミッ
クコンデンサが開発されている。この積層セラミックコ
ンデンサは、低温での焼結が可能なため、比較的安価な
Ag−Pd合金を内部電極に使用することができる。
電率系材料にB、Bi、Si、Pbなどの酸化物からな
るガラス成分を添加し、焼成温度を1300〜1350
℃から1100〜1150℃に低下させた積層セラミッ
クコンデンサが開発されている。この積層セラミックコ
ンデンサは、低温での焼結が可能なため、比較的安価な
Ag−Pd合金を内部電極に使用することができる。
【0006】しかし、この積層セラミックコンデンサで
は、ガラス成分を添加することによって、比誘電率が低
下してしまうという問題があった。そのため、上記した
コンデンサ等の電子部品の小型化、大容量化に対応でき
なくなってしまい、また、所望の容量を得るためにコン
デンサ等の電子部品の寸法が大きくなり、電極材料の低
コスト化を困難にしてしまっている。
は、ガラス成分を添加することによって、比誘電率が低
下してしまうという問題があった。そのため、上記した
コンデンサ等の電子部品の小型化、大容量化に対応でき
なくなってしまい、また、所望の容量を得るためにコン
デンサ等の電子部品の寸法が大きくなり、電極材料の低
コスト化を困難にしてしまっている。
【0007】そこで、近年、高誘電率、低誘電損失、か
つ比較的低温焼成可能な誘電体材料として、Pb(Mg
1/3 Nb2/3 )O3 −PbTiO3 からなる鉛系複合ペ
ロブスカイト酸化物材料が知られている(特公昭61−
28619号公報参照)。しかし、これらPb(Mg
1/3 Nb2/3 )O3 −PbTiO3 系では、低温領域で
焼成は可能とされているが、実際には1050〜115
0℃程度で焼結しないと良好な特性が得られていない。
そこで、従来、上記鉛系複合ペロブスカイト酸化物材料
に対し、CuOを添加することにより、良好な誘電特性
を維持しつつ、焼結温度の低下を図った誘電体磁器組成
物が開示されている(特開平2−172106号公報参
照)。
つ比較的低温焼成可能な誘電体材料として、Pb(Mg
1/3 Nb2/3 )O3 −PbTiO3 からなる鉛系複合ペ
ロブスカイト酸化物材料が知られている(特公昭61−
28619号公報参照)。しかし、これらPb(Mg
1/3 Nb2/3 )O3 −PbTiO3 系では、低温領域で
焼成は可能とされているが、実際には1050〜115
0℃程度で焼結しないと良好な特性が得られていない。
そこで、従来、上記鉛系複合ペロブスカイト酸化物材料
に対し、CuOを添加することにより、良好な誘電特性
を維持しつつ、焼結温度の低下を図った誘電体磁器組成
物が開示されている(特開平2−172106号公報参
照)。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
2−172106号に開示された誘電体磁器組成物で
は、焼結温度を低下させることは可能であるが、CuO
の平均粒径が、図2に示すように、主相であるペロブス
カイト型結晶粒子の平均粒径よりも大きくなり、焼結後
の誘電体磁器中にCuOが異相として偏析してしまい、
絶縁抵抗の低下を招くという問題があった。これは、セ
ラミック粒子よりも異相であるCuOの方が低抵抗であ
るためと考えられる。
2−172106号に開示された誘電体磁器組成物で
は、焼結温度を低下させることは可能であるが、CuO
の平均粒径が、図2に示すように、主相であるペロブス
カイト型結晶粒子の平均粒径よりも大きくなり、焼結後
の誘電体磁器中にCuOが異相として偏析してしまい、
絶縁抵抗の低下を招くという問題があった。これは、セ
ラミック粒子よりも異相であるCuOの方が低抵抗であ
るためと考えられる。
【0009】特に、このような誘電体磁器を積層セラミ
ックコンデンサの誘電体層として使用する場合、誘電体
層の薄層化が強力に押し進められている近年において
は、CuOの偏析が積層セラミックコンデンサの短絡不
良を招き、積層セラミックコンデンサの生産において生
産歩留まりを大きく落とすという問題があった。
ックコンデンサの誘電体層として使用する場合、誘電体
層の薄層化が強力に押し進められている近年において
は、CuOの偏析が積層セラミックコンデンサの短絡不
