JPH11179644A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
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- JPH11179644A JPH11179644A JP9346436A JP34643697A JPH11179644A JP H11179644 A JPH11179644 A JP H11179644A JP 9346436 A JP9346436 A JP 9346436A JP 34643697 A JP34643697 A JP 34643697A JP H11179644 A JPH11179644 A JP H11179644A
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- JP
- Japan
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- wire
- wire saw
- ingot
- work
- cover
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ワーク加工中におけるスラリーや切削塵の漏出
を確実に防止することができるワイヤソーを提供する。 【解決手段】本発明は、ワイヤソー１０の複数の溝付ロ
ーラ１８が配置された加工室１７を覆うカバーを、外カ
バー３４と内カバー３６とで２重に構成し、外カバー３
４で複数の溝付ローラ１８を覆い、内カバー３６でイン
ゴット３０を覆ったので、インゴット３０の切断中にお
けるスラリーや切削塵の漏出を確実に防止することがで
きる。インゴット３０の取り付け取り外し時には、外カ
バー３４をウィンチ４２で開放し、内カバー３６をシリ
ンダ装置６２で開放させて加工室１７を露出する。
を確実に防止することができるワイヤソーを提供する。 【解決手段】本発明は、ワイヤソー１０の複数の溝付ロ
ーラ１８が配置された加工室１７を覆うカバーを、外カ
バー３４と内カバー３６とで２重に構成し、外カバー３
４で複数の溝付ローラ１８を覆い、内カバー３６でイン
ゴット３０を覆ったので、インゴット３０の切断中にお
けるスラリーや切削塵の漏出を確実に防止することがで
きる。インゴット３０の取り付け取り外し時には、外カ
バー３４をウィンチ４２で開放し、内カバー３６をシリ
ンダ装置６２で開放させて加工室１７を露出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーに係り、
特にシリコン、ガラス、セラミック等の脆性材料（ワー
ク）を多数のウェーハに切断するワイヤソーに関する。
特にシリコン、ガラス、セラミック等の脆性材料（ワー
ク）を多数のウェーハに切断するワイヤソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコンインゴットをウェーハに切断す
るワイヤソーは、ワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛け
て溝付ローラ間にワイヤ列を形成し、その走行するワイ
ヤ列に前記インゴットを押し付けることにより、一度の
切断動作で多数枚のウェーハに切断するものである。
るワイヤソーは、ワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛け
て溝付ローラ間にワイヤ列を形成し、その走行するワイ
ヤ列に前記インゴットを押し付けることにより、一度の
切断動作で多数枚のウェーハに切断するものである。
【０００３】前記ワイヤソーは、溝付ローラが設置され
た加工室をカバーで覆っており、切断中に飛散するスラ
リーや切削塵がワイヤソーの外部に漏出するのを防止し
ている。そして、インゴットの切断が終了すると、前記
カバーを開き、ウェーハに切断されたインゴットをワー
クフィードテーブルから取り外し、新たな切断前のイン
ゴットをワークフィードテーブルに取り付ける。このよ
うなインゴットの取り外しと取り付け作業は、作業者に
よって手作業で行われている。
た加工室をカバーで覆っており、切断中に飛散するスラ
リーや切削塵がワイヤソーの外部に漏出するのを防止し
ている。そして、インゴットの切断が終了すると、前記
カバーを開き、ウェーハに切断されたインゴットをワー
クフィードテーブルから取り外し、新たな切断前のイン
ゴットをワークフィードテーブルに取り付ける。このよ
うなインゴットの取り外しと取り付け作業は、作業者に
よって手作業で行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤソーは、インゴットの切断中において、ワイヤソ
ーの本体と前記カバーとの境界部の隙間からスラリーや
切削塵が漏出して、ワイヤソーの外部を汚すという欠点
がある。また、従来のワイヤソーは、切断終了後にカバ
ーを開くと、加工室内でミスト状になっているスラリー
が作業者に衛生上の問題を与えるという欠点がある。
ワイヤソーは、インゴットの切断中において、ワイヤソ
ーの本体と前記カバーとの境界部の隙間からスラリーや
切削塵が漏出して、ワイヤソーの外部を汚すという欠点
がある。また、従来のワイヤソーは、切断終了後にカバ
ーを開くと、加工室内でミスト状になっているスラリー
