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JPH111763A - 硬質被覆材およびそれを被覆した摺動部材ならびにその製造方法 - Google Patents

硬質被覆材およびそれを被覆した摺動部材ならびにその製造方法

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Publication number
JPH111763A
JPH111763A JP9166562A JP16656297A JPH111763A JP H111763 A JPH111763 A JP H111763A JP 9166562 A JP9166562 A JP 9166562A JP 16656297 A JP16656297 A JP 16656297A JP H111763 A JPH111763 A JP H111763A
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JP
Japan
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weight
hard coating
coating material
dissolved
film
Prior art date
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Application number
JP9166562A
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English (en)
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JP3439949B2 (ja
Inventor
Shoji Tanaka
昭二 田中
Nobuyuki Yamashita
信行 山下
Naoki Ito
直樹 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TPR Co Ltd
Original Assignee
Teikoku Piston Ring Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Teikoku Piston Ring Co Ltd filed Critical Teikoku Piston Ring Co Ltd
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Priority to US09/090,927 priority patent/US6060182A/en
Priority to EP98304576A priority patent/EP0884400B1/en
Priority to DE69800317T priority patent/DE69800317T2/de
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0676Oxynitrides
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J9/00Piston-rings, e.g. non-metallic piston-rings, seats therefor; Ring sealings of similar construction
    • F16J9/26Piston-rings, e.g. non-metallic piston-rings, seats therefor; Ring sealings of similar construction characterised by the use of particular materials
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
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    • Y10T428/24942Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/24983Hardness

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 摺動特性、特に耐焼付性を向上させる。 【解決手段】 ピストンリング1の外周面にアークイオ
ンプレーティングによって硬質皮膜2を被覆する。硬質
皮膜2はCrNおよびMo2 Nの結晶構造中に〔O〕を
固溶し、重量比でCr40〜78%、Mo3〜35%、
O3〜20%、残Nからなっており、各結晶粒径が1μ
m未満である。皮膜2の硬さはビッカース硬さで160
0〜2500、膜厚は1〜60μmが好適である。な
お、上記において、〔O〕に代えて、〔C〕を0.5〜
8重量%固溶させてもよい。あるいは、〔O〕を3〜2
0重量%、〔C〕を0.5〜8重量%、〔O〕と〔C〕
の合計が25重量%以下の割合で、〔O〕と〔C〕の両
方を固溶させてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、摺動特性特に耐焼
付性を改良した硬質被覆材に関し、例えば内燃機関用ピ
ストンリング等の摺動部材の摺動面に施して有効なもの
である。
【0002】
