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JPH11176022A - Phase change optical recording medium - Google Patents

Phase change optical recording medium

Info

Publication number
JPH11176022A
JPH11176022A JP9363218A JP36321897A JPH11176022A JP H11176022 A JPH11176022 A JP H11176022A JP 9363218 A JP9363218 A JP 9363218A JP 36321897 A JP36321897 A JP 36321897A JP H11176022 A JPH11176022 A JP H11176022A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
reflective heat
recording medium
protective layer
optical recording
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9363218A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mikio Kinoshita
幹夫 木下
Masato Harigai
眞人 針谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP9363218A priority Critical patent/JPH11176022A/en
Publication of JPH11176022A publication Critical patent/JPH11176022A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 狭トラックピッチで線記録密度が高く、また
ランド&グルーブ記録におけるランド部とグルーブ部の
記録感度の差異が少なく、良好なラジアルコントラスト
を有し、初期化においてもランド部とグルーブ部の結晶
化状態の均一性に優れた相変化光記録媒体を提供する。 【解決手段】 案内溝を有する基板上の第1保護層1
0、第1保護層上の記録層20、記録層上の第2保護層
30、第2保護層上の反射放熱層100を有し、案内溝
深さ1bが第2保護層の膜厚より大きい相変化光記録媒
体において、案内溝のランド部の幅1aが500nm以
下であり、反射放熱層がAg、Au、Cuまたはこれら
の元素を母材とする合金からなる。
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear recording density with a narrow track pitch, a small difference in recording sensitivity between a land portion and a groove portion in land and groove recording, a good radial contrast, and an initialization. Provided is a phase-change optical recording medium having excellent uniformity of the crystallization state of a land portion and a groove portion. SOLUTION: A first protective layer 1 on a substrate having a guide groove.
0, a recording layer 20 on the first protective layer, a second protective layer 30 on the recording layer, a reflective heat dissipation layer 100 on the second protective layer, and the guide groove depth 1b is larger than the thickness of the second protective layer. In a large phase change optical recording medium, the width 1a of the land portion of the guide groove is 500 nm or less, and the reflective heat radiation layer is made of Ag, Au, Cu, or an alloy having these elements as a base material.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、相変化光記録ディ
スクなど、光ビームを照射することにより記録層材料に
光学的な変化を生じさせ、情報の記録、再生を行ない、
かつ書換えが可能な相変化光記録媒体に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for recording and reproducing information by causing an optical change in a recording layer material by irradiating a light beam such as a phase-change optical recording disk.
The present invention also relates to a rewritable phase change optical recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザービームの照射による情報の記
録、再生および消去可能な光記録媒体の一つとして、結
晶−非結晶相間、あるいは結晶−結晶相間の転移を利用
する、いわゆる相変化光記録媒体がよく知られている。
これは単一ビームによるオーバーライトが可能であり、
ドライブ側の光学系もより単純であることからコンピュ
ータ関連や映像音響に関する記録媒体として利用されて
いる。その記録層材料としては、GeTe、GeTeS
e、GeTeS、GeSeS、GeSeSb、GeAs
Se、InTe、SeTe、SeAs、Ge−Te−
(Sn、u、Pd)、GeTeSeSb、GeTeS
b、Ag−In−Sb−Teなどが知られており、特
に、Ag−In−Sb−Teは、高感度でアモルファス
(非結晶)部分の輪郭が明確であり、マークエッジ記録
用の記録層材料として開発されている(特開平2−37
466号公報、特開平2−171325号公報、特開平
2−415581号公報、特開平4−141485号公
報など)。
2. Description of the Related Art As one of optical recording media capable of recording, reproducing and erasing information by irradiating a laser beam, a so-called phase-change optical recording medium utilizing a transition between a crystal and an amorphous phase or between a crystal and a crystal phase. Is well known.
It can be overwritten with a single beam,
Since the optical system on the drive side is simpler, it is used as a recording medium for computer related and video / audio. GeTe, GeTeS
e, GeTeS, GeSeS, GeSeSb, GeAs
Se, InTe, SeTe, SeAs, Ge-Te-
(Sn, u, Pd), GeTeSeSb, GeTeS
b, Ag-In-Sb-Te and the like are known. In particular, Ag-In-Sb-Te is highly sensitive, has a clear amorphous (non-crystalline) portion, and has a clear recording layer for mark edge recording. (Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-37)
466, JP-A-2-171325, JP-A-2-415581, JP-A-4-141485, etc.).

【0003】これら相変化光記録媒体の記録密度、感
度、幅広い記録線速への対応、繰返し記録特性、繰返し
再生特性などの諸特性の改善において、反射放熱層の寄
与は大きい。即ち、反射放熱層の複素屈折率はモジュレ
ーションや反射率等の光学特性に影響を与え、また熱伝
導率は記録感度、繰返し再生特性、記録密度等に強く影
響を与える。特に、高密度記録において、反射放熱層の
熱伝導率を大きなものとすることは、線記録密度の向上
において特に重要である。比較的大きな熱伝導率を有す
るAuまたはAu合金は、高耐蝕性および高熱伝導率を
有する点で優れた反射放熱層としてCD−R等の光記録
媒体に使用されてきた。また、金属元素として最も大き
な熱伝導率を有するAgは、硫化等の耐蝕性に問題があ
るものの、AuやPdを添加する合金化等の方法により
耐蝕性を改善し反射放熱層として使用することができ
る。また、特開平7−201075号公報に開示されて
いるように、耐蝕性に優れるAl反射放熱層との2層構
造として追記型光記録媒体に使用することも提案されて
いる。
The reflective heat dissipation layer greatly contributes to the recording density and sensitivity of these phase-change optical recording media, improvement of various characteristics such as repetitive recording characteristics and repetitive reproduction characteristics in response to a wide range of linear recording speeds. That is, the complex refractive index of the reflective heat dissipation layer has an effect on optical characteristics such as modulation and reflectance, and the thermal conductivity has a strong effect on recording sensitivity, repetitive reproduction characteristics, recording density, and the like. In particular, in high-density recording, increasing the thermal conductivity of the reflective heat dissipation layer is particularly important in improving the linear recording density. Au or an Au alloy having a relatively large thermal conductivity has been used for an optical recording medium such as a CD-R as a reflective heat radiation layer which is excellent in that it has high corrosion resistance and high thermal conductivity. Ag, which has the largest thermal conductivity as a metal element, has a problem in corrosion resistance such as sulfurization, but should be used as a reflective heat dissipation layer by improving the corrosion resistance by alloying such as adding Au or Pd. Can be. Further, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-201075, it has been proposed to use a write-once optical recording medium as a two-layer structure with an Al reflective heat dissipation layer having excellent corrosion resistance.

【0004】しかしながら、DVD−RWなどの高度な
繰返し記録特性が要求される書替え可能な光記録媒体に
おいては、AgやAg合金を反射放熱層に使用した場合
には高い記録密度は得られるものの、繰返し記録特性の
改善が課題であった。また、AuやAg合金を反射放熱
層に使用した場合には、保護層との密着性に乏しく、初
期化での結晶化や繰り返し記録に伴う熱衝撃、或いは張
り合わせ工程や使用時の機械的衝撃により部分的に剥離
を生じやすく、この剥離部分での記録が不可能となるな
どの不具合が生じ、信頼性の点で問題があった。
However, in a rewritable optical recording medium such as a DVD-RW which requires a high repetitive recording characteristic, a high recording density can be obtained when Ag or an Ag alloy is used for the reflective heat dissipation layer. The challenge was to improve the repetitive recording characteristics. In addition, when an Au or Ag alloy is used for the reflective heat dissipation layer, the adhesion to the protective layer is poor, and thermal shock due to crystallization during initialization and repetitive recording, or mechanical shock during the bonding process or use. As a result, partial peeling is likely to occur, and recording at the peeled portion becomes impossible, which causes a problem in reliability.