が作業者に衛生上の問題を与えるという欠点がある。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ワーク加工中におけるスラリーや切削塵の漏出
を確実に防止することができるワイヤソーを提供するこ
とを目的とする。
もので、ワーク加工中におけるスラリーや切削塵の漏出
を確実に防止することができるワイヤソーを提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛けて
ワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させることにより
走行する前記ワイヤ列にワークを押しつけて多数のウェ
ーハに切断するワイヤソーにおいて、前記複数の溝付ロ
ーラが設置された加工室を覆うカバーを、外カバーと内
カバーとで２重に構成し、該外カバー及び内カバーを開
閉する開閉手段を設けたことを特徴としている。
成するために、ワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛けて
ワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させることにより
走行する前記ワイヤ列にワークを押しつけて多数のウェ
ーハに切断するワイヤソーにおいて、前記複数の溝付ロ
ーラが設置された加工室を覆うカバーを、外カバーと内
カバーとで２重に構成し、該外カバー及び内カバーを開
閉する開閉手段を設けたことを特徴としている。
【０００７】請求項１記載の発明によれば、加工室を覆
うカバーを外カバーと内カバーとで２重に構成したの
で、ワーク加工中におけるスラリーや切削塵の漏出を確
実に防止することができる。そして、ワークの取り付け
取り外し時には、前記外カバーと内カバーとを開閉手段
によって開放させて加工室を露出すれば良い。請求項２
記載の発明によれば、加工室内のエアを排気する排気手
段を設け、この排気手段を外カバーを開く前に駆動し
て、加工室内でミスト状になっているスラリーをエアと
共に排気する。そして、スラリーの排気後に、外カバー
と内カバーを開いてワークの取り付け取り外し作業を行
う。これによって、作業者に与える衛生上の問題を改善
することができる。
うカバーを外カバーと内カバーとで２重に構成したの
で、ワーク加工中におけるスラリーや切削塵の漏出を確
実に防止することができる。そして、ワークの取り付け
取り外し時には、前記外カバーと内カバーとを開閉手段
によって開放させて加工室を露出すれば良い。請求項２
記載の発明によれば、加工室内のエアを排気する排気手
段を設け、この排気手段を外カバーを開く前に駆動し
て、加工室内でミスト状になっているスラリーをエアと
共に排気する。そして、スラリーの排気後に、外カバー
と内カバーを開いてワークの取り付け取り外し作業を行
う。これによって、作業者に与える衛生上の問題を改善
することができる。
【０００８】請求項３記載の発明によれば、ワイヤソー
内でワークを支持するワークホルダを、加工室とワイヤ
ソーの外部との間で往復移動させる移動手段を設け、こ
の移動手段を駆動してワークホルダをワイヤソーの外部
に位置させたので、ワークホルダに対するワークの取り
付け取り外し作業が容易になる。ワークホルダにワーク
が取り付けられると、駆動手段でワークホルダを加工室
に戻し、ワークを切断開始位置にセットする。その後
に、外カバーと内カバーとを閉じ、そして、ワークホル
ダでワークを送り移動させてワークの切断を開始する。
内でワークを支持するワークホルダを、加工室とワイヤ
ソーの外部との間で往復移動させる移動手段を設け、こ
の移動手段を駆動してワークホルダをワイヤソーの外部
に位置させたので、ワークホルダに対するワークの取り
付け取り外し作業が容易になる。ワークホルダにワーク
が取り付けられると、駆動手段でワークホルダを加工室
に戻し、ワークを切断開始位置にセットする。その後
に、外カバーと内カバーとを閉じ、そして、ワークホル
ダでワークを送り移動させてワークの切断を開始する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーの実施の形態について詳説する。図１は、
本発明の実施の形態に係るワイヤソーの一部破断部を含
む構造図である。
るワイヤソーの実施の形態について詳説する。図１は、
本発明の実施の形態に係るワイヤソーの一部破断部を含
む構造図である。
【００１０】同図に示すワイヤソー１０は、本体１１内
にワイヤリール１２が設置されている。このワイヤリー
ル１２には、所定長さのワイヤ１４が巻回されており、
このワイヤ１４は、ガイドローラ１６、１６、…で形成
されるワイヤ走行路を通って加工室１７に導かれ、ここ
で３本の溝付きローラ１８、１８、１８に巻き掛けられ
ることにより、上部２つの溝付ローラ１８、１８間に水
平なワイヤ列２０が形成される。ワイヤ列２０を形成し
たワイヤ１４は、前記ワイヤ列２０を挟んで左右対称に
形成されている他方側のワイヤ走行路を通って図示しな
いワイヤリールに巻き取られる。
にワイヤリール１２が設置されている。このワイヤリー
ル１２には、所定長さのワイヤ１４が巻回されており、
このワイヤ１４は、ガイドローラ１６、１６、…で形成
されるワイヤ走行路を通って加工室１７に導かれ、ここ
で３本の溝付きローラ１８、１８、１８に巻き掛けられ
ることにより、上部２つの溝付ローラ１８、１８間に水
平なワイヤ列２０が形成される。ワイヤ列２０を形成し