良を招き、積層セラミックコンデンサの生産において生
産歩留まりを大きく落とすという問題があった。
【0010】本発明は、比誘電率が大きく、誘電損失が
小さく、かつ低温焼成できるとともに、CuOの偏析に
よる絶縁抵抗の低下を防止できる誘電体磁器を提供し、
さらに短絡不良率の低減を図ることができる積層セラミ
ックコンデンサを提供することを目的とする。
小さく、かつ低温焼成できるとともに、CuOの偏析に
よる絶縁抵抗の低下を防止できる誘電体磁器を提供し、
さらに短絡不良率の低減を図ることができる積層セラミ
ックコンデンサを提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の誘電体磁器は、
金属元素として少なくともPb、Mg、NbおよびTi
と、Inおよび周期律表第3a族元素のうち少なくとも
一種を含有するペロブスカイト型結晶粒子を主結晶粒子
とし、該ペロブスカイト型結晶粒子中にCuが固溶して
いるものである。
金属元素として少なくともPb、Mg、NbおよびTi
と、Inおよび周期律表第3a族元素のうち少なくとも
一種を含有するペロブスカイト型結晶粒子を主結晶粒子
とし、該ペロブスカイト型結晶粒子中にCuが固溶して
いるものである。
【0012】この誘電体磁器は、モル比による組成式
を、xPb(Mg1/3 Nb2/3)O3 ・yPbTiO3 ・
zPb(In1/2 Nb1/2)O3 と表した時、前記x、
yおよびzが、70≦x≦96、2≦y≦20、2≦z
≦28、x+y+z=100を満足する主成分と、該主
成分100重量部に対してCu化合物をCuO換算で
0.2〜1.0重量部含有してなることが望ましい。
を、xPb(Mg1/3 Nb2/3)O3 ・yPbTiO3 ・
zPb(In1/2 Nb1/2)O3 と表した時、前記x、
yおよびzが、70≦x≦96、2≦y≦20、2≦z
≦28、x+y+z=100を満足する主成分と、該主
成分100重量部に対してCu化合物をCuO換算で
0.2〜1.0重量部含有してなることが望ましい。
【0013】また、本発明の積層セラミックコンデンサ
は、誘電体層と内部電極層とを交互に積層してなる積層
セラミックコンデンサにおいて、誘電体層が、上記誘電
体磁器からなるものである。
は、誘電体層と内部電極層とを交互に積層してなる積層
セラミックコンデンサにおいて、誘電体層が、上記誘電
体磁器からなるものである。
【0014】
【作用】本発明の誘電体磁器は、金属元素として少なく
ともPb、Mg、NbおよびTiと、Inおよび周期律
表第3a族元素のうち少なくとも一種を含有するペロブ
スカイト型結晶粒子を主結晶粒子とし、該ペロブスカイ
ト型結晶粒子中にCuが均一に固溶しているため、比誘
電率を大きく、誘電損失を小さく維持した状態で、低温
焼成が可能となる。しかも、ペロブスカイト型結晶粒子
の粒界においてCu化合物の析出をなくすことができ、
この低抵抗物質による絶縁抵抗の低下を防止できる。
ともPb、Mg、NbおよびTiと、Inおよび周期律
表第3a族元素のうち少なくとも一種を含有するペロブ
スカイト型結晶粒子を主結晶粒子とし、該ペロブスカイ
ト型結晶粒子中にCuが均一に固溶しているため、比誘
電率を大きく、誘電損失を小さく維持した状態で、低温
焼成が可能となる。しかも、ペロブスカイト型結晶粒子
の粒界においてCu化合物の析出をなくすことができ、
この低抵抗物質による絶縁抵抗の低下を防止できる。
【0015】そして、このような誘電体磁器を積層セラ
ミックコンデンサの誘電体層として用いることにより、
高容量、低誘電損失で、低温焼成でき、しかも短絡不良
率の低下を実現できる。
ミックコンデンサの誘電体層として用いることにより、
高容量、低誘電損失で、低温焼成でき、しかも短絡不良
率の低下を実現できる。
【0016】このような誘電体磁器は、例えば、Pb
(Mg1/3 Nb2/3 )O3 、PbTiO3 と、Pb(I
n1/2 Nb1/2 )O3 の3成分を主成分とすることによ
り、所定量のCuが主結晶粒子中に積極的に固溶させら
れ、主結晶粒子の粒界におけるCu化合物の偏析をなく
すことできるのである。
(Mg1/3 Nb2/3 )O3 、PbTiO3 と、Pb(I