【0005】一方、繰返し記録特性やコストの点で優れ
るAlあるいはAl−Ti、Al−Si等のAl合金は
比較的高い熱伝導率を有し、CD−RW等の比較的低い
記録密度を有する光記録媒体の反射放熱層として使用さ
れている。しかしながら、線記録密度の向上には一定の
限界があり、この線記録密度の向上が課題であった。ま
た、狭いトラックピッチ、特にランド部の幅が狭い場合
で、光の入射面に対し、グルーブ部上の反射放熱層がラ
ンド部上の記録層より前面に存在する場合、即ち、記録
層と反射放熱層との間に存在する第2保護層の膜厚より
深い溝深さの案内溝を有する光記録媒体の場合、入射光
が光の回折の影響で、ランド部の記録層に到達する前に
一部がグルーブ部上の反射放熱層に吸収され、実効的な
パワー密度が低下するという問題点があった。これは光
吸収係数の比較的大きいAlにおいて特に顕著で、ラン
ド部とグルーブ部の記録感度の差異発生の一因となって
いた。
On the other hand, Al or Al alloys such as Al-Ti and Al-Si, which are excellent in repetitive recording characteristics and cost, have relatively high thermal conductivity and relatively low recording density such as CD-RW. It is used as a reflective heat radiation layer of an optical recording medium. However, there is a certain limit in improving the linear recording density, and there has been a problem in improving the linear recording density. Further, when the track pitch is narrow, especially when the width of the land portion is narrow, and when the reflection heat radiation layer on the groove portion is located in front of the recording layer on the land portion with respect to the light incident surface, In the case of an optical recording medium having a guide groove with a groove depth greater than the thickness of the second protective layer existing between the heat dissipation layer and the second protection layer, before the incident light reaches the recording layer on the land due to the diffraction of light. However, there is a problem that a part of the power is absorbed by the reflection heat radiation layer on the groove portion, and the effective power density is reduced. This is particularly remarkable in Al having a relatively large light absorption coefficient, which has caused a difference in recording sensitivity between the land and the groove.

【0006】また、光を基板面から入射させる光記録媒
体の初期化方法においては、ランド部とグルーブ部で、
初期結晶化状態に不均一が生じ、ラジアルコントラスト
や初期記録特性等に悪影響を及ぼしていた。さらに相変
化光記録媒体ではアモルファス部分と結晶化部分の光吸
収率の差異に起因する記録ムラがあり、幅広い記録線速
への対応あるいは信号品質向上等のために、第2保護層
と反射放熱層との間にSi等からなる吸収率制御−位相
差制御層を形成することも行われてきたが、Siなどは
熱伝導率が比較的低く、線記録密度の向上が課題であっ
た。
In the method of initializing an optical recording medium in which light is incident from a substrate surface, a land portion and a groove portion have
Non-uniformity occurred in the initial crystallization state, which had an adverse effect on radial contrast, initial recording characteristics, and the like. Further, in the phase change optical recording medium, there is recording unevenness due to the difference in the light absorptivity between the amorphous portion and the crystallized portion. Although an absorption control-phase difference control layer made of Si or the like has been formed between the layers, Si or the like has a relatively low thermal conductivity, and there has been a problem in improving the linear recording density.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題は
このような問題点を解決し、狭トラックピッチで線記録
密度が高く、またランド&グルーブ記録におけるランド
部とグルーブ部の記録感度の差異が少なく、良好なラジ
アルコントラストを有し、初期化においてもランド部と
グルーブ部の結晶化状態の均一性に優れた相変化光記録
媒体を提供することにある。また、本発明の課題は、初
期化や繰返し記録に伴う熱衝撃などによる反射放熱層と
保護層との膜剥がれが防止され、繰返し記録特性に優
れ、信頼性の高い相変化光記録媒体を提供することにあ
る。また、本発明の課題は、良好な反射率とモジュレー
ションを有する相変化光記録媒体を提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to solve such a problem, to achieve a high linear recording density at a narrow track pitch, and a difference in recording sensitivity between a land portion and a groove portion in land and groove recording. Another object of the present invention is to provide a phase-change optical recording medium having a good radial contrast, excellent in uniformity of the crystallized state of the land portion and the groove portion even at the time of initialization. Further, an object of the present invention is to provide a phase change optical recording medium in which the reflective heat dissipation layer and the protective layer are prevented from peeling off due to thermal shock or the like accompanying initialization or repeated recording, have excellent repeated recording characteristics, and have high reliability. Is to do. Another object of the present invention is to provide a phase-change optical recording medium having good reflectivity and modulation.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、第一
に、案内溝を有する基板上の第1保護層、第1保護層上
の記録層、記録層上の第2保護層、第2保護層上の反射
放熱層を有し、案内溝深さが第2保護層の膜厚より大き
い相変化光記録媒体において、案内溝のランド部の幅が
500nm以下であり、反射放熱層がAg、Au、Cu
またはこれらの元素を母材とする合金からなることを特
徴とする相変化光記録媒体が提供される。第二に、上記
第一に記載の相変化光記録媒体において、第2保護層と
反射放熱層との間に接着層を有することを特徴とする相
変化光記録媒体が提供される。第三に、案内溝を有する
基板上の第1保護層、第1保護層上の記録層、記録層上
の第2保護層、第2保護層上の反射放熱層を有し、案内
溝深さが第2保護層の膜厚より大きい相変化光記録媒体
において、第2保護層上のAg、Au、Cuまたはこれ
らの元素を母材とする合金からなる第1反射放熱層、第
1反射放熱層上の第2反射放熱層を有し、第2反射放熱
層の複素屈折率の実部および/または虚部の絶対値が第
1反射放熱層の複素屈折率の実部および/または虚部の
絶対値と異なっており、第1反射放熱層の膜厚が5〜5
0nmの範囲にあり、且つ案内溝のランド部の幅が50
0nm以下であることを特徴とする相変化光記録媒体が
提供される。第四に、上記第三に記載の相変化光記録媒
体において、第2保護層と第1反射放熱層との間に接着
層を有することを特徴とする相変化光記録媒体が提供さ
れる。第五に、上記第三または第四に記載の相変化光記
録媒体において、第1反射放熱層と第2反射放熱層との
間に反射補正層を有することを特徴とする相変化光記録
媒体が提供される。
According to the present invention, first, a first protective layer on a substrate having a guide groove, a recording layer on the first protective layer, a second protective layer on the recording layer, (2) In a phase-change optical recording medium having a reflective heat radiation layer on a protective layer and a guide groove depth greater than the film thickness of the second protective layer, the width of the land portion of the guide groove is 500 nm or less, and the reflective heat radiation layer is Ag, Au, Cu
Alternatively, there is provided a phase-change optical recording medium comprising an alloy containing these elements as a base material. Secondly, there is provided a phase-change optical recording medium according to the first aspect, characterized in that the phase-change optical recording medium further comprises an adhesive layer between the second protective layer and the reflective heat dissipation layer. Third, a first protection layer on a substrate having a guide groove, a recording layer on the first protection layer, a second protection layer on the recording layer, a reflective heat dissipation layer on the second protection layer, and a guide groove depth In the phase change optical recording medium whose thickness is larger than the thickness of the second protective layer, the first reflective heat dissipation layer made of Ag, Au, Cu or an alloy having these elements as a base material on the second protective layer, It has a second reflective heat radiation layer on the heat radiation layer, and the absolute value of the real part and / or the imaginary part of the complex refractive index of the second reflective heat radiation layer is the real part and / or the imaginary part of the complex refractive index of the first reflective heat radiation layer. And the thickness of the first reflective heat dissipation layer is 5 to 5
0 nm and the width of the land portion of the guide groove is 50
A phase change optical recording medium characterized by having a thickness of 0 nm or less is provided. Fourthly, there is provided a phase-change optical recording medium according to the third aspect, further comprising an adhesive layer between the second protective layer and the first reflective heat dissipation layer. Fifth, the phase-change optical recording medium according to the third or fourth aspect, further comprising a reflection correction layer between the first reflective heat-radiating layer and the second reflective heat-radiating layer. Is provided.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下に本発明を更に詳しく説明す
る。図1は本発明の相変化光記録媒体の一例を模式的に
示す拡大断面図である。図1において、案内溝を有する
基板1の上に第1保護層10、第1保護層10の上に記
録層20、記録層20の上に第2保護層30、第2保護
層30の上にAg、Au、Cuまたはこれらの元素を母
材とする合金からなる反射放熱層100が形成されてお
り、案内溝のランド部の幅1aが500nm以下であ
り、且つ案内溝深さ1bが第2保護層30の膜厚より大
きい関係となっている。反射放熱層100の上には、例
えばUV樹脂からなる環境保護層60を形成してもよ
い。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail. FIG. 1 is an enlarged sectional view schematically showing one example of the phase change optical recording medium of the present invention. 1, a first protective layer 10 is provided on a substrate 1 having a guide groove, a recording layer 20 is provided on the first protective layer 10, a second protective layer 30 is provided on the recording layer 20, and a second protective layer 30 is provided on the second protective layer 30. A reflective heat radiation layer 100 made of Ag, Au, Cu or an alloy containing these elements as a base material is formed, the width 1a of the land portion of the guide groove is 500 nm or less, and the depth 1b of the guide groove is The relationship is larger than the thickness of the two protective layers 30. An environmental protection layer 60 made of, for example, a UV resin may be formed on the reflective heat radiation layer 100.