たワイヤ１４は、前記ワイヤ列２０を挟んで左右対称に
形成されている他方側のワイヤ走行路を通って図示しな
いワイヤリールに巻き取られる。
【００１１】前記加工室１７の両側に形成されるワイヤ
走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、及びダンサ
ローラ２４等が配設されており（一方側のみ図示）、前
記ワイヤ案内装置２２によってワイヤ１４は、ワイヤリ
ール１２から一定ピッチでガイドされて送り出される。
また、送り出されたワイヤ１４は、走行中に前記ダンサ
ローラ２４によって一定の張力が付与され、これによっ
て、ワイヤ列２０を形成する各ワイヤ１４に切断抵抗に
対抗する張力が付与される。
走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、及びダンサ
ローラ２４等が配設されており（一方側のみ図示）、前
記ワイヤ案内装置２２によってワイヤ１４は、ワイヤリ
ール１２から一定ピッチでガイドされて送り出される。
また、送り出されたワイヤ１４は、走行中に前記ダンサ
ローラ２４によって一定の張力が付与され、これによっ
て、ワイヤ列２０を形成する各ワイヤ１４に切断抵抗に
対抗する張力が付与される。
【００１２】前記一対のワイヤリール１２及び３本のう
ち１本の溝付ローラ１８には、それぞれモータ（図示せ
ず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、これらのモ
ータを駆動することにより、前記ワイヤリール１２間を
高速走行する。前記溝付ローラ１８の上方には、該ワイ
ヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテ
ーブル２９が設置されており、インゴット３０は、ワー
クフィードテーブル２９に保持される。
ち１本の溝付ローラ１８には、それぞれモータ（図示せ
ず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、これらのモ
ータを駆動することにより、前記ワイヤリール１２間を
高速走行する。前記溝付ローラ１８の上方には、該ワイ
ヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテ
ーブル２９が設置されており、インゴット３０は、ワー
クフィードテーブル２９に保持される。
【００１３】以上のように構成されたワイヤソー１０に
おいて、インゴット３０は次のように切断される。ま
ず、インゴット３０をワークフィードテーブル２８に保
持させた後、ワークフィードテーブル２８をワイヤ列２
０に向けて送り移動させる。そして、そのインゴット３
０を高速走行するワイヤ列２０に押し当てる。この際、
前記ワイヤ列２０には、スラリタンク３２から図示しな
いノズルを介してスラリが供給され、インゴット３０
は、このスラリ中に含有される砥粒のラッピング作用で
多数枚のウェーハに一度に切断される。
おいて、インゴット３０は次のように切断される。ま
ず、インゴット３０をワークフィードテーブル２８に保
持させた後、ワークフィードテーブル２８をワイヤ列２
０に向けて送り移動させる。そして、そのインゴット３
０を高速走行するワイヤ列２０に押し当てる。この際、
前記ワイヤ列２０には、スラリタンク３２から図示しな
いノズルを介してスラリが供給され、インゴット３０
は、このスラリ中に含有される砥粒のラッピング作用で
多数枚のウェーハに一度に切断される。
【００１４】ところで、前記ワイヤソー１０の加工室１
７を覆うカバーは図２上二点鎖線で示すように、外カバ
ー３４と内カバー３６とで２重に構成されている。前記
外カバー３４は図１、図２に示すように横断面が略逆コ
形状に形成されている。外カバー３４の上面には、矩形
状の開口部３４Ａが形成され、この開口部３４Ａの内側
には、本体１１に固定された天板３８が配置される。ま
た、外カバー３４には、前記開口部３４Ａに沿って図示
しないパッキンが取り付けられている。外カバー３４
は、加工室１７を閉鎖している図１、図２の状態におい
て、前記パッキンを介して天板３６に密着されている。
したがって、前記加工室１７の上方は、前記外カバー３
４と天板３８とで密閉される。
７を覆うカバーは図２上二点鎖線で示すように、外カバ
ー３４と内カバー３６とで２重に構成されている。前記
外カバー３４は図１、図２に示すように横断面が略逆コ
形状に形成されている。外カバー３４の上面には、矩形
状の開口部３４Ａが形成され、この開口部３４Ａの内側
には、本体１１に固定された天板３８が配置される。ま
た、外カバー３４には、前記開口部３４Ａに沿って図示
しないパッキンが取り付けられている。外カバー３４
は、加工室１７を閉鎖している図１、図２の状態におい
て、前記パッキンを介して天板３６に密着されている。
したがって、前記加工室１７の上方は、前記外カバー３
４と天板３８とで密閉される。
【００１５】また、前記外カバー３４の図３上右縁部に
はガイド３４Ｂが形成され、このガイド３４Ｂは、本体
１１に鉛直方向に形成されたレール４０に昇降移動自在
に係合されている。したがって、外カバー３４は、前記
レール４０に沿って昇降移動することができる。外カバ
ー３４が上昇されると、加工室１７のうち溝付ローラ１
８、１８、１８が配置された一部のエリアを露出するこ
とができる。また、外カバー３４が下降移動されると、
外カバー３４の上部開口部３４Ａが前記天板３８と密着