n1/2 Nb1/2 )O3 の3成分を主成分とすることによ
り、所定量のCuが主結晶粒子中に積極的に固溶させら
れ、主結晶粒子の粒界におけるCu化合物の偏析をなく
すことできるのである。
【0017】即ち、特開平2−172106号に開示さ
れた誘電体磁器組成物では、PbO、MgO、Nb2 O
5 、TiO2 、CuO粉末を混合し、仮焼した後、この
仮焼粉末を成形し、焼成することが開示されているが、
Pb(Mg1/3 Nb2/3 )O3 −PbTiO3 主結晶粒
子中にCuが固溶し難く、磁器中にCu化合物として集
合し易いため、主結晶粒子の粒界に低抵抗物質として存
在し易い。このため、絶縁抵抗の低下を引き起こし、コ
ンデンサを作製した場合における短絡不良率を増加させ
ていたのである。
れた誘電体磁器組成物では、PbO、MgO、Nb2 O
5 、TiO2 、CuO粉末を混合し、仮焼した後、この
仮焼粉末を成形し、焼成することが開示されているが、
Pb(Mg1/3 Nb2/3 )O3 −PbTiO3 主結晶粒
子中にCuが固溶し難く、磁器中にCu化合物として集
合し易いため、主結晶粒子の粒界に低抵抗物質として存
在し易い。このため、絶縁抵抗の低下を引き起こし、コ
ンデンサを作製した場合における短絡不良率を増加させ
ていたのである。
【0018】一方、本発明では、Cuが固溶し難いPb
(Mg1/3 Nb2/3 )O3 ・PbTiO3 に、Cuの固
溶を促進する例えばPb(In1/2 Nb1/2 )O3 を第
三成分として含有するため、仮焼中の反応時にCuが主
結晶粒子中に固溶し易くなり、主結晶粒子の粒界におい
てCu化合物の偏析がない、均一な誘電体磁器となり、
これにより積層セラミックコンデンサにおける短絡不良
を防止できる。
(Mg1/3 Nb2/3 )O3 ・PbTiO3 に、Cuの固
溶を促進する例えばPb(In1/2 Nb1/2 )O3 を第
三成分として含有するため、仮焼中の反応時にCuが主
結晶粒子中に固溶し易くなり、主結晶粒子の粒界におい
てCu化合物の偏析がない、均一な誘電体磁器となり、
これにより積層セラミックコンデンサにおける短絡不良
を防止できる。
【0019】
【発明の実施の形態】本発明の誘電体磁器は、金属元素
として少なくともPb、Mg、NbおよびTiと、In
および周期律表第3a族元素のうち少なくとも一種を含
有するペロブスカイト型結晶粒子を主結晶粒子とし、該
ペロブスカイト型結晶粒子中にCuが固溶しているもの
である。
として少なくともPb、Mg、NbおよびTiと、In
および周期律表第3a族元素のうち少なくとも一種を含
有するペロブスカイト型結晶粒子を主結晶粒子とし、該
ペロブスカイト型結晶粒子中にCuが固溶しているもの
である。
【0020】本発明の誘電体磁器は、上記したように、
ペロブスカイト型結晶粒子を主結晶相とするものである
が、その粒界に、低抵抗物質ではないPbNb化合物、
PbMg化合物、MgNb化合物が存在していても良
い。また、その粒界に、Pb化合物、Mg化合物、Nb
化合物が存在していても良い。さらに、不純物として、
主結晶粒子中、または粒界化合物中にW、Zn、Ta、
Zr、Fe、Ni、Si、Alが1重量%以下で存在し
ていても良い。
ペロブスカイト型結晶粒子を主結晶相とするものである
が、その粒界に、低抵抗物質ではないPbNb化合物、
PbMg化合物、MgNb化合物が存在していても良
い。また、その粒界に、Pb化合物、Mg化合物、Nb
化合物が存在していても良い。さらに、不純物として、
主結晶粒子中、または粒界化合物中にW、Zn、Ta、
Zr、Fe、Ni、Si、Alが1重量%以下で存在し
ていても良い。
【0021】本発明の誘電体磁器では、主結晶粒子のペ
ロブスカイト型結晶粒子のAサイトがPbであり、Bサ
イトがMg、Nb、Tiと、Inおよび周期律表第3a
族元素のうち少なくとも一種を含有するものであり、B
サイト中にInおよび周期律表第3a族元素のうち少な
くとも一種を含有せしめることにより、高比誘電率、低
誘電損失で、低温焼成でき、しかも主結晶粒子の粒界に
おけるCu化合物の偏析を無くすことができるのであ
る。
ロブスカイト型結晶粒子のAサイトがPbであり、Bサ