【0010】本発明によれば、案内溝を有する基板上の
第1保護層、第1保護層上の記録層、記録層上の第2保
護層、第2保護層上の反射放熱層を有し、案内溝深さが
第2保護層の膜厚より大きい相変化光記録媒体におい
て、反射放熱層にAg、Au、Cuまたはこれらの元素
を母材とする合金を用い、案内溝のランド部分の幅を記
録波長より小さい500nm以下とすることにより、記
録密度が高く、またランド&グルーブ記録におけるラン
ド部とグルーブ部の記録感度の差異が少なく、良好なラ
ジアルコントラストを有し、初期化においてもランド部
分とグルーブ部分の結晶化状態の均一性に優れた相変化
光記録媒体を得ることができる。
According to the present invention, there is provided a first protective layer on a substrate having a guide groove, a recording layer on the first protective layer, a second protective layer on the recording layer, and a reflective heat radiation layer on the second protective layer. In a phase change optical recording medium having a guide groove depth larger than the thickness of the second protective layer, Ag, Au, Cu or an alloy having these elements as a base material is used for the reflective heat dissipation layer, and the land portion of the guide groove is used. Is smaller than the recording wavelength by 500 nm or less, the recording density is high, the difference in recording sensitivity between land and groove in land & groove recording is small, good radial contrast is obtained, and initialization is also possible. A phase change optical recording medium having excellent uniformity of the crystallization state of the land portion and the groove portion can be obtained.

【0011】これは、案内溝深さが第2保護層の膜厚よ
り大きい相変化光記録媒体、すなわち、光の入射面に対
し、グルーブ部上の反射放熱層がランド部上の記録層よ
り前面に存在する光記録媒体において、記録層に近接す
る反射放熱層を、熱伝導率が高く、光吸収係数が比較的
小さいAg、Au、Cuまたはこれらの元素を母材とす
る合金で構成することにより、入射光が光の回折の影響
で、ランド部上の記録層に到達する前に一部がグルーブ
部上の反射放熱層で散乱あるいは吸収されるのを防止
し、実効的なパワー密度が低下するのを防ぐことがで
き、ランド部とグルーブ部との上に存在する記録層位置
での入射光強度(基板面から入射)の不均一を緩和する
ことができることによるものである。
[0011] This is because a phase change optical recording medium in which the depth of the guide groove is larger than the thickness of the second protective layer, that is, the reflection heat radiation layer on the groove portion is larger than the recording layer on the land portion with respect to the light incident surface. In the optical recording medium existing on the front surface, the reflective heat radiation layer close to the recording layer is made of Ag, Au, Cu, or an alloy having these elements as a base material, which has a high thermal conductivity and a relatively small light absorption coefficient. This prevents part of the incident light from being scattered or absorbed by the reflective heat dissipation layer on the groove before reaching the recording layer on the land due to the effect of light diffraction. Is reduced, and unevenness of the incident light intensity (incident from the substrate surface) at the position of the recording layer existing on the land portion and the groove portion can be reduced.

【0012】また、これにより、生産性の高い高出力大
口径LDビームやフラッシュランプ等の光源を用いる相
変化光記録媒体の初期化特性を向上させることができ、
ランド部上の記録層とグルーブ部上の記録層における初
期結晶化度の差異を解消し、また適切なラジアルコント
ラストを維持することができる。このような作用効果
は、基板の案内溝深さが深いほど顕著である。
[0012] Thereby, it is possible to improve the initializing characteristics of a phase change optical recording medium using a light source such as a high-output large-aperture LD beam with high productivity or a flash lamp.
The difference in the initial crystallinity between the recording layer on the land portion and the recording layer on the groove portion can be eliminated, and an appropriate radial contrast can be maintained. Such an effect is more remarkable as the guide groove depth of the substrate is larger.

【0013】基板1としては、ポリカーボネート等の樹
脂あるいはガラスなどの透明体を用いることができ、基
板1はトラッキングサーボのための案内溝を有してい
る。第1保護層10及び第2保護層30としては、Zn
S・SiO2、AlN等の公知の誘電体を用いることが
でき、所定の屈折率を有している。
As the substrate 1, a transparent material such as a resin such as polycarbonate or glass can be used, and the substrate 1 has a guide groove for tracking servo. As the first protective layer 10 and the second protective layer 30, Zn
A known dielectric such as S.SiO 2 or AlN can be used, and has a predetermined refractive index.

【0014】また、記録層20としては、従来公知の相
変化光記録材料を用いることができ、例えばGeTe、
GeTeSe、GeTeS、GeSeS、GeSeS
b、GeAsSe、InTe、SeTe、SeAs、G
e−Te−(Sn、Au、Pd)、GeTeSeSb、
GeTeSb、Ag−In−Sb−Te等から記録線
速、記録方式、密度等を考慮して適宜選択される。
As the recording layer 20, a conventionally known phase-change optical recording material can be used, for example, GeTe,
GeTeSe, GeTeS, GeSeS, GeSeS
b, GeAsSe, InTe, SeTe, SeAs, G
e-Te- (Sn, Au, Pd), GeTeSeSb,
It is appropriately selected from GeTeSb, Ag-In-Sb-Te and the like in consideration of the recording linear velocity, the recording method, the density, and the like.

【0015】反射放熱層は、Ag、Au、Cuまたはこ
れらの元素を母材とする合金、例えば、Au−Ag、A
u−Cu、Au−Ag−Cu、Ag−Cu等からなるも
のであり、これらの合金は公知の付加的元素、例えば、
Pd、Pt、Al、Ge、Sn、Ti、In、Te、S
b、Zn、Mg等を含むものでもよい。但し、組成範囲
としては、所定の高熱伝導率が維持される範囲とする。
The reflective heat dissipation layer is made of Ag, Au, Cu or an alloy having these elements as a base material, for example, Au-Ag, A
u-Cu, Au-Ag-Cu, Ag-Cu and the like, and these alloys are known additional elements, for example,
Pd, Pt, Al, Ge, Sn, Ti, In, Te, S
It may contain b, Zn, Mg or the like. However, the composition range is a range in which a predetermined high thermal conductivity is maintained.