し、外カバー３４の下部３４Ｃが、本体１１側に密着す
るので、加工室１７を完全に密閉することができる。
はガイド３４Ｂが形成され、このガイド３４Ｂは、本体
１１に鉛直方向に形成されたレール４０に昇降移動自在
に係合されている。したがって、外カバー３４は、前記
レール４０に沿って昇降移動することができる。外カバ
ー３４が上昇されると、加工室１７のうち溝付ローラ１
８、１８、１８が配置された一部のエリアを露出するこ
とができる。また、外カバー３４が下降移動されると、
外カバー３４の上部開口部３４Ａが前記天板３８と密着
し、外カバー３４の下部３４Ｃが、本体１１側に密着す
るので、加工室１７を完全に密閉することができる。
【００１６】本体１１の上部には、外カバー３４の開閉
手段であるウィンチ４２が設置されている。このウィン
チ４２は図２に示すように、リール４６、このリール４
６を正転／逆転駆動するモータ４８を主な構成としてい
る。前記リール４６には、２本のワイヤ４４Ａ、４４Ｂ
が巻回されており、これらのワイヤ４４Ａ、４４Ｂは、
リール４６の正転／逆転によって巻き取り／巻き戻され
る。
手段であるウィンチ４２が設置されている。このウィン
チ４２は図２に示すように、リール４６、このリール４
６を正転／逆転駆動するモータ４８を主な構成としてい
る。前記リール４６には、２本のワイヤ４４Ａ、４４Ｂ
が巻回されており、これらのワイヤ４４Ａ、４４Ｂは、
リール４６の正転／逆転によって巻き取り／巻き戻され
る。
【００１７】図３に示すように、リール４６に巻回され
たワイヤ４４Ａの先端部４５Ａは、リール４６から巻き
戻されて２個の水平プーリ５０Ａ、５２Ａに巻き掛けら
れる。そして、１個の垂直プーリ５４Ａに巻き掛けられ
て下方に方向転換され、外カバー３４の下部コーナー部
に治具５６Ａを介して固定される。また、前記ワイヤ４
４Ｂの先端部は図２に示すように、リール４６から巻き
戻されて２個の水平プーリ５０Ｂ、５２Ｂに巻き掛けら
れる。そして、１個の垂直プーリ５４Ｂに巻き掛けられ
て下方に方向転換され、外カバー３４の下部コーナー部
に図示しない治具を介して固定される。
たワイヤ４４Ａの先端部４５Ａは、リール４６から巻き
戻されて２個の水平プーリ５０Ａ、５２Ａに巻き掛けら
れる。そして、１個の垂直プーリ５４Ａに巻き掛けられ
て下方に方向転換され、外カバー３４の下部コーナー部
に治具５６Ａを介して固定される。また、前記ワイヤ４
４Ｂの先端部は図２に示すように、リール４６から巻き
戻されて２個の水平プーリ５０Ｂ、５２Ｂに巻き掛けら
れる。そして、１個の垂直プーリ５４Ｂに巻き掛けられ
て下方に方向転換され、外カバー３４の下部コーナー部
に図示しない治具を介して固定される。
【００１８】前記リール４６には、減速機５８を介して
モータ４８の出力軸が連結されている。したがって、モ
ータ４８でリール４６を正転させて、前記ワイヤ４４
Ａ、４４Ｂをリール４６で巻き取ると、外カバー３４が
ワイヤ４４Ａ、４４Ｂに牽引されて上昇するので、加工
室１７の一部を露出することができる。また、モータ４
８でリール４６を逆転させて、ワイヤ４４Ａ、４４Ｂを
リール４６から巻き戻すと、外カバー３４が自重によっ
て下降移動するので、加工室１７を外カバー３４で閉じ
ることができる。なお、前記モータ４８は、ワイヤソー
１０に搭載された図示しないＣＰＵによって制御されて
いる。このＣＰＵは、図３に示すリモコン受信部６０で
受信した指令信号に基づいて前記モータ４８を制御す
る。前記リモコン受信部６０は、本体１１の正面下部に
設けられている。
モータ４８の出力軸が連結されている。したがって、モ
ータ４８でリール４６を正転させて、前記ワイヤ４４
Ａ、４４Ｂをリール４６で巻き取ると、外カバー３４が
ワイヤ４４Ａ、４４Ｂに牽引されて上昇するので、加工
室１７の一部を露出することができる。また、モータ４
８でリール４６を逆転させて、ワイヤ４４Ａ、４４Ｂを
リール４６から巻き戻すと、外カバー３４が自重によっ
て下降移動するので、加工室１７を外カバー３４で閉じ
ることができる。なお、前記モータ４８は、ワイヤソー
１０に搭載された図示しないＣＰＵによって制御されて
いる。このＣＰＵは、図３に示すリモコン受信部６０で
受信した指令信号に基づいて前記モータ４８を制御す
る。前記リモコン受信部６０は、本体１１の正面下部に
設けられている。
【００１９】一方、内カバー３６は図２上点線で示すよ
うに、横断面が略逆コ形状に形成されている。この内カ
バー３６は図１、図３に示すように、主としてワークフ
ィードテーブル２９に保持されたインゴット３０を覆う
カバーであり、インゴット３０の切断中にインゴット３
０から飛散するスラリー、切削屑を内カバー３６の外側
に極力飛散させないようにするためのカバーである。ま
た、図３に示すように、内カバー３６の近傍には、排気
手段を構成する吸気ダクト３７が配設されている。この
吸気ダクト３７は、ワイヤソー１０に設置された図示し
ない吸気ポンプに接続され、吸気ポンプには、ワイヤソ
ー１０の本体１１に露出した図示しない排気口が連通さ
れている。したがって、吸気ポンプを駆動すると、加工
室１７内のエアが吸気ダクト３７を介して吸引されて排
気口から外部に排気される。
うに、横断面が略逆コ形状に形成されている。この内カ
バー３６は図１、図３に示すように、主としてワークフ
ィードテーブル２９に保持されたインゴット３０を覆う
カバーであり、インゴット３０の切断中にインゴット３