イトがMg、Nb、Tiと、Inおよび周期律表第3a
族元素のうち少なくとも一種を含有するものであり、B
サイト中にInおよび周期律表第3a族元素のうち少な
くとも一種を含有せしめることにより、高比誘電率、低
誘電損失で、低温焼成でき、しかも主結晶粒子の粒界に
おけるCu化合物の偏析を無くすことができるのであ
る。
【0022】周期律表第3a族元素としては、Sc、
Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、G
d、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Luがあ
り、これらのうちでもYb、Scが望ましい。Bサイト
中に含有する元素としては、特にIn、Ybが望ましい
が、これらのうちでも、高比誘電率を有するという理由
からInが望ましい。
Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、G
d、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Luがあ
り、これらのうちでもYb、Scが望ましい。Bサイト
中に含有する元素としては、特にIn、Ybが望ましい
が、これらのうちでも、高比誘電率を有するという理由
からInが望ましい。
【0023】また、本発明の誘電体磁器の組成は、モル
比による組成式を、xPb(Mg1/3 Nb2/3)O3 ・y
PbTiO3 ・zPb(In1/2 Nb1/2 )O3 と表し
た時、x、yおよびzが、70≦x≦96、2≦y≦2
0、2≦z≦28、x+y+z=100を満足する主成
分と、該主成分100重量部に対してCu化合物をCu
O換算で0.2〜1.0重量部含有してなるものが望ま
しい。
比による組成式を、xPb(Mg1/3 Nb2/3)O3 ・y
PbTiO3 ・zPb(In1/2 Nb1/2 )O3 と表し
た時、x、yおよびzが、70≦x≦96、2≦y≦2
0、2≦z≦28、x+y+z=100を満足する主成
分と、該主成分100重量部に対してCu化合物をCu
O換算で0.2〜1.0重量部含有してなるものが望ま
しい。
【0024】Pb(Mg1/3 Nb2/3)O3 量を示すxが
70モル%より小さい場合や、PbTiO3 量を示すy
が20モル%より多い場合には、キュリー温度が室温付
近から大幅に外れることから、JIS規格でのF特性
(比誘電率の温度特性)から外れる虞がある。
70モル%より小さい場合や、PbTiO3 量を示すy
が20モル%より多い場合には、キュリー温度が室温付
近から大幅に外れることから、JIS規格でのF特性
(比誘電率の温度特性)から外れる虞がある。
【0025】また、Pb(Mg1/3 Nb2/3)O3 量を示
すxが96モル%より多い場合や、PbTiO3 量を示
すyが2モル%より少ない場合には、キュリー温度が低
温側へシフトし比誘電率が低くなるからである。
すxが96モル%より多い場合や、PbTiO3 量を示
すyが2モル%より少ない場合には、キュリー温度が低
温側へシフトし比誘電率が低くなるからである。
【0026】Pb(Mg1/3 Nb2/3)O3 量を示すx
は、90〜95モル%が望ましく、PbTiO3 量を示
すyは、5〜10モル%が望ましい。
は、90〜95モル%が望ましく、PbTiO3 量を示
すyは、5〜10モル%が望ましい。
【0027】さらにPb(In1/2 Nb1/2 )O3 量を
示すzが28モル%よりも多くなるとPb(In1/2 N
b1/2 )O3 の添加効果により比誘電率が低下し易くな
る。またzが2モル%よりも小さくなるとPb(In
1/2 Nb1/2 )O3 添加による、CuOの主結晶粒子へ
の固溶促進が低下し絶縁抵抗、短絡率の悪化が顕著とな
るからである。
示すzが28モル%よりも多くなるとPb(In1/2 N
b1/2 )O3 の添加効果により比誘電率が低下し易くな
る。またzが2モル%よりも小さくなるとPb(In
1/2 Nb1/2 )O3 添加による、CuOの主結晶粒子へ
の固溶促進が低下し絶縁抵抗、短絡率の悪化が顕著とな
るからである。
【0028】そして、これらの主成分100重量部に対