【0016】図2は本発明の相変化光記録媒体の他の例
を模式的に示す拡大断面図であり、図1に示した相変化
光記録媒体において、第2保護層30と反射放熱層10
0との間に接着層101を有している。接着層101と
しては、熱伝導率や複素屈折率が反射放熱層または第2
保護層の材料に類するもので、反射放熱層100と第2
保護層30との密着性向上に寄与する材料が好ましく、
例えばPd、Pt、Cu、Cu合金、Au−Cu系合金
やZnOなどが好ましく用いられる。
FIG. 2 is an enlarged sectional view schematically showing another example of the phase-change optical recording medium of the present invention. In the phase-change optical recording medium shown in FIG. 10
0 has an adhesive layer 101. As the adhesive layer 101, the heat conductivity or the complex refractive index is a reflection heat dissipation layer or a second heat dissipation layer.
It is similar to the material of the protective layer.
A material that contributes to improving the adhesion to the protective layer 30 is preferable,
For example, Pd, Pt, Cu, Cu alloy, Au-Cu-based alloy, ZnO and the like are preferably used.

【0017】なお、反射放熱層の母材として、AuやA
u合金など比較的密着性に劣る材料を使用する場合、接
着層としてCu、Cu合金、Ag、Ag合金などを使用
してもよい。この場合には反射放熱層が多層構造とな
る。接着層の膜厚としては、十分な接着強度が得られる
範囲で、概ね20nm以下が好ましい。第2保護層と反
射放熱層との間に接着層を設けることにより、第2保護
層と反射放熱層との密着性が向上し、膜剥がれを防止す
ることができ、繰返し記録特性に優れ、信頼性の高い相
変化光記録媒体を得ることができる。
Note that Au or A is used as a base material of the reflective heat radiation layer.
When a material having relatively poor adhesion such as a u alloy is used, Cu, a Cu alloy, Ag, an Ag alloy, or the like may be used as the adhesive layer. In this case, the reflection heat radiation layer has a multilayer structure. The thickness of the adhesive layer is preferably about 20 nm or less as long as a sufficient adhesive strength can be obtained. By providing an adhesive layer between the second protective layer and the reflective heat radiating layer, the adhesion between the second protective layer and the reflective heat radiative layer is improved, and film peeling can be prevented, and the recording characteristics are excellent. A highly reliable phase change optical recording medium can be obtained.

【0018】図3は本発明の相変化光記録媒体の別の一
例を模式的に示す拡大断面図である。図3において、案
内溝を有する基板1の上に第1保護層10、第1保護層
10の上に記録層20、記録層20の上に第2保護層3
0、第2保護層30の上にAg、Au、Cuまたはこれ
らの元素を母材とする合金からなる第1反射放熱層40
及び第1反射放熱層40上の第2反射放熱層50からな
る反射放熱層100が形成されており、第2反射放熱層
の複素屈折率の実部および/または虚部の絶対値が第1
反射放熱層の複素屈折率の実部および/または虚部の絶
対値と異なっており、第1反射放熱層の膜厚が5〜50
nmの範囲にあり、案内溝のランド部の幅1aが500
nm以下であり、且つ案内溝深さ1bが第2保護層30
の膜厚より大きい関係となっている。
FIG. 3 is an enlarged sectional view schematically showing another example of the phase change optical recording medium of the present invention. 3, a first protective layer 10 is provided on a substrate 1 having a guide groove, a recording layer 20 is provided on the first protective layer 10, and a second protective layer 3 is provided on the recording layer 20.
0, the first reflective heat dissipation layer 40 made of Ag, Au, Cu or an alloy having these elements as a base material on the second protection layer 30
And a reflective heat radiation layer 100 comprising a second reflective heat radiation layer 50 on the first reflective heat radiation layer 40, and the absolute value of the real part and / or the imaginary part of the complex refractive index of the second reflective heat radiation layer is the first.
The absolute value of the real part and / or the imaginary part of the complex refractive index of the reflective heat dissipation layer is different from that of the first heat dissipation layer.
nm, and the width 1a of the land portion of the guide groove is 500
nm or less, and the depth 1b of the guide groove is
The relationship is larger than the film thickness.

【0019】このような構成とすることにより、記録密
度が高く、またランド&グルーブ記録におけるランド部
とグルーブ部の記録感度の差異が少なく、良好なラジア
ルコントラストを有し、初期化においてもランド部分と
グルーブ部分の結晶化状態の均一性に優れ、更に良好な
反射率とモジュレーションを有する相変化光記録媒体を
得ることができる。
With such a configuration, the recording density is high, the difference in recording sensitivity between the land and the groove in land and groove recording is small, good radial contrast is obtained, and the land portion is initialized. Thus, it is possible to obtain a phase change optical recording medium having excellent uniformity of the crystallized state of the groove portion and further having excellent reflectance and modulation.

【0020】これは、(1)案内溝深さが第2保護層の
膜厚より大きい相変化光記録媒体、すなわち、光の入射
面に対し、グルーブ部上の反射放熱層がランド部上の記
録層より前面に存在する光記録媒体において、記録層に
近接する第1反射放熱層を、熱伝導率が高く、光吸収係
数が比較的小さいAg、Au、Cuまたはこれらの元素
を母材とする合金で構成することにより、入射光が光の
回折の影響で、ランド部上の記録層に到達する前に一部
がグルーブ部上の反射放熱層に吸収されるのを防止し、
実効的なパワー密度が低下するのを防ぐことができ、ラ
ンド部とグルーブ部との上に存在する記録層位置での入
射光強度(基板面から入射)の不均一性を緩和すること
ができること、及び、(2)第1反射放熱層上に第2反
射放熱層を設けることによって第1反射放熱層の放熱を
促進させ、さらに第1反射放熱層と第2反射放熱層との
界面部分における入射光の反射が光学特性に影響を与え
るように、それぞれの反射放熱層の複素屈折率の実部お
よび/または虚部の絶対値を異ならせると共に第1反射
放熱層の膜厚範囲を5〜50nmとすることにより、第
2保護層の膜厚を変更すること無く、戻り光の位相や振
幅を変化させることができ、熱特性と光学特性の双方を
向上させることができることによるものである。
This is because (1) the phase change optical recording medium in which the depth of the guide groove is larger than the thickness of the second protective layer, that is, the reflection heat radiation layer on the groove portion is formed on the land portion with respect to the light incident surface. In the optical recording medium located in front of the recording layer, the first reflective heat dissipation layer adjacent to the recording layer is formed by using Ag, Au, Cu, or these elements having a high thermal conductivity and a relatively small light absorption coefficient as a base material. By configuring with an alloy that does, the incident light is prevented from being partially absorbed by the reflective heat dissipation layer on the groove before reaching the recording layer on the land due to the diffraction of light,
The effective power density can be prevented from lowering, and the nonuniformity of the incident light intensity (incident from the substrate surface) at the position of the recording layer existing on the land and the groove can be reduced. And (2) providing a second reflective heat dissipation layer on the first reflective heat dissipation layer to promote heat dissipation of the first reflective heat dissipation layer, and further, at an interface between the first reflective heat dissipation layer and the second reflective heat dissipation layer. The absolute value of the real part and / or the imaginary part of the complex refractive index of each reflective heat radiation layer is made different so that the reflection of the incident light affects the optical characteristics, and the film thickness range of the first reflective heat radiation layer is 5 to 5. By setting the thickness to 50 nm, the phase and amplitude of the return light can be changed without changing the thickness of the second protective layer, and both the thermal characteristics and the optical characteristics can be improved.

【0021】上記(1)のような作用は、基板の案内溝
深さが深いほど、また第2反射放熱層の光吸収係数が大
きな場合(Al等を用いた場合)や、案内溝深さが特に
深いほど顕著である。なお、この作用のみを達成すれば
よいような場合には、AgまたはAg合金等からなる第
1反射放熱層の膜厚を50nmを超えるものとしてもよ
い。
The effect as described in the above (1) is obtained when the depth of the guide groove of the substrate is large, the light absorption coefficient of the second reflective heat dissipation layer is large (when Al or the like is used), Is particularly remarkable as the depth increases. In the case where only this function is required to be achieved, the thickness of the first reflective heat dissipation layer made of Ag or an Ag alloy may be set to exceed 50 nm.