０から飛散するスラリー、切削屑を内カバー３６の外側
に極力飛散させないようにするためのカバーである。ま
た、図３に示すように、内カバー３６の近傍には、排気
手段を構成する吸気ダクト３７が配設されている。この
吸気ダクト３７は、ワイヤソー１０に設置された図示し
ない吸気ポンプに接続され、吸気ポンプには、ワイヤソ
ー１０の本体１１に露出した図示しない排気口が連通さ
れている。したがって、吸気ポンプを駆動すると、加工
室１７内のエアが吸気ダクト３７を介して吸引されて排
気口から外部に排気される。
【００２０】図３に示すように天板３８には、内カバー
３６の開閉手段であるシリンダ装置６２が設けられてい
る。シリンダ装置６２のロッド６４は、天板３８に形成
された図示しない孔を介して下方に延出され、その下端
部に前記内カバー３６の上面が固定されている。したが
って、シリンダ装置６２でロッド６４を収縮すると、内
カバー３６が上昇するのでインゴット３０を露出するこ
とができる。また、ロッド６４を伸長すると、内カバー
３６が下降するのでインゴット３０を覆うことができ
る。なお、前記シリンダ装置６２も前記モータ４８と同
様にＣＰＵによって制御されている。そして、ＣＰＵ
は、図３に示したリモコン受信部６０で受信した指令信
号に基づいてシリンダ装置６２を制御する。
３６の開閉手段であるシリンダ装置６２が設けられてい
る。シリンダ装置６２のロッド６４は、天板３８に形成
された図示しない孔を介して下方に延出され、その下端
部に前記内カバー３６の上面が固定されている。したが
って、シリンダ装置６２でロッド６４を収縮すると、内
カバー３６が上昇するのでインゴット３０を露出するこ
とができる。また、ロッド６４を伸長すると、内カバー
３６が下降するのでインゴット３０を覆うことができ
る。なお、前記シリンダ装置６２も前記モータ４８と同
様にＣＰＵによって制御されている。そして、ＣＰＵ
は、図３に示したリモコン受信部６０で受信した指令信
号に基づいてシリンダ装置６２を制御する。
【００２１】ところで、ワークホルダ２８は図１〜図４
に示すように、一対のアーム６６、６６によって支持さ
れている。前記アーム６６、６６は、水平方向に配置さ
れると共に水平方向に伸縮自在に構成されている。この
アーム６６、６６が図示しない駆動装置によって伸長さ
れると、図４に示すようにインゴット３０をワイヤソー
１０の外部に位置させることができる。反対にアーム６
６、６６を収縮させると、図１に示すようにインゴット
３０を切断位置に位置させることができる。
に示すように、一対のアーム６６、６６によって支持さ
れている。前記アーム６６、６６は、水平方向に配置さ
れると共に水平方向に伸縮自在に構成されている。この
アーム６６、６６が図示しない駆動装置によって伸長さ
れると、図４に示すようにインゴット３０をワイヤソー
１０の外部に位置させることができる。反対にアーム６
６、６６を収縮させると、図１に示すようにインゴット
３０を切断位置に位置させることができる。
【００２２】したがって、前記の如く構成されたワイヤ
ソー１０によれば、加工室１７を覆うカバーを、外カバ
ー３４と内カバー３６とで２重に構成したので、インゴ
ット３０の切断中におけるスラリーや切削塵の漏出を確
実に防止することができる。また、前記ワイヤソー１０
では、加工室１７内のエアを排気する排気手段を設けて
いる。この排気手段の吸気ポンプを駆動すると、加工室
１７内でミスト状になっているスラリーをエアと共に排
気することができる。したがって、外カバー３４を開く
前に吸気ポンプを駆動して、前記スラリーを含むエアを
排気すると、作業者に与える衛生上の問題を改善するこ
とができる。
ソー１０によれば、加工室１７を覆うカバーを、外カバ
ー３４と内カバー３６とで２重に構成したので、インゴ
ット３０の切断中におけるスラリーや切削塵の漏出を確
実に防止することができる。また、前記ワイヤソー１０
では、加工室１７内のエアを排気する排気手段を設けて
いる。この排気手段の吸気ポンプを駆動すると、加工室
１７内でミスト状になっているスラリーをエアと共に排
気することができる。したがって、外カバー３４を開く
前に吸気ポンプを駆動して、前記スラリーを含むエアを
排気すると、作業者に与える衛生上の問題を改善するこ
とができる。
【００２３】更に、前記ワイヤソー１０によれば、一対
のアーム６６、６６を伸長させてワークホルダ２８をワ
イヤソー１０の外部に位置させたので、ワークホルダ２
８に対するインゴット３０の取り付け、取り外し作業が
容易になる。図４は、自走搬送台車６８を利用したイン
ゴット３０の交換作業の状態を示している。この自走搬
送台車６８は、図５に示すホストコンピュータ７０に制
御されており、ホストコンピュータ７０からの指令信号
でストッカ７２の位置からワイヤソー（図５上でＮｏ．
１ワイヤソー１０Ａ、Ｎｏ．２ワイヤソー１０Ｂ…）の
インゴット交換位置まで自動で移動することができる。
また、自走搬送台車６８の上面には図４に示すように、
作業者７３が操作する操作パネル７４が設けられてい
る。この操作パネル７４上には、ワイヤソー１０側のウ
ィンチ４２、シリンダ装置６２、アーム６６の駆動装
置、及び吸気ポンプを駆動するための複数のボタンが配
置されている。このボタンで指令された内容は、自走搬
送台車６８の正面下部に設けられたリモコン送信部７６
から指令信号として送信される。送信された指令信号
は、ワイヤソー１０側のリモコン受信部６０で受信され