してCu化合物をCuO換算で0.2〜1.0重量部含
有したのは、Cu化合物をCuO換算で0.2重量部よ
りも少ない場合には、焼結助剤としての効果が小さく、
低温焼成が困難であり、1.0重量部よりも多い場合に
は、本発明のPb(In1/2 Nb1/2 )O3 の添加効果
によっても、誘電体磁器中にCu化合物が偏析し易く、
絶縁抵抗を減少させ、またコンデンサとして短絡不良率
が上昇する傾向があるからであり、またCu化合物の添
加効果により比誘電率が低下するからである。
してCu化合物をCuO換算で0.2〜1.0重量部含
有したのは、Cu化合物をCuO換算で0.2重量部よ
りも少ない場合には、焼結助剤としての効果が小さく、
低温焼成が困難であり、1.0重量部よりも多い場合に
は、本発明のPb(In1/2 Nb1/2 )O3 の添加効果
によっても、誘電体磁器中にCu化合物が偏析し易く、
絶縁抵抗を減少させ、またコンデンサとして短絡不良率
が上昇する傾向があるからであり、またCu化合物の添
加効果により比誘電率が低下するからである。
【0029】Cu化合物は、絶縁抵抗を低下させずに焼
成温度を低下させるという点から、主成分100重量部
に対してCuO換算で0.2〜0.5重量部含有するこ
とが望ましい。Cu化合物としては、CuO、あるいは
焼成によりCuOとなる化合物、例えば、Cuのシュウ
酸塩、炭酸塩、水酸化物、硝酸塩、酢酸塩、有機化合物
等を挙げることができる。
成温度を低下させるという点から、主成分100重量部
に対してCuO換算で0.2〜0.5重量部含有するこ
とが望ましい。Cu化合物としては、CuO、あるいは
焼成によりCuOとなる化合物、例えば、Cuのシュウ
酸塩、炭酸塩、水酸化物、硝酸塩、酢酸塩、有機化合物
等を挙げることができる。
【0030】本発明の誘電体磁器は、例えば、PbO粉
末、MgNb2 O6 粉末、TiO2粉末、In2 O3
粉末、CuO粉末を用い、これらの原料粉末を所定の組
成比になるように混合し、大気中800〜900℃で1
〜3時間仮焼し、粉砕して仮焼粉を作製する。
末、MgNb2 O6 粉末、TiO2粉末、In2 O3
粉末、CuO粉末を用い、これらの原料粉末を所定の組
成比になるように混合し、大気中800〜900℃で1
〜3時間仮焼し、粉砕して仮焼粉を作製する。
【0031】得られた仮焼粉を公知の手法、例えばドク
ターブレード法等の公知の手法により成形し、例えば、
大気中等の酸化性雰囲気において990℃〜1050℃
の焼成温度で1〜4時間焼成を行うことにより本発明の
誘電体磁器が得られる。本発明の誘電体磁器では、平均
結晶粒径は0.5〜3μmである。
ターブレード法等の公知の手法により成形し、例えば、
大気中等の酸化性雰囲気において990℃〜1050℃
の焼成温度で1〜4時間焼成を行うことにより本発明の
誘電体磁器が得られる。本発明の誘電体磁器では、平均
結晶粒径は0.5〜3μmである。
【0032】本発明の積層セラミックコンデンサは、誘
電体層と内部電極層とを交互に積層してなるものである
が、誘電体層と内部電極層とを1050℃以下で同時焼
成できるため、Pd比率の少ないAg−Pdを用いるこ
とができる。
電体層と内部電極層とを交互に積層してなるものである
が、誘電体層と内部電極層とを1050℃以下で同時焼
成できるため、Pd比率の少ないAg−Pdを用いるこ
とができる。
【0033】このような積層セラミックコンデンサは、
上記仮焼粉末を、例えばドクターブレード法等の公知の
手法によりグリーンシートを作製し、このグリーンシー
トにPd比率の少ないAg−Pdペーストを塗布し、こ
れを複数枚積層したものを大気中等の酸化性雰囲気にお
いて焼成し、この後、外部電極を形成することにより行
われる。焼成温度は、例えば、Pb(Mg1/3 N
b2/3 )O3 −PbTiO3−Pb(In1/2 N
b1/2 )O3 −CuOの場合には990〜1050℃の
低温で行われる。
上記仮焼粉末を、例えばドクターブレード法等の公知の
手法によりグリーンシートを作製し、このグリーンシー
トにPd比率の少ないAg−Pdペーストを塗布し、こ
れを複数枚積層したものを大気中等の酸化性雰囲気にお