【従来の技術】近年、エンジンの高出力化や排ガス規制
対応に伴って、ピストンリングの使用環境がますます苛
酷になっている。その対策としてPVD法を利用したT
iN皮膜、CrN皮膜、あるいはCrNの結晶構造中に
〔O〕を固溶した硬質皮膜(特開平6−265023
号)やCrNの結晶構造中に〔C〕を固溶した硬質皮膜
(特開平6−300130号)が提案されている。ま
た、更には、耐摩耗性の優れる窒化クロム(Cr
X Y )と窒化モリブデン(MoX Y )とからなる複
合皮膜(特開平8−199337号)が提案されてい
る。更には、Cr−Mo−N−O系皮膜が提案されてい
る(特開平6−346077号)。なお、この公報には
単に皮膜の金属元素の組成比とガス元素の組成比が規定
されているだけで、皮膜の結晶構造は特定されていな
い。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、苛酷な
エンジン条件下にあっては、未だに耐焼付性が劣る問題
がある。
【0004】本発明の目的は、摺動特性特に耐焼付性を
向上させることにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の硬質被覆材は、
CrNの結晶構造とMo2 Nの結晶構造とが混在してお
り、それらの結晶構造中に〔O〕が3〜20重量%の割
合で固溶されており、ビッカース硬さが1600〜25
00の範囲にあり、各結晶粒径が1μm未満である。こ
の硬質被覆材の組成は、Cr40〜78重量%、Mo3
〜35重量%、O3〜20重量%、残Nからなってい
る。
【0006】本発明の硬質被覆材は、上記では〔O〕を
固溶させたが、〔O〕に代えて、〔C〕を0.5〜8重
量%の割合で固溶させるようにしてもよい。硬さと各結
晶粒径の構成は上記と同じである。この硬質被覆材の組
成は、Cr40〜78重量%、Mo3〜35重量%、C
0.5〜8重量%、残Nからなっている。
【0007】更には、本発明の硬質被覆材は、〔O〕と
〔C〕の両方を固溶させてもよい。その場合、〔O〕は
3〜20重量%、〔C〕は0.5〜8重量%、〔O〕と
〔C〕の合計は25重量%以下の割合で固溶させる。硬
さと各結晶粒径の構成は上記と同じである。この硬質被
覆材の組成は、Cr40〜78重量%、Mo3〜35重
量%、O3〜20重量%、C0.5〜8重量%、OとC
の合計は25重量%以下、残Nからなっている。
【0008】本発明の摺動部材は、上記硬質被覆材から
なる硬質皮膜が少なくとも摺動面に被覆されているもの
であり、例えば上記硬質被覆材からなる硬質皮膜が被覆
されたピストンリングは苛酷な条件下においても充分な
耐焼付性および耐摩耗性を有する。硬質被覆材の被覆は
イオンプレーティングにより行うことができる。
【0009】Crの含有量が40重量%未満あるいは7
8重量%を越えると、耐焼付性が低くなる。また、Mo
の含有量が3重量%未満あるいは35重量%を越える
と、耐焼付性が低くなる。
【0010】なお、Crの含有量の上限は70重量%が
より好ましい。Moの含有量の下限は8重量%がより好
ましい。
【0011】CrNとMo2 Nの各結晶構造中に固溶さ
れる〔O〕の含有量が3重量%未満あるいは20重量%
を越えると、耐焼付性が低くなる。CrNとMo2 Nの
各結晶構造中に固溶される〔C〕の含有量が0.5重量
%未満あるいは8重量%を越えると、耐焼付性が低くな
る。CrNとMo2 Nの各結晶構造中に固溶される
〔O〕と〔C〕の合計が25重量%を越えると、耐焼付
性が低くなる。
【0012】なお、〔O〕の含有量は下限が4重量%、
上限は15重量%がより好ましい。〔C〕の含有量は下
限が1重量%、上限は5重量%がより好ましい。〔O〕
と〔C〕の合計の含有量は20重量%以下がより好まし
い。
【0013】硬さはHV1600未満では耐摩耗性が低
くなり、HV2500を越えると耐焼付性が低くなる。
なお、硬さは下限がHV1650、上限はHV2300
がより好ましい。
【0014】結晶粒径が1μm以上であると、摺動部の
耐脱落性および皮膜の密着性が劣る。結晶粒径は0.1
μm未満がより好ましい。
【0015】
【発明の実施の形態】図1は本発明の一実施形態である
ピストンリングの一部分を示す縦断面図である。本実施
形態におけるピストンリング1は鋼、鋳鉄、チタンある
いはチタン合金等で形成されている矩形断面リングであ
る。
【0016】ピストンリング1の外周面にはアークイオ
ンプレーティングによって硬質皮膜2が被覆されてい
る。硬質皮膜2はCrNの結晶構造とMo2 Nの結晶構
造とが混在しており、それらの結晶構造中に〔O〕が3
〜20重量%の割合で固溶されており、各結晶粒径は1
μm未満である。硬質皮膜2の組成は、Cr40〜78
重量%、Mo3〜35重量%、O3〜20重量%、残N
からなっている。硬質皮膜2の硬さはビッカース硬さで
1600〜2500の範囲にあり、膜厚は1〜60μm
が好適である。
【0017】なお、上記では、硬質皮膜2は〔O〕を固
溶しているが、〔O〕に代えて〔C〕を0.5〜8重量
%の割合で固溶させてもよい。この場合の硬質皮膜2の
組成は、Cr40〜78重量%、Mo3〜35重量%、
C0.5〜8重量%、残Nからなる。硬質皮膜2の他の
構成は上記〔O〕を固溶している場合と同じである。
【0018】また、硬質皮膜2は、〔O〕と〔C〕の両
方を固溶させてもよい。その場合、〔O〕は3〜20重
量%、〔C〕は0.5〜8重量%、〔O〕と〔C〕の合
計は25重量%以下の割合で固溶させる。この場合の硬