る。
のアーム６６、６６を伸長させてワークホルダ２８をワ
イヤソー１０の外部に位置させたので、ワークホルダ２
８に対するインゴット３０の取り付け、取り外し作業が
容易になる。図４は、自走搬送台車６８を利用したイン
ゴット３０の交換作業の状態を示している。この自走搬
送台車６８は、図５に示すホストコンピュータ７０に制
御されており、ホストコンピュータ７０からの指令信号
でストッカ７２の位置からワイヤソー（図５上でＮｏ．
１ワイヤソー１０Ａ、Ｎｏ．２ワイヤソー１０Ｂ…）の
インゴット交換位置まで自動で移動することができる。
また、自走搬送台車６８の上面には図４に示すように、
作業者７３が操作する操作パネル７４が設けられてい
る。この操作パネル７４上には、ワイヤソー１０側のウ
ィンチ４２、シリンダ装置６２、アーム６６の駆動装
置、及び吸気ポンプを駆動するための複数のボタンが配
置されている。このボタンで指令された内容は、自走搬
送台車６８の正面下部に設けられたリモコン送信部７６
から指令信号として送信される。送信された指令信号
は、ワイヤソー１０側のリモコン受信部６０で受信され
る。
【００２４】次に、前記自走搬送台車６８によるインゴ
ット３０の交換作業方法について説明すると、まず、自
走搬送台車６８をストッカ７２の位置に移動させて、ス
トッカ７２から所定のインゴット３０を自走搬送台車６
８に搭載する。次に、自走搬送台車６８を、指示のあっ
たワイヤソー１０の交換位置まで移動させ、そこで自走
搬送台車６８を停止する。次いで、作業者７３が、自走
搬送台車６８の操作パネル７４上のボタンを操作して交
換作業を開始する。この時、まず、吸気ポンプの駆動ボ
タンを押して吸気ポンプを駆動させ、加工室１７内のエ
ア（ミスト状のスラリーを含む）を排気する。この後
に、外カバー３４の開ボタンを押して外カバー３４を開
いた後、内カバー３６の開ボタンを押して内カバー３６
を開き、そして、アーム６６の伸長ボタンを押してアー
ム６６、６６を伸長させて切断終了したインゴット３０
をワイヤソー１０の外部に位置させる。そして、前記イ
ンゴット３０をワークホルダ２８から取り外して自走搬
送台車６８に搭載し、そして、新しい切断前のインゴッ
ト３０を自走搬送台車６８から取り出してワークホルダ
２８に取り付ける。これによって、インゴット３０の交
換が終了する。
ット３０の交換作業方法について説明すると、まず、自
走搬送台車６８をストッカ７２の位置に移動させて、ス
トッカ７２から所定のインゴット３０を自走搬送台車６
８に搭載する。次に、自走搬送台車６８を、指示のあっ
たワイヤソー１０の交換位置まで移動させ、そこで自走
搬送台車６８を停止する。次いで、作業者７３が、自走
搬送台車６８の操作パネル７４上のボタンを操作して交
換作業を開始する。この時、まず、吸気ポンプの駆動ボ
タンを押して吸気ポンプを駆動させ、加工室１７内のエ
ア（ミスト状のスラリーを含む）を排気する。この後
に、外カバー３４の開ボタンを押して外カバー３４を開
いた後、内カバー３６の開ボタンを押して内カバー３６
を開き、そして、アーム６６の伸長ボタンを押してアー
ム６６、６６を伸長させて切断終了したインゴット３０
をワイヤソー１０の外部に位置させる。そして、前記イ
ンゴット３０をワークホルダ２８から取り外して自走搬
送台車６８に搭載し、そして、新しい切断前のインゴッ
ト３０を自走搬送台車６８から取り出してワークホルダ
２８に取り付ける。これによって、インゴット３０の交
換が終了する。
【００２５】そして、インゴット３０の交換が終了する
と、まず、アーム６６の収縮ボタンを押してアーム６
６、６６を収縮させて、新しいインゴット３０をワイヤ
ソー１０の切断位置にセットする。次に、内カバー３６
の閉ボタンを押して内カバー３６を閉じ、外カバー３４
の閉ボタンを押して外カバー３４を閉じる。これによ
り、インゴット３０の切断準備が終了し、この後にワイ
ヤ１４を走行させると共にワークフィードテーブル２９
でインゴット３０を送り移動させて、インゴット３０の
切断を開始する。
と、まず、アーム６６の収縮ボタンを押してアーム６
６、６６を収縮させて、新しいインゴット３０をワイヤ
ソー１０の切断位置にセットする。次に、内カバー３６
の閉ボタンを押して内カバー３６を閉じ、外カバー３４
の閉ボタンを押して外カバー３４を閉じる。これによ
り、インゴット３０の切断準備が終了し、この後にワイ
ヤ１４を走行させると共にワークフィードテーブル２９
でインゴット３０を送り移動させて、インゴット３０の
切断を開始する。
【００２６】このように、インゴット３０の交換に必要
なワイヤソー１０側の駆動機構を駆動することができる
自走搬送台車６８をワイヤソー１０の設置工場に設置す
れば、インゴット３０の交換作業を省人化することがで
きると共に完全自動化も達成することもできる。
なワイヤソー１０側の駆動機構を駆動することができる
自走搬送台車６８をワイヤソー１０の設置工場に設置す
れば、インゴット３０の交換作業を省人化することがで
きると共に完全自動化も達成することもできる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤソーによれば、加工室を覆うカバーを外カバーと内カ
バーとで２重に構成したので、ワーク加工中におけるス
ラリーや切削塵の漏出を確実に防止することができる。
また、本発明によれば、加工室内のエアを排気する排気
手段を設け、この排気手段を外カバーを開く前に駆動し