いて焼成し、この後、外部電極を形成することにより行
われる。焼成温度は、例えば、Pb(Mg1/3 N
b2/3 )O3 −PbTiO3−Pb(In1/2 N
b1/2 )O3 −CuOの場合には990〜1050℃の
低温で行われる。
【0034】また、本発明の誘電体磁器は、積層セラミ
ックコンデンサだけでなく、例えば、コンデンサ内蔵型
の多層配線基板の誘電体層に用いても良い。
ックコンデンサだけでなく、例えば、コンデンサ内蔵型
の多層配線基板の誘電体層に用いても良い。
【0035】
【実施例】出発原料として、純度99.9%以上のもの
で、平均粒径2.5μmのPbO、平均粒径0.2μm
のMgNb2 O6 、平均粒径0.5μmのTiO2 、平
均粒径0.6μmのIn2 O3 、平均粒径0.6μmの
Yb2 O3 、平均粒径0.5μmのCuO原料粉末を用
いた。
で、平均粒径2.5μmのPbO、平均粒径0.2μm
のMgNb2 O6 、平均粒径0.5μmのTiO2 、平
均粒径0.6μmのIn2 O3 、平均粒径0.6μmの
Yb2 O3 、平均粒径0.5μmのCuO原料粉末を用
いた。
【0036】先ず、これらの酸化物PbO、MgNb2
O6 、TiO2 、In2 O3 、CuO粉末を用い、上記
組成式において表1に示されるような組成比になるよう
に秤量、調合を行った。尚、試料No.26以降について
は、Yb2 O3 を用いて、xPb(Mg1/3 Nb2/3)O
3 ・yPbTiO3 ・zPb(Yb1/2 Nb1/2 )O3
の組成式に基づいて調合した。
O6 、TiO2 、In2 O3 、CuO粉末を用い、上記
組成式において表1に示されるような組成比になるよう
に秤量、調合を行った。尚、試料No.26以降について
は、Yb2 O3 を用いて、xPb(Mg1/3 Nb2/3)O
3 ・yPbTiO3 ・zPb(Yb1/2 Nb1/2 )O3
の組成式に基づいて調合した。
【0037】これら秤量を行った混合物に対し、100
0gずつ、ポリエチレン製ポットに直径10mmのジル
コニア製ボール、H2 Oとともに入れ、20時間湿式混
合を行い、混合物スラリーを得た。このスラリーを乾燥
させ、アルミナ製の仮焼坩堝に入れ、850℃、3時間
で仮焼を行い仮焼粉を得た。得られた仮焼粉をポリエチ
レン製ポットに入れ、直径5mmジルコニア製ボール、
H2 Oにて湿式粉砕を行い、平均粒径0.6μmの反応
合成粉を得た。
0gずつ、ポリエチレン製ポットに直径10mmのジル
コニア製ボール、H2 Oとともに入れ、20時間湿式混
合を行い、混合物スラリーを得た。このスラリーを乾燥
させ、アルミナ製の仮焼坩堝に入れ、850℃、3時間
で仮焼を行い仮焼粉を得た。得られた仮焼粉をポリエチ
レン製ポットに入れ、直径5mmジルコニア製ボール、
H2 Oにて湿式粉砕を行い、平均粒径0.6μmの反応
合成粉を得た。
【0038】得られた反応合成粉に対し、直径5mmの
ジルコニア製ボール、H2 Oにて分散混合を20時間行
い、このスラリーに対し有機バインダを加え、ドクター
ブレード法にてグリーンシートを作製し、このグリーン
シートに市販のAg−Pdペーストを印刷法にて印刷
し、これらを積層、スタック後、切断し、チップコンデ
ンサの生成形体を得た。
ジルコニア製ボール、H2 Oにて分散混合を20時間行
い、このスラリーに対し有機バインダを加え、ドクター
ブレード法にてグリーンシートを作製し、このグリーン
シートに市販のAg−Pdペーストを印刷法にて印刷
し、これらを積層、スタック後、切断し、チップコンデ
ンサの生成形体を得た。
【0039】得られた生成形体を、90mm×90mm
のMgO製匣鉢上にて、400℃で有機バインダの燃焼
を行った。バインダの燃焼の後、大気雰囲気中にて表1
に示す温度で2時間焼成を行い、焼結チップを得た。
のMgO製匣鉢上にて、400℃で有機バインダの燃焼
を行った。バインダの燃焼の後、大気雰囲気中にて表1
に示す温度で2時間焼成を行い、焼結チップを得た。
【0040】得られた焼結チップの両端にAgペースト
を塗布し、大気雰囲気中にて焼き付け積層セラミックコ
ンデンサを得た。得られた積層セラミックコンデンサの
サイズは3.2mm×1.6mm×0.5mmで、誘電