質皮膜2の組成は、Cr40〜78重量%、Mo3〜3
5重量%、O3〜20重量%、C0.5〜8重量%、O
とCの合計は25重量%以下、残Nからなる。硬質皮膜
2の他の構成は上記〔O〕のみを固溶している場合と同
じである。
【0019】アークイオンプレーティング法はイオンプ
レーティングの一つで、真空アーク放電を利用して、陰
極の皮膜材料を蒸気化、イオン化して、被コーティング
物の表面に皮膜を形成するものである。このアークイオ
ンプレーティング法は蒸気のイオン化率が高く、緻密で
密着性に優れた皮膜が得られる特長がある。
【0020】図2に基づいて、アークイオンプレーティ
ング装置の基本的構成を説明する。真空チャンバ10内
に、皮膜を形成する材料からなる陰極11と、皮膜が形
成される被コーティング物12が設置されている。陰極
11は真空チャンバ10の外側に設置されているアーク
供給源13に接続されており、アーク供給源13には図
示外の陽極が接続されている。被コーティング物12に
はバイアス電圧供給源14によって負のバイアス電圧が
印加されるように構成されている。真空チャンバ10に
はプロセスガスの供給源に接続されているガス入口15
と、ポンプに接続されている排気口16とが設けられて
いる。
【0021】したがって、真空チャンバ10内におい
て、陰極11と陽極との間でアーク放電が起こされる
と、アークは陰極11の表面上にアークスポットを形成
し、陰極11の表面上をランダムにかつ高速に移動す
る。アークスポットに集中するアーク電流(数十〜数百
A)のエネルギーにより、陰極11の材料は瞬時に蒸発
すると同時に金属イオン17となり、真空中に飛び出
す。一方、バイアス電圧が被コーティング物12に印加
されることにより、金属イオン17は加速され、反応ガ
ス分子18とともに被コーティング物12の表面に密着
し、緻密な皮膜が生成される。
【0022】本実施形態においては、上記アークイオン
プレーティング装置において、真空チャンバ10内にC
r金属からなる陰極、Mo金属からなる陰極、およびC
r−Mo合金からなる陰極のうちの少なくとも2つの陰
極が設置されており(図は2つの陰極を有するものを示
してあり、例えば第1陰極にCr金属、第2陰極にCr
−Mo合金が使用される。)、プロセスガスとして窒素
源にN2 ガス、酸素源にO2 ガスが使用されることによ
り、被コーティング物12としてのピストンリングに、
CrNとMo2 Nの各結晶構造中に〔O〕が固溶された
硬質皮膜を被覆することができる。なお、各陰極11に
おけるアーク電流の大きさは独立して調節できるように
構成されている。
【0023】上記において、CrとMoの成分量の調整
は、陰極がCr金属、Mo金属、Cr−Mo合金におけ
る各アーク電流と成膜スピード(陰極の蒸発量)の関係
から、各陰極におけるアーク電流の大きさを調整するこ
とによって行える。または、Cr−Mo合金のCrとM
oの比率を変えることによっても行える。
【0024】なお、〔O〕に代えて〔C〕を固溶した硬
質皮膜を被覆する場合は、上記プロセスガスのO2 ガス
を、炭素源としてのCH4 ガス、C2 4 ガスあるいは
22 ガスに変えることにより行うことができる。
【0025】また、〔O〕と〔C〕を固溶した硬質皮膜
を被覆する場合は、上記〔O〕を固溶させるプロセスガ
スに更に炭素源としてのCH4 ガス、C2 4 ガスある
いはC2 2 ガスを加えることにより行うことができ
る。
【0026】〔O〕の濃度のコントロールは、イオンプ
レーティングの際の酸素源の分圧をコントロールするこ
とによって行うことができる。酸素源の分圧を高くする
と濃度は上昇する。同様に、〔C〕の濃度のコントロー
ルは、イオンプレーティングの際の炭素源の分圧をコン
トロールすることによって行うことができる。炭素源の
分圧を高くすると濃度は上昇する。
【0027】皮膜硬度のコントロールはバイアス電圧を
コントロールすることによって行うことができる。バイ
アス電圧を高くすると、硬度は上昇する。
【0028】上記硬質皮膜2の耐摩耗性を評価するため
に、往復動摩擦試験機を使用して耐摩耗性試験を行っ
た。
【0029】(1)往復動摩擦試験機 図3に往復動摩擦試験機の構成を示す。ピン状の上試験
片20は固定ブロック21により保持され、上方から油
圧シリンダ22により下向きの荷重が加えられて、下試
験片23に押接される。矩形の平盤形状の下試験片23
は可動ブロック24により保持され、クランク機構25
により往復動させられる。26はロードセルである。
【0030】(2)試験片 上試験片20:17Crマルテンサイト系ステンレス鋼
からなる直径φ8mm×長さ25mmの丸棒の一端にR
18mmの球面加工を施し、その球面上に表1および表
2に示す硬質皮膜を施したもの。 下試験片23:長さ70mm×幅17mm×高さ14m
mの平板で材質は鋳鉄材(FC250)
【0031】(3)試験条件 ならし:50N×100cpm×5min 本試験:300N×600cpm×60min 潤滑油:軽油相当粘度油
【0032】(4)試験結果 試験結果を表3に示す。表3に示されているように、比
較例1と比べ、比較例10は上下試験片とも摩耗が多
く、比較例12〜16は上試験片の摩耗が多い。これに
対して、実施例1〜8は上下試験片とも摩耗が少ない。
【0033】 比較例1〜16における金属元素の組成比Mo/(Cr
+Mo)〔原子%〕は21.3,67.8,2.0,1
2.3,3.7,1.5,32.2,18.9,1.