て、加工室内でミスト状になっているスラリーをエアと
共に排気した後、外カバー３４と内カバーを開いてワー
クの取り付け取り外し作業を行うようにしたので、作業
者に与える衛生上の問題を改善することができる。
ヤソーによれば、加工室を覆うカバーを外カバーと内カ
バーとで２重に構成したので、ワーク加工中におけるス
ラリーや切削塵の漏出を確実に防止することができる。
また、本発明によれば、加工室内のエアを排気する排気
手段を設け、この排気手段を外カバーを開く前に駆動し
て、加工室内でミスト状になっているスラリーをエアと
共に排気した後、外カバー３４と内カバーを開いてワー
クの取り付け取り外し作業を行うようにしたので、作業
者に与える衛生上の問題を改善することができる。
【００２８】更に、本発明によれば、ワークホルダを加
工室とワイヤソーの外部との間で往復移動させる移動手
段を設け、この移動手段を駆動してワークホルダをワイ
ヤソーの外部に位置させたので、ワークホルダに対する
ワークの取り付け取り外し作業が容易になる。
工室とワイヤソーの外部との間で往復移動させる移動手
段を設け、この移動手段を駆動してワークホルダをワイ
ヤソーの外部に位置させたので、ワークホルダに対する
ワークの取り付け取り外し作業が容易になる。
【図１】本実施の形態のワイヤソーの透視図
【図２】図１に示したワイヤソーの上面図
【図３】図１に示したワイヤソーの側面図
【図４】自走搬送台車によるインゴットの交換作業の状
態を示す説明図
態を示す説明図
【図５】ワイヤソー及び自走搬送台車の制御系を示すブ
ロック図
ロック図
１０…ワイヤソー １４…ワイヤ １８…溝付ローラ ２８…ワークホルダ ２９…ワークフィードテーブル ３０…インゴット ３１…ワークブロック ３４…外カバー ３６…内カバー ４２…ウィンチ ６０…リモコン受信部 ６２…シリンダ装置 ６８…自走搬送台車
Claims (3)
- 【請求項１】ワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛けてワ
イヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させることにより走
行する前記ワイヤ列にワークを押しつけて多数のウェー
ハに切断するワイヤソーにおいて、 前記複数の溝付ローラが設置された加工室を覆うカバー
を、外カバーと内カバーとで２重に構成し、該外カバー
及び内カバーを開閉する開閉手段を設けたことを特徴と
するワイヤソー。 - 【請求項２】前記加工室内のエアを、前記ワイヤソーの
外部に排気する排気手段を設けたことを特徴とする請求
項１記載のワイヤソー。 - 【請求項３】前記ワークを前記加工室とワイヤソーの外
部との間で往復移動させる移動手段を有するワークホル
ダを設けたことを特徴とする請求項１記載のワイヤソ
ー。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9346436A JPH11179644A (ja) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | ワイヤソー |
| US09/210,480 US6145499A (en) | 1997-12-16 | 1998-12-14 | Wire saw |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9346436A JPH11179644A (ja) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | ワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11179644A true JPH11179644A (ja) | 1999-07-06 |
Family
ID=18383417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9346436A Pending JPH11179644A (ja) | 1997-12-16 | 1997-12-16 | ワイヤソー |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6145499A (ja) |
| JP (1) | JPH11179644A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001018099A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-23 | Janome Sewing Mach Co Ltd | 発塵防止機構を備えた電動プレス |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6477051B1 (en) * | 2001-09-20 | 2002-11-05 | Hewlett-Packard Company | Socket activation interlock |
| US7089925B1 (en) | 2004-08-18 | 2006-08-15 | Kinik Company | Reciprocating wire saw for cutting hard materials |