体層の厚み5.5μm、有効電極面積2.10mm2 、
誘電体層数は10層であった。
を塗布し、大気雰囲気中にて焼き付け積層セラミックコ
ンデンサを得た。得られた積層セラミックコンデンサの
サイズは3.2mm×1.6mm×0.5mmで、誘電
体層の厚み5.5μm、有効電極面積2.10mm2 、
誘電体層数は10層であった。
【0041】各試料に対し、静電容量(Cp)及び誘電
損失(DF)を、室温25℃、1kHz、1Vrms の条
件にて測定し、静電容量から有効面積を用いて比誘電率
(εr)を計算した。また、絶縁抵抗(IR)は、DC
10Vで1分間印加した後の値を測定した。各試料の測
定個数は40個であり、これに対し短絡不良率を測定し
た。1Vの電圧印加時に導通あるものを短絡不良として
定義し、その割合を短絡不良率とした。これらの比誘電
率(εr)、誘電損失(DF)、絶縁抵抗(IR)、短
絡不良率の結果を表1に示した。
損失(DF)を、室温25℃、1kHz、1Vrms の条
件にて測定し、静電容量から有効面積を用いて比誘電率
(εr)を計算した。また、絶縁抵抗(IR)は、DC
10Vで1分間印加した後の値を測定した。各試料の測
定個数は40個であり、これに対し短絡不良率を測定し
た。1Vの電圧印加時に導通あるものを短絡不良として
定義し、その割合を短絡不良率とした。これらの比誘電
率(εr)、誘電損失(DF)、絶縁抵抗(IR)、短
絡不良率の結果を表1に示した。
【0042】
【表1】
【0043】この表1から、本発明の試料では、比誘電
率が15000以上であり、誘電損失が10.0%以
下、絶縁抵抗が50GΩ以上であり、短絡不良率が5%
以下であることが判る。そして、従来の試料10と焼成
温度、比誘電率もほぼ同程度あるいはそれ以上であるに
もかかわらず、絶縁抵抗は、従来の試料10と比べて大
きく増加し、短絡不良を防止できることが判る。
率が15000以上であり、誘電損失が10.0%以
下、絶縁抵抗が50GΩ以上であり、短絡不良率が5%
以下であることが判る。そして、従来の試料10と焼成
温度、比誘電率もほぼ同程度あるいはそれ以上であるに
もかかわらず、絶縁抵抗は、従来の試料10と比べて大
きく増加し、短絡不良を防止できることが判る。
【0044】図1に本発明の試料の組織図を、図2に比
較例の試料No.10の組織図を示す。図1および図2に
おいて、符号1は主結晶粒子を示す。本発明の試料で
は、図1に示すように、Pb、Mg、Nb、Ti、In
またはYbを含有するペロブスカイト型結晶粒子からな
り、該ペロブスカイト型結晶粒子の粒界にCu化合物の
偏析がないことをSEM画像、およびX線マイクロアナ
ライザー(EPMA)により確認した。尚、図2の従来
の試料では、主結晶粒子の粒界に符号2で示すCu化合
物粒子が存在していた。
較例の試料No.10の組織図を示す。図1および図2に
おいて、符号1は主結晶粒子を示す。本発明の試料で
は、図1に示すように、Pb、Mg、Nb、Ti、In
またはYbを含有するペロブスカイト型結晶粒子からな
り、該ペロブスカイト型結晶粒子の粒界にCu化合物の
偏析がないことをSEM画像、およびX線マイクロアナ
ライザー(EPMA)により確認した。尚、図2の従来
の試料では、主結晶粒子の粒界に符号2で示すCu化合
物粒子が存在していた。
【0045】
【発明の効果】本発明の誘電体磁器では、従来の誘電体
磁器と同様に、あるいはそれ以上に比誘電率が大きく、
かつ低温焼成でき、しかも、従来と比較して、CuOの
偏析による絶縁抵抗の低下を防止できる。従って、この
ような誘電体磁器を用いて積層セラミックコンデンサを
作製した場合には、低温焼成でき、誘電特性にも優れ、
しかも短絡不良率を低減できるため、誘電体層を薄層化
でき、小型かつ大容量の積層セラミックコンデンサを高
歩留まりにて生産できる。
磁器と同様に、あるいはそれ以上に比誘電率が大きく、
かつ低温焼成でき、しかも、従来と比較して、CuOの
偏析による絶縁抵抗の低下を防止できる。従って、この
ような誘電体磁器を用いて積層セラミックコンデンサを
作製した場合には、低温焼成でき、誘電特性にも優れ、
しかも短絡不良率を低減できるため、誘電体層を薄層化