4,15.3,32.7,14.3,12.8,17.
7,21.3,25.1である。比較例9〜16におけ
るガス元素の組成比O/(N+O)〔原子%〕は8.
1,49.2,24.4,30.5,24.8,38.
5,28.0,42.2である。各結晶粒径は0.1μ
m未満である。
【0034】 実施例1〜8における金属元素の組成比Mo/(Cr+
Mo)〔原子%〕は32.2,21.3,3.4,2.
0,14.4,16.1,20.6,7.8である。実
施例4,5におけるガス元素の組成比O/(N+O)
〔原子%〕は14.1,45.5である。各結晶粒径は
0.1μm未満である。
【0035】 摩耗試験結果における摩耗比は、比較例および実施例と
も比較例1の摩耗量を1としたときの比である。
【0036】次に、硬質皮膜2の耐焼付性を評価するた
めに、高面圧焼付試験機を使用して皮膜の耐焼付性試験
を行った。
【0037】(1)高面圧焼付試験機 図4に高面圧焼付試験機の構成を示す。ステータ30は
ロータ31側の面に円形状の凹部を備えており、この凹
部にディスク32(鋳鉄材:FC250)が固定されて
いる。ディスク32はロータ31側に突出しており、ロ
ータ31側の表面は垂直な平坦面をなしている。ディス
ク32の中心部には油孔33がステータ30の軸方向に
形成されており、この油孔33に連通する細長い油孔3
4がステータ30に斜めに形成されている。これらの油
孔33,34を通じて、ステータ30のディスク32と
後述するピン35との接触部に潤滑油が供給される。
【0038】ロータ31は水平軸を中心に回転し、ステ
ータ30側の面に円形状の凹部が形成されており、この
凹部に円盤形状のピンホルダ36がロータ31に同心状
に固定されている。ピンホルダ36のステータ30側の
面には、同一円上に等間隔をおいて4つの凹部が形成さ
れており、これらの凹部にそれぞれ試験片としてのピン
35(φ8mm)が挿入されて固定されている。各ピン
35はピンホルダ36の表面からステータ30側に水平
に突出されている。
【0039】各ピン35の突出端面には表1および表2
に示す硬質皮膜が形成されており、この端面がステータ
30のディスク32面に接触している。
【0040】したがって、ステータ30に荷重Pをかけ
てディスク32をピン35に押接し、ピン35とディス
ク32の接触部分に油孔33,34を通じて潤滑油を供
給しながらロータ31を回転させる。
【0041】このロータ31の摺動速度を一定にして、
荷重Pを変動していったとき、ピン35が焼き付いたと
きの焼付発生荷重を測定した。
【0042】(2)試験条件 潤滑油 :10W ディーゼルエンジンオイル 油温 :80℃ 荷重(P):初期196Nから3分間隔で98Nずつス
テップアップ 摺動速度 :8m/s 一定 温度 :室温
【0043】(3)試験結果 試験結果を表4に示す。比較例は摩耗試験結果が良好な
ものについて行った。表4に示されているように、実施
例1〜8は比較例1〜9および比較例11より耐焼付性
が優れている。
【0044】 比較例は表1と表4に示す番号が対応しており、同じ番
号のものは同じ皮膜であり、実施例は表2と表4に示す
番号が対応しており、同じ番号のものは同じ皮膜であ
る。焼付試験結果における焼付面圧比は、比較例および
実施例とも比較例1の焼付面圧を1としたときの比であ
る。
【0045】次に、実機試験結果について説明する。表
1および表2に示す硬質皮膜を外周面に被覆したトップ
リングを、φ93mmの直列4気筒4サイクルディーゼ
ルエンジンに組み込み、全負荷の条件で300時間の耐
久試験を行った。
【0046】試験結果を表5に示す。表5に示されてい
るように、比較例1は焼付が発生したが、実施例1〜8
は焼付が発生しなかった。
【0047】 比較例は表1と表5に示す番号が対応しており、同じ番
号のものは同じ皮膜であり、実施例は表2と表5に示す
番号が対応しており、同じ番号のものは同じ皮膜であ
る。
【0048】以上のように、実施例の硬質皮膜は、耐摩
耗性が優れるとともに、耐焼付性が特に優れている。