【0022】また、ランド部とグルーブ部との上に存在
する記録層位置での入射光強度(基板面から入射)の不
均一性を緩和することができることにより、生産性の高
い高出力大口径LDビームやフラッシュランプ等の光源
を用いる相変化光記録媒体の初期化特性を向上させるこ
とができ、ランド部上の記録層とグルーブ部上の記録層
における初期結晶化度の差異を解消し、また適切なラジ
アルコントラストを維持することができる。さらに、第
1反射放熱層の上に第2反射放熱層を設けることによ
り、第1反射放熱層の放熱を促進させると共に反射放熱
層の機械的強度の向上を向上させ、繰返し記録特性を向
上させることができる。
Further, the non-uniformity of the incident light intensity (incident from the substrate surface) at the position of the recording layer existing on the land portion and the groove portion can be reduced, so that a high-output large-diameter high productivity can be achieved. The initialization characteristics of a phase change optical recording medium using a light source such as an LD beam or a flash lamp can be improved, and the difference in the initial crystallinity between the recording layer on the land and the recording layer on the groove can be eliminated. Also, an appropriate radial contrast can be maintained. Further, by providing the second reflective heat radiation layer on the first reflective heat radiation layer, the heat radiation of the first reflective heat radiation layer is promoted, the mechanical strength of the reflective heat radiation layer is improved, and the repetitive recording characteristics are improved. be able to.

【0023】第1反射放熱層は、Ag、Au、Cuまた
はこれらの元素を母材とする合金、例えば、Au−A
g、Au−Cu、Au−Ag−Cu、Ag−Cu等から
なるものであり、これらの合金は公知の付加的元素、例
えば、Pd、Pt、Al、Ge、Sn、Ti、In、T
e、Sb、Zn、Mg等を含むものでもよい。但し、組
成範囲としては、所定の高熱伝導率が維持される範囲と
する。第2反射放熱層としては、公知の金属、例えば、
Al、Sn、Pt、Pd、Pb、あるいはこれらの合
金、例えば、Al−Si、Al−Ti、Pb−Snなど
を用いることができる。このような第2反射放熱層は、
再生波長において、第1反射放熱層と異なる複素屈折率
を有している。
The first reflective heat dissipation layer is made of Ag, Au, Cu or an alloy having these elements as a base material, for example, Au-A
g, Au-Cu, Au-Ag-Cu, Ag-Cu, etc., and these alloys are known additional elements such as Pd, Pt, Al, Ge, Sn, Ti, In, T
e, Sb, Zn, Mg, etc. may be included. However, the composition range is a range in which a predetermined high thermal conductivity is maintained. As the second reflective heat dissipation layer, a known metal, for example,
Al, Sn, Pt, Pd, Pb, or an alloy thereof, for example, Al-Si, Al-Ti, Pb-Sn, or the like can be used. Such a second reflective heat dissipation layer is
At the reproduction wavelength, it has a complex refractive index different from that of the first reflective heat dissipation layer.

【0024】また、第1反射放熱層の膜厚は5〜50n
mの範囲であり、第2反射放熱層の膜厚は50〜300
nmの範囲が好ましい。これは、第1反射放熱層と第2
反射放熱層との境界による光反射が、反射光の位相や振
幅に影響を与える膜厚範囲にある。波長600nm未満
の短波長レーザーを用いる超高密度記録の場合には、A
gとCuまたはAuとの複素屈折率の差が顕著であり、
第2反射放熱層の材料をAg、Au、Cuまたはこれら
の合金とすることもできる。例えば、第1反射放熱層を
Auとし、第2反射放熱層をAgとする場合、あるいは
第1反射放熱層をAgとし、第2反射放熱層をAuとす
る場合などである。
The thickness of the first reflective heat radiation layer is 5 to 50 n.
m, and the thickness of the second reflective heat dissipation layer is 50 to 300.
The range of nm is preferred. This is because the first reflective heat dissipation layer and the second
The light reflection at the boundary with the reflective heat dissipation layer is in a film thickness range that affects the phase and amplitude of the reflected light. In the case of ultra-high density recording using a short wavelength laser having a wavelength of less than 600 nm, A
The difference in the complex refractive index between g and Cu or Au is remarkable,
The material of the second reflective heat dissipation layer may be Ag, Au, Cu, or an alloy thereof. For example, there are cases where the first reflective heat dissipation layer is made of Au and the second reflective heat dissipation layer is made of Ag, or where the first reflection heat dissipation layer is made of Ag and the second reflection heat dissipation layer is made of Au.

【0025】さらに、第1反射放熱層と第2保護層との
間に接着層を設けることにより、第2保護層と第1反射
放熱層との密着性が向上し、膜剥がれを防止することが
でき、繰返し記録特性に優れ、信頼性の高い相変化光記
録媒体を得ることができる。接着層としては、熱伝導率
や複素屈折率が第1反射放熱層または第2保護層の材料
に類するもので、第1反射放熱層と第2保護層との密着
性向上に寄与する材料が好ましく、例えばPd、Pt、
Cu、Cu合金、Au−Cu系合金やZnOなどが好ま
しく用いられる。
Furthermore, by providing an adhesive layer between the first reflective heat radiation layer and the second protective layer, the adhesion between the second protective layer and the first reflective heat radiation layer is improved, and peeling of the film is prevented. As a result, it is possible to obtain a phase change optical recording medium having excellent repetitive recording characteristics and high reliability. As the adhesive layer, a material having a thermal conductivity or a complex refractive index similar to that of the material of the first reflective heat dissipation layer or the second protective layer, and a material contributing to the improvement of the adhesion between the first reflective heat dissipation layer and the second protective layer is used. Preferably, for example, Pd, Pt,
Cu, Cu alloy, Au-Cu based alloy, ZnO and the like are preferably used.

【0026】なお、第1反射放熱層の母材として、Au
やAu合金など比較的密着性に劣る材料を使用する場
合、接着層としてCu、Cu合金、Ag、Ag合金など
を使用してもよい。この場合には第1反射放熱層が多層
構造となる。接着層の膜厚としては、十分な接着強度が
得られる範囲で、概ね20nm以下が好ましい。
The base material of the first reflective heat dissipation layer is Au.
When a material having relatively low adhesion such as Au or Au alloy is used, Cu, Cu alloy, Ag, Ag alloy or the like may be used as the adhesive layer. In this case, the first reflective heat dissipation layer has a multilayer structure. The thickness of the adhesive layer is preferably about 20 nm or less as long as a sufficient adhesive strength can be obtained.

【0027】図4は本発明の相変化光記録媒体の他の一
例を模式的に示す拡大断面図であり、図3において示し
た相変化光記録媒体において、第1反射放熱層40と第
2反射放熱層50との間に反射補正層45を有してい
る。反射補正層45の複素屈折率は第1反射放熱層や第
2反射放熱層と異なる値をとることが好ましい。反射補
正層としては、例えばGe、Si、C、Sb、Te等を
用いることができる。第1反射放熱層40と第2反射放
熱層50との間に反射補正層45を設けることにより、
第1反射放熱層40と第2反射放熱層50との界面部で
反射する反射光の振幅や位相を補正し、モジュレーショ
ンや反射率の最適化、或いはDPD特性を改善すること
ができる。
FIG. 4 is an enlarged sectional view schematically showing another example of the phase-change optical recording medium of the present invention. In the phase-change optical recording medium shown in FIG. The reflection correction layer 45 is provided between the reflection and heat dissipation layer 50. It is preferable that the complex refractive index of the reflection correction layer 45 has a value different from that of the first reflection and heat dissipation layer and the second reflection and heat dissipation layer. As the reflection correction layer, for example, Ge, Si, C, Sb, Te or the like can be used. By providing the reflection correction layer 45 between the first reflection heat dissipation layer 40 and the second reflection heat dissipation layer 50,
The amplitude and phase of the reflected light reflected at the interface between the first reflective heat dissipation layer 40 and the second reflection heat dissipation layer 50 can be corrected to optimize modulation and reflectivity, or to improve DPD characteristics.