でき、小型かつ大容量の積層セラミックコンデンサを高
歩留まりにて生産できる。
【図1】本発明の誘電体磁器を説明するための説明図で
ある。
ある。
【図2】主結晶粒子の粒界に低抵抗物質であるCu化合
物が存在する従来の誘電体磁器を説明するための組織図
であり、表1の試料No.10の組織図である。
物が存在する従来の誘電体磁器を説明するための組織図
であり、表1の試料No.10の組織図である。
1・・・主結晶粒子 2・・・Cu化合物粒子
Claims (3)
- 【請求項1】金属元素として少なくともPb、Mg、N
bおよびTiと、Inおよび周期律表第3a族元素のう
ち少なくとも一種を含有するペロブスカイト型結晶粒子
を主結晶粒子とし、該ペロブスカイト型結晶粒子中にC
uが固溶していることを特徴とする誘電体磁器。 - 【請求項2】モル比による組成式を、 xPb(Mg1/3 Nb2/3)O3 ・yPbTiO3 ・zP
b(In1/2 Nb1/2)O3 と表した時、前記x、yおよびzが 70≦ x ≦ 96 2≦ y ≦ 20 2≦ z ≦ 28 x+y+z=100 を満足する主成分と、該主成分100重量部に対してC
u化合物をCuO換算で0.2〜1.0重量部含有して
なることを特徴とする請求項1記載の誘電体磁器。 - 【請求項3】誘電体層と内部電極層とを交互に積層して
なる積層セラミックコンデンサにおいて、前記誘電体層
が、請求項1または請求項2記載の誘電体磁器からなる
ことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9349114A JPH11180767A (ja) | 1997-12-18 | 1997-12-18 | 誘電体磁器および積層セラミックコンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9349114A JPH11180767A (ja) | 1997-12-18 | 1997-12-18 | 誘電体磁器および積層セラミックコンデンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11180767A true JPH11180767A (ja) | 1999-07-06 |
Family
ID=18401589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9349114A Pending JPH11180767A (ja) | 1997-12-18 | 1997-12-18 | 誘電体磁器および積層セラミックコンデンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11180767A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110950660A (zh) * | 2019-09-30 | 2020-04-03 | 西安工业大学 | 一种提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能的方法 |
JP2022528586A (ja) * | 2020-03-20 | 2022-06-15 | 広東風華高新科技股▲フン▼有限公司 | 複合相巨大誘電体セラミック材料及びその製造方法 |
-
1997
- 1997-12-18 JP JP9349114A patent/JPH11180767A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110950660A (zh) * | 2019-09-30 | 2020-04-03 | 西安工业大学 | 一种提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能的方法 |
JP2022528586A (ja) * | 2020-03-20 | 2022-06-15 | 広東風華高新科技股▲フン▼有限公司 | 複合相巨大誘電体セラミック材料及びその製造方法 |
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