【0049】なお、上記実施形態では、ピストンリング
1の外周面に硬質皮膜2を被覆した例を示したが、ピス
トンリングの外周面と上下面とに硬質皮膜を被覆しても
よいし、さらには、ピストンリングの外周面と上下面と
内周面とに硬質皮膜を被覆するようにしてもよい。
【0050】また、上記実施形態ではピストンリングに
硬質皮膜を被覆した例を示したが、硬質皮膜はピストン
リングに被覆するに限らず、他の摺動部材、例えば内燃
機関の動弁系部品であるタペットやカム等の少なくとも
摺動面に被覆すれば有効である。
【0051】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の硬質被覆
材は耐摩耗性に優れるとともに、耐焼付性が特に優れて
いる。したがって、この硬質被覆材を摺動部材例えばピ
ストンリングに被覆することによって、苛酷な条件下に
おいても充分な耐久性を具備させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態であるピストンリングの一
部分を示す縦断面図である。
【図2】アークイオンプレーティング装置の構成を説明
するための図である。
【図3】往復動摩擦試験機の構成を示す図である。
【図4】高面圧焼付試験機の構成を示す縦断面図であ
る。
【符号の説明】
1 ピストンリング 2 硬質皮膜 10 真空チャンバ 11 陰極 12 被コーティング物 13 アーク供給源 14 バイアス電圧供給源 15 ガス入口 16 排気口 17 金属イオン 18 反応ガス分子 20 上試験片 21 固定ブロック 22 油圧シリンダ 23 下試験片 24 可動ブロック 25 クランク機構 26 ロードセル 30 ステータ 31 ロータ 32 ディスク 33,34 油孔 35 ピン 36 ピンホルダ

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 CrNおよびMo2 Nの結晶構造中に
    〔O〕が固溶されている硬質被覆材であって、Cr40
    〜78重量%、Mo3〜35重量%、O3〜20重量
    %、残Nからなっており、ビッカース硬さが1600〜
    2500、各結晶粒径が1μm未満であることを特徴と
    する硬質被覆材。
  2. 【請求項2】 CrNおよびMo2 Nの結晶構造中に
    〔C〕が固溶されている硬質被覆材であって、Cr40
    〜78重量%、Mo3〜35重量%、C0.5〜8重量
    %、残Nからなっており、ビッカース硬さが1600〜
    2500、各結晶粒径が1μm未満であることを特徴と
    する硬質被覆材。
  3. 【請求項3】 CrNおよびMo2 Nの結晶構造中に
    〔O〕と〔C〕が固溶されている硬質被覆材であって、
    Cr40〜78重量%、Mo3〜35重量%、O3〜2
    0重量%、C0.5〜8重量%、OとCの合計は25重
    量%以下、残Nからなっており、ビッカース硬さが16
    00〜2500、各結晶粒径が1μm未満であることを
    特徴とする硬質被覆材。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3のいずれかに記載の硬質被
    覆材からなる硬質皮膜が少なくとも摺動面に被覆されて
    いることを特徴とする摺動部材。
  5. 【請求項5】 前記硬質皮膜が被覆されている部材がピ
    ストンリングであることを特徴とする請求項4記載の摺
    動部材。
  6. 【請求項6】 前記硬質皮膜の厚さが1〜60μmの範
    囲にあることを特徴とする請求項4または5記載の摺動
    部材。
  7. 【請求項7】 請求項1〜3のいずれかに記載の硬質被
    覆材をイオンプレーティングにより少なくとも摺動面に
    被覆することを特徴とする摺動部材の製造方法。
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