【0028】[0028]

【実施例】以下、実施例に基づき本発明をより詳細に説
明する。
The present invention will be described below in more detail with reference to examples.

【0029】実施例1 トラックピッチ740nm、ランド部の幅450nm、
溝深さ70nmの案内溝を有するポリカーボネイト基板
上にZnS・SiO2からなる厚さ150nmの第1保
護層、Ge−Sb−Teからなる厚さ20nmの記録
層、ZnS・ZnO・SiO2からなる厚さ20nmの
第2保護層およびAgからなる厚さ100nmの反射放
熱層を順次形成し、反射放熱層上にUV樹脂からなる環
境保護層をスピンコーティングにより塗布して相変化光
記録媒体を得た。この相変化光記録媒体においては、記
録用のレーザービームを基板側から入射するため、案内
溝深さと第2保護層の厚さとの関係から、レーザービー
ムの進行方向から見てランド部の記録層(図1における
20a)はグルーブ部の反射放熱層(図1における40
a)の端面より後方に存在することになる。この相変化
光記録媒体を長さ100μm、幅2μm、出力900m
Wの半導体レーザビームにより、初期化線速3m/sで
初期化したところ、ランド部とグルーブ部の結晶化状態
の均一性に優れた初期化を行うことができた。また、こ
の相変化光記録媒体に波長635nmのレーザービーム
により記録したところ、線記録密度が高く、またランド
&グルーブ記録におけるランド部とグルーブ部の記録感
度の差異が少ない記録を行うことができ、また良好なラ
ジアルコントラストを有していた。
Example 1 A track pitch of 740 nm, a land width of 450 nm,
A first protective layer of ZnS.SiO 2 with a thickness of 150 nm, a recording layer of Ge—Sb—Te with a thickness of 20 nm, and a ZnS.ZnO.SiO 2 layer on a polycarbonate substrate having a guide groove with a groove depth of 70 nm. A second protective layer having a thickness of 20 nm and a reflective heat radiation layer having a thickness of 100 nm made of Ag are sequentially formed, and an environmental protection layer made of a UV resin is applied on the reflective heat radiation layer by spin coating to obtain a phase-change optical recording medium. Was. In this phase-change optical recording medium, since a recording laser beam is incident from the substrate side, the recording layer of the land portion is viewed from the direction of travel of the laser beam from the relationship between the depth of the guide groove and the thickness of the second protective layer. (20a in FIG. 1) is a reflective heat radiation layer in the groove portion (40 in FIG. 1).
It will be present behind the end face of a). This phase change optical recording medium is 100 μm in length, 2 μm in width, and 900 m in output.
When the semiconductor laser beam of W was used for initialization at an initialization linear velocity of 3 m / s, initialization with excellent uniformity of the crystallization state of the land and the groove could be performed. When recording was performed on this phase-change optical recording medium with a laser beam having a wavelength of 635 nm, it was possible to perform recording with a high linear recording density and a small difference in recording sensitivity between land and groove portions in land & groove recording. Also, it had good radial contrast.

【0030】実施例2 トラックピッチ740nm、ランド部の幅450nm、
溝深さ70nmの案内溝を有するポリカーボネイト基板
上にZnS・SiO2からなる厚さ150nmの第1保
護層、Ge−Sb−Teからなる厚さ20nmの記録
層、ZnS・ZnO・SiO2からなる厚さ20nmの
第2保護層、ZnOからなる厚さ10nmの接着層およ
びAuからなる厚さ100nmの反射放熱層を順次形成
し、反射放熱層上にUV樹脂からなる環境保護層をスピ
ンコーティングにより塗布して相変化光記録媒体を得
た。ZnOの複素屈折率は第2保護層の複素屈折率に近
く、接着層と第2保護層との界面での光の反射は比較的
小さい。この相変化光記録媒体を長さ100μm、幅2
μm、出力900mWの半導体レーザビームにより、初
期化線速3m/sで初期化したところ、初期化や繰返し
記録に伴う熱衝撃などによる反射放熱層と第2保護層と
の膜剥がれがなく、繰返し記録特性に優れていた。
Example 2 A track pitch of 740 nm, a land width of 450 nm,
A first protective layer of ZnS.SiO 2 with a thickness of 150 nm, a recording layer of Ge—Sb—Te with a thickness of 20 nm, and a ZnS.ZnO.SiO 2 layer on a polycarbonate substrate having a guide groove with a groove depth of 70 nm. A 20 nm-thick second protective layer, a 10 nm-thick adhesive layer made of ZnO, and a 100 nm-thick reflective heat dissipation layer are sequentially formed, and an environmental protection layer made of a UV resin is spin-coated on the reflection heat dissipation layer. By coating, a phase change optical recording medium was obtained. The complex refractive index of ZnO is close to the complex refractive index of the second protective layer, and the reflection of light at the interface between the adhesive layer and the second protective layer is relatively small. This phase-change optical recording medium is 100 μm long and 2 μm wide.
Initialization was performed at a linear velocity of 3 m / s with a semiconductor laser beam having an output power of 900 mW and a reflective heat radiation layer and the second protective layer, which were not peeled off due to thermal shock caused by the initialization and repeated recording. The recording characteristics were excellent.

【0031】実施例3 トラックピッチ550nm、ランド部の幅320nm、
溝深さ40nmの案内溝を有するポリカーボネイト基板
上にZnS・SiO2からなる厚さ120nmの第1保
護層、Ag−In−Sb−Teからなる厚さ5nmの記
録層、ZnS・ZnO・SiO2からなる厚さ13nm
の第2保護層、Auからなる厚さ30nmの第1反射放
熱層およびAl合金からなる厚さ100nmの第2反射
放熱層を順次形成し、第2反射放熱層上にUV樹脂から
なる環境保護層をスピンコーティングにより塗布して相
変化光記録媒体を得た。この相変化光記録媒体において
は、記録用のレーザービームを基板側から入射するた
め、案内溝深さと第2保護層の厚さとの関係から、レー
ザービームの進行方向から見てランド部の記録層(図3
における20a)はグルーブ部の第1反射放熱層(図3
における40a)の端面より後方に存在することにな
る。この相変化光記録媒体を長さ100μm、幅2μ
m、出力900mWの半導体レーザビームにより、初期
化線速3m/sで初期化したところ、ランド部とグルー
ブ部の結晶化状態の均一性に優れた初期化を行うことが
できた。また、この相変化光記録媒体に波長500nm
のレーザービームにより記録したところ、線記録密度が
高く、またランド&グルーブ記録におけるランド部とグ
ルーブ部の記録感度の差異が少ない記録を行うことがで
き、また良好なラジアルコントラストを有していた。ま
た、波長500nmの再生レーザー光により未記録部と
記録部の反射率を測定し、モジュレーションを算出した
ところ、未記録部の反射率は20%、モジュレーション
は71%であった。次に、上記相変化光記録媒体におい
て、第1反射放熱層を設けない以外は同様にして作製し
た相変化光記録媒体、第1反射放熱層の厚さを5nmと
した以外は同様にして作製した相変化光記録媒体、第1
反射放熱層の厚さを14nmとした以外は同様にして作
製した相変化光記録媒体、第1反射放熱層の厚さを50
nmとした以外は同様にして作製した相変化光記録媒
体、第1反射放熱層の厚さを100nmとした以外は同
様にして作製した相変化光記録媒体、及び第1反射放熱
層の厚さを200nmとした以外は同様にして作製した
相変化光記録媒体について、上記と同様にして未記録部
と記録部の反射率を測定し、モジュレーションを算出し
結果(反射率とモジュレーションの第1反射放熱層膜厚
依存性)を表1に示す。
Example 3 A track pitch of 550 nm, a land width of 320 nm,
The first protective layer having a thickness of 120nm composed of ZnS · SiO 2 on a polycarbonate substrate having a guide groove depth 40 nm, the recording layer having a thickness of 5nm consisting Ag-In-Sb-Te, ZnS · ZnO · SiO 2 13nm thick
Second protective layer, a first reflective heat radiation layer made of Au and having a thickness of 30 nm, and a second reflective heat radiation layer made of an Al alloy and having a thickness of 100 nm are sequentially formed, and an environmental protection made of UV resin is formed on the second reflective heat radiation layer. The layer was applied by spin coating to obtain a phase change optical recording medium. In this phase-change optical recording medium, since a recording laser beam is incident from the substrate side, the recording layer of the land portion is viewed from the direction of travel of the laser beam from the relationship between the depth of the guide groove and the thickness of the second protective layer. (FIG. 3
20a) is the first reflective heat dissipation layer in the groove portion (FIG. 3).
At the end of 40a). This phase change optical recording medium is 100 μm long and 2 μm wide.
Initialization was performed at a linear velocity of 3 m / s using a semiconductor laser beam having an output power of 900 mW and m, and initialization with excellent uniformity of the crystallization state of the land portion and the groove portion could be performed. The phase change optical recording medium has a wavelength of 500 nm.
As a result, recording was performed with a high linear recording density, a small difference in recording sensitivity between the land portion and the groove portion in land and groove recording, and a good radial contrast. Further, the reflectance of the unrecorded portion and the recorded portion was measured with a reproduction laser beam having a wavelength of 500 nm, and the modulation was calculated. As a result, the reflectance of the unrecorded portion was 20%, and the modulation was 71%. Next, in the above phase change optical recording medium, a phase change optical recording medium was prepared in the same manner except that the first reflective heat radiation layer was not provided, and was produced in the same manner except that the thickness of the first reflective heat radiation layer was 5 nm. Phase change optical recording medium, first
A phase change optical recording medium manufactured in the same manner except that the thickness of the reflective heat dissipation layer was set to 14 nm, and the thickness of the first reflective heat dissipation layer was set to 50
The thickness of the phase change optical recording medium and the first reflective heat radiation layer produced in the same manner except that the thickness of the first reflection and heat radiation layer was changed to 100 nm. For a phase change optical recording medium produced in the same manner except that the thickness was changed to 200 nm, the reflectance of the unrecorded portion and the recorded portion was measured in the same manner as above, and the modulation was calculated. Table 1 shows the relationship between the heat radiation layer thickness and the heat radiation layer thickness.