| KR100831747B1 (ko) * | 2006-11-10 | 2008-05-23 | 삼정엔지니어링 (주) | 와이어 소우 장치 및 이 와이어 소우 장치를 이용한 피가공물 가공방법 |
| CN101284402B (zh) * | 2008-05-30 | 2011-08-17 | 大连连城数控机器股份有限公司 | 多线切割机 |
| DE102011082366B3 (de) * | 2011-09-08 | 2013-02-28 | Siltronic Ag | Einlagiges Wickeln von Sägedraht mit fest gebundenem Schneidkorn für Drahtsägen zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück |
| EP2583804A1 (en) * | 2011-10-22 | 2013-04-24 | Applied Materials Switzerland Sàrl | A new wafer sawing system |
| JP5996308B2 (ja) * | 2012-07-10 | 2016-09-21 | コマツＮｔｃ株式会社 | ワイヤソー |
| KR101690246B1 (ko) | 2015-01-26 | 2017-01-09 | 주식회사 엘지실트론 | 와이어 쏘잉 장치 |
| CN109732460A (zh) * | 2019-01-17 | 2019-05-10 | 安徽华顺半导体发展有限公司 | 一种光伏发电用多晶硅锭高效切片装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4655191A (en) * | 1985-03-08 | 1987-04-07 | Motorola, Inc. | Wire saw machine |
| JP2673544B2 (ja) * | 1988-06-14 | 1997-11-05 | 株式会社日平トヤマ | 脆性材料の切断方法 |
| US5679059A (en) * | 1994-11-29 | 1997-10-21 | Ebara Corporation | Polishing aparatus and method |
| DE19510625A1 (de) * | 1995-03-23 | 1996-09-26 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Drahtsäge und Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück |
| JP3107143B2 (ja) * | 1995-07-14 | 2000-11-06 | 株式会社東京精密 | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 |
| CH691036A5 (fr) * | 1996-02-06 | 2001-04-12 | Hct Shaping Systems Sa | Dispositif de sciage par fil pour la découpe de tranches fines comprenant un mécanisme pour le taillage in situ des gorges des cylindres guide-fils. |
| US5890481A (en) * | 1996-04-01 | 1999-04-06 | Saint-Gobain/Norton Industrial Ceramics Corporation | Method and apparatus for cutting diamond |
| CH692331A5 (de) * | 1996-06-04 | 2002-05-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Drahtsäge und Schneidverfahren unter Einsatz derselben. |
| US5878737A (en) * | 1997-07-07 | 1999-03-09 | Laser Technology West Limited | Apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire |
-
1997
- 1997-12-16 JP JP9346436A patent/JPH11179644A/ja active Pending
-
1998
- 1998-12-14 US US09/210,480 patent/US6145499A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001018099A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-23 | Janome Sewing Mach Co Ltd | 発塵防止機構を備えた電動プレス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6145499A (en) | 2000-11-14 |
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