【0032】[0032]

【表1】 [Table 1]

【0033】表1から明らかなように、第1反射放熱層
が無い場合、即ちAlのみの反射層を有する場合には反
射率は49%と比較的高いが、モジュレーションが32
%と低く、第1反射放熱層膜厚が100nmと十分に厚
く、第2反射放熱層の影響が光学特性に影響を与えない
膜厚領域ではモジュレーションは82%と高いが、反射
率が13%と低く、高線速再生に不具合が生じるのに対
し、第1反射放熱層の膜厚が5〜50nmの場合には、
第1反射放熱層−第2反射放熱層界面での反射光が光学
特性に影響を与え、反射率とモジュレーション双方が適
度な相変化光記録媒体が得られる。
As is clear from Table 1, when the first reflective heat radiation layer is not provided, that is, when the reflective layer is made of only Al, the reflectance is relatively high at 49%, but the modulation is 32.
%, The thickness of the first reflective heat radiation layer is sufficiently thick as 100 nm, and the modulation is as high as 82% in the film thickness region where the influence of the second reflective heat radiation layer does not affect the optical characteristics, but the reflectance is 13%. In the case where the thickness of the first reflective heat radiation layer is 5 to 50 nm,
The reflected light at the interface between the first reflective heat dissipation layer and the second reflective heat dissipation layer affects the optical characteristics, and a phase change optical recording medium having both appropriate reflectivity and modulation can be obtained.

【0034】実施例4 トラックピッチ550nm、ランド部の幅320nm、
溝深さ40nmの案内溝を有するポリカーボネイト基板
上にZnS・SiO2からなる厚さ120nmの第1保
護層、Ag−In−Sb−Teからなる厚さ5nmの記
録層、ZnS・ZnO・SiO2からなる厚さ13nm
の第2保護層、ZnOからなる厚さ10nmの接着層、
Auからなる厚さ30nmの第1反射放熱層およびAl
合金からなる厚さ100nmの第2反射放熱層を順次形
成し、第2反射放熱層上にUV樹脂からなる環境保護層
をスピンコーティングにより塗布して相変化光記録媒体
を得た。この相変化光記録媒体を長さ100μm、幅2
μm、出力900mWの半導体レーザビームにより、初
期化線速3m/sで初期化したところ、初期化や繰返し
記録に伴う熱衝撃などによる第1反射放熱層と第2保護
層との膜剥がれがなく、繰返し記録特性に優れていた。
Example 4 A track pitch of 550 nm, a land width of 320 nm,
The first protective layer having a thickness of 120nm composed of ZnS · SiO 2 on a polycarbonate substrate having a guide groove depth 40 nm, the recording layer having a thickness of 5nm consisting Ag-In-Sb-Te, ZnS · ZnO · SiO 2 13nm thick
A second protective layer, a 10 nm thick adhesive layer made of ZnO,
30 nm thick first reflective heat dissipation layer made of Au and Al
A second reflective heat radiation layer having a thickness of 100 nm made of an alloy was sequentially formed, and an environmental protection layer composed of a UV resin was applied on the second reflection heat radiation layer by spin coating to obtain a phase-change optical recording medium. This phase-change optical recording medium is 100 μm long and 2 μm wide.
Initialization was performed at a linear velocity of 3 m / s using a semiconductor laser beam having a power of 900 mW and a power of 900 mW. As a result, there was no peeling between the first reflective heat radiation layer and the second protective layer due to thermal shock caused by the initialization and repeated recording. And excellent repetitive recording characteristics.

【0035】実施例5 トラックピッチ740nm、ランド部の幅420nm、
溝深さ70nmの案内溝を有するポリカーボネイト基板
上にZnS・SiO2からなる厚さ160nmの第1保
護層、Ag−In−Sb−Teからなる厚さ5nmの記
録層、ZnS・ZnO・SiO2からなる厚さ20nm
の第2保護層、Agからなる厚さ20nmの第1反射放
熱層、Geからなる厚さ10nmの反射補正層、および
Al合金からなる厚さ100nmの第2反射放熱層を順
次形成し、第2反射放熱層上にUV樹脂からなる環境保
護層をスピンコーティングにより塗布して相変化光記録
媒体を得た。この相変化光記録媒体を長さ100μm、
幅2μm、出力900mWの半導体レーザビームによ
り、初期化線速3m/sで初期化したところ、ランド部
とグルーブ部の結晶化状態の均一性に優れた初期化を行
うことができた。また、この相変化光記録媒体に波長6
35nmのレーザービームにより記録したところ、線記
録密度が高く、またランド&グルーブ記録におけるラン
ド部とグルーブ部の記録感度の差異が少ない記録を行う
ことができ、また良好なラジアルコントラストを有して
いた。また、波長635nmの再生レーザー光により未
記録部と記録部の反射率を測定し、モジュレーションを
算出したところ、未記録部の反射率は19%、モジュレ
ーションは53%であった。次に、上記相変化光記録媒
体において、反射補正層を設けない以外は同様にして作
製した相変化光記録媒体、反射補正層の厚さを20nm
とした以外は同様にして作製した相変化光記録媒体につ
いて、上記と同様にして未記録部と記録部の反射率を測
定し、モジュレーションを算出し結果(反射率とモジュ
レーションの反射補正層膜厚依存性)を表2に示す。
Example 5 A track pitch of 740 nm, a land width of 420 nm,
A first protective layer of ZnS.SiO 2 having a thickness of 160 nm, a recording layer of Ag-In-Sb-Te having a thickness of 5 nm, and a ZnS.ZnO.SiO 2 layer formed on a polycarbonate substrate having a guide groove having a groove depth of 70 nm. 20 nm thick
Second protective layer, a first reflective heat dissipation layer made of Ag, having a thickness of 20 nm, a reflection correction layer made of Ge, having a thickness of 10 nm, and a second reflection heat dissipation layer made of an Al alloy having a thickness of 100 nm, are sequentially formed. (2) An environmental protection layer made of a UV resin was applied on the reflective heat dissipation layer by spin coating to obtain a phase-change optical recording medium. This phase-change optical recording medium has a length of 100 μm,
Initialization was performed with a semiconductor laser beam having a width of 2 μm and an output of 900 mW at an initial linear velocity of 3 m / s. As a result, initialization with excellent uniformity of the crystallization state of the land and the groove could be performed. In addition, a wavelength of 6
When recording was performed with a laser beam of 35 nm, linear recording density was high, and recording with little difference in recording sensitivity between land and groove in land & groove recording could be performed, and good radial contrast was obtained. . The reflectance of the unrecorded portion and the recorded portion was measured with a reproducing laser beam having a wavelength of 635 nm, and the modulation was calculated. As a result, the reflectance of the unrecorded portion was 19% and the modulation was 53%. Next, in the above-mentioned phase change optical recording medium, a phase change optical recording medium produced in the same manner except that the reflection correction layer is not provided, and the thickness of the reflection correction layer is set to 20 nm.
With respect to a phase-change optical recording medium manufactured in the same manner as above, the reflectance of the unrecorded portion and the recorded portion was measured in the same manner as above, and the modulation was calculated. Dependency) is shown in Table 2.

【0036】[0036]

【表2】 [Table 2]

【0037】表2から明らかなように、第1反射放熱層
と第2反射放熱層との間に反射補正層を設けることによ
り、反射率やモジュレーションを調整することができ
る。
As is clear from Table 2, the reflectance and the modulation can be adjusted by providing the reflection correction layer between the first reflection heat radiation layer and the second reflection heat radiation layer.

【0038】[0038]

【発明の効果】本発明によれば、狭トラックピッチで線
記録密度が高く、またランド&グルーブ記録におけるラ
ンド部とグルーブ部の記録感度の差異が少なく、良好な
ラジアルコントラストを有し、初期化においてもランド
部分の記録層も容易に初期化され、ランド部とグルーブ
部の結晶化状態の均一性に優れた相変化光記録媒体を得
ることができる。また、本発明によれば、初期化や繰返
し記録に伴う熱衝撃などによる反射放熱層と保護層との
膜剥がれが防止され、繰返し記録特性に優れ、信頼性の
高い相変化光記録媒体を得ることができる。また、本発
明によれば、良好な反射率とモジュレーションを有する
相変化光記録媒体を得ることができる。
According to the present invention, the linear recording density is high at a narrow track pitch, the difference in recording sensitivity between land and groove in land and groove recording is small, good radial contrast is obtained, and initialization is performed. In this case, the recording layer in the land portion is also easily initialized, and a phase-change optical recording medium having excellent uniformity of the crystallization state in the land portion and the groove portion can be obtained. Further, according to the present invention, peeling of the reflective heat dissipation layer and the protective layer due to thermal shock or the like accompanying initialization or repeated recording is prevented, and a phase change optical recording medium having excellent repeated recording characteristics and high reliability is obtained. be able to. Further, according to the present invention, a phase-change optical recording medium having good reflectivity and modulation can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の相変化光記録媒体の一例を模式的に示
す拡大断面図である。
FIG. 1 is an enlarged sectional view schematically showing an example of a phase change optical recording medium of the present invention.

【図2】本発明の相変化光記録媒体の他の例を模式的に
示す拡大断面図である。
FIG. 2 is an enlarged sectional view schematically showing another example of the phase change optical recording medium of the present invention.

【図3】本発明の相変化光記録媒体の別の一例を模式的
に示す拡大断面図である。
FIG. 3 is an enlarged sectional view schematically showing another example of the phase change optical recording medium of the present invention.

【図4】本発明の相変化光記録媒体の他の一例を模式的
に示す拡大断面図である。
FIG. 4 is an enlarged sectional view schematically showing another example of the phase change optical recording medium of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 10 第1保護層 20 記録層 30 第2保護層 40 第1反射放熱層 45 反射補正層 50 第2反射放熱層 60 環境保護層 100 反射放熱層 101 接着層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 10 1st protective layer 20 recording layer 30 2nd protective layer 40 1st reflective heat dissipation layer 45 reflection correction layer 50 2nd reflective heat dissipation layer 60 environmental protection layer 100 reflection heat dissipation layer 101 adhesive layer

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 案内溝を有する基板上の第1保護層、第
1保護層上の記録層、記録層上の第2保護層、第2保護
層上の反射放熱層を有し、案内溝深さが第2保護層の膜
厚より大きい相変化光記録媒体において、案内溝のラン
ド部の幅が500nm以下であり、反射放熱層がAg、
Au、Cuまたはこれらの元素を母材とする合金からな
ることを特徴とする相変化光記録媒体。
1. A guide groove having a first protective layer on a substrate having a guide groove, a recording layer on the first protective layer, a second protective layer on the recording layer, and a reflective heat dissipation layer on the second protective layer. In a phase change optical recording medium having a depth greater than the thickness of the second protective layer, the width of the land portion of the guide groove is 500 nm or less, and the reflective heat radiation layer is made of Ag,
A phase change optical recording medium comprising Au, Cu, or an alloy containing these elements as a base material.
【請求項2】 第2保護層と反射放熱層との間に接着層
を有することを特徴とする請求項1記載の相変化光記録
媒体。
2. The phase-change optical recording medium according to claim 1, further comprising an adhesive layer between the second protective layer and the reflection heat radiation layer.
【請求項3】 案内溝を有する基板上の第1保護層、第
1保護層上の記録層、記録層上の第2保護層、第2保護
層上の反射放熱層を有し、案内溝深さが第2保護層の膜
厚より大きい相変化光記録媒体において、第2保護層上
のAg、Au、Cuまたはこれらの元素を母材とする合
金からなる第1反射放熱層、第1反射放熱層上の第2反
射放熱層を有し、第2反射放熱層の複素屈折率の実部お
よび/または虚部の絶対値が第1反射放熱層の複素屈折
率の実部および/または虚部の絶対値と異なっており、
第1反射放熱層の膜厚が5〜50nmの範囲にあり、且
つ案内溝のランド部の幅が500nm以下であることを
特徴とする相変化光記録媒体。
3. A guide groove having a first protective layer on a substrate having a guide groove, a recording layer on the first protective layer, a second protective layer on the recording layer, and a reflective heat dissipation layer on the second protective layer. In a phase change optical recording medium having a depth greater than the thickness of the second protective layer, the first reflective heat dissipation layer made of Ag, Au, Cu, or an alloy having these elements as a base material on the second protective layer; It has a second reflective heat radiation layer on the reflective heat radiation layer, and the absolute value of the real part and / or the imaginary part of the complex refractive index of the second reflective heat radiation layer is the real part of the complex refractive index of the first reflective heat radiation layer and / or Different from the absolute value of the imaginary part,
A phase-change optical recording medium, wherein the thickness of the first reflective heat dissipation layer is in the range of 5 to 50 nm, and the width of the land portion of the guide groove is 500 nm or less.
【請求項4】 第2保護層と第1反射放熱層との間に接
着層を有することを特徴とする請求項3記載の相変化光
記録媒体。
4. The phase-change optical recording medium according to claim 3, further comprising an adhesive layer between the second protective layer and the first reflective heat radiation layer.
【請求項5】 第1反射放熱層と第2反射放熱層との間
に反射補正層を有することを特徴とする請求項3または
4記載の相変化光記録媒体。
5. The phase change optical recording medium according to claim 3, further comprising a reflection correction layer between the first reflective heat radiation layer and the second reflective heat radiation layer.
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